CN212257354U - 一种全自动键合机高精度底座 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种全自动键合机高精度底座，包括底座，所述底座内设有安装槽，所述安装槽内设有动力机构，所述底座上固定连接有两个支撑板，两个所述支撑板相对的一面均设滑动连接有连接块，两个所述连接块与对应的支撑板之间均设有升降机构，两个所述连接块之间固定连接有同一个圆形板，所述圆形板内设有第二电机，所述第二电机的动力端固定连接有盛接板，所述盛接板上设有四个夹持机构。本实用新型结构设计合理，不仅可以对工件进行稳固的夹持，使得工件在进行加工时不易发生偏移，导致加工工件的不合格；还可以对工件的高度和角度进行调节，方便对工件进行键合工作。
Description
技术领域
本实用新型涉及键合机技术领域，尤其涉及一种全自动键合机高精度底座。
背景技术
键合机是指将两片表面清洁、原子级平整的同质或异质半导体材料经表面清洗和活化处理，在一定条件下直接结合，通过范德华力、分子力甚至原子力使晶片键合成为一体的设备。
键合机在工作时需要将工件放在高精度底座上进行夹持固定，现有的高精度底座高度和角度不可调，在对工件进行键合时无法满足工作需求，导致键合的过程较为麻烦，降低了工作效率；因此我们设计了一种全自动键合机高精度底座来解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的问题，而提出的一种全自动键合机高精度底座。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种全自动键合机高精度底座，包括底座，所述底座内设有安装槽，所述安装槽内设有动力机构，所述底座上固定连接有两个支撑板，两个所述支撑板相对的一面均设滑动连接有连接块，两个所述连接块与对应的支撑板之间均设有升降机构，两个所述连接块之间固定连接有同一个圆形板，所述圆形板内设有第二电机，所述第二电机的动力端固定连接有盛接板，所述盛接板上设有四个夹持机构。
优选地，所述动力机构包括设置在底座内的第一电机，所述第一电机的动力端固定连接有转动杆，所述转动杆上套设有两个与其固定连接的第一锥形齿轮。
优选地，所述升降机构包括设置在支撑板内的滑动槽，所述滑动槽内转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆贯穿连接块并与其螺纹连接，所述螺纹杆的底端固定连接有第二锥形齿轮，所述第一锥形齿轮与第二锥形齿轮相互啮合。
优选地，所述夹持机构包括贯穿盛接板并与其滑动连接的L型杆，所述L型杆上贯穿设有与其螺纹连接的螺杆，所述螺杆的底端与盛接板的上端面转动连接。
优选地，所述螺纹杆的底部延伸至安装槽内。
优选地，所述螺杆的上端套设有橡胶垫。
本实用新型与现有技术相比，其有益效果为：
1、通过动力机构和升降机构的共同作用，可以对工件进行高度的调节，方便对工件进行键合工作，较为方便，提高了工作效率。
2、通过夹持机构的作用，可以对工件进行稳固的夹持，使得工件在进行加工时不易发生偏移，导致加工工件的不合格。
综上所述，不仅可以对工件进行稳固的夹持，使得工件在进行加工时不易发生偏移，导致加工工件的不合格；还可以对工件的高度和角度进行调节，方便对工件进行键合工作。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种全自动键合机高精度底座的结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种全自动键合机高精度底座的俯视图。
图中：1底座、2支撑板、3滑动槽、4螺纹杆、5安装槽、6第一电机、7转动杆、8第一锥形齿轮、9第二锥形齿轮、10圆形板、 11连接块、12第二电机、13盛接板、14L型杆、15螺杆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-2，一种全自动键合机高精度底座，包括底座1，底座 1内设有安装槽5，安装槽5内设有动力机构，动力机构包括设置在底座1内的第一电机6，第一电机6的动力端固定连接有转动杆7，转动杆7上套设有两个与其固定连接的第一锥形齿轮8，启动第一电机6，第一电机6带动转动杆7转动，转动杆7转动带动第一锥形齿轮8转动。
底座1上固定连接有两个支撑板2，两个支撑板2相对的一面均设滑动连接有连接块11，两个连接块11与对应的支撑板2之间均设有升降机构，升降机构包括设置在支撑板2内的滑动槽3，滑动槽3 内转动连接有螺纹杆4，螺纹杆4贯穿连接块11并与其螺纹连接，螺纹杆4的底部延伸至安装槽5内，螺纹杆4的底端固定连接有第二锥形齿轮9，第一锥形齿轮8与第二锥形齿轮9相互啮合，第一锥形齿轮8转动带动第二锥形齿轮9转动，第二锥形齿轮9转动带动螺纹杆4转动，由于连接块11被滑动槽3限位无法转动，螺纹杆4转动带动连接块11上下移动，连接块11上下移动带动圆形板10上下移动，进而带动工件上下移动，如此可以对工件进行高度的调节，方便键合工作。
两个连接块11之间固定连接有同一个圆形板10，圆形板10内设有第二电机12，第二电机12的动力端固定连接有盛接板13，启动第二电机12，第二电机12带动盛接板13转动，如此可以对盛接板 13上的工件进行旋转，方便调整盛接板13的角度，较为方便；盛接板13上设有四个夹持机构，夹持机构包括贯穿盛接板13并与其滑动连接的L型杆14，L型杆14上贯穿设有与其螺纹连接的螺杆15，螺杆15的上端套设有橡胶垫，螺杆15的底端与盛接板13的上端面转动连接，当需要对工件进行夹持时，将工件放置在盛接板13上，并使得工件的四个角位于L型杆14与盛接板13之间，然后转动螺杆 15，由于L型杆14被盛接板13限位无法转动，螺杆15转动带动L 型板14向下移动，如此可以对工件进行稳固的夹持，使其不易在工作时发生偏移。
本实用新型可通过以下操作方式阐述其功能原理：
本实用新型中，当需要对工件进行夹持时，将工件放置在盛接板 13上，并使得工件的四个角位于L型杆14与盛接板13之间，然后转动螺杆15，由于L型杆14被盛接板13限位无法转动，螺杆15转动带动L型板14向下移动，如此可以对工件进行稳固的夹持，使其不易在工作时发生偏移。
当需要对工件的高度进行调节时，启动第一电机6，第一电机6 带动转动杆7转动，转动杆7转动带动第一锥形齿轮8转动，第一锥形齿轮8转动带动第二锥形齿轮9转动，第二锥形齿轮9转动带动螺纹杆4转动，由于连接块11被滑动槽3限位无法转动，螺纹杆4转动带动连接块11上下移动，连接块11上下移动带动圆形板10上下移动，进而带动工件上下移动，如此可以对工件进行高度的调节，方便键合工作。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种全自动键合机高精度底座，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）内设有安装槽（5），所述安装槽（5）内设有动力机构，所述底座（1）上固定连接有两个支撑板（2），两个所述支撑板（2）相对的一面均设滑动连接有连接块（11），两个所述连接块（11）与对应的支撑板（2）之间均设有升降机构，两个所述连接块（11）之间固定连接有同一个圆形板（10），所述圆形板（10）内设有第二电机（12），所述第二电机（12）的动力端固定连接有盛接板（13），所述盛接板（13）上设有四个夹持机构。
2.根据权利要求1所述的一种全自动键合机高精度底座，其特征在于，所述动力机构包括设置在底座（1）内的第一电机（6），所述第一电机（6）的动力端固定连接有转动杆（7），所述转动杆（7）上套设有两个与其固定连接的第一锥形齿轮（8）。
3.根据权利要求2所述的一种全自动键合机高精度底座，其特征在于，所述升降机构包括设置在支撑板（2）内的滑动槽（3），所述滑动槽（3）内转动连接有螺纹杆（4），所述螺纹杆（4）贯穿连接块（11）并与其螺纹连接，所述螺纹杆（4）的底端固定连接有第二锥形齿轮（9），所述第一锥形齿轮（8）与第二锥形齿轮（9）相互啮合。
4.根据权利要求1所述的一种全自动键合机高精度底座，其特征在于，所述夹持机构包括贯穿盛接板（13）并与其滑动连接的L型杆（14），所述L型杆（14）上贯穿设有与其螺纹连接的螺杆（15），所述螺杆（15）的底端与盛接板（13）的上端面转动连接。
5.根据权利要求3所述的一种全自动键合机高精度底座，其特征在于，所述螺纹杆（4）的底部延伸至安装槽（5）内。
6.根据权利要求4所述的一种全自动键合机高精度底座，其特征在于，所述螺杆（15）的上端套设有橡胶垫。
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| CN202020991083.6U CN212257354U (zh) | 2020-06-03 | 2020-06-03 | 一种全自动键合机高精度底座 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113437008A (zh) * | 2021-06-23 | 2021-09-24 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | 键合机 |
| CN117059502A (zh) * | 2023-10-11 | 2023-11-14 | 南京银茂微电子制造有限公司 | 一种芯片加工用键合机物料夹持机构 |
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| CN113437008A (zh) * | 2021-06-23 | 2021-09-24 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | 键合机 |
| CN113437008B (zh) * | 2021-06-23 | 2023-11-17 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | 键合机 |
| CN117059502A (zh) * | 2023-10-11 | 2023-11-14 | 南京银茂微电子制造有限公司 | 一种芯片加工用键合机物料夹持机构 |
| CN117059502B (zh) * | 2023-10-11 | 2024-01-30 | 南京银茂微电子制造有限公司 | 一种芯片加工用键合机物料夹持机构 |
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