CN209561361U - 一种片盒旋转平台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种片盒旋转平台，包括基座、连接座、驱动电机、以及用于放置晶圆片的盒体，盒体于基座上方设置，连接座固定设于基座底部，驱动电机一端连接有输出轴，输出轴的自由端连接有蜗轮，驱动电机驱动蜗轮转动，蜗轮底部啮合连接有蜗杆，连接座前方设有齿轮，蜗轮带动齿轮转动，本实用新型与机械手配合上料，当机械手要取放晶圆片时，盒体会自动旋转至与机械手平行的角度,让机械手可以安全地取放晶圆片。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种片盒旋转平台。
背景技术
在半导体工艺过程中操作员经常将晶圆片盒体置放于设备机械手取放区, 这样很容易发生晶圆片因人为操作或震动等因素导致晶圆脱落，从而造成晶圆片的损坏，造成不必要的经济损失。
实用新型内容
实用新型目的：为了解决背景技术中存在的不足，所以本实用新型提供了一种片盒旋转平台。
技术方案：一种片盒旋转平台，包括基座、连接座、驱动电机、以及用于放置晶圆片的盒体，所述盒体于所述基座上方设置，所述连接座固定设于所述基座底部，所述驱动电机一端连接有输出轴，所述输出轴的自由端连接有蜗轮，所述驱动电机驱动蜗轮转动，所述蜗轮底部啮合连接有蜗杆，所述连接座前方设有齿轮，所述蜗轮带动齿轮转动。
优选的，所述基座为框架结构。
优选的，所述基座一侧边顶部设有夹持机构。
优选的，所述夹持机构包括气缸、以及与气缸连接的吸盘。
优选的，所述齿轮为扇形齿轮。
优选的，所述连接座可转动的角度为0-90°。
本实用新型实现以下有益效果：
1.本实用新型通过在基座一侧顶部设置夹持机构，能够将盒体夹紧于基座上方，从而有效的避免了连接座在旋转的过程中有晶圆片掉落。
2.驱动电机在带动蜗轮转动的同时，齿轮也会跟随着蜗轮一起转动，进而能够实现基座整体转动，这样不仅可以配合机械手进行角度调整，而且还能提高工作效率。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。
图1为本实用新型提供的整体结构示意图。
图2为本实用新型提供的平面结构示意图。
图中：1.基座、2.连接座、3.驱动电机、4.盒体、5.蜗轮、6.齿轮、7.夹持机构。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
实施例一
参考图1-2，一种片盒旋转平台，包括基座1、连接座2、驱动电机3、以及用于放置晶圆片的盒体4，盒体4于基座1上方设置，连接座2固定设于基座1 底部，驱动电机3一端连接有输出轴，输出轴的自由端连接有蜗轮5，驱动电机 3驱动蜗轮5转动，蜗轮5底部啮合连接有蜗杆，连接座2前方设有齿轮6，蜗轮带动齿轮6转动。
基座1为框架结构。
基座1一侧边顶部设有夹持机构7。
夹持机构7包括气缸、以及与气缸连接的吸盘。
齿轮6为扇形齿轮6。
连接座2可转动的角度为0-90°。
具体的实施过程如下，首先将用于放置晶圆片的盒体4放置在基座1上，然后基座1一侧顶部设置的夹持机构7对盒体4进行夹紧，本实用新型的夹持机构 7工作原理是利用吸盘对盒体4进行吸附进而实现夹持固定，在配合机械手进行工作上料时，驱动电机3驱动蜗轮5转动的同时，蜗轮5将带动与其啮合连接的齿轮6进行转动，因为齿轮6固定于连接座2上，所以连接座2也会跟随转动，从而实现基座1整体进行转动，着重说明的是，通过PLC编程可将连接座2转动的角度设置为0-90°，从而确保晶圆片于设备工作时不会脱落并保持在一定的位置。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的是让熟悉该技术领域的技术人员能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此来限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作出的等同变换或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种片盒旋转平台，包括基座(1)、连接座(2)、驱动电机(3)、以及用于放置晶圆片的盒体(4)，其特征在于，所述盒体(4)于所述基座(1)上方设置，所述连接座(2)固定设于所述基座(1)底部，所述驱动电机(3)一端连接有输出轴，所述输出轴的自由端连接有蜗轮(5)，所述驱动电机(3)驱动蜗轮(5)转动，所述蜗轮(5)底部啮合连接有蜗杆，所述连接座(2)前方设有齿轮(6)，所述蜗轮带动齿轮(6)转动。
2.根据权利要求1所述的一种片盒旋转平台，其特征在于，所述基座(1)为框架结构。
3.根据权利要求1所述的一种片盒旋转平台，其特征在于，所述基座(1)一侧边顶部设有夹持机构(7)。
4.根据权利要求3所述的一种片盒旋转平台，其特征在于，所述夹持机构(7)包括气缸、以及与气缸连接的吸盘。
5.根据权利要求1所述的一种片盒旋转平台，其特征在于，所述齿轮(6)为扇形齿轮(6)。
6.根据权利要求1所述的一种片盒旋转平台，其特征在于，所述连接座(2)可转动的角度为0-90°。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201920385113.6U CN209561361U (zh) | 2019-03-26 | 2019-03-26 | 一种片盒旋转平台 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN201920385113.6U CN209561361U (zh) | 2019-03-26 | 2019-03-26 | 一种片盒旋转平台 |
Publications (1)
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| CN209561361U true CN209561361U (zh) | 2019-10-29 |
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ID=68311605
Family Applications (1)
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| CN201920385113.6U Expired - Fee Related CN209561361U (zh) | 2019-03-26 | 2019-03-26 | 一种片盒旋转平台 |
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| CN (1) | CN209561361U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI737508B (zh) * | 2020-09-30 | 2021-08-21 | 力晶積成電子製造股份有限公司 | 晶圓盒搬運夾具 |
| CN116666300A (zh) * | 2023-07-18 | 2023-08-29 | 江苏海纳电子科技有限公司 | 一种半导体芯片晶圆缺陷检测装置及缺陷检测方法 |
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2019
- 2019-03-26 CN CN201920385113.6U patent/CN209561361U/zh not_active Expired - Fee Related
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| CN116666300A (zh) * | 2023-07-18 | 2023-08-29 | 江苏海纳电子科技有限公司 | 一种半导体芯片晶圆缺陷检测装置及缺陷检测方法 |
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