CN208781872U - 一种太阳能电池晶片夹持装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种太阳能电池晶片夹持装置，包括旋转台、安装在旋转台下方正中间的旋转驱动机构、螺纹连接在旋转台上端面的真空吸盘；所述真空吸盘至少有三个且沿所述旋转台圆周均匀分布，所述旋转台内部设有中空腔体，所述中空腔体内设有真空室，所述真空室通过软胶管与所述真空吸盘连通，所述真空吸盘下端通过真空管与外部的真空泵相连，所述旋转驱动机构包括与所述旋转台固定连接的转动轴、与所述转动轴同轴转动连接的固定轴、套接在所述固定轴上的中空电机，所述中空电机的中空输出轴与所述转动轴固接。可以保证晶片在生产工艺流程中不会从夹持装置上脱落而遭到损坏。

Description

一种太阳能电池晶片夹持装置

技术领域

本实用新型涉及太阳能晶片的加工设备领域，特别涉及一种太阳能电池晶片夹持装置。

背景技术

在太阳能电池晶片的生产加工工艺过程中，常常会经过诸如薄膜沉积、刻蚀、抛光等多道工序流程。由于晶片极易碎裂及极易产生划痕的特性，在此生产工艺流程中，常常需要特定的夹持装置转移晶片。目前大多数晶片夹持装置是在中间设置一个大的真空吸盘吸住晶片以便对其进行转运，比如申请号为200910181811.5，名称为“一种改进型半导体晶片真空夹持吸盘”所公开的结构就是如此，这种夹持装置对晶片与吸盘的贴合度要求较高，一旦在生产过程中二者之间产生缝隙，就对晶片无法起到夹持作用，很容易就会导致晶片从夹持装置上脱落而遭到损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对上述问题，提供一种太阳能电池晶片夹持装置，可以保证晶片在生产工艺流程中不会从夹持装置上脱落而遭到损坏。

为实现上述目的，本实用新型采用的方法是：一种太阳能电池晶片夹持装置，包括旋转台、安装在旋转台下方正中间的旋转驱动机构、螺纹连接在旋转台上端面的真空吸盘；所述真空吸盘至少有三个且沿所述旋转台圆周均匀分布，所述旋转台内部设有中空腔体，所述中空腔体内设有真空室，所述真空室通过软胶管与所述真空吸盘连通，所述真空吸盘下端通过真空管与外部的真空泵相连，所述旋转驱动机构包括与所述旋转台固定连接的转动轴、与所述转动轴同轴转动连接的固定轴、套接在所述固定轴上的中空电机，所述中空电机的中空输出轴与所述转动轴固接。

作为本实用新型的一种改进，所述固定轴为中空结构，所述真空管穿过固定轴的空腔与所述真空泵相连。

作为本实用新型的一种改进，所述真空吸盘上设有限位圆环。

作为本实用新型的一种改进，所述真空吸盘有六个。

作为本实用新型的一种改进，所述软胶管上还设有气阀。

有益效果：

1、本实用新型所述的一种太阳能电池晶片夹持装置，在旋转台内部设置真空室，然后通过设置在旋转台端面上的若干真空吸盘实现对晶片的夹持，这样即使其中一个真空吸盘与晶片之间有缝隙无法夹持，其它的真空吸盘也能牢牢吸住晶片，避免其从夹持装置上脱落遭到损坏；

2、旋转驱动机构的作用主要是在生产过程中使晶片转动以满足晶片各部位的工艺作业要求。

附图说明

图1是本实用新型的正面剖视图；

图2是本实用新型的俯视图。

图中各构件为：

1-旋转台，2-真空吸盘，3-中空腔体，4-真空室，5-软胶管，6-真空管，7-真空泵，8-转动轴，9-固定轴，10-中空电机，11-中空输出轴，12-限位圆环,13-气阀，14-晶片。

具体实施方式

下面结合实施例并参照附图对本实用新型作进一步描述，应理解下述具体实施方式仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是幅图中的方向，词语“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。

结合图1所示，本实用新型提供一种太阳能电池晶片夹持装置，包括旋转台1、安装在旋转台1下方正中间的旋转驱动机构、螺纹连接在旋转台1上端面的真空吸盘2；所述真空吸盘2至少有三个且沿所述旋转台1圆周均匀分布，所述旋转台1内部设有中空腔体3，所述中空腔体3内设有真空室4，所述真空室4通过软胶管5与所述真空吸盘2连通，所述真空吸盘2下端通过真空管6与外部的真空泵7相连，所述旋转驱动机构包括与所述旋转台1固定连接的转动轴8、与所述转动轴8同轴转动连接的固定轴9、套接在所述固定轴9上的中空电机10，所述中空电机10的中空输出轴11与所述转动轴8固接。

作为本实用新型的一个实施例，所述固定轴9为中空结构，所述真空管6穿过固定轴9的空腔与所述真空泵7相连。

作为本实用新型的一个实施例，所述真空吸盘2上设有限位圆环12。

作为本实用新型的一个实施例，所述真空吸盘2有六个。

作为本实用新型的一个实施例，所述软胶管5上还设有气阀13。

本实用新型的结构原理：在夹持晶片时，将晶片平行放置在若干真空吸盘上，使晶片底面与所有真空吸盘紧贴，启动外部的真空泵将旋转台中空内腔的真空室抽成真空，这样就能夹持住晶片了。旋转台下方的中空电机的中空输出轴带动转动轴转动，而转动轴与旋转台固接，这样整个旋转台也就随之转动。

本实用新型提供的一种太阳能电池晶片夹持装置，在旋转台内部设置真空室，然后通过设置在旋转台端面上的若干真空吸盘实现对晶片的夹持，这样即使其中一个真空吸盘与晶片之间有缝隙无法夹持，其它的真空吸盘也能牢牢吸住晶片，避免其从夹持装置上脱落遭到损坏。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作任何其他形式的限制，而依据本实用新型的技术实质所作的任何修改或等同变化，仍属于本实用新型所要求保护的范围。

Claims (5)

1.一种太阳能电池晶片夹持装置，其特征在于：包括旋转台（1）、安装在旋转台（1）下方正中间的旋转驱动机构、螺纹连接在旋转台（1）上端面的真空吸盘（2）；所述真空吸盘（2）至少有三个且沿所述旋转台（1）圆周均匀分布，所述旋转台（1）内部设有中空腔体（3），所述中空腔体（3）内设有真空室（4），所述真空室（4）通过软胶管（5）与所述真空吸盘（2）连通，所述真空吸盘（2）下端通过真空管（6）与外部的真空泵（7）相连，所述旋转驱动机构包括与所述旋转台（1）固定连接的转动轴（8）、与所述转动轴（8）同轴转动连接的固定轴（9）、套接在所述固定轴（9）上的中空电机（10），所述中空电机（10）的中空输出轴（11）与所述转动轴（8）固接。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池晶片夹持装置，其特征在于：所述固定轴（9）为中空结构，所述真空管（6）穿过固定轴（9）的空腔与所述真空泵（7）相连。

3.根据权利要求1所述的一种太阳能电池晶片夹持装置，其特征在于：所述真空吸盘（2）上设有限位圆环（12）。

4.根据权利要求3所述的一种太阳能电池晶片夹持装置，其特征在于：所述真空吸盘（2）有六个。

5.根据权利要求1所述的一种太阳能电池晶片夹持装置，其特征在于：所述软胶管（5）上还设有气阀（13）。