CN214458203U - 一种节能环保的冶金用便于操作的退火炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种节能环保的冶金用便于操作的退火炉，包括罐体，所述罐体的内部固定安装有箱体，所述箱体的顶端表面设有多个通气孔。所述箱体的内部靠近顶端的位置固定安装有两个加热管，所述箱体的内部靠近底端的位置固定安装有多个滚轴，所述箱体内部的两侧表面设有多个箱体凹槽，所述滚轴的两端均卡入箱体凹槽的内部。本实用新型通过滚轴支撑工件的方式，使工件再放入退火炉内部时，可通过滚轴在装置内部中滑动，使工件可以将底部被难以退火的部分漏出，进而使工件退火完全。通过在装置底部安装出水管，使内部凝结的水可以被收集排出装置，防止积水对装置内壁造成腐蚀，提高了装置的使用寿命。

Description

一种节能环保的冶金用便于操作的退火炉

技术领域

本实用新型涉及退火炉生产制造技术领域，具体为一种节能环保的冶金用便于操作的退火炉。

背景技术

随着社会经济的快速发展，退火炉的使用已经成为工厂里较为常用的一种装置之一，退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％。

但是，现有的退火炉难以对内部产生的积水去除，导致内部温度将水蒸发进而导致对退火炉内壁造成损坏，且待处理物件在退火炉内部加工过程中，难以对工件的底部进行加工；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种节能环保的冶金用便于操作的退火炉。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种节能环保的冶金用便于操作的退火炉，以解决上述背景技术中提出的退火炉难以对内部产生的积水去除，导致内部温度将水蒸发进而导致对退火炉内壁造成损坏，且待处理物件在退火炉内部加工过程中，难以对工件的底部进行加工等问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种节能环保的冶金用便于操作的退火炉，包括罐体，所述罐体的内部固定安装有箱体，所述箱体的顶端表面设有多个通气孔。所述箱体的内部靠近顶端的位置固定安装有两个加热管，所述箱体的内部靠近底端的位置固定安装有多个滚轴，所述箱体内部的两侧表面设有多个箱体凹槽，所述滚轴的两端均卡入箱体凹槽的内部，所述箱体凹槽的内部设有滚珠凹槽，所述滚珠凹槽的内部固定安装有滚珠，所述滚轴的两端表面均设有滚轴凹槽，所述滚珠卡入滚轴凹槽的内部。

优选的，所述罐体的一侧固定安装有电机外壳，所述电机外壳的内部固定安装有电机，所述电机的内部设有外转子，所述外转子的内部设有内转子。没有括号和数字

优选的，所述罐体的内部固定安装有四个固定杆，所述固定杆均与箱体固定连接，所述罐体的顶端表面固定安装有出气管，所述罐体的底端表面固定安装有出水管。

优选的，所述罐体的另一侧表面设有箱门A，所述箱门A的外表面固定安装有把手。

优选的，述罐体的底端固定安装有两个支撑圆弧板，所述支撑圆弧板的底端均固定安装有支撑柱。

优选的，所述内转子的一端设有转轴，所述转轴贯穿电机外壳延伸至罐体的内部，所述转轴位于罐体内部的一端固定安装有三个气冷风扇。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过滚轴支撑工件的方式，使工件再放入退火炉内部时，可通过滚轴在装置内部中滑动，使工件可以将底部被难以退火的部分漏出，进而使工件退火完全。通过在装置底部安装出水管，使内部凝结的水可以被收集排出装置，防止积水对装置内壁造成腐蚀，提高了装置的使用寿命；

2、本实用新型通过滚珠的转动带动滚轴转动，进而使滚轴上方的工件移动，防止工件在滚轴上维持与平衡点，导致退火不完全。通过电机外壳保护电机的方式，防止电机在使用过程中产生磨损。

附图说明

图1为本实用新型整体的结构示意图；

图2为本实用新型整体的剖面侧视图；

图3为本实用新型整体的剖面正视图；

图4为本实用新型滚轴的局部结构示意图。

图中：1、罐体；2、箱门A；3、把手；4、电机外壳；5、出气管；6、支撑柱；7、支撑圆弧板；8、出水管；9、固定杆；10、箱体；11、箱门B；12、箱门卡扣；13、通气孔；14、电机；15、外转子；16、内转子；17、转轴；18、气冷风扇；19、加热管；20、滚轴；21、箱体凹槽；22、滚珠；23、滚轴凹槽；24、滚珠凹槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

请参阅图1至图4，本实用新型提供的一种实施例：一种节能环保的冶金用便于操作的退火炉，包括罐体1，罐体1的内部固定安装有箱体10，箱体10的顶端表面设有多个通气孔13。箱体10的内部靠近顶端的位置固定安装有两个加热管19，箱体10的内部靠近底端的位置固定安装有多个滚轴20，箱体10内部的两侧表面设有多个箱体凹槽21，滚轴20的两端均卡入箱体凹槽21的内部，箱体凹槽21的内部设有滚珠凹槽24，滚珠凹槽24的内部固定安装有滚珠22，滚轴20的两端表面均设有滚轴凹槽23，滚珠22卡入滚轴凹槽23的内部。

进一步，罐体1的一侧固定安装有电机外壳4，电机外壳4的内部固定安装有电机14，电机14的内部设有外转子15，外转子15的内部设有内转子16，通过电机外壳4保护电机14的方式，防止电机14在使用过程中产生磨损。

进一步，罐体1的内部固定安装有四个固定杆9，固定杆9均与箱体10固定连接，罐体1的顶端表面固定安装有出气管5，罐体1的底端表面固定安装有出水管8，通过在装置底部安装出水管8，使内部凝结的水可以被收集排出装置，防止积水对装置内壁造成腐蚀，提高了装置的使用寿命。

进一步，罐体1的另一侧表面设有箱门A2，箱门A2的外表面固定安装有把手3。

进一步，罐体1的底端固定安装有两个支撑圆弧板7，支撑圆弧板7的底端均固定安装有支撑柱6。

进一步，内转子16的一端设有转轴17，转轴17贯穿电机外壳4延伸至罐体1的内部，转轴17位于罐体1内部的一端固定安装有三个气冷风扇18，通过气冷风扇18对内部气体进行冷却，防止内部高温气体对装置造成损伤。

工作原理：使用时，将装置放置指定位置，检查各部件是否正常工作，通过把手3将箱门A2从罐体1的表面打开，通过箱门卡扣12打开箱体10，将待加工工件放入箱体10内部滚轴20的顶端位置，工件通过滚珠22控制滚轴20转动来在装置内部来回移动，将工件的底部露出，进而对工件进行完全退火处理，通过加热管19对箱体10的内部加热恒温，通过通气孔13将气体排入罐体1的内部，通过出气管5将气体排出，通过出水管8排出残余液体，通过气冷风扇18对内部气体进行冷却。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种节能环保的冶金用便于操作的退火炉，包括罐体(1)，其特征在于：所述罐体(1)的内部固定安装有箱体(10)，所述箱体(10)的顶端表面设有多个通气孔(13)，所述箱体(10)的内部靠近顶端的位置固定安装有两个加热管(19)，所述箱体(10)的内部靠近底端的位置固定安装有多个滚轴(20)，所述箱体(10)内部的两侧表面设有多个箱体凹槽(21)，所述滚轴(20)的两端均卡入箱体凹槽(21)的内部，所述箱体凹槽(21)的内部设有滚珠凹槽(24)，所述滚珠凹槽(24)的内部固定安装有滚珠(22)，所述滚轴(20)的两端表面均设有滚轴凹槽(23)，所述滚珠(22)卡入滚轴凹槽(23)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种节能环保的冶金用便于操作的退火炉，其特征在于：所述罐体(1)的一侧固定安装有电机外壳(4)，所述电机外壳(4)的内部固定安装有电机(14)，所述电机(14)的内部设有外转子(15)，所述外转子(15)的内部设有内转子(16)。

3.根据权利要求1所述的一种节能环保的冶金用便于操作的退火炉，其特征在于：所述罐体(1)的内部固定安装有四个固定杆(9)，所述固定杆(9)均与箱体(10)固定连接，所述罐体(1)的顶端表面固定安装有出气管(5)，所述罐体(1)的底端表面固定安装有出水管(8)。

4.根据权利要求1所述的一种节能环保的冶金用便于操作的退火炉，其特征在于：所述罐体(1)的另一侧表面设有箱门A(2)，所述箱门A(2)的外表面固定安装有把手(3)。

5.根据权利要求1所述的一种节能环保的冶金用便于操作的退火炉，其特征在于：所述罐体(1)的底端固定安装有两个支撑圆弧板(7)，所述支撑圆弧板(7)的底端均固定安装有支撑柱(6)。

6.根据权利要求2所述的一种节能环保的冶金用便于操作的退火炉，其特征在于：所述内转子(16)的一端设有转轴(17)，所述转轴(17)贯穿电机外壳(4)延伸至罐体(1)的内部，所述转轴(17)位于罐体(1)内部的一端固定安装有三个气冷风扇(18)。

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