CN207727195U - 一种不锈钢退火保护内罩 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种不锈钢退火保护内罩，包括加热元件，所述加热元件安装在退火内罩的内部最上端，所述加热元件上左右两侧设置有向下伸出的加热丝，所述加热元件最左端穿过退火内罩并设置在退火内罩左端外部，通过在该不锈钢退火保护内罩外部的外壳右侧内部增加了一个辅助退火装置，且该辅助退火装置固定安装在炉门的内壁上，这样能够加快不锈钢退火保护内罩对物料的退火速度，和传统的气冷装置形成双重退火作用，从而增加退火效率，并且该辅助退火装置的动能主要是通过气冷装置的风力进行传动，这样就不需要连接外部的电源，从而使得该辅助退火装置不浪费多余能源，从而达到减小其使用成本却能够加快退火效率的目的，同时具有节能减排的效果。

Description

一种不锈钢退火保护内罩

技术领域

本实用新型属于退火炉相关技术领域，具体涉及一种不锈钢退火保护内罩。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

现有的退火保护内罩技术存在以下问题：现有的退火保护内罩退火比较单一，这样会影响退火炉内部的退火速度，不能够节约能源。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种不锈钢退火保护内罩，以解决上述背景技术中提出的退火炉的退火功能单一且退火效率过低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种不锈钢退火保护内罩，包括加热元件，所述加热元件安装在退火内罩的内部最上端，所述加热元件上左右两侧设置有向下伸出的加热丝，所述加热元件最左端穿过退火内罩并设置在退火内罩左端外部，所述加热元件下侧设置有料台，所述料台设置在退火内罩的内部最下侧，所述退火内罩的内壁上覆盖有保温层，所述退火内罩外部设置有外壳，所述加热元件最左端连接有向上伸出的水冷电极，所述水冷电极最上端穿过外壳最上端外壁并设置在外壳上端外部，所述外壳最左端外壁内部固定连接有安装块，所述安装块左端设置有气冷装置，所述外壳最右侧外壁上设置有炉门，所述炉门左端内壁上设置有辅助退火装置，所述辅助退火装置设置在外壳的右侧内部，所述外壳最下端两侧外壁上设置有向下伸出的支架，所述支架底部设置有横向放置的安放底座，所述水冷电极、加热元件、加热丝和气冷装置通过外部电源电性连接。

优选的，所述气冷装置上最左端外部设置有保护壳，所述保护壳固定安装在安装块的左端外壁上，所述保护壳内部设置有电机，所述电机右端设置有电机轴，所述安装块内部设置有轴承，所述电机轴穿过轴承并设置在外壳的内部，所述电机轴最左端外壁上设置有气冷风扇，所述气冷风扇设置在外壳的内部，所述电机通过外部电源电性连接。

优选的，所述辅助退火装置上最右端设置有横向的固定杆，所述固定杆固定连接在炉门的内壁上，所述固定杆最左端设置有固定套，所述固定套上下两侧设置有风叶。

优选的，所述风叶共设置有两片，且两片风叶分别安装在固定套的上下两端，所述风叶通过固定套实现圆周旋转运动。

优选的，所述支架共设置有两个，且两个支架分别安装在外壳底部两侧，所述两个支架底部通过焊接方式固定安装有安放底座。

优选的，所述气冷装置通过固定螺母固定安装在安装块上，所述安装块通过固定螺母固定安装在外壳的最左端。

与现有的技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过在该不锈钢退火保护内罩外部的外壳右侧内部增加了一个辅助退火装置，且该辅助退火装置固定安装在炉门的内壁上，这样能够加快该不锈钢退火保护内罩对物料的退火速度，和传统的气冷装置形成双重退火作用，从而增加退火效率，并且该辅助退火装置的动能主要是通过气冷装置的风力进行传动，这样就不需要连接外部的电源，从而使得该辅助退火装置不浪费多余能源，从而达到减小其使用成本却能够加快退火效率的目的，该辅助退火装置主要是由风叶、固定套和固定杆组成，其中固定杆横向且最右端固定安装在炉门的内壁上，而在固定杆的最左端设置有固定套，而固定套上下两侧设置有风叶，且风叶通过固定套实现圆周旋转运动，这样当电机带动气冷装置上的气冷风扇旋转进而对内罩内部的物料进行退火时，气冷风叶产生的风力会带动辅助退火装置上的风叶旋转，这样气冷装置产生风力而辅助退火装置会通过气冷装置产生的风力也会另外产生风力和引风力，从而使得外壳内部右侧的风叶产生风力进而加快外壳内部的冷气流通，从而加快退火效率，并且该辅助退火装置上的风叶设置有两片，这样当炉门打开时会带动辅助退火装置从外壳内部退出，只有两片叶的风叶就能够极大的方便从外壳内部取出来，使其安装和拆卸变得更加的便捷简单，从而节约其使用成本，使得退火速度能够极大的增加。

附图说明

图1为本实用新型的不锈钢退火保护内罩结构示意图；

图2为本实用新型的气冷装置结构示意图；

图3为本实用新型的辅助退火装置结构示意图；

图中：1、水冷电极；2、退火内罩；3、保温层；4、加热元件；5、加热丝；6、辅助退火装置；7、炉门；8、料台；9、安放底座；10、支架；11、气冷装置；12、安装块；13、外壳；111、保护壳；112、电机；113、轴承；114、气冷风扇；115、电机轴；61、风叶；62、固定套；63、固定杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种不锈钢退火保护内罩，包括加热元件4，加热元件4安装在退火内罩2的内部最上端，加热元件4上左右两侧设置有向下伸出的加热丝5，加热元件4最左端穿过退火内罩2并设置在退火内罩2左端外部，加热元件4下侧设置有料台8，料台8设置在退火内罩2的内部最下侧，退火内罩2的内壁上覆盖有保温层3，退火内罩2外部设置有外壳13，加热元件4最左端连接有向上伸出的水冷电极1，水冷电极1最上端穿过外壳13最上端外壁并设置在外壳13上端外部，外壳13最左端外壁内部固定连接有安装块12，安装块12左端设置有气冷装置11，外壳13最右侧外壁上设置有炉门7，炉门7左端内壁上设置有辅助退火装置6，辅助退火装置6设置在外壳13的右侧内部，外壳13最下端两侧外壁上设置有向下伸出的支架10，支架10底部设置有横向放置的安放底座9，水冷电极1、加热元件4、加热丝5和气冷装置11通过外部电源电性连接。

为了气冷效果更加直接，本实用新型中，优选的，气冷装置11上最左端外部设置有保护壳111，保护壳111固定安装在安装块12的左端外壁上，保护壳111内部设置有电机112，电机112右端设置有电机轴115，安装块12内部设置有轴承113，电机轴115穿过轴承113并设置在外壳13的内部，电机轴115最左端外壁上设置有气冷风扇114，气冷风扇114设置在外壳13的内部，电机112通过外部电源电性连接。

为了加快退火效率，本实用新型中，优选的，辅助退火装置6上最右端设置有横向的固定杆63，固定杆63固定连接在炉门7的内壁上，固定杆63最左端设置有固定套62，固定套62上下两侧设置有风叶61。

为了方便风叶61从外壳13内部取出，本实用新型中，优选的，风叶61共设置有两片，且两片风叶61分别安装在固定套62的上下两端，风叶61通过固定套62实现圆周旋转运动。

为了支撑效果更好，本实用新型中，优选的，支架10共设置有两个，且两个支架10分别安装在外壳13底部两侧，两个支架10底部通过焊接方式固定安装有安放底座9。

为了方便电机112的安装和更换，本实用新型中，优选的，气冷装置11通过固定螺母固定安装在安装块12上，安装块12通过固定螺母固定安装在外壳13的最左端。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型安装好过后，首先通过固定螺母把安装块12安装到外壳13的左侧外壁内部，然后把电机固定到保护壳111的内部，并且把保护壳111以及固定在其内部的电机112固定安装到安装块12的左端，并且把电机112电机轴115穿过安装块12内部的轴承113，且在电机轴115的最右端外壁上把气冷风扇114安装好，然后在退火内罩2的内部把加热元件4和加热丝5安装好，然后在加热元件4的最左端把水冷电极1固定安装好，然后在炉门7内壁上把辅助退火装置6固定安装好，最后通过安放底座9安放到地面上进行使用，当进行退火时，气冷装置11会带动辅助退火装置6工作，这样能够加快该不锈钢退火保护内罩对物料的退火速度，和传统的气冷装置11形成双重退火作用，从而增加退火效率，并且该辅助退火装置6的动能主要是通过气冷装置11的风力进行传动，这样就不需要连接外部的电源，从而使得该辅助退火装置6不浪费多余能源，从而达到减小其使用成本却能够加快退火效率的目的，该辅助退火装置6主要是由风叶61、固定套62和固定杆63组成，其中固定杆63横向且最右端固定安装在炉门7的内壁上，而在固定杆63的最左端设置有固定套62，而固定套62上下两侧设置有风叶61，且风叶61通过固定套62实现圆周旋转运动，这样当电机112带动气冷装置11上的气冷风扇114旋转进而对内罩内部的物料进行退火时，气冷风叶61产生的风力会带动辅助退火装置6上的风叶61旋转，这样气冷装置11产生风力而辅助退火装置6会通过气冷装置11产生的风力也会另外产生风力和引风力，从而使得外壳13内部右侧的风叶61产生风力进而加快外壳13内部的冷气流通，从而加快退火效率，并且该辅助退火装置6上的风叶61设置有两片，这样当炉门7打开时会带动辅助退火装置6从外壳13内部退出，只有两片叶的风叶61就能够极大的方便从外壳13内部取出来，使其安装和拆卸变得更加的便捷简单，从而节约其使用成本，使得退火速度能够极大的增加。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种不锈钢退火保护内罩，包括加热元件(4)，其特征在于：所述加热元件(4)安装在退火内罩(2)的内部最上端，所述加热元件(4)上左右两侧设置有向下伸出的加热丝(5)，所述加热元件(4)最左端穿过退火内罩(2)并设置在退火内罩(2)左端外部，所述加热元件(4)下侧设置有料台(8)，所述料台(8)设置在退火内罩(2)的内部最下侧，所述退火内罩(2)的内壁上覆盖有保温层(3)，所述退火内罩(2)外部设置有外壳(13)，所述加热元件(4)最左端连接有向上伸出的水冷电极(1)，所述水冷电极(1)最上端穿过外壳(13)最上端外壁并设置在外壳(13)上端外部，所述外壳(13)最左端外壁内部固定连接有安装块(12)，所述安装块(12)左端设置有气冷装置(11)，所述外壳(13)最右侧外壁上设置有炉门(7)，所述炉门(7)左端内壁上设置有辅助退火装置(6)，所述辅助退火装置(6)设置在外壳(13)的右侧内部，所述外壳(13)最下端两侧外壁上设置有向下伸出的支架(10)，所述支架(10)底部设置有横向放置的安放底座(9)，所述水冷电极(1)、加热元件(4)、加热丝(5)和气冷装置(11)通过外部电源电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种不锈钢退火保护内罩，其特征在于：所述气冷装置(11)上最左端外部设置有保护壳(111)，所述保护壳(111)固定安装在安装块(12)的左端外壁上，所述保护壳(111)内部设置有电机(112)，所述电机(112)右端设置有电机轴(115)，所述安装块(12)内部设置有轴承(113)，所述电机轴(115)穿过轴承(113)并设置在外壳(13)的内部，所述电机轴(115)最左端外壁上设置有气冷风扇(114)，所述气冷风扇(114)设置在外壳(13)的内部，所述电机(112)通过外部电源电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种不锈钢退火保护内罩，其特征在于：所述辅助退火装置(6)上最右端设置有横向的固定杆(63)，所述固定杆(63) 固定连接在炉门(7)的内壁上，所述固定杆(63)最左端设置有固定套(62)，所述固定套(62)上下两侧设置有风叶(61)。

4.根据权利要求3所述的一种不锈钢退火保护内罩，其特征在于：所述风叶(61)共设置有两片，且两片风叶(61)分别安装在固定套(62)的上下两端，所述风叶(61)通过固定套(62)实现圆周旋转运动。

5.根据权利要求1所述的一种不锈钢退火保护内罩，其特征在于：所述支架(10)共设置有两个，且两个支架(10)分别安装在外壳(13)底部两侧，所述两个支架(10)底部通过焊接方式固定安装有安放底座(9)。

6.根据权利要求1所述的一种不锈钢退火保护内罩，其特征在于：所述气冷装置(11)通过固定螺母固定安装在安装块(12)上，所述安装块(12)通过固定螺母固定安装在外壳(13)的最左端。