CN209555318U - 一种铝箔连续化退火炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种铝箔连续化退火炉，包括L型支撑台和旋转风机，所述L型支撑台前侧下端左右两侧位置处设置有支撑脚，所述L型支撑台下端中间位置处和下端后侧位置处设置有支撑架，所述L型支撑台前侧内部上端右侧位置处设置有旋转电机，所述L型支撑台左右两侧中上方内壁位置处设置有固定支撑板，因为安装有旋转密封盖和固定密封箱装置，所以当固定密封箱装置内部的加热管损坏的时候，工作人员通过移动密封固定盖，带动旋转轴在固定箱前后两侧的轴承内部旋转，使得密封固定盖与固定箱旋转分开，也使得密封垫与固定箱分开，方便了加热管从固定孔内部中取出来，这样不仅增加了维修效率，而且还避免了工作人员受伤。

Description

一种铝箔连续化退火炉

技术领域

本实用新型属于退火炉相关技术领域，具体涉及一种铝箔连续化退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％。

现有的退火炉技术存在以下问题：现有的铝箔连续化退火炉在使用的时候，因为固定加热箱是一个整体，且是密封的装置，所以在更换内部损坏的加热装置时，工作人员就会发现更换不方便，也会容易造成工作人员受伤，这样不仅降低了维修效率，而且还容易造成工作人员受伤。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种铝箔连续化退火炉，以解决上述背景技术中提出的降低了维修效率和容易造成工作人员受伤问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种铝箔连续化退火炉，包括L型支撑台和旋转风机，所述L型支撑台前侧下端左右两侧位置处设置有支撑脚，所述L型支撑台下端中间位置处和下端后侧位置处设置有支撑架，所述L型支撑台前侧内部上端右侧位置处设置有旋转电机，所述L型支撑台左右两侧中上方内壁位置处设置有固定支撑板，两个所述固定支撑板前后两侧内部位置处设置有旋转钢辊，两个所述旋转钢辊外壁位置处套接有钢网传送带，所述钢网传送带位于固定支撑板内部位置处，所述L型支撑台和固定支撑板上端位置处设置有固定密封箱装置，所述固定密封箱装置位于钢网传送带上方位置处，所述固定密封箱装置前端位置处设置有散热罩，所述散热罩中间位置处设置有散热管，所述固定密封箱装置上方中间内部位置处套接有旋转密封盖，所述旋转密封盖上端前后两侧位置处设置有旋转风机，后方所述旋转风机后侧位置处设置有固定板，所述固定板位于旋转密封盖上端后侧中间位置处。

优选的，所述旋转密封盖包括密封固定盖、旋转轴、密封垫和固定通孔，所述密封固定盖下端位置处设置有密封垫，所述密封固定盖和密封垫中间前后两侧内部位置处设置有固定通孔，所述固定通孔左侧内部位置处套接有旋转轴，所述旋转密封盖通过旋转轴与固定密封箱装置旋转固定连接。

优选的，所述固定密封箱装置包括固定孔、轴承和固定箱，所述固定箱上方左右两侧内部位置处设置有轴承，所述固定箱中下方左右内部位置处设置有固定孔，所述固定密封箱装置通过轴承与旋转密封盖固定连接。

优选的，所述固定孔设置为十六个，十六个所述固定孔位于固定箱左右两侧内部，所述轴承设置为两个，两个轴承的内外直径分别设置为五厘米和三厘米。

优选的，所述旋转风机设置为两个，两个所述旋转风机通过固定螺母与旋转密封盖固定连接。

优选的，所述旋转钢辊设置为两个，前方所述旋转钢辊右侧外壁位置处套接有从传动轮。

优选的，所述旋转电机通过固定螺母与L型支撑台固定连接，所述旋转电机右侧外壁位置处套接有主传动轮，所述旋转电机通过主传动轮与旋转钢辊传动连接。

优选的，所述散热罩由三零四号不锈钢材料构成，所述散热罩通过固定螺母与固定密封箱装置固定连接。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种铝箔连续化退火炉，具备以下有益效果：本实用新型安装有旋转密封盖和固定密封箱装置，所以当固定密封箱装置内部的加热管损坏的时候，工作人员通过移动密封固定盖，带动旋转轴在固定箱前后两侧的轴承内部旋转，使得密封固定盖与固定箱旋转分开，也使得密封垫与固定箱分开，从而方便了加热管从固定箱内的固定孔内部中取出来，这样不仅增加了维修效率，而且还避免了工作人员受伤。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制，在附图中：

图1为本实用新型提出的一种铝箔连续化退火炉结构示意图；

图2为本实用新型提出的局部设备放大结构示意图；

图3为本实用新型提出的旋转密封盖结构示意图；

图4为本实用新型提出的固定密封箱装置结构示意图；

图中：1、固定板；2、旋转密封盖；21、密封固定盖；22、旋转轴；23、密封垫；24、固定通孔；3、固定密封箱装置；31、固定孔；32、轴承；33、固定箱；4、支撑架；5、L型支撑台；6、支撑脚；7、旋转电机；8、钢网传送带；9、固定支撑板；10、散热罩；11、散热管；12、旋转风机；13、旋转钢辊。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种铝箔连续化退火炉，包括L型支撑台5和旋转风机12，L型支撑台5前侧下端左右两侧位置处设置有支撑脚6，为了更好地进行支撑工作，L型支撑台5下端中间位置处和下端后侧位置处设置有支撑架4，L型支撑台5前侧内部上端右侧位置处设置有旋转电机7，为了更好地进行旋转工作，L型支撑台5左右两侧中上方内壁位置处设置有固定支撑板9，两个固定支撑板9前后两侧内部位置处设置有旋转钢辊13，两个旋转钢辊13外壁位置处套接有钢网传送带8，为了更好地输出铝箔，使得铝箔更好地进行工作，钢网传送带8位于固定支撑板9内部位置处，L型支撑台5和固定支撑板9上端位置处设置有固定密封箱装置3，固定密封箱装置3位于钢网传送带8上方位置处，固定密封箱装置3前端位置处设置有散热罩10，为了更好地进行散热工作，散热罩10中间位置处设置有散热管11，固定密封箱装置3上方中间内部位置处套接有旋转密封盖2，旋转密封盖2上端前后两侧位置处设置有旋转风机12，后方旋转风机12后侧位置处设置有固定板1，固定板1位于旋转密封盖2上端后侧中间位置处，通过轴承32和旋转轴22旋转连接，使得旋转密封盖2与固定密封箱装置3旋转固定连接，方便了加热管可以更好地进行拆装工作。

进一步，旋转密封盖2包括密封固定盖21、旋转轴22、密封垫23和固定通孔24，密封固定盖21下端位置处设置有密封垫23，为了更好地进行密封作用，密封固定盖21和密封垫23中间前后两侧内部位置处设置有固定通孔24，固定通孔24左侧内部位置处套接有旋转轴22，旋转密封盖2通过旋转轴22与固定密封箱装置3旋转固定连接，通过轴承32和旋转轴22旋转连接，使得旋转密封盖2与固定密封箱装置3旋转固定连接。

进一步，固定密封箱装置3包括固定孔31、轴承32和固定箱33，固定箱33上方左右两侧内部位置处设置有轴承32，固定箱33中下方左右内部位置处设置有固定孔31，固定密封箱装置3通过轴承32与旋转密封盖2固定连接，通过轴承32和旋转轴22旋转连接，使得旋转密封盖2与固定密封箱装置3旋转固定连接。

进一步，固定孔31设置为十六个，十六个固定孔31位于固定箱33左右两侧内部，轴承32设置为两个，两个轴承32的内外直径分别设置为五厘米和三厘米，通过十六个固定孔31与加热管电信固定连接，使得加热管可以更好地进行拆装。

进一步，旋转风机12设置为两个，两个旋转风机12通过固定螺母与旋转密封盖2固定连接，为了更好地进行旋转和热吹风工作。

进一步，旋转钢辊13设置为两个，前方旋转钢辊13右侧外壁位置处套接有从传动轮，通过旋转钢辊13的旋转，使得钢网传送带8更好地旋转。

进一步，旋转电机7通过固定螺母与L型支撑台5固定连接，旋转电机7右侧外壁位置处套接有主传动轮，旋转电机7通过主传动轮和传动带与旋转钢辊13传动连接，通过旋转电机7的旋转，使得旋转钢辊13更好地旋转。

进一步，散热罩10由三零四号不锈钢材料构成，散热罩10通过固定螺母与固定密封箱装置3固定连接，为了更好地进行散热工作。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型安装好过后，工作人员先将型号为JX06A-2的旋转风机12和型号为Y2的旋转电机7与外部电源进行电信连接，这时候旋转风机12就会工作，同时旋转电机7就会进行旋转工作，这时通过传动轮组，使得旋转钢辊13旋转，从而带动钢网传送带8旋转连接，这时候再将固定箱33内部的加热管与外部电源进行连接，加热管进行进行解热工作，而密封垫23进行进行密封保温工作，此时工作人员将铝箔通过钢网传送带8输入到固定密封箱装置3内部进行工作，在长时间使用设备的时候，固定密封箱装置3内部的加热管就会损坏，这时工作人员通过移动旋转密封盖2中的密封固定盖21，就会带动旋转轴22在固定箱33前后两侧的轴承32内部旋转，使得密封固定盖21与固定箱33旋转分开，也使得密封垫23与固定箱33分开，从而方便了加热管从固定箱33内的固定孔31内部中取出来，当更换完加热管之后，进行可以继续进行工作了。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种铝箔连续化退火炉，包括L型支撑台(5)和旋转风机(12)，其特征在于：所述L型支撑台(5)前侧下端左右两侧位置处设置有支撑脚(6)，所述L型支撑台(5)下端中间位置处和下端后侧位置处设置有支撑架(4)，所述L型支撑台(5)前侧内部上端右侧位置处设置有旋转电机(7)，所述L型支撑台(5)左右两侧中上方内壁位置处设置有固定支撑板(9)，两个所述固定支撑板(9)前后两侧内部位置处设置有旋转钢辊(13)，两个所述旋转钢辊(13)外壁位置处套接有钢网传送带(8)，所述钢网传送带(8)位于固定支撑板(9)内部位置处，所述L型支撑台(5)和固定支撑板(9)上端位置处设置有固定密封箱装置(3)，所述固定密封箱装置(3)位于钢网传送带(8)上方位置处，所述固定密封箱装置(3)前端位置处设置有散热罩(10)，所述散热罩(10)中间位置处设置有散热管(11)，所述固定密封箱装置(3)上方中间内部位置处套接有旋转密封盖(2)，所述旋转密封盖(2)上端前后两侧位置处设置有旋转风机(12)，后方所述旋转风机(12)后侧位置处设置有固定板(1)，所述固定板(1)位于旋转密封盖(2)上端后侧中间位置处。

2.根据权利要求1所述的一种铝箔连续化退火炉，其特征在于：所述旋转密封盖(2)包括密封固定盖(21)、旋转轴(22)、密封垫(23)和固定通孔(24)，所述密封固定盖(21)下端位置处设置有密封垫(23)，所述密封固定盖(21)和密封垫(23)中间前后两侧内部位置处设置有固定通孔(24)，所述固定通孔(24)左侧内部位置处套接有旋转轴(22)，所述旋转密封盖(2)通过旋转轴(22)与固定密封箱装置(3)旋转固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种铝箔连续化退火炉，其特征在于：所述固定密封箱装置(3)包括固定孔(31)、轴承(32)和固定箱(33)，所述固定箱(33)上方左右两侧内部位置处设置有轴承(32)，所述固定箱(33)中下方左右内部位置处设置有固定孔(31)，所述固定密封箱装置(3)通过轴承(32)与旋转密封盖(2)固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种铝箔连续化退火炉，其特征在于：所述固定孔(31)设置为十六个，十六个所述固定孔(31)位于固定箱(33)左右两侧内部，所述轴承(32)设置为两个，两个轴承(32)的内外直径分别设置为五厘米和三厘米。

5.根据权利要求1所述的一种铝箔连续化退火炉，其特征在于：所述旋转风机(12)设置为两个，两个所述旋转风机(12)通过固定螺母与旋转密封盖(2)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种铝箔连续化退火炉，其特征在于：所述旋转钢辊(13)设置为两个，前方所述旋转钢辊(13)右侧外壁位置处套接有从传动轮。

7.根据权利要求1所述的一种铝箔连续化退火炉，其特征在于：所述旋转电机(7)通过固定螺母与L型支撑台(5)固定连接，所述旋转电机(7)右侧外壁位置处套接有主传动轮，所述旋转电机(7)通过主传动轮与旋转钢辊(13)传动连接。

8.根据权利要求1所述的一种铝箔连续化退火炉，其特征在于：所述散热罩(10)由三零四号不锈钢材料构成，所述散热罩(10)通过固定螺母与固定密封箱装置(3)固定连接。