CN214429787U - 一种等离子蚀刻设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及电路板加工设备技术领域，尤其涉及一种等离子蚀刻设备，包括：基座；蚀刻腔，设置在基座上，用于容置电路板，并且蚀刻腔的一端敞开；门板，设置在蚀刻腔上敞开的一端，门板的一侧或两侧设置有限位杆；支架，设置在基座上，设置有与限位杆相配合的限位孔；本实用新型的门板能够沿腰孔的轴线方向移动，而腰孔的下端朝向靠近蚀刻腔的方向倾斜延伸，进而保证门板在移动过程中的准确性和稳定性，即门板可以在下降过程中朝向靠近蚀刻腔的方向移动进而压紧以封闭甚至密封蚀刻腔，避免发生泄漏的问题而影响蚀刻的质量和车间的生产环境。
Description
技术领域
本实用新型涉及电路板加工设备技术领域，尤其涉及一种等离子蚀刻设备。
背景技术
等离子蚀刻装置，又称为等离子表面处理机，等离子表面改性设备，主要应用于印刷包装行业、电子行业、塑胶行业、家电行业、汽车工业、印刷及喷码行业等。其中，等离子体技术主要作用为蚀刻材料表面，提高表面的附着能力及粘接能力。等离子技术具有极为广泛的应用领域，通过使用这种创新的表面处理工艺，可以实现现代制造工艺所追求的高品质，高可靠性，高效率，低成本和环保等目标。现有的蚀刻设备通常具有一端或两端敞开的蚀刻腔，蚀刻腔的敞开端采用可升降的门板封闭，但是这样的方式具有密封性不佳、容易泄漏的问题，影响蚀刻质量以及车间环境。
实用新型内容
为了克服上述现有技术的不足，本实用新型提供了一种等离子蚀刻设备，能够封闭并且密封蚀刻腔的敞开端，避免泄漏，保证蚀刻的质量。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案为：一种等离子蚀刻设备，包括：基座；蚀刻腔，设置在所述基座上，用于容置电路板，并且所述蚀刻腔的一端敞开；门板，设置在所述蚀刻腔上敞开的一端，所述门板的一侧或两侧设置有限位杆；支架，设置在所述基座上，设置有与所述限位杆相配合的限位孔；其中，所述限位孔为腰孔且沿竖向设置，所述限位孔的下端朝向靠近所述蚀刻腔的方向倾斜延伸，所述门板连接有驱动机构，所述驱动机构用于驱使所述门板沿所述限位孔的轴线方向移动以压紧或远离所述蚀刻腔。
进一步地，所述限位孔倾斜延伸的下端呈弧形过渡。
进一步地，所述支架有两个并且分设在所述门板的两侧，两个所述支架之间通过固定板连接，所述驱动机构沿竖向朝下安装在所述固定板上，所述驱动机构的输出端与所述门板活动连接。
进一步地，所述门板上远离所述蚀刻腔的一端设置有朝外延伸的牵引块，所述驱动机构的输出端设置有轴承安装块，所述轴承安装块上设置有至少两个活动轴承，两个所述活动轴承分设在所述牵引块的上下两端。
进一步地，所述牵引块水平设置，所述牵引块可沿水平方向朝向靠近或远离所述蚀刻腔移动。
进一步地，还包括沿竖向设置的导轨以及设置在所述导轨上的滑块，所述滑块上设置有具有通孔的辅助升降块，所述门板上具有穿过所述通孔设置的杆件。
进一步地，所述蚀刻腔上敞开的一端开设有与所述门板相配合的密封槽。
进一步地，所述门板上相对靠近所述蚀刻腔的一端和/或所述密封槽上设置有密封垫片。
本实用新型的有益效果有：本实用新型的门板能够沿腰孔的轴线方向移动，而腰孔的下端朝向靠近蚀刻腔的方向倾斜延伸，进而保证门板在移动过程中的准确性和稳定性，即门板可以在下降过程中朝向靠近蚀刻腔的方向移动进而压紧以封闭甚至密封蚀刻腔，避免发生泄漏的问题而影响蚀刻的质量和车间的生产环境。
附图说明
本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1是本实用新型实施例的等离子蚀刻设备的结构示意图；
图2是本实用新型实施例的门板部分的装配示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
参照图1与图2所示的一种等离子蚀刻设备，其包括基座100以及设置在基座100上的蚀刻腔101，所述蚀刻腔101可以通过螺纹连接或焊接的方式固定安装在基座100上，并且蚀刻腔101的一端或两端敞开，电路板可自该敞开端进入蚀刻腔101内而进行蚀刻操作，所述蚀刻腔101上的敞开端还设置有可升降的门板102，具体的，所述门板102连接有沿竖向朝下设置的驱动机构106，所述门板102的一侧或两侧设置有限位杆103，所述限位杆103可以是一端设置有螺纹，另一端设置有滑轮或轴承，所述限位杆103通过螺纹连接固定安装在门板102的侧面，基座100上还设置有支架104，并且支架104上设置有与限位杆103相配合的限位孔105，即限位杆103上的滑轮或轴承置入限位孔105内并且通过驱动机构106驱使而在限位孔105内往复移动；其中，所述限位孔105为腰孔并且沿竖向设置，限位孔105的下端朝向靠近蚀刻腔101的方向倾斜延伸，驱动机构106能够驱使门板102沿限位孔105的轴线方向往复移动，具体的，驱动机构106驱使门板102沿限位孔105的轴线方向向下移动，进而能够在向下移动过程中靠近或压紧蚀刻腔101，进而紧密封闭蚀刻腔101的敞开端，避免发生泄漏而影响蚀刻质量以及车间环境，在完成蚀刻后，驱动机构106驱使门板102沿限位孔105的轴线方向朝上移动以打开蚀刻腔101的敞开端，方便取出蚀刻腔101内的电路板。
在一些实施例中，参照图2所示，所述限位孔105倾斜延伸的下端呈弧形过度，其目的在于保证限位杆103沿限位孔105朝下移动过程中能够平顺地朝向靠近蚀刻腔101的方向移动以压紧蚀刻腔101的敞开端。
在一些实施例中，参照图1与图2所示，所述支架104有两个并且分设在门板102的两侧，两个支架104之间通过固定板107连接，驱动机构106沿竖向朝下固定安装固定板107上，驱动机构106的输出端与门板102活动连接，具体的，所述驱动机构106可以是常规的伸缩气缸或伸缩电缸，驱动机构106能够驱使门板102沿竖向朝下运动，并且门板102沿竖向朝下运动过程中还有一个朝向靠近蚀刻腔101方向移动的水平运动，而上述的驱动机构106的输出端与门板102活动连接是指门板102可以相对驱动机构106的输出端水平移动以靠近或远离蚀刻腔101。
在一些实施例中，参照图2所示，所述门板102上远离蚀刻腔101的一端设置有朝外延伸的牵引块108，所述驱动机构106的输出端设置有轴承安装块109，轴承安装块109上设置有至少两个活动轴承110，两个活动轴承110分设在牵引块108的上下两端，在本实施例中，轴承安装块109与驱动机构106的输出端固定连接，也就是驱动机构106能够驱使轴承安装块109沿竖向上下移动，而轴承安装块109与牵引块108之间通过两个活动轴承110连接，进而驱动机构106能够驱使门板102上下移动，并且在上下移动的过程中门板102可以沿水平方向往复移动以靠近或远离蚀刻腔101；本实施例采用活动轴承110与牵引块108之间实现滚动连接，减小门板102沿水平方向移动的摩擦力，而在另外一些实施例中，也可以采用牵引块108与限位槽相配合的方式实现门板102水平移动，在此实施例下牵引块108与限位槽为滑动摩擦，更进一步地，所述牵引块108水平设置，进而保证门板102移动的稳定性。
在一些实施例中，参照图1与图2所示，支架104上远离蚀刻腔101的一端设置有沿竖向设置的导轨111，导轨111上设置有滑块112，滑块112上设有辅助升降块113，辅助升降块113上具有通孔116，门板102上设置有穿过所述通孔116的杆件114，该杆件114的一端可以通过螺纹连接安装在门板102上，另一端为光杆，并且通孔116的孔径与杆件114的外径相匹配，本实施例采用导轨111和滑块112以保证门板102沿竖向移动的稳定性和准确性，保证门板102能够准确下降到与蚀刻腔101的敞开端相配合的位置，并且通过杆件114与通孔116相配合限制滑块112随门板102上下移动而不会与门板102的水平移动的分运动发生干涉。
在一些实施例中，参照图1所示，所述蚀刻腔101上敞开的一端开设有与所述门板102相配合的密封槽115，该密封槽115的尺寸大小与门板102的尺寸大小相当或略大于门板102的尺寸大小，其目的在于保证驱动机构106驱使门板102下降并朝向靠近蚀刻腔101的方向移动后能够紧密压接到该密封槽115上，更进一步的，所述门板102上相对靠近所述蚀刻腔101的一端和/或所述密封槽115上设置有密封垫片，采用密封垫片进一步提升门板102封闭蚀刻腔101时的密封效果。
以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。
Claims (8)
1.一种等离子蚀刻设备，其特征在于，包括：
基座(100)；
蚀刻腔(101)，设置在所述基座(100)上，用于容置电路板，并且所述蚀刻腔(101)的一端敞开；
门板(102)，设置在所述蚀刻腔(101)上敞开的一端，所述门板(102)的一侧或两侧设置有限位杆(103)；
支架(104)，设置在所述基座(100)上，设置有与所述限位杆(103)相配合的限位孔(105)；
其中，所述限位孔(105)为腰孔且沿竖向设置，所述限位孔(105)的下端朝向靠近所述蚀刻腔(101)的方向倾斜延伸，所述门板(102)连接有驱动机构(106)，所述驱动机构(106)用于驱使所述门板(102)沿所述限位孔(105)的轴线方向移动以压紧或远离所述蚀刻腔(101)。
2.根据权利要求1所述的一种等离子蚀刻设备，其特征在于，所述限位孔(105)倾斜延伸的下端呈弧形过渡。
3.根据权利要求1所述的一种等离子蚀刻设备，其特征在于，所述支架(104)有两个并且分设在所述门板(102)的两侧，两个所述支架(104)之间通过固定板(107)连接，所述驱动机构(106)沿竖向朝下安装在所述固定板(107)上，所述驱动机构(106)的输出端与所述门板(102)活动连接。
4.根据权利要求3所述的一种等离子蚀刻设备，其特征在于，所述门板(102)上远离所述蚀刻腔(101)的一端设置有朝外延伸的牵引块(108)，所述驱动机构(106)的输出端设置有轴承安装块(109)，所述轴承安装块(109)上设置有至少两个活动轴承(110)，两个所述活动轴承(110)分设在所述牵引块(108)的上下两端。
5.根据权利要求4所述的一种等离子蚀刻设备，其特征在于，所述牵引块(108)水平设置，所述牵引块(108)可沿水平方向朝向靠近或远离所述蚀刻腔(101)移动。
6.根据权利要求1所述的一种等离子蚀刻设备，其特征在于，还包括沿竖向设置的导轨(111)以及设置在所述导轨(111)上的滑块(112)，所述滑块(112)上设置有具有通孔(116)的辅助升降块(113)，所述门板(102)上具有穿过所述通孔(116)设置的杆件(114)。
7.根据权利要求1所述的一种等离子蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻腔(101)上敞开的一端开设有与所述门板(102)相配合的密封槽(115)。
8.根据权利要求7所述的一种等离子蚀刻设备，其特征在于，所述门板(102)上相对靠近所述蚀刻腔(101)的一端和/或所述密封槽(115)上设置有密封垫片。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120501055.6U CN214429787U (zh) | 2021-03-09 | 2021-03-09 | 一种等离子蚀刻设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202120501055.6U CN214429787U (zh) | 2021-03-09 | 2021-03-09 | 一种等离子蚀刻设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN214429787U true CN214429787U (zh) | 2021-10-19 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202120501055.6U Active CN214429787U (zh) | 2021-03-09 | 2021-03-09 | 一种等离子蚀刻设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CN (1) | CN214429787U (zh) |
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2021
- 2021-03-09 CN CN202120501055.6U patent/CN214429787U/zh active Active
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