CN214398440U

CN214398440U - 一种吸头移动吸硅片装置

Info

Publication number: CN214398440U
Application number: CN202120193591.4U
Authority: CN
Inventors: 顾韻
Original assignee: Wuxi Nanya Science And Technology Co ltd
Current assignee: Wuxi Nanya Science And Technology Co ltd
Priority date: 2021-01-22
Filing date: 2021-01-22
Publication date: 2021-10-15
Anticipated expiration: 2031-01-22

Abstract

本实用新型涉及一种吸头移动吸硅片装置，包括料盒和硅片分片传送装置，所述料盒固定设置在插片机水箱内，料盒内用以排列放置硅片；所述硅片分片传送装置包括垂直转水平装置、吸盘架和吸盘，所述吸盘架上安装垂直转水平装置，吸盘架的下端设置吸盘，垂直转水平装置与吸盘配合传送硅片；所述料盒固定设置，料盒的上方安装轨道；所述吸盘架的底部设有与轨道配合的滚轮；所述吸盘架的后侧设置驱动电机，驱动电机驱动滚轮转动从而使硅片分片传送装置能够在轨道上前后移动；所述硅片分片传送装置的上方设有固定式输送带，垂直转水平装置能够将硅片输送到固定式输送带上。本实用新型能够适应更长的料盒，从而放置更多的硅片，料盒固定不动，硅片分片传送装置改进成可移动式，解决了原有料盒移动不便的问题，提高了工作效率。

Description

一种吸头移动吸硅片装置

技术领域

本实用新型涉及一种吸头移动吸硅片装置，属于硅片分片传送装置技术领域。

背景技术

目前脱胶后的硅片由人工装入特制料盒再装到插片机进行插片,本装置可将脱胶后的硅片直接装入插片机进行插片。

现有的硅片分片传送装置，主要是用水刀将层叠的硅片组逐片分离，分离后的单片硅片通过吸盘固定，吸盘再将单片的硅片移送到水平的传送带上，进行烘干和包装，具体结构见发明专利20151005109.6。硅片分片传送装置，包括硅片组传送装置，还包括竖向传送装置和水平过渡传送装置，所述的硅片组传送装置末端与竖向传送装置连接，竖向传送装置与水平过渡传送装置共用同一传送带，竖向传送装置与水平过渡传送装置的连接处有压轮；所述的传送带上有通孔，所述的竖向传送装置还有硅片吸盘，所述的硅片吸盘安装在传送带的背面，所述的硅片吸盘上有气孔，所述的气孔与传送带上的通孔对应，所述的气孔与抽气装置连接；所述的传送带为两条，分别与前板的两排气孔位置对应；所述的硅片吸盘包括前板和后板，所述的前板有两排竖直排列的气孔，所述的后板对应有两个竖直的槽，所述的两个竖直的槽分别与抽气孔连通，所述抽气孔与抽气装置连接；硅片组传送装置的末端安装有硅片分片水刀，硅片组传送装置末端还安装有推送喷头，所述的推送喷头喷射方向朝向竖向传送装置。

目前的工作状态是，料盒是可移动的，而硅片分片传送装置是固定设置的，工作时料盒向硅片分片传送装置方向移动，移动至硅片与吸盘接触，再通过垂直转水平装置将硅片输送到固定输送带上。然而，现有技术所存在的问题在于，在实际工作条件中，随着硅片量的加大，需要更长的料盒来放置硅片，而更长的料盒不便于设置以及移动，进而影响工作效率。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的不足，提供一种吸头移动吸硅片装置，能够适应更长的料盒，从而放置更多的硅片，料盒固定不动，硅片分片传送装置改进成可移动式，解决了原有料盒移动不便的问题，且不会因为料盒移动破坏摆放整齐的硅片，提高了工作效率。

按照本实用新型提供的技术方案：一种吸头移动吸硅片装置，包括料盒和硅片分片传送装置，所述料盒固定设置在插片机水箱内，料盒内用以排列放置硅片；所述硅片分片传送装置包括垂直转水平装置、吸盘架和吸盘，所述吸盘架上安装垂直转水平装置，吸盘架的下端设置吸盘，垂直转水平装置与吸盘配合传送硅片；所述料盒固定设置，料盒的上方安装轨道；所述吸盘架的底部设有与轨道配合的滚轮；所述吸盘架的后侧设置驱动电机，驱动电机驱动滚轮转动从而使硅片分片传送装置能够在轨道上前后移动；所述硅片分片传送装置的上方设有固定式输送带，垂直转水平装置能够将硅片输送到固定式输送带上。

进一步地，所述硅片分片传送装置的后侧设置随动式输送带，所述固定式输送带与随动式输送带的高度相同。

进一步地，所述垂直转水平装置包括月亮弯板和滚轴，所述月亮弯板上设有圆弧部，月亮弯板的两端分别设有滚轴；所述月亮弯板和滚轴上设置平皮带，滚轴转动从而带动平皮带移动；所述月亮弯板的圆弧部表面开有凹槽，月亮弯板的一侧侧部开有吸风口，所述吸风口与凹槽连通；所述平皮带上均布排孔。

本实用新型与现有技术相比，具有如下优点：

1.本实用新型能够适应更长的料盒，从而放置更多的硅片，料盒固定不动，硅片分片传送装置改进成可移动式，解决了原有料盒移动不便的问题，提高了工作效率。

2.垂直转水平装置使硅片在由垂直转水平传输过程中保持稳定，防止产生滑移。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的剖视图。

图3是垂直转水平装置的结构示意图。

图4是垂直转水平装置的剖视图。

附图标记说明：1-料盒，2-硅片，3-轨道，4-固定式输送带，5-吸盘，6-垂直转水平装置、7-吸盘架、8-随动式输送带、9-驱动电机、10-硅片分片传送装置、11-滚轮、61-月亮弯板、62-凹槽、63-平皮带、64-排孔、65-吸风口、66-滚轴、67-圆弧部。

具体实施方式

下面结合具体附图对本实用新型作进一步说明。

如图1和图2所示，一种吸头移动吸硅片装置，包括料盒1和硅片分片传送装置10，所述料盒1固定设置在插片机水箱内，料盒1内用以排列放置硅片2；所述硅片分片传送装置10包括垂直转水平装置6、吸盘架7和吸盘5，所述吸盘架7上安装垂直转水平装置6，吸盘架7的下端设置吸盘5，垂直转水平装置6与吸盘5配合传送硅片2；所述料盒1固定设置，料盒1的上方安装轨道3；所述吸盘架7的底部设有与轨道3配合的滚轮11；所述吸盘架7的后侧设置驱动电机9，驱动电机9驱动滚轮11转动从而使硅片分片传送装置10能够在轨道3上前后移动；所述硅片分片传送装置10的上方设有固定式输送带4，垂直转水平装置6能够将硅片2输送到固定式输送带4上。需要说明的是，硅片分片传送装置10的详细结构已经在专利20151005109.6中公开。

所述硅片分片传送装置10的后侧设置随动式输送带8，所述固定式输送带4与随动式输送带8的高度相同，随动式输送带8能够更好的与固定式输送带4衔接，防止出现衔接中断的情形。

如图3和图4所示，所述垂直转水平装置6包括月亮弯板61和滚轴66，所述月亮弯板61上设有圆弧部67，月亮弯板61的两端分别设有滚轴66；所述月亮弯板61和滚轴66上设置平皮带63，滚轴66转动从而带动平皮带63移动；所述月亮弯板61的圆弧部67表面开有凹槽62，月亮弯板61的一侧侧部开有吸风口65，所述吸风口65与凹槽62连通；所述平皮带63上均布排孔64。垂直转水平装置6通过连接吸风装置产生吸力，从而使硅片2在由垂直转水平传输过程中保持稳定，防止产生滑移。

工作原理：脱胶后的硅片2连同料盒1直接放入插片机，吸盘架7上装有吸盘5、垂直转水平装置6和随动式输送带8，吸盘架7在轨道3上向左移动开始吸硅片1，硅片1被吸盘5吸取并由垂直转水平装置6传送到随动式输送带8，随动式输送带8上的硅片再送到固定式输送带4上，固定式输送带4上的硅片2可插入花篮进行清洗。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。

Claims

1.一种吸头移动吸硅片装置，包括料盒（1）和硅片分片传送装置（10），所述料盒（1）固定设置在插片机水箱内，料盒（1）内用以排列放置硅片（2）；所述硅片分片传送装置（10）包括垂直转水平装置（6）、吸盘架（7）和吸盘（5），所述吸盘架（7）上安装垂直转水平装置（6），吸盘架（7）的下端设置吸盘（5），垂直转水平装置（6）与吸盘（5）配合传送硅片（2）；其特征在于，所述料盒（1）的上方安装轨道（3）；所述吸盘架（7）的底部设有与轨道（3）配合的滚轮（11）；所述吸盘架（7）的后侧设置驱动电机（9），驱动电机（9）驱动滚轮（11）转动从而使硅片分片传送装置（10）能够在轨道（3）上前后移动；所述硅片分片传送装置（10）的上方设有固定式输送带（4），垂直转水平装置（6）能够将硅片（2）输送到固定式输送带（4）上。

2.如权利要求1所述的吸头移动吸硅片装置，其特征在于，所述硅片分片传送装置（10）的后侧设置随动式输送带（8），所述固定式输送带（4）与随动式输送带（8）的高度相同。

3.如权利要求1所述的吸头移动吸硅片装置，其特征在于，所述垂直转水平装置（6）包括月亮弯板（61）和滚轴（66），所述月亮弯板（61）上设有圆弧部（67），月亮弯板（61）的两端分别设有滚轴（66）；所述月亮弯板（61）和滚轴（66）上设置平皮带（63），滚轴（66）转动从而带动平皮带（63）移动；所述月亮弯板（61）的圆弧部（67）表面开有凹槽（62），月亮弯板（61）的一侧侧部开有吸风口（65），所述吸风口（65）与凹槽（62）连通；所述平皮带（63）上均布排孔（64）。