CN214269358U - 一种硅片抓取整理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及硅片制造技术领域，特别涉及一种硅片抓取整理装置，包括硅片整理装置、取硅片装置、周转箱移载装置，所述硅片整理装置包括硅片夹持机构、片夹输送载台、托举机构、放硅片机架，所述硅片夹持机构滑动安装于硅片夹持底座上，所述托举机构滑动安装于放硅片机架上且驱动硅片夹持底座上下移动；所述片夹输送载台驱动硅片夹持机构水平方向移动；所述取硅片装置包括控制柜和机器人夹具，所述机器人夹具由控制柜控制；所述周转箱移载装置包括移载台机架、转角机构、移载台和周转箱，所述转角机构滑动安装于移载台机架上，所述移载台安装于转角机构上方，所述周转箱安装于移载台上方。本实用新型解决了人工上料硅片易碎且效率低下的问题。

Description

一种硅片抓取整理装置

技术领域

本实用新型涉及硅片制造技术领域，特别涉及一种硅片抓取整理装置。

背景技术

太阳能电池又称为“太阳能芯片”或“光电池”，是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片。单体太阳能电池不能直接做电源使用。作电源必须将若干单体太阳能电池串、并联连接和严密封装成组件。

太阳能板（也叫太阳能电池组件)，即多个太阳能电池片按组装的组装件，是太阳能发电系统中的核心部分，也是太阳能发电系统中最重要的部分，而太阳能电板是由硅片集成得到。由于硅片较薄，因此，工人在上料过程中稍不小心就容易弄碎，而且工作效率低下；因此，急需一种硅片抓取整理装置来代替人工完成上料，并以此降低上料过程中硅片的破碎率。

实用新型内容

本实用新型解决了相关技术中人工上料硅片易碎且效率低下的问题，提出一种硅片抓取整理装置，将硅片放置于周转箱中，通过控制柜控制机器人夹具将硅片从周转箱中取出，然后再通过硅片整理装置完成硅片的上料，从而解决了人工上料硅片易碎且效率低下的问题。

为了解决上述技术问题，本实新型是通过以下技术方案实现的：一种硅片抓取整理装置，包括：

硅片整理装置，所述硅片整理装置包括硅片夹持机构、片夹输送载台、托举机构、放硅片机架，所述硅片夹持机构滑动安装于硅片夹持底座上，所述托举机构滑动安装于放硅片机架上且驱动硅片夹持底座上下移动；所述片夹输送载台驱动硅片夹持机构水平方向移动；

取硅片装置，所述取硅片装置包括控制柜和机器人夹具，所述机器人夹具通过控制柜控制；

周转箱移载装置，所述周转箱移载装置包括移载台机架、转角机构、移载台和周转箱，所述转角机构滑动安装于移载台机架上，所述移载台安装于转角机构上方，所述周转箱安装于移载台上方。

作为优选方案，所述硅片夹持机构包括基板、第一步进马达、第二步进马达、第一气缸、第二气缸，所述第一步进马达通过第一梯形丝杆连接勾板推块，所述第一梯形丝杆通过第一梯形丝杆支座安装于勾拉底板上，所述第一步进马达通过勾拉马达板安装于勾拉底板上，所述勾拉底板安装于第一直线导轨上，所述勾拉底板两侧连接有立板；所述第一直线导轨安装于勾块上，所述勾块一端与勾板推块相连，另一端通过勾板块连接有勾板，所述勾板推块的一侧安装有第一光电感应片；所述第二步进马达驱动第二梯形丝杆，所述第二梯形丝杆通过夹持第一滑轨块安装于第二直线导轨上，所述第二直线导轨上滑动安装有侧夹紧板，所述夹持第一滑轨块的一侧安装有第二光电感应片，两相邻的所述夹持第一滑轨块之间安装有防尘布；所述第一气缸和第二气缸均与后侧推板相连；所述基板的一侧安装有传感器。

作为优选方案，所述片夹输送载台包括步进电机、第三气缸、旋转气缸和立柱式片夹，所述步进电机通过同步带安装于片夹输送驱动轴上，所述片夹输送驱动轴两端与输送同步带相连，所述立柱式片夹安装于输送同步带上，所述立柱式片夹的外侧安装有第三气缸和阻挡条，所述立柱式片夹的一端通过缓冲器安装有定位板；所述旋转气缸安装于输送同步带的尾部。

作为优选方案，所述托举机构包括伺服电机、电缸、托举拖链、第一滑轨、第一无杆气缸，所述伺服电机穿过电缸底板安装，两所述电缸安装于电缸底板上且顶端连接有托举顶块，所述第一滑轨安装于放片机台板上，两所述电缸滑动安装于第一滑轨上，所述放片机台板上安装有第一无杆气缸，所述托举拖链安装于放片机台板底部，所述放片机台板通过载台立柱安装有载台定位板，所述载台定位板上安装有接近开关，所述第一滑轨运动方向的两端也安装有接近开关。

作为优选方案，所述放硅片机架包括机架台面、第三直线导轨、机架拖链和机架气缸，两所述第三直线导轨、机架拖链和机架气缸均布置于机架台面上；所述机架台面安装于支撑架上，所述支撑架上安装有空气组合元件和三通阀，所述第三直线导轨两端的机架台面上安装有限位板。

作为优选方案，所述硅片夹持底座包括机架、拖链、第二无杆气缸和第四直线导轨，所述拖链通过拖链底板安装于机架的一侧且一端与基板相连，所述第二无杆气缸安装于机架的另一侧且通过无杆气缸滑块与基板相连，所述硅片夹持机构通过第四直线导轨安装于机架上。

作为优选方案，所述机器人夹具包括机器人底座、第一电动夹爪和第二电动夹爪，所述机器人底座通过横向转动座安装有连接块，所述连接块通过竖向转动座连接有支撑臂，所述支撑臂通过连接臂与第一电动夹爪和第二电动夹爪相连，所述第一电动夹爪固定安装于机器人法兰上，所述第二电动夹爪滑动安装于机器人法兰上。

作为优选方案，所述移载台机架上安装有第二滑轨、第三无杆气缸和移载台拖链，所述移载台机架的一侧安装有滑动组件。

作为优选方案，所述转角机构包括转角底板、转角顶板、转轴和薄型气缸，所述转轴安装于转角底板、转角顶板之间，所述薄型气缸安装于转角底板上且所述薄型气缸的活塞通过销轴与转角顶板相连。

作为优选方案，所述移载台包括宽形气爪和移载台气缸，所述宽形气爪驱动两侧的移载台夹持板，所述移载台气缸驱动移载台前推板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型的硅片放置于周转箱中，通过控制柜控制机器人夹具将硅片从周转箱中取出，然后再通过硅片整理装置完成硅片的上料，从而解决了人工上料硅片易碎且效率低下的问题。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的硅片整理装置的结构示意图；

图3是本实用新型硅片夹持机构的结构示意图；

图4是本实用新型片夹输送载台的结构示意图；

图5是本实用新型托举机构的结构示意图；

图6是本实用新型放硅片机架的结构示意图；

图7是本实用新型硅片夹持底座的结构示意图；

图8是本实用新型取硅片装置的结构示意图；

图9是本实用新型机器人夹具的结构示意图；

图10是本实用新型周转箱移载装置的结构示意图；

图11是本实用新型移载台机架的结构示意图；

图12是本实用新型转角机构的结构示意图；

图13是本实用新型移载台的结构示意图；

图14是本实用新型周转箱的结构示意图；

图15是本实用新型中周转箱安装于移载台上的结构示意图。

图中：

A、硅片整理装置；

1、硅片夹持机构，101、基板，102、第一步进马达，103、第二步进马达，104、第一气缸，105、第二气缸，106、第一梯形丝杆，107、勾板推块，108、第一梯形丝杆支座，109、勾拉底板，110、勾拉马达板，111、第一直线导轨，112、立板，113、勾块，114、勾板块，115、勾板，116、第一光电感应片，117、第二梯形丝杆，118、夹持第一滑轨块，119、第二直线导轨，120、第二光电感应片，121、传感器，122、侧夹紧板；

2、片夹输送载台，201、步进电机，202、第三气缸，203、旋转气缸，204、立柱式片夹，205、同步带，206、片夹输送驱动轴，207、输送同步带，208、阻挡条，209、定位板；

3、托举机构，301、伺服电机，302、电缸，303、托举拖链，304、第一滑轨，305、第一无杆气缸，306、托举顶块，307、放片机台板，308、载台立柱，309、载台定位板，310、接近开关；

4、放硅片机架，401、机架台面，402、第三直线导轨，403、机架拖链，404、机架气缸，405、支撑架，406、空气组合元件，407、三通阀，408、限位板；

5、硅片夹持底座，501、机架，502、拖链，503、第二无杆气缸，504、第四直线导轨，505、拖链底板，506、无杆气缸滑块；

B、取硅片装置；

6、控制柜；

7、机器人夹具，701、机器人底座，702、第一电动夹爪，703、第二电动夹爪，704、横向转动座，705、连接块，706、竖向转动座，707、支撑臂，708、连接臂，709、机器人法兰；

C、周转箱移载装置；

8、移载台机架，801、第二滑轨，802、第三无杆气缸，803、移载台拖链，804、滑动组件；

9、转角机构，901、转角底板，902、转角顶板，903、转轴，904、薄型气缸；

10、移载台，1001、宽形气爪，1002、移载台气缸，1003、移载台夹持板，1004、移载台前推板；

11、周转箱，1101、箱体，1102、把手，1103、内衬。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

如图1至15所示，一种硅片抓取整理装置，包括：

硅片整理装置A，硅片整理装置A包括硅片夹持机构1、片夹输送载台2、托举机构3、放硅片机架4，硅片夹持机构1滑动安装于硅片夹持底座5上，托举机构3滑动安装于放硅片机架4上且驱动硅片夹持底座5上下移动；片夹输送载台2驱动硅片夹持机构1水平方向移动；

取硅片装置B，取硅片装置B包括控制柜6和机器人夹具7，机器人夹具7通过控制柜6控制，其中，控制柜6为发那科R30iB控制柜；

周转箱移载装置C，周转箱移载装置C包括移载台机架8、转角机构9、移载台10和周转箱11，转角机构9滑动安装于移载台机架8上，移载台10安装于转角机构9上方，周转箱11安装于移载台10上方。

在一个实施例中，硅片夹持机构1包括基板101、第一步进马达102、第二步进马达103、第一气缸104、第二气缸105，第一步进马达102通过第一梯形丝杆106连接勾板推块107，第一梯形丝杆106通过第一梯形丝杆支座108安装于勾拉底板109上，第一步进马达102通过勾拉马达板110安装于勾拉底板109上，勾拉底板109安装于第一直线导轨111上，勾拉底板109两侧连接有立板112；第一直线导轨111安装于勾块113上，勾块113一端与勾板推块107相连，另一端通过勾板块114连接有勾板115，勾板推块107的一侧安装有第一光电感应片116；第二步进马达103驱动第二梯形丝杆117，第二梯形丝杆117通过夹持第一滑轨块118安装于第二直线导轨119上，第二直线导轨119上滑动安装有侧夹紧板122，夹持第一滑轨块118的一侧安装有第二光电感应片120，两相邻的夹持第一滑轨块118之间安装有防尘布；第一气缸104和第二气缸105均与后侧推板相连；基板101的一侧安装有传感器121。

在一个实施例中，片夹输送载台2包括步进电机201、第三气缸202、旋转气缸203和立柱式片夹204，步进电机201通过同步带205安装于片夹输送驱动轴206上，片夹输送驱动轴206两端与输送同步带207相连，立柱式片夹204安装于输送同步带207上，立柱式片夹204的外侧安装有第三气缸202和阻挡条208，立柱式片夹204的一端通过缓冲器安装有定位板209；旋转气缸203安装于输送同步带207的尾部。

在一个实施例中，托举机构3包括伺服电机301、电缸302、托举拖链303、第一滑轨304、第一无杆气缸305，所述伺服电机301穿过电缸底板安装，两电缸302安装于电缸底板上且顶端连接有托举顶块306，第一滑轨304安装于放片机台板307上，两电缸302滑动安装于第一滑轨304上，放片机台板307上安装有第一无杆气缸305，托举拖链303安装于放片机台板307底部，放片机台板307通过载台立柱308安装有载台定位板309，载台定位板309上安装有接近开关310，第一滑轨304运动方向的两端也安装有接近开关310。

在一个实施例中，放硅片机架4包括机架台面401、第三直线导轨402、机架拖链403和机架气缸404，两第三直线导轨402、机架拖链403和机架气缸404均布置于机架台面401上；机架台面401安装于支撑架405上，支撑架405上安装有空气组合元件406和三通阀407，第三直线导轨402两端的机架台面401上安装有限位板408。

在一个实施例中，硅片夹持底座5包括机架501、拖链502、第二无杆气缸503和第四直线导轨504，拖链502通过拖链底板505安装于机架501的一侧且一端与基板101相连，第二无杆气缸503安装于机架501的另一侧且通过无杆气缸滑块506与基板101相连，硅片夹持机构1通过第四直线导轨504安装于机架501上。

在一个实施例中，机器人夹具7包括机器人底座701、第一电动夹爪702和第二电动夹爪703，机器人底座701通过横向转动座704安装有连接块705，连接块705通过竖向转动座706连接有支撑臂707，支撑臂707通过连接臂708与第一电动夹爪702和第二电动夹爪703相连，第一电动夹爪702固定安装于机器人法兰709上，第二电动夹爪703滑动安装于机器人法兰709上，则横向转动座704使得第一电动夹爪702和第二电动夹爪703在水平面上360°转动，竖向转动座706使得第一电动夹爪702和第二电动夹爪703在竖直面上360°转动。

在一个实施例中，移载台机架8上安装有第二滑轨801、第三无杆气缸802和移载台拖链803，移载台机架8的一侧安装有滑动组件804。

在一个实施例中，转角机构9包括转角底板901、转角顶板902、转轴903和薄型气缸904，转轴903安装于转角底板901、转角顶板902之间，薄型气缸904安装于转角底板901上且薄型气缸904的活塞通过销轴与转角顶板902相连。

在一个实施例中，移载台10包括宽形气爪1001和移载台气缸1002，两侧的移载台夹持板1003均通过滑块安装于滑轨上，则宽形气爪1001驱动两侧的移载台夹持板1003相向运动或向相反方向移动；移载台前推板1004也通过滑块安装于滑轨上，移载台气缸1002驱动移载台前推板1004运动，移载台前推板1004的相对一侧安装有放箱感应光电块，用于感应周转箱11是否放置到移载台10上。

在一个实施例中，周转箱11包括箱体1101、把手1102和内衬1103，把手1102安装于箱体1101的两侧，内衬1103安装于箱体1101内部，内衬1103由多个︺形的内衬板组成，硅片放置于内衬1103上。

具体的工作过程如下：

将硅片放置于周转箱11的内衬1103上，移载台10的宽形气爪1001驱动两侧的移载台夹持板1003，移载台气缸1002驱动移载台前推板1004，从而将周转箱11固定，第三无杆气缸802工作，带动转角机构9在第二滑轨801上移动，从而带动移载台10以及周转箱11移动到机器人夹具7下方，转角机构9中的薄型气缸904驱动转角顶板902转动，从而带动移载台10上的周转箱11转动以方便机器人夹具7抓取周转箱11内的硅片；控制柜6控制机器人夹具7工作，从而完成硅片的抓取；

片夹输送载台2的第三气缸202工作，将立柱式片夹204推至一侧固定，然后旋转气缸203工作，将立柱式片夹204向定位板209的一侧移动并固定，此时，硅片夹持机构1工作，此时，第二无杆气缸503工作，驱动基板101在无杆气缸滑块506上移动，从而使得硅片夹持机构1移动至立柱式片夹204的第一工位，此时，托举机构3启动，第一无杆气缸305将托举机构3移动至立柱式片夹204的第一工位，电缸302工作，带动托举顶块306将立柱式片夹204内的工装板顶至设定的高度，此时，机器人夹具7将硅片放置到托举顶块306之上，然后第一步进马达102通过驱动第一梯形丝杆106带动勾板块114完成硅片前后方向的整理，第二步进马达103通过驱动第二梯形丝杆117带动两个侧夹紧板122完成硅片左右方向上的整理；硅片归整完毕后，电缸302带动托举顶块306下降到底，从而完成一个工位的硅片的整理，后续工位整理与第一工位相同，重复前述动作即可。

以上为本实用新型较佳的实施方式，本实用新型所属领域的技术人员还能够对上述实施方式进行变更和修改，因此，本实用新型并不局限于上述的具体实施方式，凡是本领域技术人员在本实用新型的基础上所作的任何显而易见的改进、替换或变型均属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种硅片抓取整理装置，其特征在于，包括：

硅片整理装置（A），所述硅片整理装置（A）包括硅片夹持机构（1）、片夹输送载台（2）、托举机构（3）、放硅片机架（4），所述硅片夹持机构（1）滑动安装于硅片夹持底座（5）上，所述托举机构（3）滑动安装于放硅片机架（4）上且驱动硅片夹持底座（5）上下移动；所述片夹输送载台（2）驱动硅片夹持机构（1）水平方向移动；

取硅片装置（B），所述取硅片装置（B）包括控制柜（6）和机器人夹具（7），所述机器人夹具（7）通过控制柜（6）控制；

周转箱移载装置（C），所述周转箱移载装置（C）包括移载台机架（8）、转角机构（9）、移载台（10）和周转箱（11），所述转角机构（9）滑动安装于移载台机架（8）上，所述移载台（10）安装于转角机构（9）上方，所述周转箱（11）放置于移载台（10）上方。

2.根据权利要求1所述的硅片抓取整理装置，其特征在于：所述硅片夹持机构（1）包括基板（101）、第一步进马达（102）、第二步进马达（103）、第一气缸（104）、第二气缸（105），所述第一步进马达（102）通过第一梯形丝杆（106）连接勾板推块（107），所述第一梯形丝杆（106）通过第一梯形丝杆支座（108）安装于勾拉底板（109）上，所述第一步进马达（102）通过勾拉马达板（110）安装于勾拉底板（109）上，所述勾拉底板（109）安装于第一直线导轨（111）上，所述勾拉底板（109）两侧连接有立板（112）；所述第一直线导轨（111）安装于勾块（113）上，所述勾块（113）一端与勾板推块（107）相连，另一端通过勾板块（114）连接有勾板（115），所述勾板推块（107）的一侧安装有第一光电感应片（116）；所述第二步进马达（103）驱动第二梯形丝杆（117），所述第二梯形丝杆（117）通过夹持第一滑轨块（118）安装于第二直线导轨（119）上，所述第二直线导轨（119）上滑动安装有侧夹紧板（122），所述夹持第一滑轨块（118）的一侧安装有第二光电感应片（120），两相邻的所述夹持第一滑轨块（118）之间安装有防尘布；所述第一气缸（104）和第二气缸（105）均与后侧推板相连；所述基板（101）的一侧安装有传感器（121）。

3.根据权利要求1所述的硅片抓取整理装置，其特征在于：所述片夹输送载台（2）包括步进电机（201）、第三气缸（202）、旋转气缸（203）和立柱式片夹（204），所述步进电机（201）通过同步带（205）安装于片夹输送驱动轴（206）上，所述片夹输送驱动轴（206）两端与输送同步带（207）相连，所述立柱式片夹（204）安装于输送同步带（207）上，所述立柱式片夹（204）的外侧安装有第三气缸（202）和阻挡条（208），所述立柱式片夹（204）的一端通过缓冲器安装有定位板（209）；所述旋转气缸（203）安装于输送同步带（207）的尾部。

4.根据权利要求1所述的硅片抓取整理装置，其特征在于：所述托举机构（3）包括伺服电机（301）、电缸（302）、托举拖链（303）、第一滑轨（304）、第一无杆气缸（305），所述伺服电机（301）穿过电缸底板安装，两所述电缸（302）安装于电缸底板上且顶端连接有托举顶块（306），所述第一滑轨（304）安装于放片机台板（307）上，两所述电缸（302）滑动安装于第一滑轨（304）上，所述放片机台板（307）上安装有第一无杆气缸（305），所述托举拖链（303）安装于放片机台板（307）底部，所述放片机台板（307）通过载台立柱（308）安装有载台定位板（309），所述载台定位板（309）上安装有接近开关（310），所述第一滑轨（304）运动方向的两端也安装有接近开关（310）。

5.根据权利要求1所述的硅片抓取整理装置，其特征在于：所述放硅片机架（4）包括机架台面（401）、第三直线导轨（402）、机架拖链（403）和机架气缸（404），两所述第三直线导轨（402）、机架拖链（403）和机架气缸（404）均布置于机架台面（401）上；所述机架台面（401）安装于支撑架（405）上，所述支撑架（405）上安装有空气组合元件（406）和三通阀（407），所述第三直线导轨（402）两端的机架台面（401）上安装有限位板（408）。

6.根据权利要求2所述的硅片抓取整理装置，其特征在于：所述硅片夹持底座（5）包括机架（501）、拖链（502）、第二无杆气缸（503）和第四直线导轨（504），所述拖链（502）通过拖链底板（505）安装于机架（501）的一侧且一端与基板（101）相连，所述第二无杆气缸（503）安装于机架（501）的另一侧且通过无杆气缸滑块（506）与基板（101）相连，所述硅片夹持机构（1）通过第四直线导轨（504）安装于机架（501）上。

7.根据权利要求1所述的硅片抓取整理装置，其特征在于：所述机器人夹具（7）包括机器人底座（701）、第一电动夹爪（702）和第二电动夹爪（703），所述机器人底座（701）通过横向转动座（704）安装有连接块（705），所述连接块（705）通过竖向转动座（706）连接有支撑臂（707），所述支撑臂（707）通过连接臂（708）与第一电动夹爪（702）和第二电动夹爪（703）相连，所述第一电动夹爪（702）固定安装于机器人法兰（709）上，所述第二电动夹爪（703）滑动安装于机器人法兰（709）上。

8.根据权利要求1所述的硅片抓取整理装置，其特征在于：所述移载台机架（8）上安装有第二滑轨（801）、第三无杆气缸（802）和移载台拖链（803），所述移载台机架（8）的一侧安装有滑动组件（804）。

9.根据权利要求1所述的硅片抓取整理装置，其特征在于：所述转角机构（9）包括转角底板（901）、转角顶板（902）、转轴（903）和薄型气缸（904），所述转轴（903）安装于转角底板（901）、转角顶板（902）之间，所述薄型气缸（904）安装于转角底板（901）上且所述薄型气缸（904）的活塞通过销轴与转角顶板（902）相连。

10.根据权利要求1所述的硅片抓取整理装置，其特征在于：所述移载台（10）包括宽形气爪（1001）和移载台气缸（1002），所述宽形气爪（1001）驱动两侧的移载台夹持板（1003），所述移载台气缸（1002）驱动移载台前推板（1004）。

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