CN214250191U

CN214250191U - 一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置

Info

Publication number: CN214250191U
Application number: CN202120381340.9U
Authority: CN
Inventors: 冷长志; 李启炎
Original assignee: Zhejiang Yundu New Material Technology Co ltd
Current assignee: Zhejiang Yundu New Material Technology Co ltd
Priority date: 2021-02-20
Filing date: 2021-02-20
Publication date: 2021-09-21
Anticipated expiration: 2031-02-20

Abstract

本实用新型公开了一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置，包括箱体，设置在箱体上的进气孔，所述进气孔上连接有进气管，其特征是所述进气管上连接有三通阀，所述三通阀上连接有氮气管和抽气管，所述氮气管另一端连接有液氮罐，所述抽气管另一端连接有抽气泵，所述箱体上还设置有风扇组件；本实用新型通过往箱体内充入液氮，在液氮气化的过程中能够吸收大量的热量，从而达到快速降温的目的，箱体上设置有风扇组件，通过电机带动风扇转动，对产品进行吹风降温的同时使液氮在气化的过程中能够保证氮气均匀的充斥整个箱体1内，使产品完全冷却，并且同时由于氮气不活泼的化学特性，不会与产品发生氧化反应，能够有效避免产品氧化，确保产品的质量。

Description

一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置

【技术领域】

本实用新型涉及磁控溅射生产领域，具体是指一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置。

【背景技术】

磁控溅射是物理气相沉积（Physical Vapor Deposition，PVD）的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，在磁控溅射的过程中会散发大量的热量，当温度过高时会将磁控溅射设备的靶材料熔化，造成设备损坏，市面上磁控溅射冷却装置通常使用冷却水进行冷却，但是此种方式会存在冷却水管路水汽泄漏与产品发生反应导致产品氧化的现象出现，同时由于冷却水管路无法充满整个装置会导致冷却不完全的情况出现。为此，提出了一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置。

【实用新型内容】

本实用新型的目的是为了解决磁控溅射装置冷却不完全和产品已发生氧化的问题而提出一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置。

为了达到上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置，包括箱体，设置在箱体上的进气孔，所述进气孔上连接有进气管，其特征是所述进气管上连接有三通阀，所述三通阀上连接有氮气管和抽气管，所述氮气管另一端连接有液氮罐，所述抽气管另一端连接有抽气泵，所述箱体上还设置有风扇组件。

进一步优选的：所述风扇组件包括安装在箱体上支架，安装在支架上的电机，以及与电机连接的风扇。

进一步优选的：所述电机上设置有输出轴，所述输出轴上连接有联轴器，所述联轴器另一端安装有转动轴，所述风扇上设置有轴套，所述风扇通过轴套安装在转动轴上。

进一步优选的：所述抽气管上还连接有波纹管。

本实用新型的有益效果：

1.本实用新型通过往箱体内充入液氮，在液氮气化的过程中能够吸收大量的热量，从而达到快速降温的目的，当冷却出料完成之后，通过抽气泵将箱体内的气体抽出，实现箱体内的真空环境，以便于磁控溅射的工作。

2.本实用新型在箱体上设置有风扇组件，通过电机带动风扇转动，对产品进行吹风降温的同时使液氮在气化的过程中能够保证氮气均匀的充斥整个箱体1内，使产品完全冷却，并且同时由于氮气不活泼的化学特性，不会与产品发生氧化反应，能够有效避免产品氧化，确保产品的质量。

3.本实用新型在抽气管上连接有波纹管，通过波纹管能够吸收抽气泵在工作时对抽气管产生的震动，防止因长时间的震动导致冷却装置的连接不稳定。

【附图说明】

附图1是本实用新型的结构示意图；

附图2是本实用新型部分结构剖面图。

图例说明：1、箱体；101、进气孔；102、进气管；2、三通阀；3、液氮罐；301、氮气管；4、抽气泵；401、抽气管；402、波纹管；5、风扇组件；501、支架；502、电机；5021、输出轴；503、风扇；5031、轴套；504、联轴器；505、转动轴。

具体实施方式

下面我们结合附图1-2对本实用新型所述的一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置做进一步的说明。

参阅附图1中所示，本实施例的一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置，包括箱体1，设置在箱体1上的进气孔101，所述进气孔101上通过螺栓连接有进气管102，其特征是所述进气管102上通过螺栓连接有三通阀2，所述三通阀2上通过螺栓连接有氮气管301和抽气管401，所述氮气管301另一端通过螺栓连接有液氮罐3，所述抽气管401另一端通过螺栓连接有抽气泵4，所述箱体1上还设置有风扇组件5；液氮罐3通过氮气管301往箱体1内充入液氮，液氮在气化的过程中能够吸收大量热量，实现降温功能，通过抽气泵4对箱体1抽气实现箱体1内的真空环境以便于磁控溅射，同时通过风扇组件5在对箱体1内的产品进行降温的同时，能够使液氮气化后的氮气均匀分布整个箱体1内，使产品能够得到完全冷却。

参阅附图1-2所示，所述风扇组件5包括通过螺栓安装在箱体1上支架501，通过螺栓安装在支架501上的电机502，以及与电机502连接的风扇503，所述电机502上设置有输出轴5021，所述输出轴5021上连接有联轴器504，所述联轴器504另一端安装有转动轴505，所述风扇503上设置有轴套5031，所述风扇503通过轴套5031安装在转动轴505上；通过电机502带动输出轴5021转动，输出轴5021带动联轴器504和转动轴505，转动轴505通过轴套5031带动风扇转动对产品进行扇风冷却，同时能够使箱体1内的氮气均匀充满整个箱体1。

参阅附图1所示，所述抽气管401上还通过螺栓连接有波纹管402；通过波纹管402在抽气泵4进行抽气时，能够吸收由抽气泵4产生的震动，避免由于长时间的震动导致装置各个连接处不稳定。

本实用新型的使用过程如下：在箱体1内完成磁控溅射之后，通过三通阀2打开进气管102和氮气管301，使液氮罐里的液氮进入箱体1内，液氮气化能够吸收大量热量进行降温，同时电机502通过输出轴5021带动联轴器504和转动轴505转动，从未带动风扇503转动进行风扇降温，并且是箱体1内的氮气能够均匀的充满整个箱体1内，使产品能够完全冷却，冷却进行出料，等出料完成之后，三通阀2打开进气管102和抽气管401，启动抽气泵4对箱体1抽气，使箱体1内带动真空状态，以便于箱体1进行磁控溅射。

上述实施例是对本实用新型的说明，不是对本实用新型的限定，任何对本实用新型简单变换后的方案均属于本实用新型的保护范围。

Claims

1.一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置，包括箱体（1），设置在箱体（1）上的进气孔（101），所述进气孔（101）上连接有进气管（102），其特征是所述进气管（102）上连接有三通阀（2），所述三通阀（2）上连接有氮气管（301）和抽气管（401），所述氮气管（301）另一端连接有液氮罐（3），所述抽气管（401）另一端连接有抽气泵（4），所述箱体（1）上还设置有风扇组件（5）。

2.根据权利要求1所述的一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置，其特征在于：所述风扇组件（5）包括安装在箱体（1）上支架（501），安装在支架（501）上的电机（502），以及与电机（502）连接的风扇（503）。

3.根据权利要求2所述的一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置，其特征在于：所述电机（502）上设置有输出轴（5021），所述输出轴（5021）上连接有联轴器（504），所述联轴器（504）另一端安装有转动轴（505），所述风扇（503）上设置有轴套（5031），所述风扇（503）通过轴套（5031）安装在转动轴（505）上。

4.根据权利要求1所述的一种连续式磁控溅射生产线的冷却装置，其特征在于：所述抽气管（401）上还连接有波纹管（402）。