CN210620918U - 一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置。所述真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，包括底座，所述底座内壁的一侧固定连接有水箱，所述底座的顶部从左至右分别固定连接有镀膜室和抽气泵，所述抽气泵的出气口连通有第一进气管，所述第一进气管的底部依次贯穿底座和水箱且延伸至水箱的内部，所述水箱的一侧固定连接有冷凝器，所述水箱的内部设置有冷凝管，所述冷凝管的两端均贯穿水箱且延伸至水箱的外部。本实用新型提供的真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置能够快速对真空镀膜机的镀膜腔体进行冷却，冷却及时、充分，从而有效保护了真空镀膜机，延长了其使用寿命，提高了真空镀膜机的工作效率，并降低整机的故障率。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜机领域，尤其涉及一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置。
背景技术
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。
现有技术中，对真空镀膜机的散热通常采用自然冷却，这样方法降温速度较慢，冷却不及时，很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏，同时降温时间过长，会大大降低镀膜机的镀膜效率。
因此，有必要提供一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置解决上述技术问题。
实用新型内容
本实用新型提供一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，解决了现有技术中真空镀膜机降温速度较慢的问题。
为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，包括底座，所述底座内壁的一侧固定连接有水箱，所述底座的顶部从左至右分别固定连接有镀膜室和抽气泵，所述抽气泵的出气口连通有第一进气管，所述第一进气管的底部依次贯穿底座和水箱且延伸至水箱的内部，所述水箱的一侧固定连接有冷凝器，所述水箱的内部设置有冷凝管，所述冷凝管的两端均贯穿水箱且延伸至水箱的外部，所述冷凝管的两端分别与冷凝器的出气口和进气口连通。
优选的，所述镀膜室的内部开设有通风槽，所述水箱顶部的一侧连通有第一出气管，所述第一出气管的顶端依次贯穿底座和镀膜室且延伸至通风槽的内部，所述底座内壁两侧的顶部和底部均贯穿有冷却管，所述冷却管的一端与通风槽连通。
优选的，所述底座内壁的底部固定连接有转动电机，所述转动电机的输出轴固定连接有转轴，所述转轴的顶部依次贯穿底座和镀膜室且延伸至镀膜室的内部。
优选的，所述转轴的顶部固定连接有转盘，所述转盘的顶部固定连接有主轴，所述主轴的顶部与镀膜室内壁的顶部转动连接，所述主轴的两侧电性连接有加热棒。
优选的，所述底座内壁底部的另一侧固定连接有机械泵，所述机械泵的进气口连通有第二进气管，所述第二进气管的顶部依次贯穿底座和镀膜室且延伸至镀膜室的内部，所述机械泵的出气口连通有第二出气管，所述第二出气管贯穿底座且延伸至的外部。
优选的，所述镀膜室的顶部固定连接有增压泵，所述增压泵的出气口贯穿镀膜室且延伸至镀膜室的内部，所述镀膜室的一侧通过合页铰接有盖板。
与相关技术相比较，本实用新型提供的真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置具有如下有益效果：
本实用新型提供一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，首先将盖板打开，然后将靶材粘合在加热棒的表面，将基片放置在转盘的顶部，关闭盖板，然后打开机械泵和增压泵，从而通过第二进气管将镀膜室内部的空气抽出，再通过第二出气管排出，从而使镀膜室的内部形成真空环境，停止机械泵和增压泵工作，然后启动转动电机，从而带动输出轴转动，从而带动转轴转动，从而带动转盘转动，从而带动主轴与镀膜室之间转动，最终通过加热棒带动靶材转动，使加热棒升温，从而使靶材的表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，工作完成后，停止转动电机工作，然后打开抽气泵，将空气通过第一进气管进入水箱内，通过冷凝器向冷凝管输入冷气，从而使水变冷，从而对空气进行预冷，再通过第一出气管将风导入通风槽内，再通过冷却管将冷气吹入镀膜室的内部，从而对镀膜室的内部进行冷却，本实用新型提供的真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置能够快速对真空镀膜机的镀膜腔体进行冷却，冷却及时、充分，从而有效保护了真空镀膜机，延长了其使用寿命，提高了真空镀膜机的工作效率，并降低整机的故障率。
附图说明
图1为本实用新型提供的真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置的一种较佳实施例的结构示意图；
图2为图1所示水箱的结构示意图。
图中标号：1、底座，2、水箱，3、镀膜室，4、抽气泵，5、第一进气管，6、冷凝器，7、冷凝管，8、通风槽，9、第一出气管，10、冷却管，11、转动电机，12、转轴，13、转盘，14、主轴，15、加热棒，16、机械泵，17、第二进气管，18、第二出气管，19、增压泵，20、盖板。
具体实施方式
下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
请结合参阅图1和图2，其中，图1为本实用新型提供的真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示水箱的结构示意图。真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置包括底座1，所述底座1内壁的一侧固定连接有水箱2，所述底座1的顶部从左至右分别固定连接有镀膜室3和抽气泵4，所述抽气泵4的出气口连通有第一进气管5，所述第一进气管5的底部依次贯穿底座1和水箱2且延伸至水箱2的内部，所述水箱2的一侧固定连接有冷凝器6，所述水箱2的内部设置有冷凝管7，所述冷凝管7的两端均贯穿水箱2且延伸至水箱2的外部，所述冷凝管7的两端分别与冷凝器6的出气口和进气口连通，然后打开抽气泵4，将空气通过第一进气管5进入水箱2内，通过冷凝器6向冷凝管7输入冷气，从而使水变冷，从而对空气进行预冷。
所述镀膜室3的内部开设有通风槽8，所述水箱2顶部的一侧连通有第一出气管9，所述第一出气管9的顶端依次贯穿底座1和镀膜室3且延伸至通风槽8的内部，所述底座1内壁两侧的顶部和底部均贯穿有冷却管10，所述冷却管10的一端与通风槽8连通，空气进行预冷，再通过第一出气管9将风导入通风槽8内，再通过冷却管10将冷气吹入镀膜室3的内部，从而对镀膜室3的内部进行冷却。
所述底座1内壁的底部固定连接有转动电机11，所述转动电机11的输出轴固定连接有转轴12，所述转轴12的顶部依次贯穿底座1和镀膜室3且延伸至镀膜室3的内部，启动转动电机11，从而带动输出轴转动，从而带动转轴12转动，转动电机11与外界电性连接，使真空镀膜机在工作时可以转动工作。
所述转轴12的顶部固定连接有转盘13，所述转盘13的顶部固定连接有主轴14，所述主轴14的顶部与镀膜室3内壁的顶部转动连接，所述主轴14的两侧电性连接有加热棒15，转轴12转动，从而带动转盘13转动，从而带动主轴14与镀膜室3之间转动，最终通过加热棒15带动靶材转动，使加热棒15升温，从而使靶材的表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。
所述底座1内壁底部的另一侧固定连接有机械泵16，所述机械泵16的进气口连通有第二进气管17，所述第二进气管17的顶部依次贯穿底座1和镀膜室3且延伸至镀膜室3的内部，所述机械泵16的出气口连通有第二出气管18，所述第二出气管18贯穿底座1且延伸至的外部，机械泵，也叫前级泵，机械泵是应用最广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。
所述镀膜室3的顶部固定连接有增压泵19，所述增压泵19的出气口贯穿镀膜室3且延伸至镀膜室3的内部，所述镀膜室3的一侧通过合页铰接有盖板20，增压泵原理是利用大面积活塞的低气压产生小面积活塞的高液压。空气增压泵使用于原空压系统要提高压力的工作环境中，能够将工作系统的空气压力提高到2-5倍，仅需要将工作系统内压缩空气作为气源即可。
本实用新型提供的真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置的工作原理如下：
首先将盖板20打开，然后将靶材粘合在加热棒15的表面，将基片放置在转盘13的顶部，关闭盖板20，然后打开机械泵16和增压泵19，从而通过第二进气管17将镀膜室3内部的空气抽出，再通过第二出气管18排出，从而使镀膜室3的内部形成真空环境，停止机械泵16和增压泵19工作，然后启动转动电机11，从而带动输出轴转动，从而带动转轴12转动，从而带动转盘13转动，从而带动主轴14与镀膜室3之间转动，最终通过加热棒15带动靶材转动，使加热棒15升温，从而使靶材的表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，工作完成后，停止转动电机11工作，然后打开抽气泵4，将空气通过第一进气管5进入水箱2内，通过冷凝器6向冷凝管7输入冷气，从而使水变冷，从而对空气进行预冷，再通过第一出气管9将风导入通风槽8内，再通过冷却管10将冷气吹入镀膜室3的内部，从而对镀膜室3的内部进行冷却。
与相关技术相比较，本实用新型提供的真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置具有如下有益效果：
首先将盖板20打开，然后将靶材粘合在加热棒15的表面，将基片放置在转盘13的顶部，关闭盖板20，然后打开机械泵16和增压泵19，从而通过第二进气管17将镀膜室3内部的空气抽出，再通过第二出气管18排出，从而使镀膜室3的内部形成真空环境，停止机械泵16和增压泵19工作，然后启动转动电机11，从而带动输出轴转动，从而带动转轴12转动，从而带动转盘13转动，从而带动主轴14与镀膜室3之间转动，最终通过加热棒15带动靶材转动，使加热棒15升温，从而使靶材的表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，工作完成后，停止转动电机11工作，然后打开抽气泵4，将空气通过第一进气管5进入水箱2内，通过冷凝器6向冷凝管7输入冷气，从而使水变冷，从而对空气进行预冷，再通过第一出气管9将风导入通风槽8内，再通过冷却管10将冷气吹入镀膜室3的内部，从而对镀膜室3的内部进行冷却，本实用新型提供的真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置能够快速对真空镀膜机的镀膜腔体进行冷却，冷却及时、充分，从而有效保护了真空镀膜机，延长了其使用寿命，提高了真空镀膜机的工作效率，并降低整机的故障率。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (6)
1.一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）内壁的一侧固定连接有水箱（2），所述底座（1）的顶部从左至右分别固定连接有镀膜室（3）和抽气泵（4），所述抽气泵（4）的出气口连通有第一进气管（5），所述第一进气管（5）的底部依次贯穿底座（1）和水箱（2）且延伸至水箱（2）的内部，所述水箱（2）的一侧固定连接有冷凝器（6），所述水箱（2）的内部设置有冷凝管（7），所述冷凝管（7）的两端均贯穿水箱（2）且延伸至水箱（2）的外部，所述冷凝管（7）的两端分别与冷凝器（6）的出气口和进气口连通。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，其特征在于，所述镀膜室（3）的内部开设有通风槽（8），所述水箱（2）顶部的一侧连通有第一出气管（9），所述第一出气管（9）的顶端依次贯穿底座（1）和镀膜室（3）且延伸至通风槽（8）的内部，所述底座（1）内壁两侧的顶部和底部均贯穿有冷却管（10），所述冷却管（10）的一端与通风槽（8）连通。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，其特征在于，所述底座（1）内壁的底部固定连接有转动电机（11），所述转动电机（11）的输出轴固定连接有转轴（12），所述转轴（12）的顶部依次贯穿底座（1）和镀膜室（3）且延伸至镀膜室（3）的内部。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，其特征在于，所述转轴（12）的顶部固定连接有转盘（13），所述转盘（13）的顶部固定连接有主轴（14），所述主轴（14）的顶部与镀膜室（3）内壁的顶部转动连接，所述主轴（14）的两侧电性连接有加热棒（15）。
5.根据权利要求1所述的真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，其特征在于，所述底座（1）内壁底部的另一侧固定连接有机械泵（16），所述机械泵（16）的进气口连通有第二进气管（17），所述第二进气管（17）的顶部依次贯穿底座（1）和镀膜室（3）且延伸至镀膜室（3）的内部，所述机械泵（16）的出气口连通有第二出气管（18），所述第二出气管（18）贯穿底座（1）且延伸至的外部。
6.根据权利要求1所述的真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，其特征在于，所述镀膜室（3）的顶部固定连接有增压泵（19），所述增压泵（19）的出气口贯穿镀膜室（3）且延伸至镀膜室（3）的内部，所述镀膜室（3）的一侧通过合页铰接有盖板（20）。
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