CN211999894U - 一种高效减排镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高效减排镀膜机，包括外壳，外壳的内壁设有靶材；外壳内设置有旋转台，旋转台包括底台和多个工件转架，底台设置有多个第一电机，每个工件转架通过旋转轴与第一电机对应连接，底台下设有用于驱动底台旋转的第二电机；外壳设有进气口和出气口，进气口连接有气泵，气泵连接储气罐，出气口连接有压缩泵，压缩泵通过连接管与储气罐连接，连接管设有排气阀。通过转动使工件的镀膜效果更佳，自转的工件转架使装炉量更大，镀膜效率更高；通过压缩泵将外壳内的惰性气体泵回储气罐循环利用，节约成本。

Description

一种高效减排镀膜机

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备，特别是一种高效减排镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类在较高真空度下对工件进行镀膜的设备。在真空条件下，通入惰性气体，惰性气体在高电压电场作用下电离为离子，离子轰击靶材，从而将靶材材料溅射到工件表面，形成薄膜。但由于目前的真空镀膜机的工件转架的不合理设置，导致真空镀膜机的装炉量少，生产效率低；同时惰性气体在使用后会被直接排放到大气中，造成浪费，提高了生产成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种高效减排镀膜机。

本实用新型解决其问题所采用的技术方案是：

一种高效减排镀膜机，包括外壳，所述外壳的内壁设有靶材；所述外壳内设置有旋转台，所述旋转台包括底台和绕所述底台的侧边设置的多个工件转架，所述底台设置有多个第一电机，每个所述工件转架通过旋转轴与所述第一电机对应连接，所述底台下设有用于驱动所述底台旋转的第二电机；所述外壳设有进气口和出气口，所述进气口连接有气泵，所述气泵连接储气罐，所述出气口连接有压缩泵，所述压缩泵通过连接管与所述储气罐连接，所述连接管设有排气阀。

上述高效减排镀膜机至少具有以下有益效果：通过第一电机带动工件转架自转，同时通过第二电机带动底台以及底台上的工件转架旋转，使装载在工件转架上各处的工件均可旋转至与靶材相对的位置，从而使工件转架上的所有工件均可被均匀上膜；通过公转和自转的共同作用，工件的镀膜效果更佳，装炉量更大，镀膜效率更高。另外，通过压缩泵将外壳内的惰性气体泵回储气罐循环利用，节约成本。

进一步，所述连接管外螺旋地绕有冷却水管。

具体地，所述连接管由铜制成。

具体地，所述工件转架为圆柱状。

进一步，所述外壳包括第一半釜体、第二半釜体和转轴；所述第一半釜体和所述第二半釜体均与所述转轴铰接，所述第一半釜体与所述第二半釜体闭合形成空腔。

进一步，所述第一半釜体的边沿和所述第二半釜体的边沿均设有密封橡胶条。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实例对本实用新型作进一步说明。

图1是本实用新型实施例一种高效减排镀膜机图。

具体实施方式

本部分将详细描述本实用新型的具体实施例，本实用新型之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本实用新型的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

参照图1，本实用新型的实施例，提供了一种高效减排镀膜机，包括外壳100，外壳100的内壁设有靶材140；外壳100内设置有旋转台200，旋转台200包括底台210和绕底台210的侧边设置的多个工件转架230，底台210设置有多个第一电机240，每个工件转架230 通过旋转轴250与第一电机240对应连接，底台210下设有用于驱动底台210旋转的第二电机220；外壳100设有进气口和出气口，进气口连接有气泵320，气泵320连接储气罐330，出气口连接有压缩泵 310，压缩泵310通过连接管350与储气罐330连接，连接管350设有排气阀340。

在该实施例中，通过第一电机240带动工件转架230自转，同时通过第二电机220带动底台210以及底台210上的工件转架230旋转，使装载在工件转架230上各处的工件均可旋转至与靶材140相对的位置，从而使工件转架230上的所有工件均可被均匀上膜；通过公转和自转的共同作用，工件的镀膜效果更佳，装炉量更大，镀膜效率更高。另外，通过压缩泵310将外壳100内的惰性气体泵回储气罐330循环利用，节约成本。

具体地，开启压缩泵310，然后打开排气阀340，压缩泵310将外壳100内的惰性气体从出气口压缩回收至储气罐330中。关闭排气阀340，打开气泵320，气泵320将储气罐330内的惰性气体从进气口泵向外壳100。

进一步，连接管350外螺旋地绕有冷却水管360。冷却水管360 内流通冷水，对连接管350内的惰性气体进行冷却。当然冷却水管 360也可以直接接入自来水管。在镀膜过程中，外壳100内的气温会有所升高，同样地其内的惰性气体的温度也会随之升高。因此设置冷却水管360将从外壳100内抽出的惰性气体进行冷却，保证返回储气罐330的惰性气体处于较低的温度。

具体地，连接管350由铜制成。铜的导热性能优良，有利于冷却水管360与连接管350之间进行温度传递。

具体地，工件转架230为圆柱状。当然在其他实施例中，工具转架230可以为矩形柱或三棱柱等其他形状。

进一步，外壳100包括第一半釜体110、第二半釜体120和转轴 130；第一半釜体110和第二半釜体120均与转轴130铰接，第一半釜体110与第二半釜体120闭合形成空腔。旋转台200和工件转架 230位于空腔内。

进一步，第一半釜体110的边沿和第二半釜体120的边沿均设有密封橡胶条。第一半釜体110和第二半釜体120闭合时，密封橡胶条将第一半釜体110和第二半釜体120间的空隙密封，便于空腔抽成真空状态。

以上，只是本实用新型的较佳实施例而已，本实用新型并不局限于上述实施方式，只要其以相同的手段达到本实用新型的技术效果，都应属于本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种高效减排镀膜机，其特征在于，包括外壳，所述外壳的内壁设有靶材；所述外壳内设置有旋转台，所述旋转台包括底台和绕所述底台的侧边设置的多个工件转架，所述底台设置有多个第一电机，每个所述工件转架通过旋转轴与所述第一电机对应连接，所述底台下设有用于驱动所述底台旋转的第二电机；所述外壳设有进气口和出气口，所述进气口连接有气泵，所述气泵连接储气罐，所述出气口连接有压缩泵，所述压缩泵通过连接管与所述储气罐连接，所述连接管设有排气阀。

2.根据权利要求1所述的一种高效减排镀膜机，其特征在于，所述连接管外螺旋地绕有冷却水管。

3.根据权利要求2所述的一种高效减排镀膜机，其特征在于，所述连接管由铜制成。

4.根据权利要求1所述的一种高效减排镀膜机，其特征在于，所述工件转架为圆柱状。

5.根据权利要求1所述的一种高效减排镀膜机，其特征在于，所述外壳包括第一半釜体、第二半釜体和转轴；所述第一半釜体和所述第二半釜体均与所述转轴铰接，所述第一半釜体与所述第二半釜体闭合形成空腔。

6.根据权利要求5所述的一种高效减排镀膜机，其特征在于，所述第一半釜体的边沿和所述第二半釜体的边沿均设有密封橡胶条。

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