CN201855590U - 一种油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱 - Google Patents
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Abstract
一种油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱，包括冷阱体，上法兰和下法兰，其特征在于：所述组合冷阱还包括冷却装置和节流阀，所述下法兰安装在冷阱体的下端，上法兰安装在冷阱体的上端，所述冷却装置和节流阀由下而上依次安装在冷阱体的内部。这种组合冷阱结构紧凑、气阻小并且可以保证镀膜区域气流稳定。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种油扩散泵用的冷阱，更具体地说，涉及一种油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱。
背景技术
真空镀膜机若采用扩散泵为主抽泵的抽气机组，在扩散泵上接口通常会连接冷阱，然后连接高真空阀，进而连接节流阀，再与镀膜室连接。
冷阱的作用是将扩散泵逆扩散到镀室方向的油蒸汽强制冷凝成油滴流回扩散泵，防止“返油”避免污染镀室以及泵油耗损致使扩散泵不能正常工作。现有冷阱一般采用一组焊在冷却水管上的与泵轴线成一定倾角的遮挡片，排满冷阱口径上，挡住油蒸汽外溢，有单层也有两层、三层结构，各层的遮挡片倾角方向交错。高效冷阱则采用深冷介质代替水冷，如用液氮或环保型氟利昂代替品等，连通制冷设备运行。
节流阀的作用是调控抽气速率以保证镀膜时镀室内的气压稳定在工艺要求的范围内。现有的节流阀一般釆用百叶窗式或转动挡板式两类，它安装在镀室抽气口附近，以转动百叶窗的叶片倾角或转动挡板的角度来控制抽气口的开关程度，达到对镀室的抽气速率调节。镀膜时往往会通入工作气体和反应气体，除了控制通入气体的流量外，调控抽气速率也是稳定镀室气氛的重要手段，所以节流阀是不可或缺的。
现有真空镀膜机的冷阱和节流阀两者是分立的部件，而且一般把节流阀安装在镀室抽气口附近，这种配置有两个缺点：其一，分立的节流阀占据了抽气管道一段空间，增加了抽气管道长度，即增加了气阻；其二，节流阀贴近镀室，在镀膜时一般都会在一定程度关闭节流阀，则在节流阀前后形成较大的压力差，这导致镀室抽气口附近的一个区域比远离此区域的气体流动更杂乱、不稳定，此区域成为潜在的镀膜工艺不稳定区。为了克服上述缺点，一要设计更紧凑实用的节流阀，二要让节流阀远离镀室抽气口。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种结构紧凑、气阻小并且可以保证镀膜区域气流稳定的油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱。
本实用新型的上述目的可以通过如下的技术手段加以实现：一种油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱，包括冷阱体，上法兰和下法兰，所述组合冷阱还包括冷却装置和节流阀，所述下法兰安装在冷阱体的下端，上法兰安装在冷阱体的上端，所述冷却装置和节流阀由下而上依次安装在冷阱体的内部。
所述的冷却装置为固定安装在冷阱体内部的水冷遮挡组件，所述水冷遮挡组件安装在冷阱体的内壁下端。
所述的冷却装置也可以为固定安装在冷阱体内部的低温冷凝组件，所述低温冷凝组件安装在冷阱体的内壁下端。
所述的冷却装置为还可以为固定安装在冷阱体内部的水冷遮挡组件和低温冷凝组件，所述水冷遮挡组件固定安装在冷阱体的内壁下端，所述低温冷凝组件固定安装在冷阱体的内部、所述水冷遮挡组件和节流阀之间。
所述的水冷遮挡组件包括多个水冷遮挡单元,所述水冷遮挡单元包括冷却水管和遮挡片，所述遮挡片固定在冷却水管上，多个水冷遮挡单元平行安装在冷阱体内壁下端构成水冷遮挡组件。
所述遮挡片采用焊接的方式固定在冷却水管上。
所述的低温冷凝组件为可流通深冷介质的冷凝盘管。
所述的冷凝盘管为铜质水管。
所述节流阀为百叶窗式结构，所述节流阀包括中间开孔的的闭合板、节流板、连杆、转动轴和密封座，所述闭合板固定在所述冷阱体的内壁上部，所述节流板通过转动轴安装在闭合板的开孔内，节流板固定安装在转动轴上并且彼此平行，所述转动轴通过连杆连接并且可以同步联动，其中一根转动轴穿出冷阱体,这根转动轴通过安装在冷阱体外壁上的密封座连接外延轴。
本实用新型的有益之处在于：1.节流阀不再需要额外占据抽气管道空间，缩短了抽气管道长度，从而可以有效减小气阻；其二，节流阀与冷阱组合安装在一起，远离镀室抽气口，可以有效避免镀室抽气口附近区域气流的不均匀和不稳定，从而保证镀膜工艺的稳定。
附图说明
下面结合附图说明与具体实施例对本实用新型做进一步的说明。
图1 是本实用新型其中一个实施例的立体图（冷阱体部分剖开）。
具体实施方式
如图1所示的油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱，包括冷阱体1，上法兰3和下法兰2，水冷遮挡组件4、低温冷凝组件9和节流阀13，节流阀13为百叶窗式结构，节流阀13包括中间开孔的的闭合板14、节流板15、连杆18、转动轴17和密封座19，闭合板14固定在冷阱体1的内壁上部，节流板15通过转动轴17安装在闭合板14的开孔内，节流板15固定安装在转动轴17上并且彼此平行，转动轴17通过连杆18连接并且可以同步联动，其中一根转动轴17穿出冷阱体1,这根转动轴通过安装在冷阱体1外壁上的密封座19连接外延轴20。低温冷凝组件9包括深冷介质出口12和深冷介质入口11以及可流通深冷介质的冷凝盘管10。水冷遮挡组件4包括多个水冷遮挡单元,水冷遮挡单元包括铜质冷却水管5和遮挡片6，遮挡片6焊接在铜质冷却水管5上，多个水冷遮挡单元平行安装在冷阱体1内壁下端，并且让各水冷遮挡单元中的遮挡片与水平面倾斜。水冷遮挡组件4以进水口7和出水口8与外置冷水机或其它冷却水循环系统连成回路。
上述水冷遮挡组件4、低温冷凝组件9和节流阀13由下而上依次安装在冷阱体1的内部，下法兰2安装在冷阱体1的下端，上法兰3安装在冷阱体1的上端，对组合冷阱加以紧固。
在真空镀膜系统中，水冷遮挡组件4以进水口7和出水口8与外置冷水机或其它冷却水循环系统连成回路，入口水温调控在10℃~15℃，它起着遮挡和冷凝逆向扩散的油蒸汽的第一道防线作用；低温冷凝组件9以深冷介质进口11和深冷介质出口12连接制冷设备回路，深冷介质可以是液氮或环保型低温制冷剂，制冷剂入口温度可以调控-100℃以下，可冷凝捕集逃逸出水冷遮挡组件4的油蒸汽；节流阀13由驱动装置拖动使其活动阀板即节流板作零角至90度转动，零度对应节流板18平行于冷阱轴向，相应节流阀13全开；转至90度对应节流板18垂直于冷阱轴向，相应节流阀13全关闭。在镀膜机镀膜作业前、后抽真空阶段，节流阀13一般处全开状态，以全速抽气。当进入镀膜作业阶段，按镀膜工艺对镀室内气氛、气压等要求，调节节流阀13的活动节流板15的张角，从0度至90角以调节抽气速率，保证镀室所需的稳定气流和压力。驱动装置可以手动，外置转动角度标盘，用销孔定位；也可以用气动，即用压缩空气推动气缸内活塞运动，通过连杆和曲柄机构，带动转轴转动，可调节拉杆长短预置转动角度。也可以电机拖动和限位开关定位转动调控角度，也可以采用步进电机或伺服电机控制转动角度。
以上实施例是供理解本实用新型之用，并非是对本实用新型的限制，有关领域的普通技术人员，在权利要求所述技术方案的基础上，还可以作出多种变化或变型，比如上述实施例所述的一层水冷遮挡组件、低温冷凝组件和一层节流阀组成的三层结构，也可以是两层或多层水冷遮挡组件和一层节流阀的结构，还可以两层低温冷凝组件和一层节流阀，此外，还可以简化为两层结构，即一层水冷遮挡组件和一层节流阀，或一层低温冷凝组件和一层节流阀，此外，低温冷凝组件的冷凝盘管也可焊上遮挡片，这些变化或变型应当理解为仍属于本实用新型的保护范围。
Claims (9)
1.一种油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱，包括冷阱体（1），上法兰（3）和下法兰（2），其特征在于：所述组合冷阱还包括节流阀（13），所述下法兰（2）安装在冷阱体（1）的下端，上法兰（3）安装在冷阱体（1）的上端，所述冷却装置和节流阀（13）由下而上依次安装在冷阱体（1）的内部。
2.根据权利要求1所述的带有节流阀的组合冷阱，其特征在于：所述的冷却装置为固定安装在冷阱体（1）内部的水冷遮挡组件（4），所述水冷遮挡组件（4）安装在冷阱体（1）的内壁下端。
3.根据权利要求1所述的带有节流阀的组合冷阱，其特征在于：所述的冷却装置为固定安装在冷阱体（1）内部的低温冷凝组件（9），所述低温冷凝组件（9）安装在冷阱体（1）的内壁下端。
4.根据权利要求1所述的带有节流阀的组合冷阱，其特征在于：所述的冷却装置为固定安装在冷阱体（1）内部的水冷遮挡组件（4）和低温冷凝组件（9），所述水冷遮挡组件（4）固定安装在冷阱体（1）的内壁下端，所述低温冷凝组件（9）固定安装在冷阱体（1）的内部、所述水冷遮挡组件（4）和节流阀（13）之间。
5. 根据权利要求2或4任一项所述油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱，其特征在于:所述的水冷遮挡组件（4）包括多个水冷遮挡单元,所述水冷遮挡单元包括冷却水管（5）和遮挡片（6），所述遮挡片（6）固定在冷却水管（5）上，多个水冷遮挡单元平行安装在冷阱体（1）内壁下端构成水冷遮挡组件（4）。
6. 根据权利要求5所述油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱，其特征在于：所述遮挡片（6）采用焊接的方式固定在冷却水管（5）上。
7. 根据权利要求3或4任一项所述油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱，其特征在于：所述的低温冷凝组件（9）为可流通深冷介质的冷凝盘管（10）。
8. 根据权利要求7所述油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱，其特征在于：所述的冷凝盘管（10）为铜质水管。
9. 根据权利要求1至4任一项所述油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱，其特征在于：所述节流阀（13）为百叶窗式结构，所述节流阀（13）包括中间开孔的的闭合板（14）、节流板（15）、连杆（18）、转动轴（17）和密封座（19），所述闭合板（14）固定在所述冷阱体（1）的内壁上部，所述节流板（15）通过 转动轴（17）安装在闭合板（14）的开孔内，节流板（15）固定安装在转动轴（17）上并且彼此平行，所述转动轴（17）通过连杆（18）连接并且可以同步联动，其中一根转动轴（17）穿出冷阱体（1）,这根转动轴通过安装在冷阱体（1）外壁上的密封座（19）连接外延轴（20）。
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