CN205371023U

CN205371023U - 一种电源一体化磁悬浮涡轮分子泵

Info

Publication number: CN205371023U
Application number: CN201620024999.8U
Authority: CN
Inventors: 何文财
Original assignee: Dongguan City Ya Zhi Randt Electromechanical Technology Co Ltd
Current assignee: Dongguan City Ya Zhi Randt Electromechanical Technology Co Ltd
Priority date: 2016-01-12
Filing date: 2016-01-12
Publication date: 2016-07-06
Anticipated expiration: 2026-01-12

Abstract

本实用新型公开了一种电源一体化磁悬浮涡轮分子泵，其包括电源壳体及分子泵上、下端壳体，分子泵上端壳体内部成型上端壳体容置腔，分子泵下端壳体内部成型下端壳体容置腔，分子泵下端壳体外表面开设排气孔；上端壳体容置腔内嵌装驱动转轴、分子泵转子、轴承安装架，驱动转轴与轴承安装架之间装设磁悬浮轴承，下端壳体容置腔内嵌装驱动电机，驱动电机与驱动转轴驱动连接，上端壳体容置腔内壁装设分子泵定子，分子泵定子与上端壳体容置腔内壁之间装设导热胶层；电源壳体内部的电源容置腔内嵌装控制器，电源壳体外表面装设电源输入接口、通讯接口。通过上述设计，本实用新型具有设计新颖、结构紧凑、安装控制方便、散热效果好、使用寿命长的优点。

Description

一种电源一体化磁悬浮涡轮分子泵

技术领域

本实用新型涉及真空泵技术领域，尤其涉及一种电源一体化磁悬浮涡轮分子泵。

背景技术

作为一种重要类型的真空泵结构，分子泵被广泛地应用于人们的日常生活中；其中，对于分子泵而言，其是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

现有技术中存在形式各样的分子泵；然而，对于现有的分子泵而言，其普遍存在以下缺陷，具体为：1、分子泵本体与电源装置采用分体式结构设计，且必须依靠电缆以及控制柜结构，结构复杂且安装不方便；2、散热效果差，使用寿命较短。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的不足而提供一种电源一体化磁悬浮涡轮分子泵，该电源一体化磁悬浮涡轮分子泵设计新颖、结构紧凑、安装控制方便、散热效果好、使用寿命长。

为达到上述目的，本实用新型通过以下技术方案来实现。

一种电源一体化磁悬浮涡轮分子泵，包括有分子泵壳体以及装设于分子泵壳体下端侧的电源壳体，分子泵壳体、电源壳体分别为金属壳体，分子泵壳体包括有分子泵上端壳体以及装设于分子泵上端壳体下端侧的分子泵下端壳体，分子泵上端壳体的下端部与分子泵下端壳体的上端部螺接，分子泵下端壳体的下端部与电源壳体的上端部螺接，分子泵上端壳体的内部成型有上下完全贯穿的上端壳体容置腔，分子泵下端壳体的内部成型有朝上开口且与分子泵上端壳体的上端壳体容置腔连通的下端壳体容置腔，分子泵上端壳体的上端部于上端壳体容置腔的上端开口边缘部设置有法兰连接部，分子泵下端壳体的外表面开设有与下端壳体容置腔连通的排气孔；

分子泵上端壳体的上端壳体容置腔内可相对转动地嵌装有驱动转轴、与驱动转轴同步转动的分子泵转子，分子泵下端壳体装设有朝上延伸至上端壳体容置腔内的轴承安装架，驱动转轴与轴承安装架之间装设有磁悬浮轴承，下端壳体容置腔内对应驱动转轴嵌装有驱动电机，驱动电机的动力输出轴通过联轴器与驱动转轴的下端部连接，上端壳体容置腔的内壁于分子泵转子的外围装设有分子泵定子，分子泵定子与上端壳体容置腔的内壁之间装设有导热胶层，分子泵转子设置有金属转子叶片，分子泵定子设置有金属定子叶片，分子泵转子的金属转子叶片与分子泵定子的金属定子叶片交错布置；

电源壳体的内部成型有电源容置腔，电源容置腔内嵌装有控制器，电源壳体的外表面装设有电源输入接口以及通讯接口，驱动电机、电源输入接口、通讯接口分别与控制器电连接。

其中，所述上端壳体容置腔的上端开口处装设有过滤隔网，上端壳体容置腔的内壁上端部对应过滤隔网设置有隔网固定块，过滤隔网螺装固定于隔网固定块。

其中，所述分子泵下端壳体的外表面于所述排气孔的外端开口处的边缘部螺装有排气管连接法兰。

本实用新型的有益效果为：本实用新型所述的一种电源一体化磁悬浮涡轮分子泵，其包括分子泵壳体、电源壳体，分子泵壳体包括分子泵上、下端壳体，分子泵上端壳体内部成型上端壳体容置腔，分子泵下端壳体内部成型下端壳体容置腔，上端壳体容置腔的上端开口边缘部设置法兰连接部，分子泵下端壳体外表面开设排气孔；上端壳体容置腔内嵌装驱动转轴、分子泵转子、轴承安装架，驱动转轴与轴承安装架之间装设磁悬浮轴承，下端壳体容置腔内嵌装驱动电机，驱动电机的动力输出轴通过联轴器与驱动转轴的下端部连接，上端壳体容置腔内壁于分子泵转子外围装设分子泵定子，分子泵定子与上端壳体容置腔的内壁之间装设导热胶层，分子泵转子的金属转子叶片与分子泵定子的金属定子叶片交错布置；电源壳体内部的电源容置腔内嵌装控制器，电源壳体外表面装设电源输入接口、通讯接口，驱动电机、电源输入接口、通讯接口分别与控制器电连接。通过上述结构设计，本实用新型具有设计新颖、结构紧凑、安装控制方便、散热效果好、使用寿命长的优点。

附图说明

下面利用附图来对本实用新型进行进一步的说明，但是附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制。

图1为本实用新型的结构示意图。

在图1中包括有：

1——分子泵壳体11——分子泵上端壳体

111——上端壳体容置腔112——法兰连接部

113——隔网固定块12——分子泵下端壳体

121——下端壳体容置腔122——排气孔

123——排气管连接法兰2——电源壳体

21——电源容置腔3——驱动转轴

4——分子泵转子41——金属转子叶片

51——轴承安装架52——磁悬浮轴承

61——驱动电机62——联轴器

71——分子泵定子711——金属定子叶片

72——导热胶层81——控制器

82——电源输入接口83——通讯接口

9——过滤隔网。

具体实施方式

下面结合具体的实施方式来对本实用新型进行说明。

如图1所示，一种电源一体化磁悬浮涡轮分子泵，包括有分子泵壳体1以及装设于分子泵壳体1下端侧的电源壳体2，分子泵壳体1、电源壳体2分别为金属壳体，分子泵壳体1包括有分子泵上端壳体11以及装设于分子泵上端壳体11下端侧的分子泵下端壳体12，分子泵上端壳体11的下端部与分子泵下端壳体12的上端部螺接，分子泵下端壳体12的下端部与电源壳体2的上端部螺接，分子泵上端壳体11的内部成型有上下完全贯穿的上端壳体容置腔111，分子泵下端壳体12的内部成型有朝上开口且与分子泵上端壳体11的上端壳体容置腔111连通的下端壳体容置腔121，分子泵上端壳体11的上端部于上端壳体容置腔111的上端开口边缘部设置有法兰连接部112，分子泵下端壳体12的外表面开设有与下端壳体容置腔121连通的排气孔122。

进一步的，分子泵上端壳体11的上端壳体容置腔111内可相对转动地嵌装有驱动转轴3、与驱动转轴3同步转动的分子泵转子4，分子泵下端壳体12装设有朝上延伸至上端壳体容置腔111内的轴承安装架51，驱动转轴3与轴承安装架51之间装设有磁悬浮轴承52，下端壳体容置腔121内对应驱动转轴3嵌装有驱动电机61，驱动电机61的动力输出轴通过联轴器62与驱动转轴3的下端部连接，上端壳体容置腔111的内壁于分子泵转子4的外围装设有分子泵定子71，分子泵定子71与上端壳体容置腔111的内壁之间装设有导热胶层72，分子泵转子4设置有金属转子叶片41，分子泵定子71设置有金属定子叶片711，分子泵转子4的金属转子叶片41与分子泵定子71的金属定子叶片711交错布置。

更进一步的，电源壳体2的内部成型有电源壳体21，电源壳体21内嵌装有控制器81，电源壳体2的外表面装设有电源输入接口82以及通讯接口83，驱动电机61、电源输入接口82、通讯接口83分别与控制器81电连接。

需进一步解释，为便于分子泵下端壳体12的排气孔122连接相应的排气管道，本实用新型采用下述结构设计，具体为：分子泵下端壳体12的外表面于排气孔122的外端开口处的边缘部螺装有排气管连接法兰123。

在本实用新型工作过程中，驱动电机61的动力输出轴通过联轴器62带动驱动转轴3转动，驱动转轴3带动分子泵转子4相对分子泵定子71转动；工作时，通过分子泵转子4与分子泵定子71相配合，气流经由上端壳体容置腔111的上端开口进入至上端壳体容置腔111内，且最终经由下端壳体容置腔121、排气孔122而排出，以实现抽真空作业。

需进一步指出，本实用新型的轴承安装架51与驱动转轴3之间装设有磁悬浮轴承52，磁悬浮轴承52能够使得驱动转轴3处于悬空状态并避免驱动转轴3存在机械接触。

另外，本实用新型的分子泵定子71与上端壳体容置腔111的内壁之间装设有导热胶层72，在本实用新型工作过程中，分子泵定子71所产生的热量能够经由导热胶层72快速地传导至分子泵上端壳体11，导热效率高、散热效果好，即可有效地延长使用寿命。

本实用新型将分子泵本体与电源装置集成于一体，即实现分子泵本体与电源装置一体化；该一体化结构设计无需电缆和安装控制柜，结构非常紧凑。其中，本实用新型的控制器81可通过通讯接口83与远程控制系统实现远程通讯连接，即本实用新型可通过远程控制系统来控制启动、停机动作，操控方便。

综合上述情况可知，通过上述结构设计，本实用新型具有设计新颖、结构紧凑、安装控制方便、散热效果好、使用寿命长的优点。

作为优选的实施方式，如图1所示，为避免体积较大的杂物进入至上端壳体容置腔111内，本实用新型采用下述过滤结构设计，具体为：上端壳体容置腔111的上端开口处装设有过滤隔网9，上端壳体容置腔111的内壁上端部对应过滤隔网9设置有隔网固定块113，过滤隔网9螺装固定于隔网固定块113。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims

1.一种电源一体化磁悬浮涡轮分子泵，其特征在于：包括有分子泵壳体（1）以及装设于分子泵壳体（1）下端侧的电源壳体（2），分子泵壳体（1）、电源壳体（2）分别为金属壳体，分子泵壳体（1）包括有分子泵上端壳体（11）以及装设于分子泵上端壳体（11）下端侧的分子泵下端壳体（12），分子泵上端壳体（11）的下端部与分子泵下端壳体（12）的上端部螺接，分子泵下端壳体（12）的下端部与电源壳体（2）的上端部螺接，分子泵上端壳体（11）的内部成型有上下完全贯穿的上端壳体容置腔（111），分子泵下端壳体（12）的内部成型有朝上开口且与分子泵上端壳体（11）的上端壳体容置腔（111）连通的下端壳体容置腔（121），分子泵上端壳体（11）的上端部于上端壳体容置腔（111）的上端开口边缘部设置有法兰连接部（112），分子泵下端壳体（12）的外表面开设有与下端壳体容置腔（121）连通的排气孔（122）；

分子泵上端壳体（11）的上端壳体容置腔（111）内可相对转动地嵌装有驱动转轴（3）、与驱动转轴（3）同步转动的分子泵转子（4），分子泵下端壳体（12）装设有朝上延伸至上端壳体容置腔（111）内的轴承安装架（51），驱动转轴（3）与轴承安装架（51）之间装设有磁悬浮轴承（52），下端壳体容置腔（121）内对应驱动转轴（3）嵌装有驱动电机（61），驱动电机（61）的动力输出轴通过联轴器（62）与驱动转轴（3）的下端部连接，上端壳体容置腔（111）的内壁于分子泵转子（4）的外围装设有分子泵定子（71），分子泵定子（71）与上端壳体容置腔（111）的内壁之间装设有导热胶层（72），分子泵转子（4）设置有金属转子叶片（41），分子泵定子（71）设置有金属定子叶片（711），分子泵转子（4）的金属转子叶片（41）与分子泵定子（71）的金属定子叶片（711）交错布置；

电源壳体（2）的内部成型有电源壳体（21），电源壳体（21）内嵌装有控制器（81），电源壳体（2）的外表面装设有电源输入接口（82）以及通讯接口（83），驱动电机（61）、电源输入接口（82）、通讯接口（83）分别与控制器（81）电连接。

2.根据权利要求1所述的一种电源一体化磁悬浮涡轮分子泵，其特征在于：所述上端壳体容置腔（111）的上端开口处装设有过滤隔网（9），上端壳体容置腔（111）的内壁上端部对应过滤隔网（9）设置有隔网固定块（113），过滤隔网（9）螺装固定于隔网固定块（113）。

3.根据权利要求2所述的一种电源一体化磁悬浮涡轮分子泵，其特征在于：所述分子泵下端壳体（12）的外表面于所述排气孔（122）的外端开口处的边缘部螺装有排气管连接法兰（123）。