CN214203655U - 一种晶圆取粒机取粒装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种晶圆取粒机取粒装置，涉及晶圆制备的领域，其包括工作台，所述工作台上设有支撑柱，所述支撑柱上设有安装块，所述安装块上转动连接有取粒爪，所述取粒爪上设有取粒组件，安装块上设有电机，所述电机的输出轴连接于取粒爪。本申请利用电机驱动取粒爪转动，从而使得取粒爪能够将不良晶圆从载盘移动至收纳盒中，有效提高了工作效率。

Description

一种晶圆取粒机取粒装置

技术领域

本申请涉及晶圆制备的领域，尤其是涉及一种晶圆取粒机取粒装置。

背景技术

晶圆在制备过程中，需要将若干晶圆有序的排布在载盘上，对载盘上的若干晶圆进行检测并对其中的不良品进行标记，根据标记将其中的不良品挑出，从而获得符合企业生产要求的合格品。

常规的挑选方式是工作人员使用挑选夹进行操作，根据标记可准确的将不良晶圆从载盘上夹出并放置于收纳盒中，准确度高，少有不良晶圆混入合格晶圆中。

针对上述中的相关技术，发明人认为采用人工取料的方式虽然确保了准确度，但工作人员逐一挑出不良晶圆的方式效率较低，当大批量生产晶圆时，会降低整体的工作效率。

实用新型内容

为了提高取出晶圆的效率，本申请提供一种晶圆取粒机取粒装置。

本申请提供的一种晶圆取粒机取粒装置采用如下的技术方案：

一种晶圆取粒机取粒装置，包括工作台，所述工作台上设有支撑柱，所述支撑柱上设有安装块，所述安装块上转动连接有取粒爪，所述取粒爪上设有取粒组件，安装块上设有电机，所述电机的输出轴连接于取粒爪。

通过采用上述技术方案，利用取粒爪将载盘上经过标记的晶圆取出，利用电机驱动取粒爪转动，从而可将晶圆从载盘上移动至收纳盒中。相对于采用人工取出不良晶圆相比，本技术方案利用电机驱动取粒爪转动，从而使得取粒爪能够将不良晶圆从载盘移动至收纳盒中，有效提高了工作效率。

可选的，所述取粒组件包括设于取粒爪上的取粒块，所述取粒块上安装有吸粒管，所述吸粒管连接有负压管，工作台上设有抽风机，负压管连接于抽风机。

通过采用上述技术方案，利用抽风机使吸粒管内部呈负压状态，从而使得吸粒管可吸住晶圆，进而可移动晶圆。

可选的，所述吸粒管上设有卡接管，所述卡接管上套设有吸粒帽。

通过采用上述技术方案，当挑选不同规格的晶圆时，可更换不同规格的吸粒帽，使得吸粒帽能够更好的吸住晶圆。

可选的，所述取粒块与取粒爪滑移连接，取粒爪上设有凸块，所述凸块上设有缓冲杆，所述缓冲杆上套设有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的一端连接于取粒块，另一端连接于凸块。

通过采用上述技术方案，利用取粒块与取粒爪之间的滑移连接以及缓冲弹簧，使得吸粒帽在抵接于晶圆时能够得到缓冲，降低吸粒帽对晶圆的撞击而损坏晶圆的可能性。

可选的，所述取粒爪上设有滑条，取粒块开有供滑条卡入的滑槽，所述滑条上设有弹珠螺丝。

通过采用上述技术方案，利用弹珠螺丝降低取粒块与取粒爪之间的摩擦力，使得取粒块在取粒爪上能够顺畅的滑移。

可选的，所述取粒爪上设有用于固定负压管的固定环。

通过采用上述技术方案，利用固定环将负压管固定在取粒爪上，降低负压管对取粒爪的移动产生影响。

可选的，所述支撑柱上设有滑轨，所述安装块套设于滑轨并与滑轨滑移连接，滑轨的端部设有限位板，支撑柱上设有用于驱动安装块移动的驱动件。

通过采用上述技术方案，利用驱动件驱动安装块移动，使得取粒爪能够上下移动，从而便于吸粒帽吸住晶圆。

可选的，所述驱动件为设于支撑柱上的气缸，所述气缸的输出轴连接于安装块。

通过采用上述技术方案，利用气缸驱动安装块移动，从而可带动取粒爪移动，便于吸粒帽吸住晶圆。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.本申请利用取粒爪进行取出晶圆，并利用电机驱动取粒爪转动，使得取粒爪能够将晶圆放置于收纳盒中，相对人工取粒的方式，有效提高了工作效率；

2.本申请利用抽风机和负压管使得吸粒管内部呈负压状态，从而使得吸粒帽能够吸住晶圆并将晶圆转移到收纳盒中。

附图说明

图1是本申请实施例的一种晶圆取粒机取粒装置的整体结构示意图。

图2是本申请实施例的取粒爪的结构示意图。

图3是本申请实施例的取粒块的结构示意图。

附图标记说明：1、工作台；11、支撑柱；12、安装板；13、气缸；131、限位板；14、滑轨；15、抽风机；2、安装块；21、电机；22、安装柱；3、取粒爪；31、滑条；311、限位块；312、弹珠螺丝；32、固定孔；33、固定环；34、凸块；35、缓冲杆；36、缓冲弹簧；4、取粒块；41、通风腔；42、负压管；43、吸粒管；44、卡接管；45、吸粒帽。

具体实施方式

以下结合附图1-3对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种晶圆取粒机取粒装置。参照图1，取粒装置包括设于取粒机中的工作台1，工作台1上垂直设有支撑柱11，支撑柱11的顶端设有安装板12，安装板12上设有气缸13。

参照图2，安装板12的底面垂直设有滑轨14，滑轨14上套设有安装块2，安装块2可在滑轨14上移动，滑轨14的底端设有限位板131，以降低安装块2脱离滑轨14的可能性。气缸13的输出轴连接于安装块2，利用气缸13可驱动安装块2在滑轨14上移动。

参照图2和图3，安装块2上设有电机21，电机21的输出轴上安装有安装柱22，安装柱22上朝下倾斜设有取粒爪3。取粒爪3上竖直设有横截面呈T型的滑条31，滑条31的底端设有限位块311。滑条31上滑移设有取粒块4，取粒块4开有供滑条31卡入的滑槽，滑条31上设有若干弹珠螺丝312，利用弹珠螺丝312降低取粒块4与取粒爪3之间的摩擦力。

参照图2和图3，取粒块4内开有通风腔41，取粒块4上设有连通于通风腔41的负压管42，工作台1上设有抽风机15，负压管42远离取粒块4的一端连接于抽风机15。取粒块4的底面设有连通于通风腔41的吸粒管43，吸粒管43上设有卡接管44，卡接管44上套设有吸粒帽45。利用抽风机15和负压管42使得吸粒管43内部呈负压状态，从而使得吸粒帽45能够吸住晶圆。取粒爪3上开有固定孔32，取粒爪3上设有穿过固定孔32的固定环33，利用固定环33将负压管42固定在取粒爪3上。

参照图3，取粒爪3上设有凸块34，凸块34上螺纹连接有缓冲杆35，缓冲杆35上套设有缓冲弹簧36，缓冲弹簧36的一端连接于取粒块4，另一端连接于凸块34。吸粒帽45抵接于晶圆时，取粒块4可在滑条31上移动，利用缓冲弹簧36降低吸粒帽45对晶圆产生较大的冲击力，从而可降低吸粒帽45对晶圆的撞击而损伤晶圆的可能性。

本申请实施例一种晶圆取粒机取粒装置的实施原理为：需要将载盘中的不良晶圆取出时，将载盘放置于支撑柱11的一侧，将收纳盒放置于支撑柱11的另一侧。利用电机21驱动取粒爪3转动至载盘上方，利用气缸13驱动取粒爪3下移，同时启动抽风机15，使得吸粒管43内部呈负压状态，从而使得吸粒帽45能够吸住晶圆。吸粒帽45吸住晶圆后，利用电机21驱动取粒爪3转动至收纳盒，利用气缸13驱动取粒爪3升降，从而使取粒爪3将晶圆放置在收纳盒中，进而完成取出晶圆的操作。

与相关技术中需要工作人员利用挑选夹取出晶圆相比，本申请实施例利用可转动和可升降的取粒爪3进行取出晶圆，操作简单快捷，有效提高供了工作人员的工作效率。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种晶圆取粒机取粒装置，其特征在于：包括工作台(1)，所述工作台(1)上设有支撑柱(11)，所述支撑柱(11)上设有安装块(2)，所述安装块(2)上转动连接有取粒爪(3)，所述取粒爪(3)上设有取粒组件，安装块(2)上设有电机(21)，所述电机(21)的输出轴连接于取粒爪(3)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆取粒机取粒装置，其特征在于：所述取粒组件包括设于取粒爪(3)上的取粒块(4)，所述取粒块(4)上安装有吸粒管(43)，所述吸粒管(43)连接有负压管(42)，工作台(1)上设有抽风机(15)，负压管(42)连接于抽风机(15)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆取粒机取粒装置，其特征在于：所述吸粒管(43)上设有卡接管(44)，所述卡接管(44)上套设有吸粒帽(45)。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆取粒机取粒装置，其特征在于：所述取粒块(4)与取粒爪(3)滑移连接，取粒爪(3)上设有凸块(34)，所述凸块(34)上设有缓冲杆(35)，所述缓冲杆(35)上套设有缓冲弹簧(36)，所述缓冲弹簧(36)的一端连接于取粒块(4)，另一端连接于凸块(34)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆取粒机取粒装置，其特征在于：所述取粒爪(3)上设有滑条(31)，取粒块(4)开有供滑条(31)卡入的滑槽，所述滑条(31)上设有弹珠螺丝(312)。

6.根据权利要求2所述的一种晶圆取粒机取粒装置，其特征在于：所述取粒爪(3)上设有用于固定负压管(42)的固定环(33)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆取粒机取粒装置，其特征在于：所述支撑柱(11)上设有滑轨(14)，所述安装块(2)套设于滑轨(14)并与滑轨(14)滑移连接，滑轨(14)的端部设有限位板(131)，支撑柱(11)上设有用于驱动安装块(2)移动的驱动件。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆取粒机取粒装置，其特征在于：所述驱动件为设于支撑柱(11)上的气缸(13)，所述气缸(13)的输出轴连接于安装块(2)。

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