CN213917720U - 一种晶圆背面磨床的搬运手 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的搬运手，包括固定机构、升降机构、转动机构以及吸盘机构，所述固定机构包括固定板、安装板以及设置在固定板与安装板之间的多个支撑柱，所述升降机构包括升降驱动单元、升降组件以及滑动板，所述升降驱动单元与固定板相连接，所述升降组件两端分别与升降驱动单元、滑动板相连接，所述滑动板设置在固定板与安装板之间，所述滑动板套设在支撑柱上且可沿支撑柱上下运动；所述转动机构包括转动驱动单元以及转动组件，所述转动驱动单元设置在滑动板上；所述吸盘机构包括连接组件以及吸盘件，所述吸盘件与抽真空装置相连通。本实用新型结构紧凑，实现对晶圆的纵向以及横向的搬运过程，具有更好的安全性能。

Description

一种晶圆背面磨床的搬运手

技术领域

本实用新型属于晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种晶圆背面磨床的搬运手。

背景技术

硅是由沙子所精练出来的，晶圆便是硅元素加以纯化(99.999％)，接着是将这些纯硅制成长硅晶棒，成为制造积体电路的石英半导体的材料，经过照相制版，研磨，抛光，切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圆，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。在晶圆制作完成之后，需要通过磨削设备对其背面进行减薄加工，使其达到使用要求，晶圆在通过定中心机构定位之后，需要通过搬运手吸附至磨削工作台进行磨削操作。

但是，目前的搬运手在升降以及转动过程中容易发生偏差甚至超出范围导致出现损坏的问题，并且一般都难以装配至背面磨床(减薄机)上进行使用。

实用新型内容

本实用新型是为了避免现有技术存在的不足之处，提供了一种结构紧凑、使用安全的晶圆背面磨床的搬运手。

本实用新型解决技术问题采用如下技术方案：一种晶圆背面磨床的搬运手，其特征在于，包括固定机构、升降机构、转动机构以及吸盘机构，所述固定机构包括固定板、安装板以及设置在固定板与安装板之间的多个支撑柱，所述升降机构包括升降驱动单元、升降组件以及滑动板，所述升降驱动单元与固定板相连接，所述升降组件两端分别与升降驱动单元、滑动板相连接，所述滑动板设置在固定板与安装板之间，所述滑动板套设在支撑柱上且可沿支撑柱上下运动；所述转动机构包括转动驱动单元以及转动组件，所述转动驱动单元设置在滑动板上，所述转动组件包括转动杆、锁紧套以及固定套，所述转动杆与转动驱动单元相连接并向上穿出安装板，所述锁紧套设置在转动杆与转动驱动单元之间，所述固定套设置在安装板上，所述固定套套入设置在转动杆上，所述转动杆与吸盘机构相连接；所述吸盘机构包括连接组件以及吸盘件，所述连接组件一端与转动杆相连接，所述连接组件另一端与吸盘件相连接，所述吸盘件与抽真空装置相连通。

在一个实施例中，所述升降驱动单元为伺服电机，所述升降组件包括丝杆以及滑座，所述丝杆与升降驱动单元相连接，所述滑座套设在丝杆上，所述滑座与滑动板相连接。

在一个实施例中，所述滑动板一侧有一个导向套，所述导向套套设在一个所述支撑柱上。

在一个实施例中，所述滑动板一侧设置有一个缺口，所述导向套侧面环绕设置有卡槽，所述导向套设置在缺口上，所述卡槽与滑动板相配合。

在一个实施例中，一个所述支撑柱上设置有两个限位环，两个所述限位环设置在滑动板的上下两侧，所述滑动板无法穿过限位环。

在一个实施例中，所述转动机构还包括限位机构，所述限位机构包括固定板、固定柱以及限位板，所述固定柱设置在滑动板上，所述固定板与固定柱相连接，所述固定板设置在转动驱动单元一侧，所述限位板设置在转动驱动单元上且可随转动驱动单元转动，所述限位板在转动过程中与固定板发生接触，所述限位板无法穿过固定板。

在一个实施例中，所述转动驱动单元为伺服电机，所述锁紧套设置在转动驱动单元的输出轴与转动杆之间。

在一个实施例中，所述连接组件包括第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆以及连接柱，所述第二连接杆设置在第一连接杆与第三连接杆之间，所述第一连接杆与转动杆相连接，所述连接柱设置在第三连接杆与吸盘件之间。

本实用新型通过固定机构、升降机构、转动机构以及吸盘机构，实现了升降以及转向的功能，可以方便且快速的对晶圆进行吸附搬运操作，整体结构紧凑，多个机构之间相互连接配合，由一个固定机构实现对多者的安装以及装配至相应的设备上进行使用，并通过相应的限位组件有效保护升降以及转向的过程，避免出现意外情况。

附图说明

本文所描述的附图仅用于所选择实施例的阐述目的，而不代表所有可能的实施方式，且不应认为是本实用新型的范围的限制。

图1示意性地示出了根据本实用新型实施例的一种晶圆背面磨床的搬运手的整体结构；

图2示意性地示出了根据本实用新型实施例的一种晶圆背面磨床的搬运手的侧视结构；

图3示意性地示出了根据本实用新型实施例的一种晶圆背面磨床的搬运手的部分结构；

图4示意性地示出了根据本实用新型实施例的一种晶圆背面磨床的搬运手的滑座的结构；

图5示意性地示出了根据本实用新型实施例的一种晶圆背面磨床的搬运手的导向套的结构。

具体实施方式

下面，参照附图详细描述本实用新型的实施例，为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

因此，以下对结合附图提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本文使用的术语旨在解释实施例，并且不旨在限制和/或限定本实用新型。需要理解的是，术语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

下面，参照图1至图5，详细描述根据本实用新型的优选实施方式。

图1为本实用新型实施例的整体立体结构示意图。

图2为本实用新型实施例的侧视状态下的整体平面结构示意图。

图3为本实用新型实施例的部分结构示意图，其中，包括滑动板、导向套、转动机构、限位机构以及滑座。

图4为本实用新型实施例的滑座的整体结构示意图。

图5为本实用新型实施例的导向套的平面结构示意图。

根据本实用新型的一个实施例的一种晶圆背面磨床的搬运手，主要包括固定机构100、升降机构200、转动机构300以及吸盘机构400，固定机构主要用以承载升降机构、转动机构以及吸盘机构，同时将整体固定安装在相关的磨削设备如减薄机上进行使用，升降机构主要带动吸盘机构的升降，转动机构带动吸盘机构的转动，吸盘机构用以吸附晶圆进行搬运。

具体的，在一个实施例中，固定机构100包括固定板110、安装板120以及设置在固定板110与安装板120之间的多个支撑柱130。固定板、安装板均采用方板的结构且相对应，支撑柱有三个，分别设置在固定板与安装板的三个角部。

具体的，在一个实施例中，升降机构200包括升降驱动单元210、升降组件以及滑动板220，所述升降驱动单元210与固定板110相连接，所述升降组件两端分别与升降驱动单元210、滑动板220相连接，所述滑动板220设置在固定板110与安装板120之间，所述滑动板220套设在支撑柱130上且可沿支撑柱130上下运动。

其中，升降驱动单元210为伺服电机，所述升降组件包括丝杆230以及滑座240，所述丝杆230与升降驱动单元210相连接，所述滑座240套设在丝杆230上，所述滑座240与滑动板220相连接。

具体的，滑座240包括滑套241以及连接块242，所述滑套241插入设置在滑动板220上(滑动板中部有一个通孔，通过该通孔插入)，所述连接块242设置在滑套241下方且与滑动板220相连接，滑套以及连接块中部均有一个连接孔，与丝杆相配合。

其中，在滑动板220一侧有一个导向套250，所述导向套250套设在一个所述支撑柱130上。滑动板220一侧设置有一个缺口，所述导向套250侧面环绕设置有卡槽251，所述导向套250设置在缺口上，所述卡槽251与滑动板220相配合。导向套主要起到引导滑动板沿支撑柱直线运动的过程。

并且，在一个所述支撑柱130上设置有两个限位环131，两个所述限位环131设置在滑动板220的上下两侧，所述滑动板220无法穿过限位环131，限位环有两个半圆盘结构构成，两者通过螺栓固定在支撑柱上，使得滑动板只能在两个限位环之间运动。

具体的，在一个实施例中，转动机构300包括转动驱动单元310以及转动组件，所述转动驱动单元310设置在滑动板220上，所述转动组件包括转动杆320、锁紧套330以及固定套340，所述转动杆320与转动驱动单元310相连接并向上穿出安装板120，所述锁紧套330设置在转动杆320与转动驱动单元310之间，转动驱动单元310为伺服电机，所述锁紧套330设置在转动驱动单元310的输出轴与转动杆320之间，所述固定套340设置在安装板120上，所述固定套340套入设置在转动杆320上，所述转动杆320与吸盘机构400相连接。

其中，转动机构300还包括限位机构，所述限位机构包括支撑板361、固定柱362以及限位板363，两个所述固定柱362固定设置在滑动板220上，所述支撑板361与固定柱362相连接，所述固定板110设置在转动驱动单元310一侧，所述限位板363设置在转动驱动单元310上且可随转动驱动单元310转动，所述限位板363在转动过程中与支撑板361发生接触，两者位于同一水平面上，所述限位板363无法穿过支撑板361。在此，支撑板与限位板均为部分的圆环结构，两者按其弧线延伸之后构成一个完成的圆环结构，即相当于在一个圆环上切去两个部分，剩余的两个部分一个构成支撑板，一个构成限位板，当限位板转动之后，转动一定角度后会触碰到支撑板导致无法继续转动，正转、反转均有效，以此实现限位效果。

具体的，在一个实施例中，吸盘机构400包括连接组件以及吸盘件410，所述连接组件一端与转动杆320相连接，所述连接组件另一端与吸盘件410相连接，所述吸盘件410与抽真空装置(图中未示出)相连通，以此实现真空吸附效果，吸盘件为常用的零部件，在此不做限定。

具体的，在一个实施例中，连接组件包括第一连接杆421、第二连接杆422、第三连接杆423以及连接柱424，所述第二连接杆422设置在第一连接杆421与第三连接杆423之间，所述第一连接杆421与转动杆320相连接，所述连接柱424设置在第三连接杆423与吸盘件410之间。第一连接杆421、第二连接杆422、第三连接杆423构成一个大体呈Z字形的机构，通过连接柱与吸盘件进行连接，使得吸盘件固定在水平状态。

需要注意的是，在本实用新型中，零部件之间未说明的连接方式均采用领域内常用的连接方式即可。

本实用新型的范围并非由上述描述的实施方式来限定，而是由所附的权利要求书及其等价物来限定。

Claims (8)

1.一种晶圆背面磨床的搬运手，其特征在于，包括固定机构、升降机构、转动机构以及吸盘机构，所述固定机构包括固定板、安装板以及设置在固定板与安装板之间的多个支撑柱，

所述升降机构包括升降驱动单元、升降组件以及滑动板，所述升降驱动单元与固定板相连接，所述升降组件两端分别与升降驱动单元、滑动板相连接，所述滑动板设置在固定板与安装板之间，所述滑动板套设在支撑柱上且可沿支撑柱上下运动；

所述转动机构包括转动驱动单元以及转动组件，所述转动驱动单元设置在滑动板上，所述转动组件包括转动杆、锁紧套以及固定套，所述转动杆与转动驱动单元相连接并向上穿出安装板，所述锁紧套设置在转动杆与转动驱动单元之间，所述固定套设置在安装板上，所述固定套套入设置在转动杆上，所述转动杆与吸盘机构相连接；

所述吸盘机构包括连接组件以及吸盘件，所述连接组件一端与转动杆相连接，所述连接组件另一端与吸盘件相连接，所述吸盘件与抽真空装置相连通。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆背面磨床的搬运手，其特征在于，所述升降驱动单元为伺服电机，所述升降组件包括丝杆以及滑座，所述丝杆与升降驱动单元相连接，所述滑座套设在丝杆上，所述滑座与滑动板相连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆背面磨床的搬运手，其特征在于，所述滑动板一侧有一个导向套，所述导向套套设在一个所述支撑柱上。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆背面磨床的搬运手，其特征在于，所述滑动板一侧设置有一个缺口，所述导向套侧面环绕设置有卡槽，所述导向套设置在缺口上，所述卡槽与滑动板相配合。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆背面磨床的搬运手，其特征在于，一个所述支撑柱上设置有两个限位环，两个所述限位环设置在滑动板的上下两侧，所述滑动板无法穿过限位环。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆背面磨床的搬运手，其特征在于，所述转动机构还包括限位机构，所述限位机构包括固定板、固定柱以及限位板，所述固定柱设置在滑动板上，所述固定板与固定柱相连接，所述固定板设置在转动驱动单元一侧，所述限位板设置在转动驱动单元上且可随转动驱动单元转动，所述限位板在转动过程中与固定板发生接触，所述限位板无法穿过固定板。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆背面磨床的搬运手，其特征在于，所述转动驱动单元为伺服电机，所述锁紧套设置在转动驱动单元的输出轴与转动杆之间。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆背面磨床的搬运手，其特征在于，所述连接组件包括第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆以及连接柱，所述第二连接杆设置在第一连接杆与第三连接杆之间，所述第一连接杆与转动杆相连接，所述连接柱设置在第三连接杆与吸盘件之间。

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