CN215968017U

CN215968017U - 一种防尘式晶圆加工切面打磨装置

Info

Publication number: CN215968017U
Application number: CN202122433435.3U
Authority: CN
Inventors: 锁珍
Original assignee: Suzhou Bazhu Laser Technology Co ltd
Current assignee: Suzhou Bazhu Laser Technology Co ltd
Priority date: 2021-10-09
Filing date: 2021-10-09
Publication date: 2022-03-08
Anticipated expiration: 2031-10-09

Abstract

本实用新型公开了一种防尘式晶圆加工切面打磨装置，包括底板，所述底板顶部四角设置有支撑柱，所述支撑柱顶部设置有加工台，所述加工台顶部中间设置有放置板，所述放置板顶部中间开设有放置槽，所述加工台底部中间设置有固定机构，固定机构与放置槽相连通，所述加工台顶部两侧对称设置有竖板，所述竖板顶部设置有横板，本实用新型结构简单，设计合理，在对晶圆加工切面进行打磨时，通过固定机构，能够更好的对晶圆进行固定的同时，不易对晶圆造成损伤，并且通过导风机构，在对晶圆进行打磨时，能够对碎屑进行收集，并进行集中处理，防止碎屑发散至工作环境中，从而更好的保护工作环境并提高工人的安全性。

Description

一种防尘式晶圆加工切面打磨装置

技术领域

本实用新型涉及一种防尘式晶圆加工切面打磨装置，属于晶圆加工技术领域。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，在对晶圆进行加工切面打磨时，要能够对碎屑进行收集，并进行集中处理，防止碎屑发散至工作环境中，从而更好的保护工作环境并提高工人的安全性，并且在对晶圆进行固定时，要能够不易对晶圆造成损伤，为此，提供一种防尘式晶圆加工切面打磨装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种防尘式晶圆加工切面打磨装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种防尘式晶圆加工切面打磨装置，包括底板，所述底板顶部四角设置有支撑柱，所述支撑柱顶部设置有加工台，所述加工台顶部中间设置有放置板，所述放置板顶部中间开设有放置槽，所述加工台底部中间设置有固定机构，固定机构与放置槽相连通，所述加工台顶部两侧对称设置有竖板，所述竖板顶部设置有横板，所述横板顶部中间设置有第一风机，所述竖板靠近放置板的一侧设置有导风机构，且导风机构与第一风机连接，所述第一风机后侧通过导管连接有回收箱，所述回收箱设置于横板顶部，所述横板底部中间设置有液压缸，所述液压缸底部的输出端设置有电机，所述电机底部的输出轴连接有打磨片。

进一步的，固定机构包括通孔、第二导风罩、固定组件、第二连接管与第二风机，所述第二风机设置于底板顶部中间，所述通孔分别环形阵列开设于放置板内以及加工台内，且所述通孔上下贯通放置板以及加工台，且所述放置板上的通孔与加工台上的通孔相连通，所述第二导风罩设置于加工台底部中间，且所述第二导风罩与通孔相对应，所述第二连接管连接于第二导风罩与第二风机之间。

进一步的，固定组件包括固定板与固定栓，所述固定板对称设置于第二导风罩两侧，且所述固定板与加工台相贴合，所述固定栓设置于固定板底部，且所述固定栓尾端贯穿固定板与加工台螺纹连接。

进一步的，导风机构包括第一导风罩与第一连接管，所述第一导风罩设置于竖板与放置板相对应的一侧，所述第一连接管一端与第一导风罩相连通，且所述第一连接管另一端贯穿竖板与第一风机相连通。

进一步的，所述第一导风罩上下两侧分别与横板以及加工台连接。

进一步的，所述打磨片与放置槽相对应，且所述打磨片与放置板之间留有间隙。

本实用新型的有益效果是：

1、在对晶圆加工切面进行打磨时，通过固定机构，能够更好的对晶圆进行固定的同时，不易对晶圆造成损伤。

2、通过导风机构，在对晶圆进行打磨时，能够对碎屑进行收集，并进行集中处理，防止碎屑发散至工作环境中，从而更好的保护工作环境并提高工人的安全性。

3、通过设置固定组件，便于将第二导风罩与加工台之间进行固定，实用性强。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的具体实施方式一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。

图1是本实用新型一种防尘式晶圆加工切面打磨装置的整体结构示意图；

图2是本实用新型一种防尘式晶圆加工切面打磨装置的内部结构示意图；

图3是本实用新型一种防尘式晶圆加工切面打磨装置的放置板示意图；

图4是本实用新型一种防尘式晶圆加工切面打磨装置的A部分放大示意图；

图中标号：1、底板；2、支撑柱；3、加工台；4、放置板；5、放置槽；6、竖板；7、横板；8、第一风机；9、回收箱；10、液压缸；11、电机；12、打磨片；13、通孔；14、第二导风罩；15、第二连接管；16、第二风机；17、固定板；18、固定栓；19、第一导风罩；20、第一连接管。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

请参阅图1-图4，本实用新型提供一种技术方案：一种防尘式晶圆加工切面打磨装置，包括底板1，所述底板1顶部四角设置有支撑柱2，所述支撑柱2顶部设置有加工台3，所述加工台3顶部中间设置有放置板4，所述放置板4顶部中间开设有放置槽5，所述加工台3底部中间设置有固定机构，固定机构与放置槽5相连通，所述加工台3顶部两侧对称设置有竖板6，所述竖板6顶部设置有横板7，所述横板7顶部中间设置有第一风机8，所述竖板6靠近放置板4的一侧设置有导风机构，且导风机构与第一风机8连接，所述第一风机8后侧通过导管连接有回收箱9，所述回收箱9设置于横板7顶部，所述横板7底部中间设置有液压缸10，所述液压缸10底部的输出端设置有电机11，所述电机11底部的输出轴连接有打磨片12，所述打磨片12与放置槽5相对应，且所述打磨片12与放置板4之间留有间隙。

具体的，如图2-图4所示，固定机构包括通孔13、第二导风罩14、固定组件、第二连接管15与第二风机16，所述第二风机16设置于底板1顶部中间，所述通孔13分别环形阵列开设于放置板4内以及加工台3内，且所述通孔13上下贯通放置板4以及加工台3，且所述放置板4上的通孔13与加工台3上的通孔13相连通，所述第二导风罩14设置于加工台3底部中间，且所述第二导风罩14与通孔13相对应，所述第二连接管15连接于第二导风罩14与第二风机16之间，固定组件包括固定板17与固定栓18，所述固定板17对称设置于第二导风罩14两侧，且所述固定板17与加工台3相贴合，所述固定栓18设置于固定板17底部，且所述固定栓18尾端贯穿固定板17与加工台3螺纹连接，将晶圆放置在放置槽5内，开启第二风机16，通过通孔13、第二导风罩14以及第二连接管15，将放置槽5内的空气导出，从而将晶圆吸附在放置板4上。

具体的，如图1和图2所示，导风机构包括第一导风罩19与第一连接管20，所述第一导风罩19设置于竖板6与放置板4相对应的一侧，所述第一连接管20一端与第一导风罩19相连通，且所述第一连接管20另一端贯穿竖板6与第一风机8相连通，所述第一导风罩19上下两侧分别与横板7以及加工台3连接，开启第一风机8，将打磨时产生的碎屑通过第一导风罩19以及第一连接管20导至回收箱9内。

本实用新型工作原理：将晶圆放置在放置槽5内，通过外接电源为电机11、第一风机8以及第二风机16进行供电，开启第二风机16，通过通孔13、第二导风罩14以及第二连接管15，将放置槽5内的空气导出，从而将晶圆吸附在放置板4上，开启液压缸10，使打磨片12下降至与晶圆相贴合，开启电机11，使打磨片12转动对晶圆进行打磨，同时开启第一风机8，将打磨时产生的碎屑通过第一导风罩19以及第一连接管20导至回收箱9内。

以上为本实用新型较佳的实施方式，本实用新型所属领域的技术人员还能够对上述实施方式进行变更和修改，因此，本实用新型并不局限于上述的具体实施方式，凡是本领域技术人员在本实用新型的基础上所作的任何显而易见的改进、替换或变型均属于本实用新型的保护范围。

Claims

1.一种防尘式晶圆加工切面打磨装置，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）顶部四角设置有支撑柱（2），所述支撑柱（2）顶部设置有加工台（3），所述加工台（3）顶部中间设置有放置板（4），所述放置板（4）顶部中间开设有放置槽（5），所述加工台（3）底部中间设置有固定机构，固定机构与放置槽（5）相连通，所述加工台（3）顶部两侧对称设置有竖板（6），所述竖板（6）顶部设置有横板（7），所述横板（7）顶部中间设置有第一风机（8），所述竖板（6）靠近放置板（4）的一侧设置有导风机构，且导风机构与第一风机（8）连接，所述第一风机（8）后侧通过导管连接有回收箱（9），所述回收箱（9）设置于横板（7）顶部，所述横板（7）底部中间设置有液压缸（10），所述液压缸（10）底部的输出端设置有电机（11），所述电机（11）底部的输出轴连接有打磨片（12）。

2.根据权利要求1所述的一种防尘式晶圆加工切面打磨装置，其特征在于：固定机构包括通孔（13）、第二导风罩（14）、固定组件、第二连接管（15）与第二风机（16），所述第二风机（16）设置于底板（1）顶部中间，所述通孔（13）分别环形阵列开设于放置板（4）内以及加工台（3）内，且所述通孔（13）上下贯通放置板（4）以及加工台（3），且所述放置板（4）上的通孔（13）与加工台（3）上的通孔（13）相连通，所述第二导风罩（14）设置于加工台（3）底部中间，且所述第二导风罩（14）与通孔（13）相对应，所述第二连接管（15）连接于第二导风罩（14）与第二风机（16）之间。

3.根据权利要求2所述的一种防尘式晶圆加工切面打磨装置，其特征在于：固定组件包括固定板（17）与固定栓（18），所述固定板（17）对称设置于第二导风罩（14）两侧，且所述固定板（17）与加工台（3）相贴合，所述固定栓（18）设置于固定板（17）底部，且所述固定栓（18）尾端贯穿固定板（17）与加工台（3）螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的一种防尘式晶圆加工切面打磨装置，其特征在于：导风机构包括第一导风罩（19）与第一连接管（20），所述第一导风罩（19）设置于竖板（6）与放置板（4）相对应的一侧，所述第一连接管（20）一端与第一导风罩（19）相连通，且所述第一连接管（20）另一端贯穿竖板（6）与第一风机（8）相连通。

5.根据权利要求4所述的一种防尘式晶圆加工切面打磨装置，其特征在于：所述第一导风罩（19）上下两侧分别与横板（7）以及加工台（3）连接。

6.根据权利要求5所述的一种防尘式晶圆加工切面打磨装置，其特征在于：所述打磨片（12）与放置槽（5）相对应，且所述打磨片（12）与放置板（4）之间留有间隙。