CN213864296U - 一种晶元盘推送机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶元盘推送机构，它包括可调节式底板；顶杆；驱动装置，包括丝杆和步进电机，丝杆和步进电机平行设置在可调节式底板上，丝杆端部设有同步带轮，步进电机的输出轴上设有驱动带轮，驱动带轮与同步带轮之间通过同步带连接；自适应推力装置，其包括驱动块和滑动块，驱动块与滑动块之间设有内置弹簧，驱动块与丝杆螺纹连接，滑动块与可调节式底板滑动连接，顶杆安装在滑动块上；本实用新型提出了一种晶元盘推送机构，其采用步进电机与同步带轮的组合，使得驱动力稳定，为了使得晶元盘可以在移动过程中更加柔和，本实用新型采用了自适应推力装置，来保证与晶元盘接触时有着足够的缓冲力，使其可以平稳到达指定位置。

Description

一种晶元盘推送机构

技术领域

本实用新型涉及晶元加工技术领域，更具体地说，涉及一种晶元盘推送机构。

背景技术

半导体行业中，随着行业的飞速发展，对于设备的运行速度及运行效率有了更高的要求。在高速运行的设备中会出现这样一个难点，怎么将满载晶元的料盘快速精准的放入指定位置，同时还能保证不使晶元掉落，就成为许多半导体技术开发者研究的方向。

晶元盘移载大多采用气缸来驱动，但是气缸体积大浪费空间；气源气压的不稳定，会导致晶元有掉落，从而导致效率低下，浪费晶元，提高了生产成本。

针对以上问题，本实用新型提出了一种晶元盘推送机构，其采用步进电机与同步带轮的组合，使得驱动力稳定，控制也更便利。为了使得晶元盘可以在移动过程中更加柔和，本实用新型采用了自适应推力装置，来保证与晶元盘接触时有着足够的缓冲力，使其可以平稳到达指定位置。

实用新型内容

本实用新型所采取的技术方案是：提供一种晶元盘推送机构，包括可调节式底板；顶杆，用来承托晶元盘；驱动装置，其包括丝杆和步进电机，丝杆和步进电机平行设置在可调节式底板上，丝杆的一端设有同步带轮，步进电机的输出轴上设有驱动带轮，驱动带轮与同步带轮之间通过同步带连接；自适应推力装置，其包括驱动块和滑动块，驱动块与滑动块之间设有内置弹簧，驱动块与所述丝杆螺纹连接，滑动块与所述可调节式底板滑动连接，所述顶杆安装在滑动块上。

采用以上结构后，为了防止力的突变导致晶元盘中的晶元撒落，顶杆底部的滑动块内安装有内置弹簧内置弹簧与驱动块相抵，在弹簧前方也设计有弹簧顶片，来细微调节弹簧的压缩量，可以使得推力是自适应晶元盘遇到的阻力。

作为优选，还包括有可调节式底座，可调节式底座与所述可调节式底板活动连接，可调节式底座上安装有第一光电开关，所述驱动块上安装有与第一光电开关配合的第一感应片。

作为优选，所述驱动块上还安装有第二感应片，所述可调节式底板上安装有与第二感应片配合的第二光电开关。

作为优选，所述第一光电开关和第二光电开关分别临近所述丝杆的两端，所述驱动块沿所述丝杆移动至丝杆两端的极限位置时，分别触发第一光电开关和第二光电。

作为优选，所述内置弹簧的一端设有弹簧顶片，弹簧顶片外侧上设有用来调节其位置的紧定螺钉。

作为优选，所述紧定螺钉设置在所述驱动块上或所述滑动块上。

作为优选，所述可调节式底板上端边沿设有直线导轨，所述滑动块与直线导轨滑动连接。

本实用新型相较于现有技术，具有以下优点：

1、传统的晶元盘移载大多采用气缸来驱动，本实用新型中采用步进电机与同步带轮的组合，使得驱动力稳定，控制也更便利；相较于传统的气缸驱动，电机驱动占用的体积较小时，节省空间。

2、气缸驱动容易导致晶元掉落，本实用新型应用了自适应推力装置，来保证与晶元盘接触时有着足够的缓冲力，使得晶元盘可以在移动过程中更加柔和，能够平稳到达指定位置。

附图说明

图1为本实用新型正面的结构示意图；

图2为本实用新型的立体结构图；

图3为图1中A-A方向的结构示意图；

图4为图3中B处的局部放大图。

图中标号说明：

其中1、丝杆；2、内置弹簧；3、同步带轮；4、同步带；5、驱动带轮；6、步进电机；7、第一感应片；8、第一光电开关；9、可调节式底座；10、可调节式底板；11、直线导轨；12、第二光电开关；13、第二感应片；14、顶杆；15、驱动块；16、滑动块；17、弹簧顶片；18、紧定螺钉。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

实施例1

如图1所示，本实用新型包括可调节式底板10、用来承托晶元盘的顶杆14、驱动装置和自适应推力装置，其中可调节式底板10为横置的L形板，在可调节式底板10的左侧设有可调节式底座9，可调节式底板10与可调节式底座9活动连接。

驱动装置包括丝杆1和步进电机6，丝杆1平行于可调节式底板10的线性方向，设置在可调节式底板10表面上，丝杆1的右端设有同步带轮3，步进电机6设置在可调节式底板10右下侧表面，步进电机6的输出轴朝向右侧，且该输出轴上设有驱动带轮5，丝杆1的右端设有同步带轮3，同步带轮3与驱动带轮5之间通过同步带4连接，步进电机6通过同步带4的传动驱动丝杆1做轴线旋转。

自适应推力装置包括驱动块15和滑动块16，驱动块15与丝杆1螺纹连接，在可调节式底板10上端边沿横向设有直线导轨11，滑动块16与直线导轨11滑动连接，顶杆14安装在滑动块16的上端。滑动块16与驱动块15之间的空隙设有内置弹簧2，内置弹簧2左端连接滑动块16，其右端连接驱动块15。

在一些示例中，顶杆14与可调节式底板10上端边沿之间留有足够的缝隙，供顶杆14叉取晶元盘。

在一些示例中，内置弹簧2可以替换，根据晶元载盘类型或大小的不同，适配不同的弹簧。

在一些示例中，可调节式底板10上设有若干个呈矩阵式分布的跑道型直线槽，在一些示例中，跑道型直线槽的数量为四个，可调节式底座9上设有对应于跑道型直线槽的凸块。

如图2所示，可调节式底座9上设有第一光电开关8，驱动块15外表面设有对应于第一光电开关8的第一感应片7，驱动块15沿丝杆1移动至左端极限位置时，第一光电开关8被第一感应片7触发。

在一些示例中，可调节式底板10上设有第二光电开关12，在驱动块15底端设有对应于第二光电开关12的第二感应片13，驱动块15沿丝杆1移动至右端极限位置时，第二光电开关12被第二感应片13触发。

如图3-4所示，在内置弹簧2的一端设有与其相抵弹簧顶片17，在一些示例中，滑动块16上设有用于调节弹簧顶片17的紧定螺钉18，通过调节紧定螺钉18的给尽量来调节弹簧顶片17的位置，进而调节内置弹簧2的压缩量。

在一些示例中，紧定螺钉18设置在驱动块15上。

实施例2

本实施例不同于实施例1之处在于，本实施例中，滑动块16设有两块向外的凸起，部分的驱动块15位于两块凸起之间，内置弹簧2分别设置在驱动块15与两侧凸起的滑动块16之间。

以上就本实用新型较佳的实施例作了说明，但不能理解为是对权利要求的限制。本实用新型不仅局限于以上实施例，其具体结构允许有变化，凡在本实用新型独立要求的保护范围内所作的各种变化均在本实用新型的保护范围内。

Claims (7)

1.一种晶元盘推送机构，其特征在于：包括

可调节式底板；

顶杆，用来承托晶元盘；

驱动装置，其包括丝杆和步进电机，丝杆和步进电机平行设置在可调节式底板上，丝杆的一端设有同步带轮，步进电机的输出轴上设有驱动带轮，驱动带轮与同步带轮之间通过同步带连接；

自适应推力装置，其包括驱动块和滑动块，驱动块与滑动块之间设有内置弹簧，驱动块与所述丝杆螺纹连接，滑动块与所述可调节式底板滑动连接，所述顶杆安装在滑动块上。

2.根据权利要求1所述的一种晶元盘推送机构，其特征在于：还包括有可调节式底座，可调节式底座与所述可调节式底板活动连接，可调节式底座上安装有第一光电开关，所述驱动块上安装有与第一光电开关配合的第一感应片。

3.根据权利要求2所述的一种晶元盘推送机构，其特征在于：所述驱动块上还安装有第二感应片，所述可调节式底板上安装有与第二感应片配合的第二光电开关。

4.根据权利要求3所述的一种晶元盘推送机构，其特征在于：所述第一光电开关和第二光电开关分别临近所述丝杆的两端，所述驱动块沿所述丝杆移动至丝杆两端的极限位置时，分别触发第一光电开关和第二光电。

5.根据权利要求1所述的一种晶元盘推送机构，其特征在于：所述内置弹簧的一端设有弹簧顶片，弹簧顶片外侧上设有用来调节其位置的紧定螺钉。

6.根据权利要求5所述的一种晶元盘推送机构，其特征在于：所述紧定螺钉设置在所述驱动块上或所述滑动块上。

7.根据权利要求1所述的一种晶元盘推送机构，其特征在于：所述可调节式底板上端边沿设有直线导轨，所述滑动块与直线导轨滑动连接。

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