CN219591374U - 顶推装置及装片机 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种顶推装置及装片机，用于将芯片从蓝膜上顶起，其中包括安装架、升降平台、顶推组件及水平调节组件，水平调节组件设于升降平台及顶推组件之间，水平调节平台与顶推组件固定连接，水平调节平台与升降平台活动连接，水平调节组件用于驱使顶推组件沿平行于升降平台的平面方向移动，升降平台与安装架滑动连接，升降平台能够相对安装架沿垂直于升降平台的平面方向进行滑动，以带动顶推组件进行移动。上述顶推装置，能够实现在竖直方向上的快速升降功能，并实现大范围的位置调节，另外，通过设置水平调节组件，有利于对顶推组件进行进一步的水平方向的微调，有利于提高顶推装置的位置调节的灵活性，并且结构简单紧凑、制造成本低。

Description

顶推装置及装片机

技术领域

本申请涉及半导体芯片的封装技术领域，特别是涉及一种用于半导体芯片的顶推装置及装片机。

背景技术

随着半导体芯片的封装技术的发展，需要对经过切割划片工艺后的晶圆片进行装片工艺，或者叫粘片、固晶工艺。因此出现了装片设备，上述装片设备都需要通过顶推模组将芯片从蓝膜上高速稳定顶起，使得芯片和蓝膜脱离分开，方便焊头吸嘴拾取芯片，最后把吸嘴将芯片固定(封装)在半导体基板上。

传统的装片设备的顶推模组通过控制顶针将芯片从晶圆上顶起。

然而，上述传统的装片设备的顶推模组结构都比较复杂，制造成本较高，且顶推模组位置调节的灵活性较差，不利于工作效率的提高。

发明内容

基于此，有必要针对传统的顶推装置机构较复杂，且顶推模组位置调节的灵活性较差，不利于工作效率的提高的问题，提供一种顶推装置及装片机。

一种顶推装置，用于将芯片从蓝膜上顶起，所述顶推装置包括安装架、升降平台、顶推组件及水平调节组件，所述水平调节组件设于所述升降平台及所述顶推组件之间，所述顶推组件与所述调节平台固定连接，所述顶推组件与所述升降平台活动连接，所述水平调节组件用于驱使所述顶推组件沿平行于所述升降平台的平面方向移动，所述升降平台与所述安装架滑动连接，所述升降平台能够相对所述安装架沿垂直于所述升降平台的平面方向进行滑动，以带动所述顶推组件进行移动；所述顶推组件包括第一驱动件、凸轮结构及顶推结构，所述凸轮结构与所述第一驱动件相连接，所述顶推结构内具有顶针，所述顶针与所述凸轮结构相连接，所述第一驱动件用于驱动所述凸轮结构转动，以带动所述顶针朝垂直于所述升降平台的平面的方向运动。

在其中一个实施例中，所述安装架包括安装主体、第一滑动组件及第二滑动组件，所述第一滑动组件及所述第二滑动组件连接在所述安装主体的同一侧，且所述第一滑动组件及所述第二滑动组件间隔设置并相互平行。

在其中一个实施例中，所述第一滑动组件包括滑动连接的第一滑轨及第一滑块，所述第二滑动组件包括滑动连接的第二滑轨及第二滑块，所述升降平台同时连接于所述第一滑轨及所述第二滑轨。

在其中一个实施例中，包括第一驱动组件，所述第一驱动组件用于与所述升降平台相连接，以驱动所述升降平台相对所述安装架滑动。

在其中一个实施例中，所述第一驱动组件包括丝杆、连接件及第二驱动件，所述连接件套设于所述丝杆上，所述丝杆设置于所述第一滑轨及所述第二滑轨之间，并平行于所述第一滑轨，所述升降平台与所述连接件相连接，所述第二驱动件用于驱动所述丝杆转动，并带动所述连接件相对于所述丝杆滑动以使得所述升降平台进行升降运动。

在其中一个实施例中，所述第二驱动件装设在所述安装架背离所述丝杆的一侧，所述第一驱动组件还包括同步带组件，所述同步带组件包括第一同步轮、第二同步轮及同步带，所述第一同步轮通过所述同步带与所述第二同步轮相连接，所述第一同步轮与所述丝杆的一端相连接，所述第二同步轮与所述第二驱动件相连接。

在其中一个实施例中，所述升降平台包括支撑板、侧板及肋板，所述支撑板与所述侧板垂直连接，所述肋板连接于所述支撑板与所述侧板之间，所述侧板与所述安装架滑动连接，并使得所述支撑板与所述升降平台的滑动方向相互垂直。

在其中一个实施例中，所述顶推组件还包括传感器，所述传感器与所述凸轮相连接，所述传感器用于检测所述凸轮结构的转动角度。

在其中一个实施例中，所述水平调节组件包括调节旋钮及调节平台，所述调节平台设于所述升降平台及所述顶推组件之间，所述顶推组件与所述调节平台固定连接，所述调节平台与所述升降平台活动连接，所述调节旋钮用于推动所述调节平台，使得所述调节平台能够朝平行于所述升降平台的平面方向进行移动，以带动所述顶推组件移动。

一种装片机，包括上述任意一项实施例中所述的顶推装置。

在其中一个实施例中，所述安装架还包括连接支架，所述连接支架与所述安装架背离所述升降平台的一侧相连接，所述连接支架用于与所述装片机的机架相连接。

上述装片机及其顶推装置，通过升降平台能够相对安装架沿垂直于升降平台的平面方向进行滑动的设置，使得顶推装置能够实现在竖直方向上的快速升降功能，并实现大范围的位置调节，另外，通过在所述升降平台与所述顶推组件之间设置水平调节组件，有利于对顶推组件进行进一步的水平方向的微调。上述设置有利于提高装片机对顶推装置的位置调节的灵活性，进而提高工作效率，并且上述结构简单紧凑且性能可靠，有利于降低制造成本。

附图说明

图1为本申请一实施例中的顶推装置的结构示意图。

图2为本申请一实施例中的安装架与第一驱动组件装配后的结构示意图。

图3为本申请一实施例中的升降平台与顶推组件装配后的结构示意图。

图4为本申请一实施例中的顶推组件的结构示意图。

附图标记说明

10、顶推装置；100、安装架；110、第一滑动组件；111、第一滑轨；112、第一滑块；120、第二滑动组件；121、第二滑轨；122、第二滑块；130、安装主体；140、连接支架；200、升降平台；210、支撑板；220、侧板；230、肋板；300、顶推组件；310、第一驱动件；320、凸轮结构；330、顶推结构；340、传感器；350、底板；400、第一驱动组件；410、丝杆；420、连接件；430、第二驱动件；440、同步带组件；441、第一同步轮；442、第二同步轮；443、同步带；500、水平调节组件；510、调节旋钮；520、调节平台。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，若有出现这些术语“第一”、“第二”，这些术语仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，若有出现术语“多个”，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等，这些术语应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现第一特征在第二特征“上”或“下”等类似的描述，其含义可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，若元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。若一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。如若存在，本申请所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

参阅图1和图4，图1示出了本申请一实施例中的顶推装置10的结构示意图，图4示出了本申请一实施例中的顶推组件300的结构示意图。本申请一实施例提供的一种顶推装置10，用于将芯片从蓝膜上顶起，其中包括安装架100、升降平台200、顶推组件300及水平调节组件500，水平调节组件500设于升降平台200及顶推组件300之间，顶推组件300与调节平台520固定连接，顶推组件300与升降平台200活动连接，所述水平调节组件500用于驱使所述顶推组件300沿平行于所述升降平台200的平面方向移动，升降平台200与安装架100滑动连接，升降平台200能够相对安装架100沿垂直于升降平台200的平面方向进行滑动，以带动顶推组件300进行移动；顶推组件300包括第一驱动件310、凸轮结构320及顶推结构330，凸轮结构320与第一驱动件310相连接，顶推结构330内具有顶针，顶针与凸轮结构320相连接，第一驱动件310用于驱动凸轮结构320转动，以带动顶针朝垂直于升降平台200的平面的方向运动。

具体地，上述第一驱动件310可以为电动马达。上述顶推组件300还包括底板350，底板350用于承载上述第一驱动件310及凸轮结构320，并且用于与升降平台200相连接。

上述顶推装置10，通过升降平台200能够相对安装架100沿垂直于升降平台200的平面方向进行滑动的设置，使得顶推装置10能够实现在竖直方向上的快速升降功能，并实现大范围的位置调节，另外，通过在所述升降平台200与所述顶推组件300之间设置水平调节组件500，有利于对顶推组件300进行进一步的水平方向的微调。上述设置有利于提高顶推组件300的位置调节的灵活性，进而提高工作效率，上述结构简单紧凑且性能可靠，有利于降低制造成本。

参阅图2，图2示出了本申请一实施例中的安装架100与第一驱动组件400装配后的结构示意图，在一些实施例中，安装架100包括安装主体130、第一滑动组件110及第二滑动组件120，第一滑动组件110及第二滑动组件120连接在安装主体130的同一侧，且第一滑动组件110及第二滑动组件120间隔设置并相互平行。具体地，通过第一滑动组件110及第二滑动组件120的设置，有利于对升降平台200进行定位，提高顶推装置10的结构稳定性，另外，通过第一滑动组件110及第二滑动组件120相互平行的设置，有利于保持升降平台200滑动方向的精确，上述设置结构简单可靠。

进一步地，结合图2所示，在一个实施例中，第一滑动组件110包括滑动连接的第一滑轨111及第一滑块112，第二滑动组件120包括滑动连接的第二滑轨121及第二滑块122，升降平台200同时连接于第一滑轨111及第二滑轨121。通过滑块及滑轨配合的方式，结构稳定可靠，并且有利于降低制造成本。

进一步地，结合图2所示，在一个实施例中，顶推装置10包括第一驱动组件400，第一驱动组件400用于与升降平台200相连接，以驱动升降平台200相对安装架100滑动。上述第一驱动组件400对升降平台200的驱动可以为各种形式，如通过加设电机驱动滑块移动或加设电机驱动滑轨循环移动等。

优选地，结合图2所示，在一个实施例中，第一驱动组件400包括丝杆410、连接件420及第二驱动件430，连接件420套设于丝杆410上，丝杆410设置于第一滑轨111及第二滑轨121之间，并平行于第一滑轨111，升降平台200与连接件420相连接，第二驱动件430用于驱动丝杆410转动，并带动连接件420相对于丝杆410滑动以使得升降平台200进行升降运动。具体地，第二驱动件430可以为电动机、气缸或油缸等驱动元件。优选地，在本实施例中，第二驱动件430为电动马达。需要说明的是，上述第二驱动件430可以直接或间接与丝杆410相连接，只要实现驱动丝杆410转动，并带动连接件420滑动即可。进一步地，上述连接件420可以为连接块或连接板件等。

更进一步地，结合图2所示，在一个实施例中，第二驱动件430装设在安装架100背离丝杆410的一侧，第一驱动组件400还包括同步带组件440，同步带组件440包括第一同步轮441、第二同步轮442及同步带443，第一同步轮441通过同步带443与第二同步轮442相连接，第一同步轮441与丝杆410的一端相连接，第二同步轮442与第二驱动件430相连接。具体地，通过同步带组件440的设置，有利于提高顶推装置10的结构紧凑性，并有利于提高工作可靠性。

参阅图3，图3示出了本申请一实施例中的升降平台200与顶推组件300装配后的结构示意图，在一些实施例中，升降平台200包括支撑板210、侧板220及肋板230，支撑板210与侧板220垂直连接，肋板230连接于支撑板210与侧板220之间，侧板220与安装架100滑动连接，并使得支撑板210与升降平台200的滑动方向相互垂直。具体地，支撑板210与侧板220的连接方式可以为焊接或一体成型等。通过支撑板210与侧板220垂直连接，有利于保证在升降平台200进行位置的变动后，顶推组件300依然能够按预期方向进行工作，提高了顶推装置10的可靠性。进一步地，通过肋板230连接于支撑板210与侧板220之间，有利于提高结构的强度。另外，支撑板210与升降平台200的滑动方向相互垂直可理解为，在支撑板210的平面与侧板220相互垂直的基础上，需要保证侧板220的所在平面与安装架100的接触平面相互平行，使得顶推装置10在工作时，能够对升降平台200始终保持在竖直方向的位置调节，有利于提高顶推装置10的工作稳定性。

结合图4所示，在一些实施例中，顶推组件300还包括传感器340，传感器340与凸轮相连接，传感器340用于检测凸轮结构320的转动角度。具体地，传感器340用于检测凸轮结构320的转动角度，以实现对凸轮结构320进行回零调整，有利于提高顶推装置10的工作效率。

结合图3所示，在一些实施例中，水平调节组件500包括调节旋钮510及调节平台520，调节平台520设于升降平台200及顶推组件300之间，顶推组件300与调节平台520固定连接，调节平台520与升降平台200活动连接，调节旋钮510用于推动调节平台520，使得调节平台520能够朝平行于升降平台200的平面方向进行移动，以带动顶推组件300移动。具体地，上述调节平台520的平面与支撑板210的平面相互平行，有利于保证水平调节平台520的调节准确性，顶推组件300通过底板350与调节平台520相连接。上述调节旋钮510包括第一调节旋钮510a及第二调节旋钮510b。第一调节旋钮510a及第二调节旋钮510b能够对调节平台520进行相互垂直的两个方向进行移动调节，有利于对顶推装置10的顶推组件300进行水平方向的微调，进一步地提高顶推装置10对顶推组件300的位置调节的灵活性。进一步地，第一调节旋钮510a及第二调节旋钮510b可设置刻度以供调节参考，有利于提高顶推装置10的工作效率及工作可靠性。需要说明的是，上述底板350、调节平台520及支撑板210的所在平面保持相互平行，且均垂直于安装架100，另外，顶推结构330的长度方向与上述三者所在平面均保持相互垂直，通过上述设置，有利于保证顶推组件300位置调节的精度。

本申请还提供一种装片机，包括上述任意一项实施例的顶推装置10。进一步地，结合图1所示，在一个实施例中，安装架100还包括连接支架140，连接支架140与安装架100背离升降平台200的一侧相连接，连接支架140用于与装片机的机架相连接。具体地，上述连接支架140的位置及形状可以根据实际装片机的结构布置需要而定，有利于提高顶推装置10的适用范围。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (11)

1.一种顶推装置，用于将芯片从蓝膜上顶起，其特征在于，所述顶推装置包括安装架、升降平台、顶推组件及水平调节组件，所述水平调节组件设于所述升降平台及所述顶推组件之间，所述水平调节组件与所述顶推组件固定连接，所述水平调节组件与所述升降平台活动连接，所述水平调节组件用于驱使所述顶推组件沿平行于所述升降平台的平面方向移动，所述升降平台与所述安装架滑动连接，所述升降平台能够相对所述安装架沿垂直于所述升降平台的平面方向进行滑动，以带动所述顶推组件进行移动；所述顶推组件包括第一驱动件、凸轮结构及顶推结构，所述凸轮结构与所述第一驱动件相连接，所述顶推结构内具有顶针，所述顶针与所述凸轮结构相连接，所述第一驱动件用于驱动所述凸轮结构转动，以带动所述顶针朝垂直于所述升降平台的平面的方向运动。

2.根据权利要求1所述的顶推装置，其特征在于，所述安装架包括安装主体、第一滑动组件及第二滑动组件，所述第一滑动组件及所述第二滑动组件连接在所述安装主体的同一侧，且所述第一滑动组件及所述第二滑动组件间隔设置并相互平行。

3.根据权利要求2所述的顶推装置，其特征在于，所述第一滑动组件包括滑动连接的第一滑轨及第一滑块，所述第二滑动组件包括滑动连接的第二滑轨及第二滑块，所述升降平台同时连接于所述第一滑轨及所述第二滑轨。

4.根据权利要求3所述的顶推装置，其特征在于，包括第一驱动组件，所述第一驱动组件用于与所述升降平台相连接，以驱动所述升降平台相对所述安装架滑动。

5.根据权利要求4所述的顶推装置，其特征在于，所述第一驱动组件包括丝杆、连接件及第二驱动件，所述连接件套设于所述丝杆上，所述丝杆设置于所述第一滑轨及所述第二滑轨之间，并平行于所述第一滑轨，所述升降平台与所述连接件相连接，所述第二驱动件用于驱动所述丝杆转动，并带动所述连接件相对于所述丝杆滑动以使得所述升降平台进行升降运动。

6.根据权利要求5所述的顶推装置，其特征在于，所述第二驱动件装设在所述安装架背离所述丝杆的一侧，所述第一驱动组件还包括同步带组件，所述同步带组件包括第一同步轮、第二同步轮及同步带，所述第一同步轮通过所述同步带与所述第二同步轮相连接，所述第一同步轮与所述丝杆的一端相连接，所述第二同步轮与所述第二驱动件相连接。

7.根据权利要求1所述的顶推装置，其特征在于，所述升降平台包括支撑板、侧板及肋板，所述支撑板与所述侧板垂直连接，所述肋板连接于所述支撑板与所述侧板之间，所述侧板与所述安装架滑动连接，并使得所述支撑板与所述升降平台的滑动方向相互垂直。

8.根据权利要求1所述的顶推装置，其特征在于，所述顶推组件还包括传感器，所述传感器与所述凸轮相连接，所述传感器用于检测所述凸轮结构的转动角度。

9.根据权利要求1所述的顶推装置，其特征在于，所述水平调节组件包括调节旋钮及调节平台，所述调节平台设于所述升降平台及所述顶推组件之间，所述顶推组件与所述调节平台固定连接，所述调节平台与所述升降平台活动连接，所述调节旋钮用于推动所述调节平台，使得所述调节平台能够朝平行于所述升降平台的平面方向进行移动，以带动所述顶推组件移动。

10.一种装片机，其特征在于，包括权利要求1-9任意一项权利要求所述的顶推装置。

11.根据权利要求10所述的装片机，其特征在于，所述安装架还包括连接支架，所述连接支架与所述安装架背离所述升降平台的一侧相连接，所述连接支架用于与所述装片机的机架相连接。