CN213701065U - 等离子清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出一种等离子清洗机。所述等离子清洗机包括清洗机本体、安装件、夹持治具及调节装置。其中，所述清洗机本体包括控制器；所述安装件安装于所述清洗机本体上；所述夹持治具安装于所述安装件上，所述夹持治具具有夹槽，所述夹槽的宽度可调；所述调节装置安装于所述夹持治具的一侧，所述调节装置与所述控制器电连接，所述调节装置用于调节所述夹槽的宽度。本实用新型的等离子清洗机，能够提高夹持治具的兼容性，以提高等离子清洗机的适用性。

Description

等离子清洗机

技术领域

本实用新型涉及清洗技术领域，特别涉及一种等离子清洗机。

背景技术

等离子清洗机是利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。现有等离子清洗机的夹持治具通常为固定结构，只能兼容常规尺寸的基板，不能自动兼容新型尺寸的基板，如果需要兼容新尺寸的基板则需要人工使用扳手将夹持治具更换成另外一个新尺寸的治具，夹持治具的兼容性较低。

因此，有必要提出一种等离子清洗机，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种等离子清洗机，旨在提高夹持治具的兼容性，以提高等离子清洗机的适用性。

为实现上述目的，本实用新型提出一种等离子清洗机，所述等离子清洗机包括清洗机本体、安装件、夹持治具及调节装置。其中，所述清洗机本体包括控制器；所述安装件安装于所述清洗机本体上；所述夹持治具安装于所述安装件上，所述夹持治具具有夹槽，所述夹槽的宽度可调；所述调节装置安装于所述夹持治具的一侧，所述调节装置与所述控制器电连接，所述调节装置用于调节所述夹槽的宽度。

可选地，所述夹持治具包括固定部和活动部，所述固定部固定安装于所述安装件上，所述活动部与所述固定部活动连接，所述固定部和所述活动部之间配合形成所述夹槽，所述调节装置驱动所述活动部沿所述固定部移动以调节所述夹槽的宽度。

可选地，所述固定部包括固定框和固定杆，所述固定杆安装于所述固定框的一侧；所述活动部包括活动框和活动杆，所述活动杆安装于所述活动框的一侧并与所述固定杆安装于所述固定框的一侧相同，所述固定杆与所述活动杆之间形成所述夹槽，所述活动框可活动地安装于所述固定框内，以使得所述夹槽的宽度可调。

可选地，所述固定框包括相对设置的两个固定边框，所述固定杆的两端分别固定安装于两个所述固定边框上，两个所述固定边框之间构造形成有插槽，所述插槽沿所述固定边框的长度方向延伸，所述插槽与所述活动框对应设置，所述活动框可移动地安装于所述插槽内。

可选地，所述夹持治具还包括定位件，所述固定框的其中之一的所述固定边框上构造形成有定位孔，所述定位件穿过所述定位孔与所述活动框抵持。

可选地，所述夹持治具还包括感应片，所述清洗机本体上设有与所述感应片对应的感应器，所述感应器与所述控制器电连接，所述感应器能感应所述感应片的位置，以检测所述夹槽宽度的变化。

可选地，所述固定杆的数量有多个，所述活动杆的数量与所述固定杆的数量相同也有多个，多个所述固定杆与多个所述活动杆依次间隔设置，以形成有多个所述夹槽。

可选地，所述调节装置包括治具调节件、水平位移机构和升降机构，所述治具调节件安装于所述水平位移机构上，所述水平位移机构安装于所述升降机构上，所述治具调节件设于所述安装件的下方，所述安装件呈镂空设置，所述水平位移机构和所述升降机构分别与所述控制器电连接，以使得所述治具调节件能穿过所述安装件而调节所述夹槽的宽度。

可选地，所述水平位移机构包括第一直线模组、水平移动件和第一拖链组件，所述治具调节件安装于所述第一直线模组上，所述第一直线模组安装于所述水平移动件上，所述第一拖链组件与所述水平移动件连接，所述第一直线模组与所述第一拖链组件的移动方向相同，所述第一直线模组和所述第一拖链组件共同驱动所述治具调节件沿水平方向移动。

可选地，所述升降机构包括支撑件、第二直线模组、升降移动件和第二拖链组件，所述第二直线模组安装于所述支撑件上并与所述升降移动件连接，所述第二拖链组件与所述升降移动件连接，所述第二直线模组与所述第二拖链组件的移动方向相同，所述水平位移机构安装于所述升降移动件上，所述第二直线模组和所述第二拖链组件共同驱动所述水平位移机构进行上升或者下降调节。

本实用新型的技术方案，通过在安装件上安装夹持治具，夹持治具具有夹槽，夹槽的宽度可调，以及将调节装置安装于夹持治具的一侧，调节装置与控制器电连接，通过控制器能控制调节装置自动的对夹槽宽度进行调节，使得夹持治具的夹槽具有不同的宽度，进而使得夹持治具能夹持不同宽度尺寸的基板，提高了夹持治具的兼容性，以及提高了等离子清洗机的适用性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型的等离子清洗机一实施例的结构示意图；

图2为图1中等离子清洗机的部分结构示意图；

图3为图2中等离子清洗机的部分结构示意图；

图4为图3中的结构分解后的结构示意图；

图5为图4中的夹持治具的结构示意图；

图6为图5中的固定部的结构示意图；

图7为图6中的结构分解后的结构示意图；

图8为图5中活动部的结构示意图。

附图标号说明：

本实用新型目的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

本实用新型提供一种等离子清洗机，所述等离子清洗机是利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果，所述等离子清洗机能够提高夹持治具的兼容性，以及提高等离子清洗机的适用性。

请参阅图1至图3，本实用新型的等离子清洗机10的一实施例中，等离子清洗机10包括清洗机本体100、安装件200、夹持治具300及调节装置400。其中，清洗机本体100包括控制器111；安装件200安装于清洗机本体100上；夹持治具300安装于安装件200上，夹持治具300具有夹槽330，夹槽330的宽度可调；调节装置400安装于夹持治具300的一侧，调节装置400与控制器111电连接，调节装置400用于调节夹槽330的宽度(如图5所示)。

具体说来，控制器111包括触摸屏和控制模块，控制模块包括电控板及与电控板连接的控制按键，电控板上设有控制程序，电控板与调节装置400电连接，通过操作触摸屏及控制按键来调节夹持治具300的夹槽330宽度。调节装置400可以为治具调节件410及驱动治具调节件410移动的调节机构，或者为机械手，在此不作限定。具体在后文还有详细介绍。

进一步地，清洗机本体100还包括上机架110和下机架120，上机架110罩盖于下机架120上，触摸屏安装于上机架110上，以方便对触摸屏进行操作；下机架120上设有工作台，夹持治具300可以安装于工作台上，调节装置400安装于夹持治具300的一侧，调节装置400可以安装于工作台上，也可以安装于工作台的下方，只需调节装置400能对夹持治具300进行调节即可。等离子清洗机10还包括输送模组和清洗模组，输送模组和清洗模组安装于工作台上，输送模组适用于将基板输送至夹持治具300中，以使得夹持治具300能夹持基板，清洗模组适用于对夹持治具300中的基板进行清洗。

本实用新型的技术方案，通过在安装件200上安装夹持治具300，夹持治具300具有夹槽330，夹槽330的宽度可调，以及将调节装置400安装于夹持治具300的一侧，调节装置400与控制器111电连接，通过控制器111能控制调节装置400自动的对夹槽330宽度进行调节，使得夹持治具300的夹槽330具有不同的宽度，进而使得夹持治具300能夹持不同宽度尺寸的基板，提高了夹持治具300的兼容性，以及提高了等离子清洗机10的适用性。

请参阅图4和图5，在一实施例中，可选地，夹持治具300包括固定部310和活动部320，固定部310固定安装于安装件200上，活动部320与固定部310活动连接，固定部310和活动部320之间配合形成有夹槽330，调节装置400驱动活动部320沿固定部310移动以调节夹槽330的宽度。

具体说来，安装件200上设有挡块，挡块的数量有多个，挡块与安装件200通过螺栓连接，多个挡块围合形成有安装区，以供固定部310安装。活动部320与固定部310活动连接的方式有多种，例如但不局限于：固定部310设有插槽340，活动部320的部分结构插置于插槽340内，活动部320与固定部310通过插置连接，以配合形成夹槽330，调节装置400通过调节活动部320在固定部310的插槽340内移动以调节夹槽330的宽度；或者固定部310呈中空设置，固定部310套设于活动部320上，活动部320与固定部310通过滑动连接，以配合形成夹槽330，调节装置400通过调节活动部320在固定部310内通过滑动以调节夹槽330的宽度。通过驱动活动部320移动来调节夹槽330宽度的方式简单，易于操作。

进一步地，固定部310包括固定框311和固定杆312(如图6所示)，固定杆312安装于固定框311的一侧；活动部320包括活动框321和活动杆322(如图8所示)，活动杆322安装于活动框321的一侧并与固定杆312安装于固定框311的一侧相同，固定杆312与活动杆322之间形成夹槽330，活动框321可活动地安装于固定框311内，以使得夹槽330的宽度可调。

具体说来，固定框311包括边框，边框的数量可以为多个，具体在此不作限定。在本实施例中，边框的数量为四个，四个边框依次连接使得固定框311呈长方形设置，可以理解的是，四个边框组成的固定框311也可以为正方形设置，或者菱形设置。

在本实施例中，固定框311的的四个边框通过螺栓结构连接固定，固定框311有两个沿长度方向延伸的边框和两个沿宽度方向延伸的边框，为方便说明，以其中一个沿长度方向延伸的边框和一个沿宽度方向延伸的边框为例进行介绍。沿宽度方向延伸的边框的两端均构造形成有第一螺接孔3112，沿长度方向延伸的边框的两端也构造形成有与第一螺接孔3112对应的第二螺接孔3113(如图7所示)，通过螺栓依次穿过第一螺接孔3112和第二螺接孔3113而使得两个边框固定连接。为了使固定框311的边框连接牢固，边框连接处的第一螺接孔3112的数量为两个，与第一螺接孔3112对应的第二螺接孔3113的数量也为两个，通过两个螺栓使得两个边框能连接牢固，提高了固定孔的稳定性。

进一步地，为了方便用户对固定框311进行组装，固定框311沿宽度方向延伸的边框的两端均设有第一连接部，固定框311沿长度方向延伸的边框的两端也设有与第一连接部对应的第二连接部，第一连接部压合于第二连接部上，第一螺接孔3112呈上下向的贯设于第一连接部内，第二螺接孔3113也呈上下向的贯设于第二连接部内。在对边框进行组装时，因第一连接部压合于第二连接部上，螺栓可以由上向下的安装于第一螺接孔3112和第二螺接孔3113内，这样方便直接对边框进行组装，避免了第一螺接孔3112设于边框的侧边，在组装时需对边框进行换向才能组装的情况发生，进而简化了固定框311的边框的组装方式，提高了固定框311的组装效率。活动框321的结构与固定框311的结构类似，活动框321也是由四个边框依次连接组成，活动框321的四个边框也是通过螺栓结构连接固定。在本实施例中，活动框321也呈长方形设置，可以理解的是，活动框321也可以为正方形设置，也可以为菱形设置。因活动框321的结构与固定框311的结构类似，在此不再一一赘述。

此外，固定杆312呈长条形设置，固定杆312的两端分别安装于固定框311沿长度方向延伸的两个边框上，固定杆312与固定框311通过螺栓结构连接，固定杆312的两端分别构造形成有一个第三螺接孔，固定框311沿长度方向延伸的两个边框上设有与第三螺接孔对应的第四螺接孔，通过螺栓依次穿过第三螺接孔和第四螺接孔而使得固定杆312与固定框311固定连接。活动杆322也呈长条形设置，活动杆322安装于活动框321上并与固定杆312位于夹持治具300的同一侧，活动杆322与固定杆312间隔设置，以形成夹槽330。为方便夹持治具300对基板进行夹持，固定杆312朝向活动杆322的一侧构造形成有第一凸台，活动杆322朝向固定杆312的一侧对应设置有与第一凸台适配的第二凸台，第一凸台与第二凸台适用于供基板抵持。活动框321可活动地安装于固定框311的方式有多种，例如但不局限于；活动框321可滑动的安装于固定框311内，以使得活动杆322与固定杆312形成的夹槽330宽度可调，或者活动框321可移动地安装于固定框311内，以使得活动杆322与固定杆312形成的夹槽330宽度可调。具体在后文还有详细介绍。

可以理解的是，夹槽330还可以为活动杆322与活动杆322间隔形成，其形成方式与上述方式类似，在此不再一一赘述。通过调节装置400对夹持治具300进行调节，使得夹槽330具有不同的宽度，以满足不同宽度尺寸的基板，提高了夹持治具300的兼容性，而且通过调节装置400直接对夹持治具300进行调节，简化了操作，提高了调节效率。

请参阅图5至图7，在一实施例中，考虑到活动框321通过滑动的方式安装于固定框311内时，其安装方式较为复杂，为了简化活动框321的安装方式，可选地，固定框311包括相对设置的两个固定边框3111，固定杆312的两端分别固定安装于两个固定边框3111上，两个固定边框3111之间构造形成有插槽340，插槽340沿固定框311的长度方向延伸，插槽340与活动框321对应设置，活动框321可移动地安装于插槽340内。

具体说来，固定框311沿长度方向延伸的边框即为固定边框3111，两个固定边框3111与两个沿宽度方向延伸的边框共同围合形成插槽340，插槽340的宽度尺寸与活动框321的宽度尺寸对应设置，插槽340的长度尺寸大于活动框321的长度尺寸，使得活动框321可移动的安装于插槽340内。

进一步地，固定杆312的两端分别安装于两个固定边框3111上，活动杆322的两端也分别安装于活动框321沿长度方向延伸的边框上，活动杆322与固定杆312间隔设置以形成夹槽330。在移动活动框321时，活动杆322随着活动框321同步移动，使得活动杆322与固定杆312之间的夹槽330宽度也随着活动框321的移动而变化，通过调节活动框321的位置，进而调节了夹槽330的宽度。这种安装方式简单，便于操作，提高了活动框321的安装效率。

此外，固定杆312的数量有多个，活动杆322的数量与固定杆312的数量相同也有多个，多个固定杆312与多个活动杆322依次间隔设置，以形成有多个夹槽330。多个固定杆312依次安装于固定杆312上，多个活动杆322依次设于相邻固定杆312之间而形成多个夹槽330，这样使得夹持治具300能同时夹持多个基板，提高了夹持治具300的夹持能力，使得等离子清洗机10能同时清洗多个基板，提高了等离子清洗机10的清洗效率。

请参阅图5至图7，在一实施例中，考虑到通过调节活动框321在固定框311内移动的方式来调节夹槽330的宽度，如未对活动框321进行定位固定，夹槽330的宽度容易松动而改变。为了避免这种情况发生，可选地，夹持治具300还包括定位件350，固定框311的其中之一的固定边框3111上构造形成有定位孔，定位件350穿过定位孔与活动框321抵持。

具体说来，定位件350包括端部呈内六角设置的定位本体、弹簧、间隔环和滚珠，定位本体表面设有外螺纹，定位本体具有空腔，弹簧、间隔环和滚珠依次设于空腔内，其中滚珠的部分结构外露于空腔。固定边框3111上的定位孔内设有与定位本体的外螺纹适配的内螺纹。定位孔的数量有多个，多个定位孔沿固定边框3111的长度方向依次间隔排布，定位件350的数量与多个定位孔的数量对应。在安装定位件350时，定位件350穿过定位孔而与活动框321的边框抵持，定位本体与定位孔通过螺纹固定，使得定位件350能将插槽340内的活动框321完全固定。

进一步地，定位件350的端部设有滚珠，此时为滚珠与活动框321的边框抵持，因定位本体内设有弹簧，使得活动框321移动时，滚珠可以在空腔内滚动，进而方便活动框321在插槽340内移动。在此过程中，定位件350能将活动框321完全定位固定，避免了活动框321在插槽340内任意移动的情况发生；同时，滚珠能在空腔内滚动，使得活动框321与固定框311之间具有移动的空间，进而使得活动框321能在插槽340内移动。通过安装定位件350，提高了夹持治具300的稳定性。

请参阅图4和图5，在一实施例中，夹持治具300还包括感应片360，清洗机本体100上设有与感应片360对应的感应器(未图示)，感应器与控制器111电连接，感应器能感应感应片360的位置，以检测夹槽330宽度的变化。

具体说来，感应片360安装于活动杆322上，感应器安装于感应片360的一侧并与感应片360处于同一直线上，感应器能感应同一直线上的感应片360的位置。因感应片360安装于活动杆322上，活动杆322与固定杆312之间形成有夹槽330，当活动杆322随活动框321移动时，夹槽330的宽度随之变化，此时感应片360与感应器未处于同一直线上，感应器感应不到感应片360的位置，即夹槽330的宽度发生了变化，感应器将未感应到感应片360的信号传递给控制器111，控制器111能对等离子清洗机10进行停机控制，以便工作人员进行处理；当感应器能感应到感应片360时，则表明感应器与感应片360处于同一直线上，即夹槽330的宽度未发生变化。

需要说明的是，在本实施例中，感应器为限位感应器。在其它实施例中，感应器还可以为位置感应器、光敏感应器等感应装置，其达到的技术效果与本实施例相似，此处不再一一详述。

请参阅图3至图4，在一实施例中，调节装置400包括治具调节件410、水平位移机构420和升降机构430，治具调节件410安装于水平位移机构420上，水平位移机构420安装于升降机构430上，治具调节件410设于安装件200的下方，安装件200呈镂空设置，水平位移机构420和升降机构430分别与控制器111电连接，以使得治具调节件410能穿过安装件200而调节夹槽330的宽度。

具体说来，治具调节件410包括治具调节块和接近传感器，治具调节块上设有凹槽，接近传感器设于凹槽内。接近传感器与控制器111电连接，接近传感器用于检测治具调节块与夹持治具300的位置是否对应，并将检测到的信号反馈给控制器111，控制器111通过接近传感器反馈的信号对夹持治具300的夹槽330宽度进行调节。

进一步地，水平位移机构420包括第一直线模组、水平移动件和第一拖链组件，治具调节件410安装于第一直线模组上，第一直线模组安装于水平移动件上，第一拖链组件与水平移动件连接，第一直线模组与第一拖链组件的移动方向相同，第一直线模组和第一拖链组件共同驱动治具调节件410沿水平方向移动。

其中，第一直线模组包括第一步进电机421、第一滚珠丝杆和第一直线导轨组件，水平移动件包括安装板和水平移动板，第一步进电机421安装于水平移动板上，第一步进电机421与第一滚珠丝杆连接，并能带动水平移动板在安装板上沿水平方向移动。第一直线导轨组件安装于安装板上，第一直线导轨组件上设有三轴气缸，治具调节件410安装于三轴气缸上，以对治具调节件410进行上升或者下降调节，使得治具调节件410能更准确的对夹持治具300进行调节。

此外，第一拖链组件安装于安装板上，并与水平移动板连接，使得第一拖链组件能与第一直线模组同步沿着水平方向移动。第一拖链组件能牵引和对第一直线模组进行保护，提高了第一直线模组的可靠性。

进一步地，升降机构430包括支撑件、第二直线模组、升降移动件和第二拖链组件，第二直线模组安装于支撑件上并与升降移动件连接，第二拖链组件与升降移动件连接，第二直线模组与第二拖链组件的移动方向相同，水平位移机构420安装于升降移动件上，第二直线模组和第二拖链组件共同驱动水平位移机构420进行上升或者下降调节。

其中，支撑件安装于清洗机本体100的下机架120上，第二直线模组包括第二步进电机431、第二滚珠丝杆和第二直线导轨，升降移动件包括固定板和升降移动板，第二步进电机431与第二滚珠丝杆连接并固定安装在固定板上，第二直线导轨安装于升降移动板上并与固定板滑动连接，升降移动板与水平位移机构420的水平移动板连接，通过第二步进电机431驱动升降移动板进行上升或者下降调节，使得升降移动板能带动水平位移机构420同步的进行上升或者下降调节。

此外，第二拖链组件的一端与固定板连接，另外一端与升降移动板连接，使得第二拖链组件能与第二直线模组在第二同步电机的驱动下能同步进行上升或者下降调节。第二拖链组件能牵引和对第二直线模组进行保护，提高了第二直线模组的可靠性。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的发明构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种等离子清洗机，其特征在于，所述等离子清洗机包括；

清洗机本体，所述清洗机本体包括控制器；

安装件，所述安装件安装于所述清洗机本体上；

夹持治具，所述夹持治具安装于所述安装件上，所述夹持治具具有夹槽，所述夹槽的宽度可调；以及

调节装置，所述调节装置安装于所述夹持治具的一侧，所述调节装置与所述控制器电连接，所述调节装置用于调节所述夹槽的宽度。

2.如权利要求1所述的等离子清洗机，其特征在于，所述夹持治具包括固定部和活动部，所述固定部固定安装于所述安装件上，所述活动部与所述固定部活动连接，所述固定部和所述活动部之间配合形成所述夹槽，所述调节装置驱动所述活动部沿所述固定部移动以调节所述夹槽的宽度。

3.如权利要求2所述的等离子清洗机，其特征在于，所述固定部包括固定框和固定杆，所述固定杆安装于所述固定框的一侧；所述活动部包括活动框和活动杆，所述活动杆安装于所述活动框的一侧并与所述固定杆安装于所述固定框的一侧相同，所述固定杆与所述活动杆之间形成所述夹槽，所述活动框可活动地安装于所述固定框内，以使得所述夹槽的宽度可调。

4.如权利要求3所述的等离子清洗机，其特征在于，所述固定框包括相对设置的两个固定边框，所述固定杆的两端分别固定安装于两个所述固定边框上，两个所述固定边框之间构造形成有插槽，所述插槽沿所述固定边框的长度方向延伸，所述插槽与所述活动框对应设置，所述活动框可移动地安装于所述插槽内。

5.如权利要求4所述的等离子清洗机，其特征在于，所述夹持治具还包括定位件，所述固定框的其中之一的所述固定边框上构造形成有定位孔，所述定位件穿过所述定位孔与所述活动框抵持。

6.如权利要求1所述的等离子清洗机，其特征在于，所述夹持治具还包括感应片，所述清洗机本体上设有与所述感应片对应的感应器，所述感应器与所述控制器电连接，所述感应器能感应所述感应片的位置，以检测所述夹槽宽度的变化。

7.如权利要求3所述的等离子清洗机，其特征在于，所述固定杆的数量有多个，所述活动杆的数量与所述固定杆的数量相同也有多个，多个所述固定杆与多个所述活动杆依次间隔设置，以形成有多个所述夹槽。

8.如权利要求1至7任意一项所述的等离子清洗机，其特征在于，所述调节装置包括治具调节件、水平位移机构和升降机构，所述治具调节件安装于所述水平位移机构上，所述水平位移机构安装于所述升降机构上，所述治具调节件设于所述安装件的下方，所述安装件呈镂空设置，所述水平位移机构和所述升降机构分别与所述控制器电连接，以使得所述治具调节件能穿过所述安装件而调节所述夹槽的宽度。

9.如权利要求8所述的等离子清洗机，其特征在于，所述水平位移机构包括第一直线模组、水平移动件和第一拖链组件，所述治具调节件安装于所述第一直线模组上，所述第一直线模组安装于所述水平移动件上，所述第一拖链组件与所述水平移动件连接，所述第一直线模组与所述第一拖链组件的移动方向相同，所述第一直线模组和所述第一拖链组件共同驱动所述治具调节件沿水平方向移动。

10.如权利要求8所述的等离子清洗机，其特征在于，所述升降机构包括支撑件、第二直线模组、升降移动件和第二拖链组件，所述第二直线模组安装于所述支撑件上并与所述升降移动件连接，所述第二拖链组件与所述升降移动件连接，所述第二直线模组与所述第二拖链组件的移动方向相同，所述水平位移机构安装于所述升降移动件上，所述第二直线模组和所述第二拖链组件共同驱动所述水平位移机构进行上升或者下降调节。

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