CN213415523U - 一种硅片吸盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及硅片输送技术领域，涉及一种硅片吸盘。本实用新型可对硅片保持竖直状态进行抓取，通过主体和横板对硅片进行吸附，通过主吸气孔和副吸气孔配合可提供足够的吸附力不会使竖直状态的硅片掉落，有效改善整个吸盘的密闭性，从而保持了吸盘吸紧硅片的持久性，主体和横板可增大与硅片的接触面积，可提供足够的支撑面不会使硅片在运动中不会颤动。

Description

一种硅片吸盘

技术领域

本实用新型涉及硅片输送技术领域，涉及一种硅片吸盘。

背景技术

在硅片的加工过程中，对于较大尺寸、薄片成品和半成品要求整齐搬运，以便于下道工序的加工。如果采用人工移运、卸料进行堆码摆放，不仅需要消耗大量的人力成本，而且容易造成硅片的损坏。

为了便于对较大尺寸的硅片进行搬运和码垛，现在多采用机械搬运、或者是机械配合吸盘搬运的方式；目前，大多采用吸盘来吸取硅片，然后配合移动模组等方式来转运。然而，吸盘与较大尺寸的硅片接触面积小，吸盘负荷较大，常常导致吸盘出现吸不牢、吸附的时间短等问题，容易将硅片掉下来，不能满足较大尺寸的硅片的生产需求。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种可提供足够的吸附力不会使竖直状态的硅片掉落，硅片在搬运中不会颤动的硅片吸盘。

为了解决上述技术问题，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种硅片吸盘，包括吸板以及封板，所述吸板包括本体以及两横板，所述本体一端设置有吸气口，两横板设置在所述本体上，所述本体上开设有真空腔道，所述吸气口与真空腔道相通，所述横板上设置有支向腔道，所述支向腔道与所述真空腔道相连通，所述本体的吸附面上开设有主吸气孔，所述主吸气孔与所述真空腔道相通，所述横板的吸附面上均开设有副吸气孔，所述副吸气孔与所述支向腔道相通，所述封板与所述吸板密封连接。

进一步地，所述本体两侧分别开设有便于装配定位的限位槽，所述限位槽设置在靠近所述吸气口位置。

进一步地，所述真空腔道上设置有多个分隔块，所述分隔块将所述真空腔道分隔成多条相互连通的导向风道，所述主吸气孔设置在多条导向风道相交位置。

进一步地，所述本体以及两横板为一体成型结构。

进一步地，两横板平行设置在所述本体上，两横板之间设置有容置槽，所述容置槽的宽度与大于或者等于所述横板的宽度。

进一步地，还包括导向板，所述导向板与本体、远离吸气口的横板连接，所述导向板两侧设置有导向斜面。

进一步地，所述导向板横截面为三角形或者梯形。

进一步地，所述本体、横板的吸附面上均设置有海绵密封板。

进一步地，所述本体上设置有延伸板，所述延伸板上开设有与所述真空腔道相通的延伸腔道，所述延伸板的吸附面上设置有延伸吸气孔，所述延伸吸气孔与所述延伸腔道相通。

进一步地，所述延伸板与横板之间设置有定位槽，所述定位槽外形与所述横板外形相匹配，且所述延伸板的长度大于或等于所述横板的宽度。

本实用新型的有益效果：

本实用新型可对硅片保持竖直状态进行抓取，通过主体和横板对硅片进行吸附，通过主吸气孔和副吸气孔配合可提供足够的吸附力不会使竖直状态的硅片掉落，有效改善整个吸盘的密闭性，从而保持了吸盘吸紧硅片的持久性，主体和横板可增大与硅片的接触面积，可提供足够的支撑面不会使硅片在运动中不会颤动。

附图说明

图1是本实用新型的一种硅片吸盘结构示意图。

图2是本实用新型的立体示意图一。

图3是本实用新型的立体示意图二。

图4是本实用新型的装配示意图。

图中标号说明：1、本体；11、限位槽；12、吸气口；13、导向风道；14、主吸气孔；15、分隔块；2、封板；3、横板；31、支向腔道；32、副吸气孔；33、容置槽；34、定位槽；4、导向板；

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

参照图1所示，一种硅片吸盘，包括吸板以及封板2，所述吸板包括本体1以及两横板3，所述本体1一端设置有吸气口12，两横板3设置在所述本体1上，所述本体1上开设有真空腔道，所述吸气口12与真空腔道相通，所述横板3上设置有支向腔道31，所述支向腔道31与所述真空腔道相连通，所述本体1的吸附面上开设有主吸气孔14，所述主吸气孔14与所述真空腔道相通，所述横板3的吸附面上均开设有副吸气孔32，所述副吸气孔32与所述支向腔道31相通，所述封板2与所述吸板密封连接。

本实用新型可对硅片保持竖直状态进行抓取，通过主体和横板3对硅片进行吸附，通过主吸气孔14和副吸气孔32配合可提供足够的吸附力不会使竖直状态的硅片掉落，有效改善整个吸盘的密闭性，从而保持了吸盘吸紧硅片的持久性，主体和横板3可增大与硅片的接触面积，可提供足够的支撑面不会使硅片在运动中不会颤动。

两横板3设置在所述本体1上，使得所述吸板呈“F”形状，由吸气口12进行抽真空，瞬间在真空腔道与支向腔道31内形成真空，再将吸力分摊到吸板吸附面上的吸气孔上。

所述封板2上设置有密封圈，所述封板2通过密封圈与所述吸板连接。

所述本体1两侧分别开设有便于装配定位的限位槽11，所述限位槽11设置在靠近所述吸气口12位置。

所述真空腔道上设置有多个分隔块15，所述分隔块15将所述真空腔道分隔成多条相互连通的导向风道13，所述主吸气孔14设置在多条导向风道13相交位置。

所述本体1以及两横板3为一体成型结构。

还包括导向板4，所述导向板4与本体1、远离吸气口12的横板3连接，所述导向板4两侧设置有导向斜面。

所述导向板4横截面为三角形或者梯形。

导向斜面在抓取竖直硅片时，有效避免对硅片的碰撞，保证抓取准确性。

所述本体1、横板3的吸附面上均设置有海绵密封板2，由于吸附面黏贴有海绵密封板2可以有效的填补吸盘与硅片之间形成的各种空隙，达到能快速在硅片和吸盘间形成真空。从而可将极片吸取，并且因为多孔分散了真空的吸力及底部海绵密封板2具有一定弹性，致使硅片表面不会出现任何损伤现象。

有一个实施例中，两横板3平行设置在所述本体1上，两横板3之间设置有容置槽33，所述容置槽33的宽度与大于或者等于所述横板3的宽度。

所述本体1上设置有延伸板，所述延伸板上开设有与所述真空腔道相通的延伸腔道，所述延伸板的吸附面上设置有延伸吸气孔，所述延伸吸气孔与所述延伸腔道相通。

所述延伸板与横板3之间设置有定位槽34，所述定位槽34外形与所述横板3外形相匹配，且所述延伸板的长度大于或等于所述横板3的宽度。

通过横板3与容置槽33、横板3与定位槽34进行配合装配，可将“F”形状的硅片吸盘与上述实施例中的硅片吸盘(包括延伸板)紧密配合，使两者装配为同一平面的大吸盘，可针对单个大尺寸硅片或者在两硅片吸盘两侧进行抓取硅片，极大地提高了适用范围。

以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

Claims (10)

1.一种硅片吸盘，其特征在于，包括吸板以及封板，所述吸板包括本体以及两横板，所述本体一端设置有吸气口，两横板设置在所述本体上，所述本体上开设有真空腔道，所述吸气口与真空腔道相通，所述横板上设置有支向腔道，所述支向腔道与所述真空腔道相连通，所述本体的吸附面上开设有主吸气孔，所述主吸气孔与所述真空腔道相通，所述横板的吸附面上均开设有副吸气孔，所述副吸气孔与所述支向腔道相通，所述封板与所述吸板密封连接。

2.如权利要求1所述的硅片吸盘，其特征在于，所述本体两侧分别开设有便于装配定位的限位槽，所述限位槽设置在靠近所述吸气口位置。

3.如权利要求1所述的硅片吸盘，其特征在于，所述真空腔道上设置有多个分隔块，所述分隔块将所述真空腔道分隔成多条相互连通的导向风道，所述主吸气孔设置在多条导向风道相交位置。

4.如权利要求1所述的硅片吸盘，其特征在于，所述本体以及两横板为一体成型结构。

5.如权利要求1所述的硅片吸盘，其特征在于，两横板平行设置在所述本体上，两横板之间设置有容置槽，所述容置槽的宽度与大于或者等于所述横板的宽度。

6.如权利要求1所述的硅片吸盘，其特征在于，还包括导向板，所述导向板与本体、远离吸气口的横板连接，所述导向板两侧设置有导向斜面。

7.如权利要求6所述的硅片吸盘，其特征在于，所述导向板横截面为三角形或者梯形。

8.如权利要求1所述的硅片吸盘，其特征在于，所述本体、横板的吸附面上均设置有海绵密封板。

9.如权利要求1所述的硅片吸盘，其特征在于，所述本体上设置有延伸板，所述延伸板上开设有与所述真空腔道相通的延伸腔道，所述延伸板的吸附面上设置有延伸吸气孔，所述延伸吸气孔与所述延伸腔道相通。

10.如权利要求9所述的硅片吸盘，其特征在于，所述延伸板与横板之间设置有定位槽，所述定位槽外形与所述横板外形相匹配，且所述延伸板的长度大于或等于所述横板的宽度。

Images