CN217387118U - 一种插槽式吸盘组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种插槽式吸盘组件,集气板、吸盘密封板、插槽底座和吸取组件，吸盘密封板位于集气板与插槽底座之间，吸取组件由若干吸盘构成，插槽底座设置有若干安装插槽，一组安装插槽对应安装一组吸盘，吸盘密封板为集气板与插槽底座的进气通道进行密封，集气板为吸取组件供气，吸取组件吸取硅片，本实用新型的吸盘采用独立的插片方式插入插槽底座，每个吸盘对应独立的一个安装插槽，保证了吸盘相互之间的精度，吸盘损坏或其它原因需要更换时只需拆掉固定装置，将需要更换的吸盘取出更换不会影响其它的吸盘位置精度。

Description

一种插槽式吸盘组件

技术领域

本实用新型属于光伏领域，涉及一种插槽式吸盘组件。

背景技术

花篮是硅片运输过程中的重要工具，每个花篮中放置的硅片数量也不相同，随着硅片加工工艺要求要来越高，其加工工艺也越来越复杂，硅片装卸装置的要求也越来越高，而吸盘组件就是硅片装卸和分合片的重要部件，因为硅片发展趋势越来越大，越来越薄，所以吸盘也将会做的越来越大，吸盘越大加工精度会越差，导致吸盘叠片安装的方式会出现更大的累计误差，不能满足使用要求。

现常用吸插片式的吸盘组件以解决上述问题，但吸插片式吸盘厚度偏薄，通气孔也比较窄小，密封性效果差，容易出现漏气问题，且每个吸盘对应一个插槽口，对吸盘插槽底座、槽口大小尺寸和槽间距尺寸精度的要求很高，会增加加工的难度，本实用新型将会解决此种问题。

发明内容

本实用新型为了克服现有技术的不足，提供一种插槽式吸盘组件。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种插槽式吸盘组件,其特征在于：包括集气板、吸盘密封板、插槽底座和吸取组件，吸盘密封板位于集气板与插槽底座之间，吸取组件由若干吸盘构成，插槽底座设置有若干安装插槽，一组安装插槽对应安装一组吸盘，吸盘密封板对集气板与插槽底座的进气通道进行密封，集气板为吸取组件供气，吸取组件吸取硅片,还包括固定装置，固定装置包括吸盘固定板和紧固杆，吸盘固定板包括用于压紧的压紧部和用于固定的紧固部，所述吸盘包括固定部和吸取部，吸盘的固定部两侧对称固设有压紧槽口，压紧部插入压紧槽口并压紧吸盘，使吸盘顶端与密封板相抵。

进一步的；所述集气板内设置有开口朝外的导气腔，集气板两侧面固设有与导气腔连通的进气孔，进气孔连通设置有进气管接头，进气管接头与外接真空设备连通，外接真空设备将气体沿进气管接头导入导气腔内为吸取组件供能，一组集气板与两组进气管接头连接，控制两组进气管接头同时进气或出气。

进一步的；所述集气板上固设有第一安装腔，第一安装腔设置为内凹的方环结构，且分布在导气腔的外侧，第一安装腔内安装有密封圈，用于密封集气板与吸盘密封板，便于集气板与吸盘密封板间的气体流通。

进一步的；所述吸盘密封板由连接板和密封板构成，连接板设置为铝制板，密封板设置为硅胶板；密封板用于密封吸盘密封板与吸取组件，连接板固设有内腔，内腔内固设有贯穿密封板的若干输气腔，输气腔与吸盘一一对应，输气腔沿内腔的长度方向横向分布，进气管接头、导气腔以及输气腔形成由集气板至吸取组件的供气通道。

进一步的；所述插槽底座上固设有上下贯穿的腔体，气体沿腔体上下方向流通，腔体内固设有若干加强筋，加强插槽底座的强度并减少插槽底座的变形量，加强筋将腔体分为若干分区，分区两组侧面对称固设有若干隔板，同侧的隔板与相邻加强筋以及同侧的相邻隔板之间形成用于限制吸盘的插槽口，安装插槽由两侧对应的插槽口以及分区构成。

进一步的；所述固定部的高度与安装插槽的高度相配，吸盘插入插槽底座并与密封板相抵。

进一步的；所述紧固部上固设有若干第一锁紧通孔，插槽底座固设有若干第二锁紧通孔，紧固杆依次穿过第一锁紧通孔和第二锁紧通孔将吸取组件与插槽底座固定连接。

进一步的；所述吸盘包括吸附面和导气面，导气面上固设有气道和凹槽，气道与输气腔连通，气体由供气通道通入气道，气道内固设有贯穿吸盘的吸取孔，凹槽与气道形成外放型的阶梯结构，吸盘还包括用于密封气道的盖板，位于吸取部的吸附面上固设有吸取道，吸取孔贯穿吸取道，使吸取道与气道通过吸取孔连通，吸取部侧边设置为楔形结构，利于吸取和分离硅片时硅片导入和导出。进一步的；所述吸盘还包括吸盘侧板，吸盘侧板固设于吸取部侧面，吸取部的侧边设置为楔形结构，利于吸取和分离硅片时硅片的导入和导出，吸盘侧板上设置有通气道，通气道与吸取道连通，两者形成用于吸取硅片的吸附通道。

进一步的；所述集气板的上固设有若干第一连接孔，集气板的端面固设有与第一连接孔连通的沉孔，吸盘密封板上固设有第二连接孔，第二连接孔与第一连接孔一一对应设置；插槽底座与吸盘密封板相对的侧面固设有若干第三连接孔，第三连接孔与第一连接孔一一对应设置，第一紧固件依次插入沉孔、第一连接孔、第二连接孔以及第三连接孔将集气板、吸盘密封板和插槽底座固设连接。

综上所述，本实用新型的有益之处在于：

1)、本实用新型设置两组进气管接头，通过控制两组进气管接头同时进气或出气，保证导气腔内气体的均匀性，并增大瞬间吸附能力。

2)、本实用新型设置密封圈，保证集气板与吸盘密封板安装后的密封性，便于集气板与吸盘密封板间的气体流通，在吸盘密封板设置密封板，保证吸盘密封板与吸取组件之间的密封性，提高气体进入吸取组件的效率。

3)、本实用新型的吸盘采用独立的插片方式插入插槽底座，每个吸盘对应独立的一个安装插槽，保证了吸盘相互之间的精度，吸盘损坏或其它原因需要更换时只需拆掉固定装置，将需要更换的吸盘取出更换不会影响其它的吸盘位置精度。

4)、本实用新型通过设置吸盘侧板增加了吸盘与硅片的接触面积，增加了对硅片的吸附能力，特别是对于大尺寸硅片，吸盘侧板可大大提高硅片的吸取效率。

附图说明

图1为本实用新型的装置分解示意图。

图2为本实用新型的集气板示意图。

图3为本实用新型的吸盘密封板示意图一。

图4为本实用新型的吸盘密封板示意图二。

图5为本实用新型中插槽底座示意图。

图6为本实用新型的吸盘示意图一。

图7为本实用新型的吸盘示意图二。

图8为本实用新型的吸盘示意图三。

图9为本实用新型的吸盘固定板示意图。

图中标识：集气板1、导气腔11、进气孔12、进气管接头13、第一连接孔 14、沉孔15、第一安装腔16、密封圈17、吸盘密封板2、连接板21、密封板 22、第二连接孔23、内腔211、输气腔212、插槽底座3、安装插槽30、加强筋 31、分区32、隔板33、插槽口34、第三连接孔35、吸取组件4、吸盘41、固定部411、吸取部412、压紧槽口4111、吸附面413、导气面414、气道4141、凹槽4142、吸取孔4143、盖板416、吸取道4121、吸盘侧板415、通气道4151、固定装置5、吸盘固定板51、紧固杆52、压紧部511、紧固部512、第一锁紧通孔5121。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。

需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、横向、纵向……)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

实施例一：

如图1-9所示，一种插槽式吸盘组件，包括集气板1、吸盘密封板2、插槽底座3和吸取组件4，吸盘密封板2位于集气板1与插槽底座3之间，吸取组件 4由若干吸盘41构成，插槽底座3设置有若干安装插槽30，一组安装插槽30 对应安装一组吸盘41，吸盘密封板2为集气板1与插槽底座3的进气通道进行密封，集气板1为吸取组件4供气，吸取组件4吸取硅片。

如图2所示，集气板1设置为长方体结构；集气板1内设置有开口朝外的导气腔11，集气板1两侧面固设有与导气腔11连通的进气孔12，进气孔12连通设置有进气管接头13，进气管接头13与外接真空设备连通，外接真空设备可采用真空发生器或真空泵，外接真空设备将气体沿进气管接头13导入导气腔11 内为吸取组件4供能，本实施例中，一组集气板1与两组进气管接头13连接，控制两组进气管接头13同时进气或出气，保证导气腔11内气体的均匀性，并增大瞬间吸附能力。

集气板1上固设有第一安装腔16，如图2所示，第一安装腔16设置为内凹的方环结构，且分布在导气腔11的外侧，第一安装腔16内安装有密封圈17，保证集气板1与吸盘密封板2安装后的密封性，便于集气板1与吸盘密封板2 间的气体流通，集气板1的上固设有位于第一安装腔16外侧的若干第一连接孔 14，根据图2的视觉角度，集气板1的后端面固设有与第一连接孔14连通的沉孔15，通过沉孔15和第一连接孔14实现集气板1、吸盘密封板2和插槽底座3 的连接。

如图3-4所示，吸盘密封板2设置为长方体结构，且吸盘密封板2长度和宽度与集气板1的长度和宽度相配，吸盘密封板2由连接板21和密封板22构成，本实施例中，连接板21设置为铝制板，密封板22设置为硅胶板；密封板 22用于保证吸盘密封板2与吸取组件4之间的密封性，提高气体进入吸取组件 4的效率，吸盘密封板2上固设有第二连接孔23，第二连接孔23与第一连接孔 14一一对应设置。

连接板21与集气板1相对的侧面固设有内腔211，内腔211内固设有贯穿密封板22的若干输气腔212，输气腔212的数量与吸盘41数量相配，输气腔212与吸盘41一一对应，输气腔212沿内腔211的长度方向横向分布，进气管接头13、导气腔11以及输气腔212形成由集气板1至吸取组件4的供气通道。

如图5所示，插槽底座3设置为长方体结构，且插槽底座3长度和宽度与吸盘密封板2的长度和宽度相配，插槽底座3上固设有上下贯穿的腔体(图未标识)，气体沿腔体上下方向流通，腔体内固设有若干加强筋31，加强插槽底座3 的强度并减少插槽底座3的变形量，加强筋31将腔体分为若干分区32，沿插槽底座3宽度方向的分区32两组侧面对称固设有若干隔板33，隔板33与加强筋 31以及隔板33与隔板33之间的间距相同，同侧的隔板33与相邻加强筋31以及同侧的相邻隔板33之间形成用于限制吸盘41的插槽口34，安装插槽30由两侧对应的插槽口34以及分区32构成，一组安装插槽30对应安装一组吸盘41 实现吸盘41的独立安装，保证了吸盘41相互之间的精度。

插槽底座3与吸盘密封板2相对的侧面固设有若干第三连接孔35，第三连接孔35与第一连接孔14一一对应设置，集气板1、吸盘密封板2和插槽底座3 安装时，第一紧固件依次插入沉孔15、第一连接孔14、第二连接孔23以及第三连接孔35实现三者固设连接。

如图6-8所示，吸盘41包括固定部411和吸取部412，固定部411的高度与安装插槽30的高度相配，使吸盘41插入插槽底座3后，吸盘41与密封板22 相抵，保证吸盘组件4与插槽底座3之间的密封性，同时保证气体通入吸盘41 的效率。

为了保证吸取组件4与插槽底座3固定的稳定性和吸盘密封板2连接的密封性，如图1所示，插槽式吸盘组件还包括固定装置5，如图9所示，固定装置 5包括吸盘固定板51和紧固杆52，吸盘固定板51包括用于压紧的压紧部511 和用于固定的紧固部512，紧固部512上固设有若干第一锁紧通孔5121，吸盘41的固定部411两侧对称固设有压紧槽口4111，插槽底座3与吸盘组件4相对的侧面固设有若干第二锁紧通孔(图未显示)，固定装置5用于吸取组件4与插槽底座3的固定时，压紧部511插入压紧槽口4111并压紧吸盘41，使吸盘41 顶端与密封板22相抵，紧固杆52依次穿过第一锁紧通孔5121和第二锁紧通孔将吸取组件4与插槽底座3固定连接，本实施例中，一组吸盘41通过两侧的固定装置5进行固定，保证了吸盘41受力的均匀性，保证吸盘41的安装稳定性；优选的，吸盘组件4的两侧通过若干固定装置5进行固设连接，一组固定装置5 对应若干组吸盘41，通过上述结构对吸盘41进行固定，保证吸盘41采用插片式安装后累计误差小，并可精准定位每个吸盘的位置，且相邻吸盘位置之间不受影响，当其中一个吸盘损坏时，调整对应的固定装置5便可以将吸盘41抽出进行更换，从而方便更换吸盘，提高拆卸效率。

吸盘41包括吸附面413和导气面414，导气面414上固设有气道4141和凹槽4142，气道4141与输气腔212连通，气体由供气通道通入气道4141，气道 4141内固设有贯穿吸盘41的吸取孔4143，本实施例中吸取孔4143设置有三组，三组吸取孔4143均匀分布在位于吸取部412上的气道4141上，凹槽4142与气道4141形成外放型的阶梯结构，吸盘41还包括用于密封气道4141的盖板416，盖板416形状与气道4141相配，盖板416厚度与凹槽4142厚度相配，保证密封的稳定性和吸盘41的平整度，避免硅片与吸盘41发生碰撞，降低合格率，从而提高了硅片导入和导出的效率和质量。

位于吸取部412的吸附面413上固设有吸取道4121，吸取孔4143贯穿吸取道4121，使吸取道4121与气道4141通过吸取孔4143连通实现气体的流通。

吸取部412侧边设置为楔形结构，有利于吸取和分离硅片时硅片导入和导出。

本实施例中，吸盘41还包括吸盘侧板415，吸盘侧板415数量根据实际需要进行设定，优选的包括两组吸盘侧板415，固定部411、吸取部412以及两组吸盘侧板415使吸盘41形成F型结构，固定部411和吸取部412形成F型的竖直结构，两组吸盘侧板415固设于吸取部412侧面，并与吸取部412以设定角度连接，本实施例中，两者垂直连接，吸取部412的侧边设置为楔形结构，有利于吸取和分离硅片时硅片的导入和导出。

吸盘侧板415上设置有通气道4151，通气道4151与吸取道4121连通，两者形成用于吸取硅片的吸附通道，气道4141通过吸取孔4143将气体通入吸附通道实现吸取硅片的能力。

吸盘侧板415增加了吸盘与硅片的接触面积，增加了对硅片的吸附能力，特别是对于大尺寸硅片，吸盘侧板415可大大提高硅片的吸取效率。

此外，所述吸取组件4还可包括真空过滤器，所述真空过滤器可过滤空气中的杂质，保护设备的正常使用，从而提高设备的使用寿命。

显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

Claims (10)

1.一种插槽式吸盘组件,其特征在于：包括集气板、吸盘密封板、插槽底座和吸取组件，吸盘密封板位于集气板与插槽底座之间，吸取组件由若干吸盘构成，插槽底座设置有若干安装插槽，一组安装插槽对应安装一组吸盘，吸盘密封板对集气板与插槽底座的进气通道进行密封，集气板为吸取组件供气，吸取组件吸取硅片,还包括固定装置，固定装置包括吸盘固定板和紧固杆，吸盘固定板包括用于压紧的压紧部和用于固定的紧固部，所述吸盘包括固定部和吸取部，吸盘的固定部两侧对称固设有压紧槽口，压紧部插入压紧槽口并压紧吸盘，使吸盘顶端与密封板相抵。

2.根据权利要求1所述的一种插槽式吸盘组件，其特征在于：所述集气板内设置有开口朝外的导气腔，集气板两侧面固设有与导气腔连通的进气孔，进气孔连通设置有进气管接头，进气管接头与外接真空设备连通，外接真空设备将气体沿进气管接头导入导气腔内为吸取组件供能，一组集气板与两组进气管接头连接，控制两组进气管接头同时进气或出气。

3.根据权利要求2所述的一种插槽式吸盘组件，其特征在于：所述集气板上固设有第一安装腔，第一安装腔设置为内凹的方环结构，且分布在导气腔的外侧，第一安装腔内安装有密封圈，用于密封集气板与吸盘密封板，便于集气板与吸盘密封板间的气体流通。

4.根据权利要求2所述的一种插槽式吸盘组件，其特征在于：所述吸盘密封板由连接板和密封板构成，连接板设置为铝制板，密封板设置为硅胶板；密封板用于密封吸盘密封板与吸取组件，连接板固设有内腔，内腔内固设有贯穿密封板的若干输气腔，输气腔与吸盘一一对应，输气腔沿内腔的长度方向横向分布，进气管接头、导气腔以及输气腔形成由集气板至吸取组件的供气通道。

5.根据权利要求2所述的一种插槽式吸盘组件，其特征在于：所述插槽底座上固设有上下贯穿的腔体，气体沿腔体上下方向流通，腔体内固设有若干加强筋，加强插槽底座的强度并减少插槽底座的变形量，加强筋将腔体分为若干分区，分区两组侧面对称固设有若干隔板，同侧的隔板与相邻加强筋以及同侧的相邻隔板之间形成用于限制吸盘的插槽口，安装插槽由两侧对应的插槽口以及分区构成。

6.根据权利要求2所述的一种插槽式吸盘组件，其特征在于：所述固定部的高度与安装插槽的高度相配，吸盘插入插槽底座并与密封板相抵。

7.根据权利要求6所述的一种插槽式吸盘组件，其特征在于：所述紧固部上固设有若干第一锁紧通孔，插槽底座固设有若干第二锁紧通孔，紧固杆依次穿过第一锁紧通孔和第二锁紧通孔将吸取组件与插槽底座固定连接。

8.根据权利要求6所述的一种插槽式吸盘组件，其特征在于：所述吸盘包括吸附面和导气面，导气面上固设有气道和凹槽，气道与输气腔连通，气体由供气通道通入气道，气道内固设有贯穿吸盘的吸取孔，凹槽与气道形成外放型的阶梯结构，吸盘还包括用于密封气道的盖板，位于吸取部的吸附面上固设有吸取道，吸取孔贯穿吸取道，使吸取道与气道通过吸取孔连通，吸取部侧边设置为楔形结构，利于吸取和分离硅片时硅片导入和导出。

9.根据权利要求8所述的一种插槽式吸盘组件，其特征在于：所述吸盘还包括吸盘侧板，吸盘侧板固设于吸取部侧面，吸取部的侧边设置为楔形结构，利于吸取和分离硅片时硅片的导入和导出，吸盘侧板上设置有通气道，通气道与吸取道连通，两者形成用于吸取硅片的吸附通道。

10.根据权利要求1所述的一种插槽式吸盘组件，其特征在于：所述集气板的上固设有若干第一连接孔，集气板的端面固设有与第一连接孔连通的沉孔，吸盘密封板上固设有第二连接孔，第二连接孔与第一连接孔一一对应设置；插槽底座与吸盘密封板相对的侧面固设有若干第三连接孔，第三连接孔与第一连接孔一一对应设置，第一紧固件依次插入沉孔、第一连接孔、第二连接孔以及第三连接孔将集气板、吸盘密封板和插槽底座固设连接。

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