CN217822717U - 一种吸盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种吸盘,包括至少两组通气组，一组通气组包括一组通气轨迹，一组通气轨迹与供气的一组气路轨迹连通，通气组，通气组包括气道和至少一组吸附道，气道与吸附道连通，气体沿气道通入吸附道吸取或放松硅片，本实用新型在吸盘设有两组独立的气体通道，针对不同工艺要求可选择打开或连通其中任意气体通道或打开全部的气体通道，实现对硅片整片与半片两种不同加工工艺要求的兼容，无需再对不同工艺要求更换不同吸盘。

Description

一种吸盘

技术领域

本实用新型属于光伏领域，涉及一种吸盘。

背景技术

花篮是硅片运输过程中的重要工具，每个花篮中放置的硅片数量也不相同，随着硅片加工工艺要求要来越高，其加工工艺也越来越复杂，硅片装卸装置的要求也越来越高，而吸盘组件就是硅片装卸和分合片的重要部件，在光伏行业发展的大趋势和要求下，硅片不仅是越来越大，越来越薄，并且有做半片和整片的趋势，做半片的花篮和石英舟与做整片的花篮和石英舟是不一样的，对应的工装夹具也不一样，如果吸盘组件设计两套来分别满足做半片和做整片，会涉及到做不同产品型号切换，将会耗费人力、物力、财力和时间，本实用新型有效地解决了这种问题，本实用新型将会解决此种问题。

发明内容

本实用新型为了克服现有技术的不足，提供一种吸盘。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种吸盘,其特征在于：包括至少两组通气组，一组通气组包括一组通气轨迹，一组通气轨迹与供气的一组气路轨迹连通，通气组，通气组包括气道和至少一组吸附道，气道与吸附道连通，气体沿气道通入吸附道吸取或放松硅片。

进一步的；包括安装部和吸取部，所述安装部的高度与吸盘的安装槽高度相配，吸取部侧边设置为楔形结构，有利于吸取和分离硅片时硅片导入和导出。

进一步的；所述安装部两侧对称固设有压紧槽口，压紧槽口与用于吸盘固定的固定装置配合使吸盘与插槽底座固定连接。

进一步的；包括吸附面和导气面，所述导气面与吸附面对称设置位于吸盘的两侧，吸盘设置两组通气组，分别为第一通气组和第二通气组，第一通气组包括第一气道和至少一组第一吸附道，第一气道分别与第一吸附道以及第一气路轨迹连通，第一气道位于导气面内，第一气道密封固设有第一封板，通过第一封板，第一气道形成密封通道，第一吸附道位于吸附面。

进一步的；所述第一吸附道包括第一吸取道，第一吸取道内固设有第一吸取孔，第一吸取孔连通第一吸取道和第一气道，第一气道与第一吸附道形成第一通气轨迹。

进一步的；所述第一吸附道还包括第一吸盘侧板，第一吸盘侧板设置两组，两组第一吸盘侧板固设于吸取部侧面，第一吸盘侧板的侧边设置为楔形结构，第一吸盘侧板上设置有第一通气道，第一通气道与第一吸取道连通，两者形成用于吸取硅片的第一吸附通道，第一气道通过第一吸取孔将气体通入第一吸附通道。

进一步的；所述第二通气组包括第二气道和至少一组第二吸附道，第二气道分别与第二吸附道以及第二气路轨迹连通，第二气道位于导气面内，第二气道密封固设有第二封板，通过第二封板，第二气道形成密封通道，第二吸附道位于吸附面。

进一步的；所述第二吸附道包括第二吸取道，第二吸取道内固设有第二吸取孔，第二吸取孔连通第二吸取道和第二气道，第二气道与第二吸附道形成第二通气轨迹。

进一步的；所述第二吸附道还包括第二吸盘侧板，第二吸盘侧板固设于吸取部侧面，第二吸盘侧板的侧边设置为楔形结构，第二吸盘侧板上设置有第二通气道，第二通气道与第二吸取道连通，两者形成用于吸取硅片的第二吸附通道，第二气道通过第二吸取孔将气体通入第二吸附通道。

进一步的；所述第一通气轨迹与第一气路轨迹连通，第一通气轨迹与第一气路轨迹形成第一气体通道，第二通气轨迹与第二气路轨迹连通，第二通气轨迹与第二气路轨迹形成第二气体通道，第一通气轨迹与第二通气轨迹彼此独立，第一气体通道和第二气体通道彼此独立。

综上所述，本实用新型的有益之处在于：

1)、本实用新型的一组型腔与两组进气管接头连接，控制两组进气管接头同时进气或出气，保证型腔内气体的均匀性，并增大瞬间吸附能力。

2)、本实用新型设置密封圈，保证集气板与吸盘密封板安装后的密封性，便于集气板与吸盘密封板间的气体流通，在吸盘密封板设置硅胶密封层，使插槽底座与吸盘密封板之间连接后不会漏气，从而保证吸盘密封板与吸取组件之间的密封性，提高气体进入吸取组件的效率。

3)、本实用新型的吸盘采用独立的插片方式插入安装槽，每个吸盘对应独立的一个安装插槽，保证了吸盘相互之间的精度，相邻的吸盘通过独立的固定装置实现独立安装，保证吸盘采用插片式安装后误差小，并可精准定位每个吸盘的位置，且相邻吸盘位置之间不受影响，当其中一个吸盘损坏时，拆卸对应的固定装置便可以将吸盘51抽出进行更换，从而方便更换吸盘且不会影响其它吸盘的位置尺寸，提高拆卸效率。

4)、本实用新型在吸盘设有两组独立的气体通道，针对不同工艺要求可选择打开(连通)其中任意气体通道或打开全部的气体通道，实现对硅片整片与半片两种不同加工工艺要求的兼容，无需再对不同工艺要求更换不同吸盘。

5)、本实用新型的设计气体在第一气体通道流通，通过第一通气组对半片硅片进行吸附或放松，从而保证吸盘吸取半片硅片时吸附面积覆盖整个硅片，避免了单通道吸盘在做半片时因半片的硅片与吸盘接触面减半，吸附槽暴露在硅片外(漏真空状态)致使型腔内吸附压力过低而出现的掉片问题，保证硅片在搬运过程中的稳定运行。

附图说明

图1为本实用新型的吸盘组件装配示意图。

图2为本实用新型的吸盘组件分解示意图。

图3为本实用新型的吸盘组件吸取整片硅片示意图。

图4为本实用新型的吸盘组件吸取半片硅片示意图。

图5为本实用新型的集气板示意图。

图6为本实用新型的吸盘密封板示意图。

图7为本实用新型的插槽底座示意图。

图8为本实用新型的固定装置示意图。

图9为本实用新型的吸盘示意图一。

图10为本实用新型的吸盘示意图二。

图11为本实用新型的吸盘示意图三。

图12为本实用新型的第二吸盘示意图。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。

需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、横向、纵向……)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

实施例一：

如图1-11所示，一种双吸附通道插片式吸盘组件，包括集气板1、吸盘密封板3、插槽底座4、吸取组件5，插槽底座4用于吸取组件5的安装，吸取组件5由若干吸盘51构成，集气板1设有至少两组的型腔11，吸盘51设有若干通气组，一组型腔11至少与一组通气组相通，分别形成对应的气体流通通道，集气板1为吸取组件5供气，吸取组件5通过通气组吸取硅片。

如图5所示，集气板1设置为长方体结构；集气板1内设置有开口朝外的型腔11，本实施例中，型腔11设置有两组，为后续方便说明，两组型腔11分别设置为第一型腔111和第二型腔112，第一型腔111和第二型腔112的结构相同，第一型腔111和第二型腔112的两侧分别固设有第一气孔121和第二气孔122，第一气孔121与第一型腔111连通，第二气孔122与第二型腔112连通。

型腔11与进气组件连通，型腔11与一组进气组件对应，进气组件与外接真空设备连通，外接真空设备可采用真空发生器或真空泵，外接真空设备将气体沿进气组件导入或导出型腔11内为吸取组件5供能控制吸盘51吸取或放松硅片，本实施例中，进气组件设置有两组，分别设置为第一进气管接头71和第二进气管接头72，第一进气管接头71设置有两组分别密封安装在第一气孔121并与第一型腔111连通，第二进气管接头72设置有两组分别密封安装在第二气孔122并与第二型腔112连通，如上所述，一组型腔11与两组进气管接头连接，控制两组进气管接头同时进气或出气，保证型腔11内气体的均匀性，并增大瞬间吸附能力。

集气板1上固设有密封腔13，如图5所示，密封腔13设置为内凹的日字型结构，分布在第一型腔111和第二型腔112的外围，密封腔13内安装有密封圈2，保证集气板1与吸盘密封板3安装后的密封性，使集气板1与吸盘密封板3连接后不会漏气，保证集气板1与吸盘密封板3间的气体流通。

吸盘密封板3设置为长方体结构，且吸盘密封板3长度和宽度与集气板1的长度和宽度相配，吸盘密封板3由安装层31和密封层32构成，本实施例中，安装层31设置为铝制板，密封层32设置为硅胶板；安装层31与集气板1相抵并固设连接，通过密封圈2实现了集气板1与吸盘密封板3安装后的密封性，密封层32与插槽底座4贴合连接，使插槽底座4与吸盘密封板3之间连接后不会漏气，从而保证吸盘密封板3与吸取组件5之间的密封性，提高气体进入吸取组件5的效率。

安装层31与集气板1相对的侧面固设有内腔(图未显示)，内腔内固设有贯穿密封层32的第一输气组和第二输气组，第一输气组由若干第一输气腔33构成，若干第一输气腔33沿吸盘密封板3的长度方向阵列分布，第二输气组由若干第二输气腔34构成，若干第二输气腔34沿吸盘密封板3的长度方向阵列分布，第一输气腔33和第二输气腔34的数量相配，且一一对应，一组第一输气腔33与对应的一组第二输气腔34与吸盘51相接并连通，本实施例中，第一输气组与第一型腔111对应，第二输气组与第二型腔112对应，第一进气管接头71、第一型腔111、第一输气腔33以及吸盘51形成由集气板1至吸取组件5的第一气路轨迹，第二进气管接头72、第二型腔112、第二输气腔34以及吸盘51形成由集气板1至吸取组件5的第二气路轨迹，第一气路轨迹与第二气路轨迹构成气体的气体流通的双气路轨迹。

插槽底座4设置为长方体结构，且插槽底座4长度和宽度与吸盘密封板3的长度和宽度相配，插槽底座4上固设有上下贯穿的腔体(图未标识)，腔体内固设有若干加强筋41，加强插槽底座4的强度并减少插槽底座4的变形量，加强筋41将腔体分为若干分区(图未标识)，分区沿插槽底座4宽度方向的两组侧面对称固设有若干隔板42，隔板42与加强筋41以及隔板42与隔板42之间的间距相同，同侧的隔板42与相邻加强筋41以及同侧的相邻隔板42之间形成用于限制吸盘51的插槽口43，两侧对应的插槽口43以及分区构成用于安装吸盘51的安装槽，一组安装槽对应安装一组吸盘51实现吸盘51的独立安装，保证了吸盘51相互之间的精度。

吸盘51包括安装部和吸取部，安装部的高度与安装槽的高度相配，使吸盘51插入插槽底座4后，吸盘51与密封层32相抵，保证吸盘组件5与插槽底座4之间的密封性，同时保证气体通入吸盘51的效率，吸取部侧边设置为楔形结构，有利于吸取和分离硅片时硅片导入和导出。

双吸附通道插片式吸盘组件还包括固定装置6，固定装置6用于将吸取组件5固定安装在插槽底座4，保证吸取组件5与插槽底座4固定的稳定性和吸盘密封板3连接的密封性，固定装置6包括用于固定的固定端和用于压紧吸盘51的紧固端，固定端固设有固定孔61，插槽底座4与吸盘组件5相对的侧面固设有固定安装孔(图未显示)，固定孔61与固定安装孔一一对应，并通过固定孔61与固定安装孔采用常规连接方式将固定端固定安装在插槽底座4。

紧固端包括两组扣端62，两组扣端62对称固设在固定端，且两组扣端62与固定端形成开口63，吸盘51的安装部两侧对称固设有压紧槽口511，固定装置6用于吸取组件5与插槽底座4的固定时，紧固端的开口插入压紧槽口511，两组扣端62位于安装部的两侧，使两组扣端62在左右方向对吸盘51进行限制，压紧槽口511的端面与固定装置6的固定端相抵，在竖直方向对吸盘51进行限制，本实施例中，一组吸盘51通过两侧的固定装置6进行固定，保证了吸盘51受力的均匀性，保证吸盘51的安装稳定性；优选的，相邻的吸盘51独立安装，一组吸盘组件5的两侧通过一组固定装置6进行固设连接，两组固定装置6对应一组吸盘51的安装，通过上述结构对吸盘51进行固定，保证吸盘51采用插片式安装后误差小，并可精准定位每个吸盘的位置，且相邻吸盘位置之间不受影响，当其中一个吸盘损坏时，拆卸对应的固定装置6便可以将吸盘51抽出进行更换，从而方便更换吸盘且不会影响其它吸盘的位置尺寸，提高拆卸效率。

本申请还提供了一种吸盘，所述吸盘51包括吸附面510和导气面516，导气面516与吸附面510对称设置位于吸盘51的两侧，本实施例中，一组吸盘51设置两组通气组，通气组包括气道和至少一组吸附道，两组通气组分别为第一通气组和第二通气组，第一通气组包括第一气道512和至少一组第一吸附道513，第一气道512分别与第一吸附道513以及第一输气组的第一输气腔33连通，第一气道512位于导气面516内，第一吸附道513位于吸附面510。

第一吸附道513包括第一吸取道5131，第一吸取道5131内固设有第一吸取孔5132，第一吸取孔5132连通第一吸取道5131和第一气道512，使第一吸取道5131与第一气道512通过第一吸取孔5132连通实现气体的流通，第一气道512与第一吸附道513形成第一通气轨迹。

第一气道512密封固设有第一封板5121，通过第一封板5121，第一气道512形成密封通道。

本实施例中，第一吸附道513还包括第一吸盘侧板5133，第一吸盘侧板5133数量根据实际需要进行设定，优选的包括两组第一吸盘侧板5133，两组第一吸盘侧板5133固设于吸取部侧面，并与吸取部以设定角度连接，本实施例中，两者垂直连接，吸取部的侧边设置为楔形结构，有利于吸取和分离硅片时硅片的导入和导出。

第一吸盘侧板5133上设置有第一通气道5134，第一通气道5134与第一吸取道5131连通，两者形成用于吸取硅片的第一吸附通道，第一气道512通过第一吸取孔5132将气体通入第一吸附通道实现吸取以及放松硅片的能力。

第一吸盘侧板5133增加了吸盘与硅片的接触面积，增加了对硅片的吸附能力，特别是对于大尺寸硅片，第一吸盘侧板5133可大大提高硅片的吸取效率。

第二通气组包括第二气道515和至少一组第二吸附道514，第二气道515分别与第二吸附道514以及第二输气组的第二输气腔34连通，第二气道515位于导气面516内，第二吸附道514位于吸附面510。

第二吸附道514包括第二吸取道5141，第二吸取道5141内固设有第二吸取孔5142，第二吸取孔5142连通第二吸取道5141和第二气道515，使第二吸取道5141与第二气道515通过第二吸取孔5142连通实现气体的流通，第二气道515与第二吸附道514形成第二通气轨迹。

第二气道515密封固设有第二封板5151，通过第二封板5151，第二气道515形成密封通道。

本实施例中，第二吸附道514还包括第二吸盘侧板5143，第二吸盘侧板5143数量根据实际需要进行设定，优选的包括一组第二吸盘侧板5143，第二吸盘侧板5143固设于吸取部侧面，并与吸取部以设定角度连接，本实施例中，两者垂直连接，吸取部的侧边设置为楔形结构，有利于吸取和分离硅片时硅片的导入和导出。

第二吸盘侧板5143上设置有第二通气道5144，第二通气道5144与第二吸取道5141连通，两者形成用于吸取硅片的第二吸附通道，第二气道515通过第二吸取孔5142将气体通入第二吸附通道实现吸取以及放松硅片的能力。

第二吸盘侧板5143增加了吸盘与硅片的接触面积，增加了对硅片的吸附能力，特别是对于大尺寸硅片，第二吸盘侧板5143可大大提高硅片的吸取效率。

本实施例中，第一气路轨迹与第一通气轨迹连通，第一气路轨迹与第一通气轨迹形成第一气体通道，第二气路轨迹与第二通气轨迹连通，第二气路轨迹与第二通气轨迹形成第二气体通道，第一气体通道和第二气体通道设置为独立通道，针对不同工艺要求可选择打开或连通第一气体通道或/和第二气体通道，实现吸盘吸取或放松硅片的双通道双控制系统。

控制第一进气管接头71和第二进气管接头72同步开启或关闭，使气体在第一气体通道以及第二气体通道流通，第一通气组和第二通气组对整片硅片进行吸附或放松，保证吸盘51吸取整片硅片时吸附面积覆盖整个硅片，保证硅片在搬运过程中的稳定性，控制第一进气管接头71或第二进气管接头72的任一开启，使气体在第一气体通道或第二气体通道流通，第一通气组或第二通气组对半片硅片进行吸附或放松，优选的，吸取半片硅片的时候，第一进气管接头71开启，第二进气管接头72关闭，使气体在第一气体通道，第一通气组对半片硅片进行吸附或放松，从而保证吸盘吸取半片硅片时吸附面积覆盖整个硅片，避免了单通道吸盘在做半片时因半片的硅片与吸盘接触面减半，吸附槽暴露在硅片外(漏真空状态)致使型腔内吸附压力过低而出现的掉片问题，保证硅片在搬运过程中的稳定运行。

此外，所述吸取组件5还可包括真空过滤器，所述真空过滤器可过滤空气中的杂质，保护设备的正常使用，从而提高设备的使用寿命。

常规情况下，通常采用两组双吸附通道插片式吸盘组件同步对硅片进行吸取或放松，本实施例中，两组双吸附通道插片式吸盘组件包括相同结构的集气板1、吸盘密封板3和插槽底座4，两者的吸取组件5与插槽底座4采用相同安装方式连接，一组双吸附通道插片式吸盘组件的吸取组件5由若干吸盘51构成，另一组双吸附通道插片式吸盘组件的吸取组件5由若干第二吸盘52构成。

如图12所示，第二吸盘52与吸盘51的结构大致相同，第二吸盘52设有两组通气组，两组通气组分别为第三通气组和第四通气组，不同之处在于第三通气组包括一组第三吸盘侧板5233，第四通气组包括两组第四吸盘侧板5243，在对硅片进行吸附时，第四吸盘侧板5243、第二吸盘侧板5143、第三吸盘侧板5233以及第一吸盘侧板5133交错分布，增大对硅片的吸附面积，从而保证硅片吸附的稳定性，防止出现硅片掉落的问题。

显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

Claims (10)

1.一种吸盘,其特征在于：包括至少两组通气组，一组通气组包括一组通气轨迹，一组通气轨迹与供气的一组气路轨迹连通，通气组，通气组包括气道和至少一组吸附道，气道与吸附道连通，气体沿气道通入吸附道吸取或放松硅片。

2.根据权利要求1所述的一种吸盘，其特征在于：包括安装部和吸取部，所述安装部的高度与吸盘的安装槽高度相配，吸取部侧边设置为楔形结构，有利于吸取和分离硅片时硅片导入和导出。

3.根据权利要求2所述的一种吸盘，其特征在于：所述安装部两侧对称固设有压紧槽口，压紧槽口与用于吸盘固定的固定装置配合使吸盘与插槽底座固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种吸盘，其特征在于：包括吸附面和导气面，所述导气面与吸附面对称设置位于吸盘的两侧，吸盘设置两组通气组，分别为第一通气组和第二通气组，第一通气组包括第一气道和至少一组第一吸附道，第一气道分别与第一吸附道以及第一气路轨迹连通，第一气道位于导气面内，第一气道密封固设有第一封板，通过第一封板，第一气道形成密封通道，第一吸附道位于吸附面。

5.根据权利要求4所述的一种吸盘，其特征在于：所述第一吸附道包括第一吸取道，第一吸取道内固设有第一吸取孔，第一吸取孔连通第一吸取道和第一气道，第一气道与第一吸附道形成第一通气轨迹。

6.根据权利要求5所述的一种吸盘，其特征在于：所述第一吸附道还包括第一吸盘侧板，第一吸盘侧板设置两组，两组第一吸盘侧板固设于吸取部侧面，第一吸盘侧板的侧边设置为楔形结构，第一吸盘侧板上设置有第一通气道，第一通气道与第一吸取道连通，两者形成用于吸取硅片的第一吸附通道，第一气道通过第一吸取孔将气体通入第一吸附通道。

7.根据权利要求4所述的一种吸盘，其特征在于：所述第二通气组包括第二气道和至少一组第二吸附道，第二气道分别与第二吸附道以及第二气路轨迹连通，第二气道位于导气面内，第二气道密封固设有第二封板，通过第二封板，第二气道形成密封通道，第二吸附道位于吸附面。

8.根据权利要求7所述的一种吸盘，其特征在于：所述第二吸附道包括第二吸取道，第二吸取道内固设有第二吸取孔，第二吸取孔连通第二吸取道和第二气道，第二气道与第二吸附道形成第二通气轨迹。

9.根据权利要求8所述的一种吸盘，其特征在于：所述第二吸附道还包括第二吸盘侧板，第二吸盘侧板固设于吸取部侧面，第二吸盘侧板的侧边设置为楔形结构，第二吸盘侧板上设置有第二通气道，第二通气道与第二吸取道连通，两者形成用于吸取硅片的第二吸附通道，第二气道通过第二吸取孔将气体通入第二吸附通道。

10.根据权利要求9所述的一种吸盘，其特征在于：所述第一通气轨迹与第一气路轨迹连通，第一通气轨迹与第一气路轨迹形成第一气体通道，第二通气轨迹与第二气路轨迹连通，第二通气轨迹与第二气路轨迹形成第二气体通道，第一通气轨迹与第二通气轨迹彼此独立，第一气体通道和第二气体通道彼此独立。

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