CN213357809U - 一种用于长晶设备的水循环冷却装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种用于长晶设备的水循环冷却装置，所述长晶设备包括长晶腔，其内安装有长晶平台，长晶平台为圆形，其外套装有圆环；其特征在于，所述水循环冷却装置包括不锈钢圆桶，圆桶固定安装在长晶腔内，所述长晶平台的下表面上设置有圆槽，圆槽与长晶平台同心，所述圆桶上端伸入圆槽内，与之嵌合并支撑长晶平台，所述水循环冷却装置还包括不锈钢进水管、不锈钢出水管，进水管、出水管分别穿过长晶腔伸入长晶腔内，并分别穿过圆桶的下表面伸入圆桶内，进水管伸入圆桶底部，出水管伸入圆桶顶部；所述进水管、出水管分别通过管道连接外置水箱，且在与进水管相连的管道上安装有水泵；冷却效果好。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种长晶设备，具体涉及一种用于长晶设备的水循环冷却装置。
背景技术
长晶过程可以概括为在密闭的空间内制造出真空状态通入所需的气体使用微波系统产生微波经过共振腔于被加工物表面生产晶体；其往往会伴随产生高温，而高温环境会抑制长晶流程的进行。
发明内容
本实用新型提出一种用于长晶设备的水循环冷却装置。
本实用新型的技术方案：
一种用于长晶设备的水循环冷却装置，所述长晶设备包括长晶腔，长晶腔内安装有长晶平台，长晶平台为圆形，其外套装有圆环；所述水循环冷却装置包括不锈钢圆桶，圆桶固定安装在长晶腔内，所述长晶平台的下表面上设置有圆槽，圆槽与长晶平台同心，所述圆桶上端伸入圆槽内，与之嵌合并支撑长晶平台，所述水循环冷却装置还包括不锈钢进水管、不锈钢出水管，进水管、出水管分别穿过长晶腔伸入长晶腔内，并分别穿过圆桶的下表面伸入圆桶内，进水管伸入圆桶底部，出水管伸入圆桶顶部；
所述进水管、出水管分别通过管道连接外置水箱，且在与进水管相连的管道上安装有水泵。
启动水泵，冷却水经由进水管注入圆桶内，再由出水管流出，循环流动，并通过圆桶与长晶平台接触进行热交换，达到直接对长晶平台进行冷却的目的，同时又圆桶外周面通过通过空气与长晶平台以及圆环间距接触，更有利于长晶平台以及圆环的热量散发；尤其本申请采用圆桶，并且圆桶与长晶平台、圆环同心，这样，由内至外，整体长晶平台、圆环温度均匀，满足长晶温度需求；在设计圆桶作为冷却装置时，一般会在圆桶内设置若干挡水板，形成水道，来增加冷却水与圆桶的接触面积，以便到达最佳的冷却效果，但在本申请中，水道内部结构过于复杂焊接难度大焊接易变形废品率高，水道挡板过多进水速度慢、出水速度慢影响降温效果；为此，本申请省去了圆桶内部结构设计，将进水管伸入圆桶底部，出水管伸入圆桶顶部，这样，冷却水由圆桶下部注入，再由圆桶上部流出，圆桶内水满，最大限度的提高冷却水与圆桶的接触面接，保证圆桶冷却效果，且冷却水流稳定；易与加工，节约成本，进出水阻碍减少速度提升，降温效果加强。
在所述进水管与出水管外侧设置有支撑罩，支撑罩固定在长晶腔底部，上端固定连接有第一安装块，所述第一安装块上固定连接第二安装块，第一安装块、第二安装块均为圆形，且同心，所述第一安装块、第二安装块上均设置有圆孔，圆孔分别与第一安装块、第二安装块同心，共同构成供进水管、出水管通过的通道，所述圆桶下端置于第二安装块上的圆孔内，并与第二安装块螺纹连接。
所述长晶腔内还设置有散热罩，散热罩为圆筒状，其套在圆桶、第一安装块、第二安装块以及支撑罩外侧，与第一安装块螺纹连接，所述圆环的下表面上设置有环槽，环槽与圆环同心，所述散热罩的上端伸入环槽内，与之嵌合并支撑圆环；所述散热罩与第二安装块之间留有间隙；所述散热罩上均匀分布设置有若干散热孔；散热罩的设计有益于热量的散热，同时其在本申请中还起到与之嵌合并支撑圆环的作用；优选，在所述第一安装块与第二安装块之间设置有环形垫片。
散热孔分成上下两排；所述散热罩外侧套有夹套，夹套与散热罩固定连接，并罩在上排散热孔上，所述夹套上下两端面上均匀分布设置有若干圆孔；优选，所述夹套与散热罩焊接成一体。
所述散热罩外侧还套有环板，环板位于散热孔上方，上端与散热罩固定连接，下端开；优选，所述环板与散热罩焊接成一体。
所述散热罩上均匀分布设置有若干竖孔，竖孔内设置有螺栓，并通过螺栓锁紧第一安装块与散热罩。
所述散热罩由通过螺栓固定连接的上部与下部构成；所述散热孔、夹套、环板、竖孔均位于下部；考虑到，散热罩上端与圆环接触，长期处于高温环境中，且由于不锈钢不适合长期处于高温环境下，长期处于高温下会出现龟裂的情况，在龟裂的情况出现后就需要更换整个散热罩，耗时费力，大量的可用部分浪费，为此，将散热罩设计上下两部分，这样，与圆环接触的上部出现龟裂的情况后可以只更换上部即可。
本实用新型优点是，设计合理，结构简单，实现对长晶平台的冷却，满足长晶过程对环境温度的需求；冷却效果好。
附图说明
图1是水循环冷却装置安装立体图。
图2是水循环冷却装置安装主视图。
图3是图2中A-A方向剖面示意图。
图4是散热罩立体图。
图中长晶平台1、圆环2、不锈钢圆桶3-1、不锈钢进水管3-2、不锈钢出水管3-3、支撑罩4、第一安装块5、第二安装块6、散热罩7、散热孔7-1、竖孔7-2、散热罩的上部7-3、散热罩的下部7-4、夹套 8、环板9。
具体实施方式
如图1-4所示，一种用于长晶设备的水循环冷却装置，所述长晶设备包括长晶腔，长晶腔内安装有长晶平台1，长晶平台1为圆形，其外套装有圆环2；所述水循环冷却装置包括不锈钢圆桶3-1，圆桶3-1固定安装在长晶腔内，所述长晶平台1的下表面上设置有圆槽，圆槽与长晶平台1同心，所述圆桶3-1上端伸入圆槽内，与之嵌合并支撑长晶平台1，所述水循环冷却装置还包括不锈钢进水管3-2、不锈钢出水管3-3，进水管3-2、出水管3-3分别穿过长晶腔伸入长晶腔内，并分别穿过圆桶3-1的下表面伸入圆桶3-1 内，进水管3-2伸入圆桶3-1底部，出水管3-3伸入圆桶3-1顶部；所述进水管3-2、出水管3-3分别通过管道连接外置水箱，且在与进水管3-2相连的管道上安装有水泵；在所述进水管3-2与出水管3-3外侧设置有支撑罩4，支撑罩4固定在长晶腔底部，上端固定连接有第一安装块5，所述第一安装块5上固定连接第二安装块6，第一安装块5、第二安装块6均为圆形，且同心，所述第一安装块5、第二安装块6上均设置有圆孔，圆孔分别与第一安装块5、第二安装块6同心，共同构成供进水管3-2、出水管3-3通过的通道，所述圆桶3-1下端置于第二安装块6上的圆孔内，并与第二安装块6螺纹连接；所述长晶腔内还设置有散热罩7，散热罩7为圆筒状，其套在圆桶3-1、第一安装块5、第二安装块6以及支撑罩4外侧，与第一安装块5螺纹连接，所述圆环2的下表面上设置有环槽，环槽与圆环2同心，所述散热罩7的上端伸入环槽内，与之嵌合并支撑圆环2；所述散热罩7与第二安装块6之间留有间隙；所述散热罩7上均匀分布设置有若干散热孔7-1；散热孔7-1分成上下两排；所述散热罩7外侧套有夹套8，夹套8与散热罩7固定连接，并罩在上排散热孔7-1上，所述夹套8上下两端面上均匀分布设置有若干圆孔；所述散热罩7外侧还套有环板9，环板9位于散热孔7-1上方，上端与散热罩7固定连接，下端开口；所述散热罩7上均匀分布设置有若干竖孔7-2，竖孔7-2内设置有螺栓，并通过螺栓锁紧第一安装块6与散热罩7；所述散热罩 7由通过螺栓固定连接的上部7-3与下部7-4构成；所述散热孔7-1、夹套8、环板9、竖孔7-2均位于下部7-4。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种用于长晶设备的水循环冷却装置，所述长晶设备包括长晶腔，长晶腔内安装有长晶平台，长晶平台为圆形，其外套装有圆环；其特征在于，所述水循环冷却装置包括不锈钢圆桶，圆桶固定安装在长晶腔内，所述长晶平台的下表面上设置有圆槽，圆槽与长晶平台同心，所述圆桶上端伸入圆槽内，与之嵌合并支撑长晶平台，所述水循环冷却装置还包括不锈钢进水管、不锈钢出水管，进水管、出水管分别穿过长晶腔伸入长晶腔内，并分别穿过圆桶的下表面伸入圆桶内，进水管伸入圆桶底部，出水管伸入圆桶顶部；
所述进水管、出水管分别通过管道连接外置水箱，且在与进水管相连的管道上安装有水泵。
2.根据权利要求1所述的一种用于长晶设备的水循环冷却装置，其特征在于，在所述进水管与出水管外侧设置有支撑罩，支撑罩固定在长晶腔底部，上端固定连接有第一安装块，所述第一安装块上固定连接第二安装块，第一安装块、第二安装块均为圆形，且同心，所述第一安装块、第二安装块上均设置有圆孔，圆孔分别与第一安装块、第二安装块同心，共同构成供进水管、出水管通过的通道，所述圆桶下端置于第二安装块上的圆孔内，并与第二安装块螺纹连接。
3.根据权利要求2所述的一种用于长晶设备的水循环冷却装置，其特征在于，所述长晶腔内还设置有散热罩，散热罩为圆筒状，其套在圆桶、第一安装块、第二安装块以及支撑罩外侧，与第一安装块螺纹连接，所述圆环的下表面上设置有环槽，环槽与圆环同心，所述散热罩的上端伸入环槽内，与之嵌合并支撑圆环；所述散热罩与第二安装块之间留有间隙；所述散热罩上均匀分布设置有若干散热孔。
4.根据权利要求3所述的一种用于长晶设备的水循环冷却装置，其特征在于，散热孔分成上下两排；所述散热罩外侧套有夹套，夹套与散热罩固定连接，并罩在上排散热孔上，所述夹套上下两端面上均匀分布设置有若干圆孔。
5.根据权利要求4所述的一种用于长晶设备的水循环冷却装置，其特征在于，所述散热罩外侧还套有环板，环板位于散热孔上方，上端与散热罩固定连接，下端开口。
6.根据权利要求5所述的一种用于长晶设备的水循环冷却装置，其特征在于，所述散热罩上均匀分布设置有若干竖孔，竖孔内设置有螺栓，并通过螺栓锁紧第一安装块与散热罩。
7.根据权利要求3所述的一种用于长晶设备的水循环冷却装置，其特征在于，所述散热罩由通过螺栓固定连接的上部与下部构成；所述散热孔、夹套、环板、竖孔均位于下部。
Priority Applications (1)
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| CN202022082751.6U CN213357809U (zh) | 2020-09-22 | 2020-09-22 | 一种用于长晶设备的水循环冷却装置 |
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Publications (1)
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| CN213357809U true CN213357809U (zh) | 2021-06-04 |
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Family Applications (1)
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| CN202022082751.6U Active CN213357809U (zh) | 2020-09-22 | 2020-09-22 | 一种用于长晶设备的水循环冷却装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN213357809U (zh) |
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2020
- 2020-09-22 CN CN202022082751.6U patent/CN213357809U/zh active Active
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