CN210151239U - 可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏及单晶炉 - Google Patents

Abstract

一种可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏，包括内筒、外筒、环形底、第一隔板、第二隔板、若干隔板组、进水管、出水管、连接杆、固定环体，本实用新型中，冷却液出口靠近冷却液入口设置，冷却液从冷却液入口进入后，沿隔板组自上而下流动，形成S形流动轨迹，最大程度利用了内筒为侧壁表面，最大程度的增加了冷却液的流动距离，提高了冷却效率，进水管和出水管中的冷却液均通过固定环体与外界实现交换，而固定环体只需要卡装在单晶炉炉体和炉盖之间，水冷热屏的安装以及进水管、出水管的安装均不需要破坏炉体结构，尤其适用于之前没有设置水冷热屏的小型单晶炉，改造难度小，改造成本低，本实用新型还提供了一种可快速拆装式单晶硅制备用单晶炉。

Description

可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏及单晶炉

技术领域

本实用新型涉及硅单晶棒拉晶设备技术领域，特别涉及一种可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏及单晶炉。

背景技术

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。在硅单晶拉制过程中，通过水冷热屏有效的提高了晶棒的冷却速度，从而提高了拉制效率，目前一些单晶炉加装了水冷热屏，由于冷却效率不高，造成晶棒拉制速度低，且现有的水冷热屏的安装以及进水管、出水管的安装均需要破坏炉体或炉盖结构，特别对于之前没有设置水冷热屏的小型单晶炉，改造难度大，改造成本高。

发明内容

有鉴于此，针对上述不足，有必要提出一种冷却效率高的可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏。

还有必要提出一种冷却效率高的可快速拆装式单晶硅制备用单晶炉。

一种可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏，包括内筒、外筒、环形底、第一隔板、第二隔板、若干隔板组、进水管、出水管、连接杆、固定环体，所述内筒、外筒均为上大下小的锥形筒，所述内筒同心套装在外筒内，所述环形底设于内筒、外筒的下端部，所述环形底的内环壁与内筒的外环壁密封连接，所述环形底的外环壁与外筒的内环壁密封连接，外筒的顶部向内翻折形成内缘，所述内缘的端面与内筒的上端部外环壁密封连接，所述内筒、外筒和环形底形成环形内腔，所述第一隔板、第二隔板的形状与环形内腔的纵截面形状向匹配，所述第一隔板、第二隔板竖直设置在环形内腔内，所述第一隔板、第二隔板相互平行，所述第一隔板的上端与内缘接触，所述第一隔板的下端与环形底不接触，所述第二隔板的上端与内缘接触，所述第二隔板的下端与环形底接触，所述隔板组设置于内缘与环形底之间，相邻两个隔板组相互平行设置，每一个隔板组包括上隔板、下隔板，所述上隔板、下隔板均为与内筒的外环壁形状相匹配的弧形，所述上隔板的内侧壁与内筒的外环壁密封连接，所述上隔板的外侧壁与外筒的内环壁密封连接，所述下隔板的内侧壁与内筒的外环壁密封连接，所述下隔板的外侧壁与外筒的内环壁密封连接，所述上隔板、下隔板相对平行设置，上隔板的一端与第二隔板接触，上隔板的另一端与第二隔板不接触，下隔板的一端与第一隔板接触，下隔板的另一端与第二隔板不接触，在第一隔板、第二隔板之间的内筒的环壁上设有第一冷却液出口，所述第一冷却液出口所在第一隔板、第二隔板之间不设置隔板组，所述第一冷却液出口靠近外筒体内缘设置，在第一隔板、第二隔板之间的内筒的环壁上设有第一冷却液入口，第一冷却液入口所在第一隔板、第二隔板之间设置隔板组，所述第一冷却液入口位于外筒体内缘和靠近外筒体内缘的上隔板之间，所述第一冷却液入口还靠近第二隔板设置，所述连接杆为多个，多个连接杆沿内筒周向布置，所述连接杆的一端与内筒内环壁的上部固定连接，所述连接杆的另一端与固定环体的内环壁固定连接，所述固定环体具有环形空腔，在环形空腔内设有第三隔板、第四隔板，以将环形空腔分为第一流道、第二流道，在固定环体的外环壁设有第三冷却液入口、第三冷却液出口，所述第三冷却液出口与第一流道连通，所述第三冷却液入口与第二流道连通，所述第三冷却液入口靠近第四隔板设置，在固定环体的内环壁设有第二冷却液出口、第二冷却液入口，所述第二冷却液出口与第一流道连通，所述第二冷却液入口与第二流道连通，所述第二冷却液入口靠近第三隔板设置，所述出水管的一端与第一冷却液出口连接，所述出水管的另一端与第二冷却液出口连接，所述进水管的一端与第一冷却液入口连接，所述进水管的另一端与第二冷却液入口连接。

优选的，所述可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏还包括进水接头、出水接头、蓄水池、传感器，所述进水接头一端与第三冷却液入口连接，所述进水接头的另一端通过管线与蓄水池连接，所述出水接头一端与第三冷却液出口连接，所述出水接头的另一端通过管线与蓄水池连接，在出水接头与蓄水池之间的管线上安装有传感器。

优选的，所述传感器为涡街流量传感器。

优选的，所述可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏包括第一控制部件，所述第一控制部件包括第一微处理器、第一报警灯，所述传感器与第一微处理器连接，所述第一微处理器与第一报警灯连接。

优选的，所述可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏包括第二控制部件，所述第二控制部件包括第二微处理器、第一继电器、蜂鸣器、第二报警灯、第二继电器、电源，所述传感器与第二微处理器连接，所述第二微处理器与第一继电器连接，所述第一继电器与蜂鸣器连接，所述第一继电器与第二报警灯连接，所述第二微处理器与第二继电器连接，所述第二继电器与蜂鸣器连接，所述第二继电器与第二报警灯连接，所述电源分别与第二微处理器、第一继电器、第二继电器、蜂鸣器连接。

优选的，所述第二报警灯内设置有红色灯、黄色灯、绿色灯。

优选的，所述可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏还包括第一阀门、第二阀门，所述第一阀门安装在传感器与蓄水池之间的管线上，所述第二阀门安装在进水接头与蓄水池之间的管线上。

优选的，所述可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏还包括安全阀，所述安全阀安装在出水接头与传感器之间的管线上。

一种可快速拆装式单晶硅制备用单晶炉，包括炉体、炉盖、可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏， 在所述可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏的固定环体的外侧底壁上设有卡环，所述卡环的外径等于炉体的内径，所述卡环的内径等于固定环体的内径，所述固定环体的外径等于炉体的外径，所述炉盖的内径等于固定环体的内径，所述炉盖的外径等于固定环体的外径，在固定环体的外侧顶壁上设有环形密封槽，在所述密封槽内安装有环形密封圈。

优选的，所述可快速拆装式单晶硅制备用单晶炉还包括设置在炉体内部的热场部件，所述热场部件包括保温筒、安装座、坩埚、加热器、热屏组件，所述保温筒的外壁与炉体的内壁接触，在保温筒内腔的底部设有安装座，所述坩埚置于安装座上，所述加热器包围在坩埚周围，所述热屏组件包括外导流筒、石墨内导、导流筒毡，所述外导流筒设于坩埚的正上方，外导流筒为圆柱形筒，所述外导流筒的顶部向外翻折形成外沿，外导流筒的底部向内翻折形成内沿，所述外导流筒的外沿与保温筒的上端部连接，所述石墨内导也为上大下小的锥形筒，所述石墨内导嵌套入外导流筒中，石墨内导的底部卡合在外导流筒的内沿上，导流筒毡填充在石墨内导和外导流筒之间，所述可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏嵌套入石墨内导中。

本实用新型中，冷却液出口靠近冷却液入口设置，冷却液从冷却液入口进入后，沿隔板组自上而下流动，形成S形流动轨迹，然后流入第一隔板、第二隔板之间的空腔的底部，再从冷却液出口流出，最大程度利用了内筒为侧壁表面，最大程度的增加了冷却液的流动距离，提高了冷却效率。

本实用新型中，进水管和出水管中的冷却液均通过固定环体与外界实现交换，而固定环体只需要卡装在单晶炉炉体和炉盖之间，水冷热屏的安装以及进水管、出水管的安装均不需要破坏炉体结构，尤其适用于之前没有设置水冷热屏的小型单晶炉，改造难度小，改造成本低。

附图说明

图1为去掉外筒的可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏的轴测图。

图2为可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏纵向局部断开的轴测图。

图3为可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏横向局部断开的轴测图。

图4为第一控制部件的功能模块图。

图5为第二控制部件的功能模块图。

图6为所述可快速拆装式单晶硅制备用单晶炉的剖视图。

图中：可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏10、内筒11、第一冷却液出口121、第一冷却液入口122、外筒12、内缘121、环形底13、第一隔板14、第二隔板15、隔板组16、上隔板161、下隔板162、进水管17、出水管18、进水接头19、出水接头110、蓄水池120、传感器130、第一控制部件140、第一微处理器1401、第一报警灯1402、第二控制部件150、第二微处理器1501、第一继电器1502、蜂鸣器1503、第二报警灯1504、第二继电器1505、电源1506、连接杆160、固定环体170、第三隔板1701、第四隔板1702、第一流道1703、第二流道1704、第三冷却液入口1705、第三冷却液出口1706、第二冷却液出口1707、第二冷却液入口1708、卡环1709、炉体20、炉盖30、热场部件40、保温筒41、安装座42、坩埚43、加热器44、热屏组件45、外导流筒451、石墨内导452、导流筒毡453。

具体实施方式

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

参见图1至图6，本实用新型实施例提供了一种可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏10，包括内筒11、外筒12、环形底13、第一隔板14、第二隔板15、若干隔板组16、进水管17、出水管18、连接杆160、固定环体170，内筒11、外筒12均为上大下小的锥形筒，内筒11同心套装在外筒12内，环形底13设于内筒11、外筒12的下端部，环形底13的内环壁与内筒11的外环壁密封连接，环形底13的外环壁与外筒12的内环壁密封连接，外筒12的顶部向内翻折形成内缘121，内缘121的端面与内筒11的上端部外环壁密封连接，内筒11、外筒12和环形底13形成环形内腔，第一隔板14、第二隔板15的形状与环形内腔的纵截面形状向匹配，第一隔板14、第二隔板15竖直设置在环形内腔内，第一隔板14、第二隔板15相互平行，第一隔板14的上端与内缘121接触，第一隔板14的下端与环形底13不接触，第二隔板15的上端与内缘121接触，第二隔板15的下端与环形底13接触，隔板组16设置于内缘121与环形底13之间，相邻两个隔板组16相互平行设置，每一个隔板组16包括上隔板161、下隔板162，上隔板161、下隔板162均为与内筒11的外环壁形状相匹配的弧形，上隔板161的内侧壁与内筒11的外环壁密封连接，上隔板161的外侧壁与外筒12的内环壁密封连接，下隔板162的内侧壁与内筒11的外环壁密封连接，下隔板162的外侧壁与外筒12的内环壁密封连接，上隔板161、下隔板162相对平行设置，上隔板161的一端与第二隔板15接触，上隔板161的另一端与第二隔板15不接触，下隔板162的一端与第一隔板14接触，下隔板162的另一端与第二隔板15不接触，在第一隔板14、第二隔板15之间的内筒11的环壁上设有第一冷却液出口121，第一冷却液出口121所在第一隔板14、第二隔板15之间不设置隔板组16，第一冷却液出口121靠近外筒12体内缘121设置，在第一隔板14、第二隔板15之间的内筒11的环壁上设有第一冷却液入口122，第一冷却液入口122所在第一隔板14、第二隔板15之间设置隔板组16，第一冷却液入口122位于外筒12体内缘121和靠近外筒12体内缘121的上隔板161之间，第一冷却液入口122还靠近第二隔板15设置，连接杆160为多个，多个连接杆160沿内筒11周向布置，连接杆160的一端与内筒11内环壁的上部固定连接，连接杆160的另一端与固定环体170的内环壁固定连接，固定环体170具有环形空腔，在环形空腔内设有第三隔板1701、第四隔板1702，以将环形空腔分为第一流道1703、第二流道1704，在固定环体170的外环壁设有第三冷却液入口1705、第三冷却液出口1706，第三冷却液出口1706与第一流道1703连通，第三冷却液入口1705与第二流道1704连通，第三冷却液入口1705靠近第四隔板1702设置，在固定环体170的内环壁设有第二冷却液出口1707、第二冷却液入口1708，第二冷却液出口1707与第一流道1703连通，第二冷却液入口1708与第二流道1704连通，第二冷却液入口1708靠近第三隔板1701设置，出水管18的一端与第一冷却液出口121连接，出水管18的另一端与第二冷却液出口1707连接，进水管17的一端与第一冷却液入口122连接，进水管17的另一端与第二冷却液入口1708连接。

本实用新型中，第一冷却液出口121靠近第一冷却液入口122设置，冷却液从第一冷却液入口122进入后，沿隔板组16自上而下流动，形成S形流动轨迹，然后流入第一隔板14、第二隔板15之间的空腔的底部，再从第一冷却液出口121流出，最大程度利用了内筒11为侧壁表面，最大程度的增加了冷却液的流动距离，提高了冷却效率；此外，冷却液这种流动设置，避免了出现冷却液“短路”的情况而造成冷却效率的降低。

本实用新型中，进水管17和出水管18中的冷却液均通过固定环体170与外界实现交换，而固定环体170只需要卡装在单晶炉炉体20和炉盖30之间，水冷热屏的安装以及进水管17、出水管18的安装均不需要破坏炉体20结构，尤其适用于之前没有设置水冷热屏的小型单晶炉，改造难度小，改造成本低。

参见图1至图6，进一步，可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏10还包括进水接头19、出水接头110、蓄水池120、传感器130，进水接头19一端与第三冷却液入口1705连接，进水接头19的另一端通过管线与蓄水池120连接，出水接头110一端与第三冷却液出口1706连接，出水接头110的另一端通过管线与蓄水池120连接，在出水接头110与蓄水池120之间的管线上安装有传感器130。

参见图1至图6，进一步，传感器130为涡街流量传感器130。

本实施例中，传感器130可同步检测冷却液的流量和温度，例如采用涡街（Vortex）流量传感器130，其型号为SV7500，也可以采用水用数字式流量开关，其型号为PF3W711-06-DT-M。

参见图1至图6，进一步，可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏10包括第一控制部件140，第一控制部件140包括第一微处理器1401、第一报警灯1402，传感器130与第一微处理器1401连接，第一微处理器1401与第一报警灯1402连接。

在一个具体的实施例中，第一微处理器1401为可编程逻辑控制器，传感器130上装有温度和流量信号线，当流量或者温度超过设定时，第一微处理器1401发出信号给第一报警灯1402，第一报警灯1402发出报警信号。

参见图1至图6，进一步，可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏10包括第二控制部件150，第二控制部件150包括第二微处理器1501、第一继电器1502、蜂鸣器1503、第二报警灯1504、第二继电器1505、电源1506，传感器130与第二微处理器1501连接，第二微处理器1501与第一继电器1502连接，第一继电器1502与蜂鸣器1503连接，第一继电器1502与第二报警灯1504连接，第二微处理器1501与第二继电器1505连接，第二继电器1505与蜂鸣器1503连接，第二继电器1505与第二报警灯1504连接，电源1506分别与第二微处理器1501、第一继电器1502、第二继电器1505、蜂鸣器1503连接。

在一个具体的实施例中，第二微处理器1501为可编程逻辑控制器，传感器130上装有的温度和流量信号线分别控制第一继电器1502、第二继电器1505，例如当流量超过设定时，第一继电器1502打开，蜂鸣器1503和第二报警灯1504均发出报警信号，提醒作业人员流量异常，当温度超过设定时，第二继电器1505打开，蜂鸣器1503和第二报警灯1504也均发出报警信号，提醒作业人员温度异常。

参见图1至图6，进一步，第二报警灯1504内设置有红色灯、黄色灯、绿色灯。

在一个具体的实施例中，正常情况下，第二报警灯1504内只绿色灯亮，流量超过设定时，只黄色灯亮，温度超过设定时，只红色灯亮。

参见图1至图6，进一步，可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏10还包括第一阀门、第二阀门，第一阀门安装在传感器130与蓄水池120之间的管线上，第二阀门安装在进水接头19与蓄水池120之间的管线上。

参见图1至图6，进一步，可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏10还包括安全阀，安全阀安装在出水接头110与传感器130之间的管线上。

参见图1至图6，本实用新型实施例还提供了一种可快速拆装式单晶硅制备用单晶炉，包括炉体20、炉盖30、可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏10， 在可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏10的固定环体170的外侧底壁上设有卡环1709，卡环1709的外径等于炉体20的内径，卡环1709的内径等于固定环体170的内径，固定环体170的外径等于炉体20的外径，炉盖30的内径等于固定环体170的内径，炉盖30的外径等于固定环体170的外径，在固定环体170的外侧顶壁上设有环形密封槽，在密封槽内安装有环形密封圈。

本实施例中，固定环体170通过卡环1709卡装在炉体20上，炉盖30盖合在固定环体170相对卡环1709的一端端面，安装方式简单、灵活。

参见图1至图6，进一步，可快速拆装式单晶硅制备用单晶炉还包括设置在炉体20内部的热场部件40，热场部件40包括保温筒41、安装座42、坩埚43、加热器44、热屏组件45，保温筒41的外壁与炉体20的内壁接触，在保温筒41内腔的底部设有安装座42，坩埚43置于安装座42上，加热器44包围在坩埚43周围，热屏组件45包括外导流筒451、石墨内导452、导流筒毡453，外导流筒451设于坩埚43的正上方，外导流筒451为圆柱形筒，外导流筒451的顶部向外翻折形成外沿，外导流筒451的底部向内翻折形成内沿，外导流筒451的外沿与保温筒41的上端部连接，石墨内导452也为上大下小的锥形筒，石墨内导452嵌套入外导流筒451中，石墨内导452的底部卡合在外导流筒451的内沿上，导流筒毡453填充在石墨内导452和外导流筒451之间，可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏10嵌套入石墨内导452中。

本实用新型实施例装置中的模块或单元可以根据实际需要进行合并、划分和删减。

以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属于实用新型所涵盖的范围。

Claims (10)

1.一种可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏，其特征在于：包括内筒、外筒、环形底、第一隔板、第二隔板、若干隔板组、进水管、出水管、连接杆、固定环体，所述内筒、外筒均为上大下小的锥形筒，所述内筒同心套装在外筒内，所述环形底设于内筒、外筒的下端部，所述环形底的内环壁与内筒的外环壁密封连接，所述环形底的外环壁与外筒的内环壁密封连接，外筒的顶部向内翻折形成内缘，所述内缘的端面与内筒的上端部外环壁密封连接，所述内筒、外筒和环形底形成环形内腔，所述第一隔板、第二隔板的形状与环形内腔的纵截面形状向匹配，所述第一隔板、第二隔板竖直设置在环形内腔内，所述第一隔板、第二隔板相互平行，所述第一隔板的上端与内缘接触，所述第一隔板的下端与环形底不接触，所述第二隔板的上端与内缘接触，所述第二隔板的下端与环形底接触，所述隔板组设置于内缘与环形底之间，相邻两个隔板组相互平行设置，每一个隔板组包括上隔板、下隔板，所述上隔板、下隔板均为与内筒的外环壁形状相匹配的弧形，所述上隔板的内侧壁与内筒的外环壁密封连接，所述上隔板的外侧壁与外筒的内环壁密封连接，所述下隔板的内侧壁与内筒的外环壁密封连接，所述下隔板的外侧壁与外筒的内环壁密封连接，所述上隔板、下隔板相对平行设置，上隔板的一端与第二隔板接触，上隔板的另一端与第二隔板不接触，下隔板的一端与第一隔板接触，下隔板的另一端与第二隔板不接触，在第一隔板、第二隔板之间的内筒的环壁上设有第一冷却液出口，所述第一冷却液出口所在第一隔板、第二隔板之间不设置隔板组，所述第一冷却液出口靠近外筒体内缘设置，在第一隔板、第二隔板之间的内筒的环壁上设有第一冷却液入口，第一冷却液入口所在第一隔板、第二隔板之间设置隔板组，所述第一冷却液入口位于外筒体内缘和靠近外筒体内缘的上隔板之间，所述第一冷却液入口还靠近第二隔板设置，所述连接杆为多个，多个连接杆沿内筒周向布置，所述连接杆的一端与内筒内环壁的上部固定连接，所述连接杆的另一端与固定环体的内环壁固定连接，所述固定环体具有环形空腔，在环形空腔内设有第三隔板、第四隔板，以将环形空腔分为第一流道、第二流道，在固定环体的外环壁设有第三冷却液入口、第三冷却液出口，所述第三冷却液出口与第一流道连通，所述第三冷却液入口与第二流道连通，所述第三冷却液入口靠近第四隔板设置，在固定环体的内环壁设有第二冷却液出口、第二冷却液入口，所述第二冷却液出口与第一流道连通，所述第二冷却液入口与第二流道连通，所述第二冷却液入口靠近第三隔板设置，所述出水管的一端与第一冷却液出口连接，所述出水管的另一端与第二冷却液出口连接，所述进水管的一端与第一冷却液入口连接，所述进水管的另一端与第二冷却液入口连接。

2.如权利要求1所述的可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏，其特征在于：所述可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏还包括进水接头、出水接头、蓄水池、传感器，所述进水接头一端与第三冷却液入口连接，所述进水接头的另一端通过管线与蓄水池连接，所述出水接头一端与第三冷却液出口连接，所述出水接头的另一端通过管线与蓄水池连接，在出水接头与蓄水池之间的管线上安装有传感器。

3.如权利要求2所述的可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏，其特征在于：所述传感器为涡街流量传感器。

4.如权利要求2所述的可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏，其特征在于：所述可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏包括第一控制部件，所述第一控制部件包括第一微处理器、第一报警灯，所述传感器与第一微处理器连接，所述第一微处理器与第一报警灯连接。

5.如权利要求2所述的可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏，其特征在于：所述可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏包括第二控制部件，所述第二控制部件包括第二微处理器、第一继电器、蜂鸣器、第二报警灯、第二继电器、电源，所述传感器与第二微处理器连接，所述第二微处理器与第一继电器连接，所述第一继电器与蜂鸣器连接，所述第一继电器与第二报警灯连接，所述第二微处理器与第二继电器连接，所述第二继电器与蜂鸣器连接，所述第二继电器与第二报警灯连接，所述电源分别与第二微处理器、第一继电器、第二继电器、蜂鸣器连接。

6.如权利要求5所述的可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏，其特征在于：所述第二报警灯内设置有红色灯、黄色灯、绿色灯。

7.如权利要求5所述的可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏，其特征在于：所述可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏还包括第一阀门、第二阀门，所述第一阀门安装在传感器与蓄水池之间的管线上，所述第二阀门安装在进水接头与蓄水池之间的管线上。

8.如权利要求5所述的可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏，其特征在于：所述可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏还包括安全阀，所述安全阀安装在出水接头与传感器之间的管线上。

9.一种可快速拆装式单晶硅制备用单晶炉，其特征在于：包括炉体、炉盖、权利要求1至8中任一项所述可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏， 在所述可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏的固定环体的外侧底壁上设有卡环，所述卡环的外径等于炉体的内径，所述卡环的内径等于固定环体的内径，所述固定环体的外径等于炉体的外径，所述炉盖的内径等于固定环体的内径，所述炉盖的外径等于固定环体的外径，在固定环体的外侧顶壁上设有环形密封槽，在所述密封槽内安装有环形密封圈。

10.如权利要求9所述的可快速拆装式单晶硅制备用单晶炉，其特征在于：所述可快速拆装式单晶硅制备用单晶炉还包括设置在炉体内部的热场部件，所述热场部件包括保温筒、安装座、坩埚、加热器、热屏组件，所述保温筒的外壁与炉体的内壁接触，在保温筒内腔的底部设有安装座，所述坩埚置于安装座上，所述加热器包围在坩埚周围，所述热屏组件包括外导流筒、石墨内导、导流筒毡，所述外导流筒设于坩埚的正上方，外导流筒为圆柱形筒，所述外导流筒的顶部向外翻折形成外沿，外导流筒的底部向内翻折形成内沿，所述外导流筒的外沿与保温筒的上端部连接，所述石墨内导也为上大下小的锥形筒，所述石墨内导嵌套入外导流筒中，石墨内导的底部卡合在外导流筒的内沿上，导流筒毡填充在石墨内导和外导流筒之间，所述可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏嵌套入石墨内导中。

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