CN114963656A - 水冷装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种水冷装置，用于单晶炉内，水冷装置包括进水管、出水管第一导流装置和第二导流装置。第一导流装置包括第一侧壁和第二侧壁，且二者之间形成沿水冷装置的周向环绕设置的第一流道，第一侧壁位于第一导流装置靠近水冷装置中心的一侧，且朝向水冷装置的中心凸起，第二导流装置设置有第一导流腔，第二导流装置包括围成第一导流腔的第一内壳和第一外壳，第一内壳和第一外壳之间设置有第一隔板，多个第一隔板沿水冷装置的轴向交错设置，以使第一导流腔内具有第二流道，第二流道分别与第一流道和出水管连通，第一流道内的冷却水能够经第二流道流向出水管。该水冷装置能够增大换热面积，提高单晶炉内晶棒的冷却效率，从而提升晶棒的拉制速度。

Description

水冷装置

技术领域

本申请涉及单晶硅制备领域，尤其涉及一种水冷装置。

背景技术

水冷装置是单晶炉中一种热交换装置，主要用于对单晶炉中的晶棒进行换热冷却，热交换速度越快，晶棒冷却越快，晶棒的纵向温度梯度越大，晶棒的拉制速度也就越快。但是现有的水冷装置中，冷却水的导流装置通常采用全槽型结构，其朝向晶棒一侧的表面积较小，因此能够与晶棒进行热交换的面积较小，冷却水仅能与晶棒底部的部分位置进行热交换，导致热交换速度较慢，进而导致晶棒的拉制速度较低。

发明内容

本申请提供了一种水冷装置，能够增大热交换面积，解决现有技术中单晶炉内晶棒拉制速度较低的问题。

本申请提供一种水冷装置，用于单晶炉内，所述水冷装置包括：

进水管；

出水管；

第一导流装置，包括第一侧壁和第二侧壁，且二者之间形成沿所述水冷装置的周向环绕设置的第一流道，所述第一侧壁位于所述第一导流装置靠近所述水冷装置中心的一侧，且朝向所述水冷装置的中心凸起；

第二导流装置，设置有第一导流腔，所述第二导流装置包括围成所述第一导流腔的第一内壳和第一外壳，所述第一内壳和所述第一外壳之间设置有第一隔板，多个所述第一隔板沿所述水冷装置的轴向交错设置，以使所述第一导流腔内具有第二流道，所述第二流道分别与所述第一流道和所述出水管连通，所述第一流道内的冷却水能够经所述第二流道流向所述出水管。

在一种可能的设计中，所述第一导流装置为导流管组，包括多个环形的第一导流管，多个所述第一导流管沿所述水冷装置的轴向排列设置且相互连通，以形成所述第一流道。

在一种可能的设计中，所述水冷装置还包括进水部件，所述进水部件包括相对设置的两个侧板，且二者之间形成进水通道，所述进水通道的两端分别与所述进水管和位于所述导流管组最底部的所述第一导流管连通，沿所述水冷装置的周向，所述第一隔板的一端与一个所述侧板抵接，另一端与另一所述侧板之间具有间隔。

在一种可能的设计中，所述第二导流装置包括多个半环形的第二导流管，所述多个第二导流管的两端均与所述第二流道连通。

在一种可能的设计中，所述水冷装置还包括进水部件，所述进水部件包括相对设置的两个侧板，且二者之间形成进水通道，所述进水通道的两端分别与所述进水管和位于所述导流管组最底部的所述第一导流管连通，所述第一隔板包括第一板件和第二板件，所述进水部件的两侧分别设置有多个第一板件和多个第二板件，位于同一高度的所述第一板件和所述第二板件中的一者与一个所述侧板固定连接，另一者与另一所述侧板之间具有间隔。

在一种可能的设计中，所述第一内壳至少部分的半径沿所述第二导流装置底部朝向所述第二导流装置顶部的方向逐渐增大。

在一种可能的设计中，所述水冷装置还包括位于所述第一导流装置和所述第二导流装置上方的第三导流装置，所述第三导流装置具有第三流道，所述第三流道分别与所述第二流道和所述出水管连通。

在一种可能的设计中，所述第三导流装置为半环形结构，所述第三导流装置包括第二内壳和第三外壳，所述第二内壳和所述第三外壳之间设置有第二隔板，沿所述水冷装置的轴向，多个所述第二隔板交错设置，以形成所述第三流道，所述第三流道的顶部与所述第二流道连通，所述第三流道的底部与所述出水管连通。

在一种可能的设计中，所述第三导流装置包括本体部和凸起部，所述第三流道位于所述本体部，所述凸起部沿所述水冷装置的径向朝远离所述水冷装置中心的方向凸出，所述凸起部内设置有出水部件，所述出水部件具有连通所述第三流道的底部和所述出水管的出水通道。

在一种可能的设计中，所述第三导流装置还设置有过渡流道，所述过渡流道包括相互连通的第一段和第二段，所述第一段位于所述凸起部内，所述第一段的两端分别与所述第二流道和所述第二段连通，所述第二段位于所述本体部内，所述第二段的两端分别与所述第一段和所述第三流道的顶部连通。

本申请中，冷却水从进水管进入水冷装置中，并经第一流道和第二流道流向出水管，在此过程中，冷却水分别通过第一侧壁和第一内壳吸收晶棒的热量，以使晶棒降温冷却。具体地，第一流道沿水冷装置的周向环绕设置，能够保证晶棒在径向上的受热均匀，减小晶棒在径向上的温差，避免晶棒发生位错而影响拉制效果。并且，第一侧壁朝向水冷装置的中心凸起，使得第一侧壁的外表面积增大，从而增大了第一流道内的冷却水与晶棒进行热交换的面积，能够提高晶棒的冷却速度，使处于该位置的晶棒充分降温冷却，进而提高了晶棒的拉制速度。第一内壳与第二外壳之间交错设置有多个第一隔板，使得第一导流腔内形成第二流道，能够延长冷却水沿第二流道流动时所经过的路径，使得第二流道内的冷却水能够与晶棒充分换热，提高了第二导流装置的换热效率。

本申请所提供的水冷装置通过将第一导流装置的第一侧壁设置为朝向水冷装置的中心凸起的结构，能够增大第一侧壁的外表面积，从而增大与晶棒进行热交换的面积，加快处于水冷装置内的晶棒的冷却速度，使得晶棒整体的纵向温度梯度增大，进而提高了晶棒的拉制速度。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本申请。

附图说明

图1为本申请所提供水冷装置在第一种具体实施例中的结构示意图；

图2为图1的俯视图；

图3为图2沿AA′向的剖视图；

图4为图1去掉第一外壳后的左视图；

图5为图2沿BB′向的剖视图；

图6为本申请所提供水冷装置在第二种具体实施例中的结构示意图；

图7为图6的正视图；

图8为图6的左视图；

图9为图6的俯视图；

图10为图9沿CC′向的剖视图；图11为图6的右视图。

附图标记：

1-进水管；

2-出水管；

3-第一导流装置；

31-第一侧壁；

32-第二侧壁；

33-第一流道；

34-第一导流管；

35-连通部件；

351-连通口；

4-第二导流装置；

41-第一内壳；

42-第一外壳；

43-第一隔板；

431-第一板件；

432-第二板件；

44-第二流道；

45-第二导流管；

46-挡板；

461-连通孔；

5-进水部件；

51-侧板；

52-进水通道；

6-第三导流装置；

61-本体部；

611-第三流道；

62-凸起部；

621-出水通道；

63-第二内壳；

64-第二隔板；

65-过渡流道；

651-第一段；

652-第二段；

7-换热空间。

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。

具体实施方式

为了更好的理解本申请的技术方案，下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。

应当明确，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本申请。在本申请实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。

应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

需要注意的是，本申请实施例所描述的“上”、“下”、“左”、“右”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本申请实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。

本申请的实施例提供一种水冷装置，用于单晶炉内，如图1和图2所示，该水冷装置为中空结构，中间形成有换热空间7，晶棒容纳于该换热空间7内，并与水冷装置中的冷却水进行换热。该水冷装置包括进水管1、出水管2、第一导流装置3和第二导流装置4。其中，如图3所示，在第一种实施例中，第一导流装置3包括第一侧壁31和第二侧壁32，且二者之间形成沿水冷装置的周向环绕设置的第一流道33，第一侧壁31位于第一导流装置3靠近水冷装置中心的一侧，且朝向水冷装置的中心凸起，第二导流装置4设置有第一导流腔，第二导流装置4包括围成第一导流腔的第一内壳41和第一外壳42，第一内壳41和第一外壳42之间设置有第一隔板43，多个第一隔板43沿水冷装置的轴向交错设置，以使第一导流腔内具有第二流道44，第二流道44分别与第一流道33和出水管2连通，第一流道33内的冷却水能够经第二流道44流向出水管2。

本实施例中，冷却水从进水管1进入水冷装置中，并经第一流道33和第二流道44流向出水管2，在此过程中，冷却水分别通过第一侧壁31和第一内壳41吸收晶棒的热量，以使晶棒降温冷却。具体地，第一流道33沿水冷装置的周向环绕设置，能够保证晶棒在径向上的受热均匀，减小晶棒在径向上的温差，避免晶棒发生位错而影响拉制效果。并且，如图3的实施例所示，第一侧壁31朝向水冷装置的中心凸起，即朝向换热空间7凸起，使得第一侧壁31的外表面积增大，从而增大了第一流道33内的冷却水与晶棒进行热交换的面积，能够提高晶棒的冷却速度，使处于该位置的晶棒充分降温冷却，进而提高了晶棒的拉制速度。请同时参照图4和图5，第一内壳41与第二外壳42之间交错设置有多个第一隔板43，使得第一导流腔内形成第二流道44，能够延长冷却水沿第二流道44流动时所经过的路径，使得第二流道44内的冷却水能够与晶棒充分换热，提高了第二导流装置4的换热效率。

本申请所提供的水冷装置通过将第一导流装置3的第一侧壁31设置为朝向水冷装置的中心凸起的结构，能够增大第一侧壁31的外表面积，从而增大与晶棒进行热交换的面积，加快处于水冷装置内的晶棒的冷却速度，使得晶棒整体的纵向温度梯度增大，进而提高了晶棒的拉制速度。

另外，第一侧壁31与第二侧壁32、第一内壳41与第一外壳42的端部均密封连接，以避免第一流道33或第二流道44内的冷却水泄露。

进一步地，如图3所示，第一导流装置3为导流管组，包括多个环形的第一导流管34，多个第一导流管34沿水冷装置的轴向排列设置且相互连通，以形成第一流道33。

如图3的实施例所示，第一导流装置3还设置有连通部件35，多个第一导流管34通过该连通部件35相互连通，具体地，如图5所示，连通部件35内设置有多个连通口351，沿水冷装置的轴向相邻的两个第一导流管34的管口通过连通口351连通，以使第一流道33形成S形结构，延长了冷却水沿第一流道33流动时所经过的路径，使得第一流道33内的冷却水能够与晶棒充分换热，提高了第一导流装置3的换热效率。

并且，如图3所示，多个第一导流管34沿水冷装置的竖直排列，使得第一侧壁31更靠近晶棒，同时能够保证位于处于该位置的晶棒在轴向上受热均匀，换热效果更好。

需要说明的是，如图3所示，沿所述水冷装置的周向，第一导流管34朝向水冷装置中心的一侧为第一侧壁31，第一导流管34远离水冷装置中心的一侧为第二侧壁32。当选用导流管组作为第一导流装置3时，第二侧壁32能够朝向远离水冷装置中心的方向凸起，此时，第一导流装置3的内部容积得以增大，能够提高流经第一流道33的冷却水流量，能够进一步提高第一导流装置的换热效率。

更进一步地，如图4所示，水冷装置还包括进水部件5，进水部件5包括相对设置的两个侧板51，且二者之间形成进水通道52，进水通道52的两端分别与进水管1和位于导流管组最底部的第一导流管34连通，沿水冷装置的周向，第一隔板43的一端与一个侧板51抵接，另一端与另一侧板51之间具有间隔。

如图4的实施例所示，第一隔板43为环形结构，第一隔板43的一端与一个侧板51抵接，另一端与另一侧板51之间具有间隔，以使第二流道44具有S形结构，第二流道44内的冷却水能够充分利用第一内壳41的表面积与晶棒进行换热。

进水管1内的冷却水经进水通道52流向最底部的第一导流管34，从而进入第一流道33，并沿第一流道33向上流动，经导流管组最顶部的第一导流管34流入第二流道44，且继续沿第二流道44向上流动，最终流入出水管2，完成换热过程。由于进水通道52直接连接最底部的第一导流管34，冷却水的流动路径是沿水冷装置的轴向从下向上的，因此冷却水在流动过程中能够始终充满整个第一流道33以及第二流道44，并且第一流道33和第二流道44都是S形的结构，第一流道33和第二流道44内的冷却水能够与第一侧壁31和第一内壳41的全部内表面接触，从而充分利用第一侧壁31和第一内壳41的表面积进行换热，最大程度地提高水冷装置的换热效率。

为了进一步提高水冷装置的换热能力，本申请还提供了第二种实施例，如图6所示，第二导流装置4包括多个半环形的第二导流管45，多个第二导流管45的两端均与第二流道44连通。

具体地，如图7的实施例所示，第二导流装置4还包括与第一内壳41和第一外壳42共同围成第一导流腔的挡板46，沿水冷装置的周向，第二导流装置4的两个挡板46上均设置有连通孔461，第二导流管45的两端均通过连通孔461与第二流道44连通，第二流道44内的冷却水能够流入第二导流管45，再从第二导流管45的另一端流回第二流道44，保证了冷却水的畅通流动。

其中，第二导流管45的两端与挡板46通过焊接连接，以避免冷却水从连通孔461处漏出。

本实施例中，第二导流装置4采用了第一隔板43和第二导流管45相结合的方式，即采用了第二导流管45取代了一部分的第一导流腔，并且，第二导流管45的结构与第一导流管34的结构相同，即第二导流管45的内侧壁朝向水冷装置的中心凸起，因此，相比于第一种实施例，本实施例的第二导流装置4与晶棒进行热交换的面积更大，换热速度更快，进一步提高了晶棒的拉制速度。

进一步地，如图8所示，水冷装置还包括进水部件5，进水部件5包括相对设置的两个侧板51，且二者之间形成进水通道52，进水通道52的两端分别与进水管1和位于导流管组最底部的第一导流管34连通，第一隔板43包括第一板件431和第二板件432，进水部件5的两侧分别设置有多个第一板件431和多个第二板件432，位于同一高度的第一板件431和第二板件432中的一者与一个侧板51固定连接，另一者与另一侧板51之间具有间隔。

本实施例中，第一隔板43被进水部件5和第二导流管45共同分隔成了半环形的第一板件431和第二板件432，第一板件431和第二板件432均与挡板46固定连接，以使第二导流管45的两端分别与第一板件431和第二板件432连通，保障冷却水的畅通流动。如图8的实施例所示，位于同一高度的第一板件431和第二板件432中的一者与侧板51固定连接，另一者与另一侧板51之间具有间隔，以使第二流道44具有S形结构，第二流道44内的冷却水能够充分利用第一内壳41的表面积与晶棒进行换热。

同样地，进水通道52直接连接最底部的第一导流管34，冷却水的流动路径是沿水冷装置的轴向从下向上的，在流动过程中能够始终充满整个第一导流装置3和第二导流装置4，最大程度地提高水冷装置的换热效率。

在一种具体的实施例中，如图6所示，第一内壳41至少部分的半径沿第二导流装置4底部朝向第二导流装置4顶部的方向逐渐增大。

单晶炉内通常设置有摄像头，摄像头安装于水冷装置的上方，用于观察晶棒的拉制情况，因此，如图9和图10所示，第一内壳41至少部分的半径沿第二导流装置4底部朝向第二导流装置4顶部的方向逐渐增大，以使第一内壳41的剖面呈上宽下窄的梯形结构，从而为摄像头提供足够的视野，以便对晶棒的拉制情况进行监视和记录。

在一种具体的实施例中，如图6所示，水冷装置还包括位于第一导流装置3和第二导流装置4上方的第三导流装置6，第三导流装置6具有第三流道611，第三流道611分别与第二流道44和出水管2连通。

本实施例中，在第一导流装置3和第二导流装置4上方加设第三导流装置6，能够同时对晶棒的上部分进行降温，进一步冷却晶棒，提高了水冷装置的换热效果。并且，同时设置第一导流装置3、第二导流装置4和第三导流装置6增加了水冷装置沿轴向的长度，相比于现有技术中的水冷装置，本申请的水冷装置整体与晶棒的换热面积更大，冷却效果更好。

具体地，如图6和图7所示，第三导流装置6为半环形结构，第三导流装置6包括第二内壳63和第三外壳，第二内壳63和第三外壳之间设置有第二隔板64，沿水冷装置的轴向，多个第二隔板64交错设置，以形成第三流道611，第三流道611的顶部与第二流道44连通，第三流道611的底部与出水管2连通。

如图6的实施例所示，第三导流装置6为半环形结构，以避免遮挡摄像头，便于摄像头对晶棒的拉制情况进行监视和记录。并且，第二内壳63为直壁式结构，更贴近晶棒，吸收更多热量，换热效果更好，同时直壁式结构能够保障晶棒沿轴向上的受热均匀，防止晶棒因冷热交替过快而产生炸裂。

多个第二隔板64交错设置，使得第三流道611具有S形结构，能够延长冷却水沿第三流道611流动时所经过的路径，使得第三流道611内的冷却水能够与晶棒充分换热，提高了第三导流装置6的换热效率。第三流道611的顶部与第二流道44连通，且第三流道611的底部与出水管2连通，第二流道44流出的冷却水能够在第三流道611内充分流动后再流向出水管2，充分利用了第二内壳63的表面积与晶棒进行换热。

另外，第二内壳63与第二外壳的端部应密封连接，以避免第三流道611的冷却水泄露。

进一步地，如图7和图8所示，第三导流装置6包括本体部61和凸起部62，第三流道611位于本体部61，凸起部62沿水冷装置的径向朝远离水冷装置中心的方向凸出，凸起部62内设置有出水部件，出水部件具有连通第三流道611的底部和出水管2的出水通道621。

本实施例中，凸出部62位于本体部61的下方，且沿水冷装置的径向朝远离水冷装置中心的方向凸出，使得凸出部62具有较大的容积，能够容纳大量的冷却水。出水通道621位于凸出部62内，相比于第三流道611，出水通道621的容积更大，冷却水经出水通道621流向出水管3时，能够降低冷却水的压力，保持水路的畅通。

在一种具体的实施例中，如图11所示，第三导流装置6还设置有过渡流道65，过渡流道65包括相互连通的第一段651和第二段652，第一段651位于凸起部62内，第一段651的两端分别与第二流道44和第二段652连通，第二段652位于本体部61内，第二段652的两端分别与第一段651和第三流道611的顶部连通。

过渡流道65用于对第二流道44流向第三流道611的冷却水进行导流，请同时参照图7和图11，第一段651为半环形结构，且与第二流道44连通，第二段652沿水冷装置的轴向设置，且与第三流道611的顶部连通，第二流道44内的冷却水能够经第一段651和第二段652流入第三流道611内，实现水冷装置内水路的畅通。其中，第一段651位于凸起部62内，具有较大的容量，能够使第一段651内的冷却水大量吸收晶棒的热量，提高换热效率。

通过设置过渡流道65，充分利用了第三导流装置6的内部空间，提高了冷却水的容量，从而提高了水冷装置的换热能力。设置过渡流道65连接第二流道44和第三流道611，还延长了冷却水的流动路径，充分利用了第二内壳63的表面积与晶棒进行换热，进一步提高了水冷装置的换热效率。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种水冷装置，用于单晶炉内，其特征在于，所述水冷装置包括：

进水管(1)；

出水管(2)；

第一导流装置(3)，包括第一侧壁(31)和第二侧壁(32)，且二者之间形成沿所述水冷装置的周向环绕设置的第一流道(33)，所述第一侧壁(31)位于所述第一导流装置(3)靠近所述水冷装置中心的一侧，且朝向所述水冷装置的中心凸起；

第二导流装置(4)，设置有第一导流腔，所述第二导流装置(4)包括围成所述第一导流腔的第一内壳(41)和第一外壳(42)，所述第一内壳(41)和所述第一外壳(42)之间设置有第一隔板(43)，多个所述第一隔板(43)沿所述水冷装置的轴向交错设置，以使所述第一导流腔内具有第二流道(44)，所述第二流道(44)分别与所述第一流道(33)和所述出水管(2)连通，所述第一流道(33)内的冷却水能够经所述第二流道(44)流向所述出水管(2)。

2.根据权利要求1所述的水冷装置，其特征在于，所述第一导流装置(3)为导流管组，包括多个环形的第一导流管(34)，多个所述第一导流管(34)沿所述水冷装置的轴向排列设置且相互连通，以形成所述第一流道(33)。

3.根据权利要求2所述的水冷装置，其特征在于，所述水冷装置还包括进水部件(5)，所述进水部件(5)包括相对设置的两个侧板(51)，且二者之间形成进水通道(52)，所述进水通道(52)的两端分别与所述进水管(1)和位于所述导流管组最底部的所述第一导流管(34)连通；

沿所述水冷装置的周向，所述第一隔板(43)的一端与一个所述侧板(51)抵接，另一端与另一所述侧板(51)之间具有间隔。

4.根据权利要求2所述的水冷装置，其特征在于，所述第二导流装置(4)包括多个半环形的第二导流管(45)，所述多个第二导流管(45)的两端均与所述第二流道(44)连通。

5.根据权利要求4所述的水冷装置，其特征在于，所述水冷装置还包括进水部件(5)，所述进水部件(5)包括相对设置的两个侧板(51)，且二者之间形成进水通道(52)，所述进水通道(52)的两端分别与所述进水管(1)和位于所述导流管组最底部的所述第一导流管(34)连通；

所述第一隔板(43)包括第一板件(431)和第二板件(432)，所述进水部件(5)的两侧分别设置有多个第一板件(431)和多个第二板件(432)，位于同一高度的所述第一板件(431)和所述第二板件(432)中的一者与一个所述侧板(51)固定连接，另一者与另一所述侧板(51)之间具有间隔。

6.根据权利要求1所述的水冷装置，其特征在于，所述第一内壳(41)至少部分的半径沿所述第二导流装置(4)底部朝向所述第二导流装置(4)顶部的方向逐渐增大。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的水冷装置，其特征在于，所述水冷装置还包括位于所述第一导流装置(3)和所述第二导流装置(4)上方的第三导流装置(6)，所述第三导流装置(6)具有第三流道(611)，所述第三流道(611)分别与所述第二流道(44)和所述出水管(2)连通。

8.根据权利要求7所述的水冷装置，其特征在于，所述第三导流装置(6)为半环形结构，所述第三导流装置(6)包括第二内壳(63)和第三外壳，所述第二内壳(63)和所述第三外壳之间设置有第二隔板(64)，沿所述水冷装置的轴向，多个所述第二隔板(64)交错设置，以形成所述第三流道(611)；

所述第三流道(611)的顶部与所述第二流道(44)连通，所述第三流道(611)的底部与所述出水管(2)连通。

9.根据权利要求7所述的水冷装置，其特征在于，所述第三导流装置(6)包括本体部(61)和凸起部(62)，所述第三流道(611)位于所述本体部(61)；

所述凸起部(62)沿所述水冷装置的径向朝远离所述水冷装置中心的方向凸出，所述凸起部(62)内设置有出水部件，所述出水部件具有连通所述第三流道(611)的底部和所述出水管(2)的出水通道(621)。

10.根据权利要求9所述的水冷装置，其特征在于，所述第三导流装置(6)还设置有过渡流道(65)，所述过渡流道(65)包括相互连通的第一段(651)和第二段(652)；

所述第一段(651)位于所述凸起部(62)内，所述第一段(651)的两端分别与所述第二流道(44)和所述第二段(652)连通；

所述第二段(652)位于所述本体部(61)内，所述第二段(652)的两端分别与所述第一段(651)和所述第三流道(611)的顶部连通。

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