CN213352451U - 一种从坩埚中取晶锭的机械手 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种从坩埚中取晶锭的机械手，其包括：定位机构，用于夹持坩埚的坩埚主体；取料组件，包括抓手和吸盘；机械臂组件，包括依次连接的基座、升降臂、悬臂和旋转臂，旋转臂的尾端与抓手可拆卸连接，且旋转臂的尾端可更换为可拆卸连接的吸盘；动力装置，包括驱动升降臂升降的第一动力装置、和驱动旋转臂旋转的第二动力装置；控制机构，控制第一动力装置驱动升降臂上升和第二动力装置驱动旋转臂旋转，以将抓手夹持的坩埚盖旋开，控制机构控制第一动力装置驱动升降臂上升，以带动旋转臂将吸盘吸取的晶锭移出坩埚主体。该机械手代替人工方式，用于开启坩埚，并将坩埚内的晶锭取出，可以提高工作效率，减少人工对晶锭造成的污染。

Description

一种从坩埚中取晶锭的机械手

技术领域

本申请涉及一种从坩埚中取晶锭的机械手，属于半导体晶体技术领域。

背景技术

随着5G通讯、新能源汽车等产业的迅猛发展对功率电子器件的需求不断增加，第三代半导体材料，因具有宽禁带、高热导率、高临界击穿场强及高饱和电子漂移速率等优异的物理性能而备受关注。目前，物理气相沉积技术(PVT)是生长半导体晶体的常用方法，主要是在坩埚内进行，现有技术中，主要采用人工方式开启坩埚，依靠扳手等工具取下坩埚盖，再采用人工操作方式将坩埚内的半导体晶锭取出。

随着半导体生产规模的逐步扩大，人力的工作强度增加，生产速度下降，工作效率降低，人工操作方式越来越无法满足生产需求。此外，人工操作方式容易对坩埚内的物料造成污染，降低半导体晶锭的质量。

实用新型内容

为了解决上述问题，本申请提出了一种从坩埚中取晶锭的机械手。该机械手代替人工方式，用于开启坩埚，并将坩埚内的晶锭取出，可以减少人力的投入，提高生产速度和工作效率，减少在人工操作过程中对坩埚及晶锭造成的污染，保证碳化硅晶锭的质量。

根据本申请的一个方面，提供了一种从坩埚中取晶锭的机械手，包括：

定位机构，所述定位机构夹持所述坩埚的坩埚主体；

取料组件，所述取料组件包括抓手和吸盘；

机械臂组件，所述机械臂组件包括依次连接的基座、升降臂、悬臂和旋转臂，所述旋转臂的尾端与所述抓手可拆卸连接，且所述旋转臂的尾端可更换为可拆卸连接的所述吸盘；

动力装置，所述动力装置包括驱动所述升降臂升降的第一动力装置、和驱动所述旋转臂旋转的第二动力装置；

控制机构，所述控制机构控制所述第一动力装置驱动所述升降臂上升，和所述第二动力装置驱动所述旋转臂旋转，以将所述抓手夹持的坩埚盖旋开；所述控制机构控制所述第一动力装置驱动所述升降臂上升，以带动所述旋转臂将所述吸盘吸取的晶锭移出所述坩埚主体。

可选地，所述旋转臂的尾端与所述取料组件的顶端插接、卡扣连接或螺钉连接。

可选地，所述旋转臂的尾端与所述取料组件的顶端之一通过卡箍固定软管，另一与所述软管插接。

可选地，所述抓手包括第三动力装置和至少两个均匀设置的伸缩抓手柄，所述伸缩抓手柄包括伸缩件和抓手柄，所述第三动力装置驱动所述伸缩件带动所述抓手柄靠近或远离。

可选地，所述抓手柄形成弯折结构，所述抓手柄的固定端与所述伸缩件连接，所述抓手柄的向下延伸的自由端用于夹持所述坩埚盖，所述弯折结构的弯折角设为弧形，所述弯折角小于90°。

可选地，所述自由端设为向外的弯折的翻边结构，所述翻边结构的弯折点用于夹持所述坩埚盖。

可选地，所述定位机构包括第一夹持臂、第二夹持臂和支撑座，所述第一夹持臂、第二夹持臂和所述支撑座围成放置所述坩埚主体的容纳腔；

所述第一夹持臂和所述第二夹持臂中至少一个能够调节相对于另一的相对位置。

可选地，所述第一夹持臂固定在所述支撑座，所述定位机构还包括第四动力装置和伸缩臂，所述第四动力装置安装在所述基座内，所述第四动力装置通过所述伸缩臂与所述第二夹持臂连接。

可选地，所述第一夹持臂和所述第二夹持臂为与所述坩埚主体外壁适配的弧形结构；和/或

所述第一夹持臂、第二夹持臂、吸盘和抓手的至少与所述坩埚接触的面为非金属材质。

优选地，所述第一夹持臂和所述第二夹持臂为聚四氟乙烯材质，所述吸盘为尼龙材质，和/或所述抓手外部套设有尼龙套。

可选地，所述动力装置还包括第五动力装置，所述第五动力装置与所述悬臂连接，以驱动所述悬臂伸缩；和/或

所述动力装置还包括第六动力装置和旋转台，所述旋转台设置在所述基座与所述升降臂之间，所述第六动力装置驱动所述旋转台旋转以带动所述升降臂旋转。

优选地，所述第一动力装置、第三动力装置、第四动力装置、第五动力装置选自液压缸、气缸或电动缸；所述第二动力装置、第六动力装置为电机。

本申请能产生的有益效果包括但不限于：

1.本申请所提供的机械手，以机械手代替人工方式，抓手和吸盘分别与旋转臂的尾端可拆卸连接，首先将坩埚盖旋开，然后取出坩埚主体内部的半导体晶锭，减少了人力的投入，提高了生产速度和工作效率，同时，减少人工在操作过程中对坩埚以及半导体晶锭造成的污染。

2.本申请所提供的机械手，旋转臂的尾端通过卡箍固定软管，抓手或吸盘的顶端与软管插接，结构简单，在拆卸抓手或吸盘的过程中，操作方便，并且无需对旋转臂、抓手和吸盘进行再加工，制造成本低。

3.本申请所提供的机械手，设置可伸缩抓手柄，可以将坩埚盖夹紧，防止在旋转坩埚盖的过程中坩埚盖与抓手柄发生相对滑动，同时避免在移动时坩埚盖从抓手中脱落。此外，本申请设置伸缩抓手柄，可以取下不同半径的坩埚盖。

4.本申请所提供的机械手，定位机构设置第一夹持臂、第二夹持臂和支撑座，第二夹持臂能够调节相对于第一夹持臂的位置，可以在开启坩埚盖时将坩埚主体固定，防止在旋转坩埚盖的过程中，坩埚主体发生晃动。同时，第四动力装置通过伸缩臂驱动第二夹持臂靠近或远离第一夹持臂，可以对不同半径的坩埚进行固定。

5.本申请所提供的机械手，将第一夹持臂和第二夹持臂设置为与坩埚主体外壁适配的弧形结构，可以增加第一夹持臂和第二夹持臂与坩埚主体外壁的贴合面积，在抓手旋转坩埚盖时，坩埚主体被第一夹持臂和第二夹持臂卡持，进一步防止坩埚主体产生晃动。

6.本申请所提供的机械手，第一夹持臂和第二夹持臂用于夹持坩埚主体，为聚四氟乙烯材质，可以避免坩埚主体接触金属，预防坩埚主体被污染导致半导体晶锭质量下降；吸盘用于吸取坩埚内的晶锭，并将晶锭移出坩埚主体，吸盘为尼龙材质，可以防止在取晶锭的过程中对晶体造成污染，进一步保证半导体晶锭的质量；抓手用于夹持坩埚盖，将抓手外部套设尼龙套，可以增加抓手与坩埚盖之间的摩擦力，在抓手带动坩埚盖移动的过程中，防止坩埚盖脱落，此外，可以避免坩埚盖接触金属，防止抓手对坩埚盖造成污染，进一步保证半导体晶锭的质量。

7.本申请所提供的机械手，设置第五动力装置驱动悬臂伸缩，基座和升降臂之间设置旋转台，从而带动升降臂旋转至不同方向，使本申请的机械手更加灵活，方便取放取料组件及晶锭。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本申请实施例涉及的从坩埚中取晶锭的机械手安装抓手时的示意图；

图2为本申请实施例涉及的从坩埚中取晶锭的机械手中吸盘的示意图。

具体实施方式

为了更清楚的阐释本申请的整体构思，下面结合说明书附图以示例的方式进行详细说明。

为了能够更清楚地理解本申请的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本申请进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请，但是，本申请还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本申请的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

另外，在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不是必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

本申请的从坩埚中取晶锭的机械手适用于从坩埚中取出各种半导体晶锭，如碳化硅、硫化镉等，但不限于上述晶锭。本申请实施例中以从坩埚中取碳化硅晶锭为例进行说明，但是不限于该产品。

实施例1

参考图1，本申请的实施例公开了一种从坩埚中取晶锭的机械手，其包括：定位机构、取料组件、机械臂组件、动力装置和控制机构10，定位机构夹持坩埚的坩埚主体1，取料组件包括抓手2和吸盘3，机械臂组件包括依次连接的基座4、升降臂5、悬臂6和旋转臂7，旋转臂7的尾端与抓手2可拆卸连接，且旋转臂7的尾端可更换为可拆卸连接的吸盘3，动力装置包括驱动升降臂5升降的第一动力装置8、和驱动旋转臂7旋转的第二动力装置9，控制机构10控制第一动力装置8驱动升降臂5上升，和第二动力装置9驱动旋转臂7旋转，以将抓手2夹持的坩埚盖11旋开，控制机构10控制第一动力装置8驱动升降臂5上升，以带动旋转臂7将吸盘3吸取的晶锭移出坩埚主体1。具体的，第一动力装置8选自液压缸、气缸或电动缸，优选，本实施例的第一动力装置为气缸，第二动力装置9为电机。

本申请以机械手代替人工方式，抓手2和吸盘3分别与旋转臂7的尾端可拆卸连接，首先在旋转臂7的尾端安装抓手2，将坩埚盖11旋开，然后将抓手2卸下，在旋转臂7的尾端安装吸盘3，取出坩埚主体1内部的碳化硅晶锭，减少了人力的投入，提高了生产速度和工作效率，同时，减少人工在操作过程中对坩埚以及碳化硅晶锭造成的污染。

具体的，旋转臂7的尾端与取料组件的顶端插接、卡扣连接或螺钉连接。

作为一种实施方式，旋转臂7的尾端与取料组件的顶端之一通过卡箍固定软管，另一与软管插接。具体的，本实施例旋转臂7为圆柱形，在抓手2和吸盘3的顶端加工圆柱形结构，抓手2和吸盘3顶端的直径与旋转臂的直径相同，选择与旋转臂适配的软管，旋转臂7的尾端通过卡箍固定软管，取料组件的顶端与软管插接，取料组件与软管之间的摩擦力等于取料组件的重力，软管为聚乙烯材质，在旋转臂7带动取料组件旋转时，软管不会发生形变。本申请设置旋转臂7的尾端通过卡箍固定软管，抓手2或吸盘3的顶端与软管插接，结构简单，在拆卸抓手2或吸盘3的过程中，操作方便。

具体的，抓手包括第三动力装置12和至少两个均匀设置的伸缩抓手柄，伸缩抓手柄包括伸缩件13和抓手柄14，第三动力装置12驱动伸缩件13带动抓手柄14靠近或远离。具体的，第三动力装置12选自液压缸、气缸或电动缸，优选，本实施例的第三动力装置12为气缸，抓手包括四个均匀设置的伸缩抓手柄。四个伸缩抓手柄包括四个伸缩件13，伸缩件13的一端固定安装在抓手中心处，另一端向四周均匀设置。第三动力装置12固定安装在伸缩件13，第二动力装置12的活塞杆带动伸缩件13伸缩。本实施例的第三动力装置12与控制机构10电连接，控制机构10控制第三动力装置12驱动伸缩件13伸缩，以带动抓手柄14靠近或远离坩埚盖11。本实施例设置四个均匀设置的可伸缩抓手柄，可以从四个方向将坩埚盖11夹紧，防止在旋转坩埚盖11的过程中坩埚盖11与抓手柄14发生相对滑动，同时避免在移动时坩埚盖11从抓手2中脱落。此外，本申请设置伸缩抓手柄，可以取下不同半径的坩埚盖11。

具体的，抓手柄14形成弯折结构，抓手柄14的固定端与伸缩件13连接，抓手柄14的向下延伸的自由端用于夹持坩埚盖11，弯折结构的弯折角设为弧形，弯折角小于90°。抓手柄14设置为弯折结构，弯折角为小于90°的弧形，使抓手柄14在抓取坩埚盖11时受力更加均匀，延长抓手柄14的使用寿命。

具体的，自由端设为向外的弯折的翻边结构15，翻边结构15的弯折点用于夹持坩埚盖11。抓手柄14夹持坩埚盖11时，自由端的弯折点与坩埚盖11外壁相接触，将坩埚盖11紧密的卡持在抓手柄14中，在抓手2带动坩埚盖11移动的过程中，防止坩埚盖11脱落。

具体的，定位机构包括第一夹持臂16、第二夹持臂17和支撑座18，第一夹持臂16、第二夹持臂17和支撑座18围成放置坩埚主体1的容纳腔；第一夹持臂16和第二夹持臂17中至少一个能够调节相对于另一的相对位置。优选地，第一夹持臂16固定在支撑座18，定位机构还包括第四动力装置19和伸缩臂20，第四动力装置19安装在基座4内，第四动力装置19通过伸缩臂20与第二夹持臂17连接。具体的，第四动力装置19选自液压缸、气缸或电动缸。优选，第四动力装置19为气缸。第四动力装置19的活塞杆与伸缩臂20的一端连接，伸缩臂20的另一端固定安装在第二夹持臂17上。第四动力装置19与控制机构10电连接，控制机构控制第四动力装置19驱动伸缩臂20伸缩，以带动第二夹持臂17靠近或远离第一夹持臂16。定位机构设置第一夹持臂16、第二夹持臂17和支撑座18，第二夹持臂17能够调节相对于第一夹持臂16的位置，可以在开启坩埚盖11时将坩埚主体1固定，防止在旋转坩埚盖11的过程中，坩埚主体1发生晃动。同时，第四动力装置19通过伸缩臂20驱动第二夹持臂17靠近或远离第一夹持臂16，可以对不同半径的坩埚进行固定。将第四动力装置19固定安装在基座4内，结构紧凑，节约占地面积。

具体的，第一夹持臂16和第二夹持臂17为与坩埚主体1外壁适配的弧形结构。将第一夹持臂16和第二夹持臂17设置为与坩埚主体1外壁适配的弧形结构，可以增加第一夹持臂16和第二夹持臂17与坩埚主体1外壁的贴合面积，在抓手2旋转坩埚盖11时，坩埚主体1被第一夹持臂16和第二夹持臂17卡持，进一步防止坩埚主体1产生晃动。

具体的，第一夹持臂16、第二夹持臂17、吸盘3和抓手2的至少与坩埚接触的面为非金属材质；优选地，第一夹持臂16和第二夹持臂17为聚四氟乙烯材质，吸盘3为尼龙材质，抓手2外部套设有尼龙套。第一夹持臂16和第二夹持臂17用于夹持坩埚主体1，为聚四氟乙烯材质，可以避免坩埚主体1接触金属，预防坩埚主体1被污染导致碳化硅晶锭质量下降；吸盘3用于吸取坩埚内的晶锭，并将晶锭移出坩埚主体1，吸盘3为尼龙材质，可以防止在取晶锭的过程中对晶体造成污染，进一步保证碳化硅晶锭的质量；抓手2用于夹持坩埚盖11，将抓手2外部套设尼龙套，可以增加抓手2与坩埚盖11之间的摩擦力，在抓手2带动坩埚盖11移动的过程中，防止坩埚盖11脱落，此外，可以避免坩埚盖11接触金属，防止抓手2对坩埚盖11造成污染，进一步保证碳化硅晶锭的质量。

具体的，动力装置还包括第五动力装置21，第五动力装置21与悬臂6连接，以驱动悬臂6伸缩。具体的，第五动力装置21选自液压缸、气缸或电动缸。优选，第五动力装置21为气缸。第五动力装置21与控制机构10电连接，控制机构10控制第五动力装置21驱动悬臂6伸缩。本申请设置第五动力装置21驱动悬臂6伸缩，当坩埚与升降臂5之间的距离发生改变时，本申请的机械手也可以完成取晶锭操作。

具体的，动力装置还包括第六动力装置22和旋转台23，旋转台23设置在基座4与升降臂5之间，第六动力装置22驱动旋转台23旋转以带动升降臂5旋转。具体的，第六动力装置22为电机。第六动力装置22与控制机构10电连接，控制机构10控制第六动力装置驱动旋转台23旋转。本申请在基座2和升降臂5之间设置旋转台23，第六动力装置22驱动旋转台23旋转，从而带动升降臂5旋转至不同方向，从而使本申请的机械手更加灵活，方便取放取料组件及晶锭。

在本实施例中，第六动力装置22固定安装在基座2上，第六动力装置22为电机，该电机的输出轴与旋转台23相连，第六动力装置22启动后，输出轴旋转，从而带动旋转台23旋转。旋转台的上部固定安装第一动力装置8，第一动力装置8为气缸，第一动力装置8的活塞杆的顶端固定安装升降臂5。升降臂5的顶端固定安装有第五动力装置21，第五动力装置21为气缸，该气缸的活塞杆固定连接有悬臂6。悬臂6远离第五动力装置21的一端固定安装有第二动力装置9，第二动力装置9为电机，电机的输出轴与旋转臂7的顶端相连接，第二动力装置9启动后，输出轴旋转，从而带动旋转臂7旋转。旋转臂7的尾端通过软管连接抓手2或吸盘3。

机械手的控制机构10主要由PLC完成，本实施例中气缸和电机的动作由PLC的步进指令功能实现，每个气缸的位置信息通过磁控开关输入到PLC，由PLC内的控制程序执行机械手的每一步动作，保证各个动作的前后顺序正确可靠。

开启坩埚盖11前，控制机构10预先设定程序，抓手2和吸盘3均放置在指定位置。首先将坩埚放在容纳腔内，由控制机构10按照设定好的程序，控制第四动力装置19驱动伸缩臂20，带动第二夹持臂17向第一夹持臂16移动，直至将坩埚主体1夹紧。控制机构10控制第六动力装置22驱动旋转台23旋转，第一动力装置8驱动升降臂升降，以及第五动力装置21驱动悬臂6伸缩，以带动旋转臂7移动至抓手2处，在旋转臂7的尾端安装抓手2，安装完成后，由控制机构10控制动力装置带动机械臂组件移动，直至将抓手柄14带动至坩埚盖11外侧，控制机构10控制第三动力装置12驱动伸缩件13带动抓手柄14靠近坩埚盖11，将坩埚盖11抓紧后，控制机构10控制第二动力装置9，驱动旋转臂7旋转，同时第一动力装置8驱动升降臂5上升，此时，旋转臂7边旋转边上升，从而带动抓手2将坩埚盖11旋开。坩埚盖11脱离坩埚主体1后，第三动力装置12驱动伸缩件13，带动抓手柄14远离坩埚盖11，从而将坩埚盖11从抓手柄14中取下。

将坩埚盖11从抓手柄14中取下后，控制机构10控制动力装置带动机械臂组件，将抓手移动至指定位置，将抓手2从旋转臂7尾端卸下，继续在旋转臂7的尾端安装吸盘3，启动控制机构10，控制动力装置带动机械臂组件移动，直至旋转臂7尾端的吸盘3进入坩埚主体1内部，坩埚主体1内部的晶锭吸附在吸盘3底部，控制机构10控制动力装置带动机械臂组件移动，直至将吸盘3吸取的晶锭移出坩埚主体1，收取晶锭，将吸盘移动至指定位置后，将吸盘3从旋转臂7的尾端卸下。控制机构10控制动力装置，带动机械臂组件复位。第四动力装置19驱动伸缩臂10，带动第二夹持臂17远离第一夹持臂16，直至第二夹持臂17复位，将坩埚主体取下。

实施例2

本实施例与实施例1不同之处在于：

旋转臂7的尾端与取料组件的顶端通过螺钉连接。具体的，本实施例旋转臂7为圆柱形，在抓手2和吸盘3的顶端加工圆柱形桶状结构，该桶状结构的内径略大于旋转臂7的外径。旋转臂7的尾端设有第一螺孔，抓手2和吸盘3的顶端的侧壁设有第二螺孔，将旋转臂7的尾端插入抓手2或吸盘3的顶端，选择适配的螺钉，使螺钉穿过第一螺孔和第二螺孔，将旋转臂7和取料组件紧固。本实施例设置旋转臂7与取料组件螺钉连接，螺钉的外螺纹与旋转臂7及取料组件的内螺纹紧密咬合，加强了取料组件与旋转臂7之间连接的稳固性，防止取料组件在移动时从旋转臂7上脱落。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于系统实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。

Claims (12)

1.一种从坩埚中取晶锭的机械手，其特征在于，包括：

定位机构，所述定位机构夹持所述坩埚的坩埚主体；

取料组件，所述取料组件包括抓手和吸盘；

机械臂组件，所述机械臂组件包括依次连接的基座、升降臂、悬臂和旋转臂，所述旋转臂的尾端与所述抓手可拆卸连接，且所述旋转臂的尾端可更换为可拆卸连接的所述吸盘；

动力装置，所述动力装置包括驱动所述升降臂升降的第一动力装置、和驱动所述旋转臂旋转的第二动力装置；

控制机构，所述控制机构控制所述第一动力装置驱动所述升降臂上升，和所述第二动力装置驱动所述旋转臂旋转，以将所述抓手夹持的坩埚盖旋开；所述控制机构控制所述第一动力装置驱动所述升降臂上升，以带动所述旋转臂将所述吸盘吸取的晶锭移出所述坩埚主体。

2.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述旋转臂的尾端与所述取料组件的顶端插接、卡扣连接或螺钉连接。

3.根据权利要求2所述的机械手，其特征在于，所述旋转臂的尾端与所述取料组件的顶端之一通过卡箍固定软管，另一与所述软管插接。

4.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述抓手包括第三动力装置和至少两个均匀设置的伸缩抓手柄，所述伸缩抓手柄包括伸缩件和抓手柄，所述第三动力装置驱动所述伸缩件带动所述抓手柄靠近或远离。

5.根据权利要求4所述的机械手，其特征在于，所述抓手柄形成弯折结构，所述抓手柄的固定端与所述伸缩件连接，所述抓手柄的向下延伸的自由端用于夹持所述坩埚盖，所述弯折结构的弯折角设为弧形，所述弯折角小于90°。

6.根据权利要求5所述的机械手，其特征在于，所述自由端设为向外的弯折的翻边结构，所述翻边结构的弯折点用于夹持所述坩埚盖。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的机械手，其特征在于，所述定位机构包括第一夹持臂、第二夹持臂和支撑座，所述第一夹持臂、第二夹持臂和所述支撑座围成放置所述坩埚主体的容纳腔；

所述第一夹持臂和所述第二夹持臂中至少一个能够调节相对于另一的相对位置。

8.根据权利要求7所述的机械手，其特征在于，所述第一夹持臂固定在所述支撑座，所述定位机构还包括第四动力装置和伸缩臂，所述第四动力装置安装在所述基座内，所述第四动力装置通过所述伸缩臂与所述第二夹持臂连接。

9.根据权利要求7所述的机械手，其特征在于，所述第一夹持臂和所述第二夹持臂为与所述坩埚主体外壁适配的弧形结构；和/或

所述第一夹持臂、第二夹持臂、吸盘和抓手的至少与所述坩埚接触的面为非金属材质。

10.根据权利要求9所述的机械手，其特征在于，所述第一夹持臂和所述第二夹持臂为聚四氟乙烯材质，所述吸盘为尼龙材质，和/或所述抓手外部套设有尼龙套。

11.根据权利要求1至6中任一项所述的机械手，其特征在于，所述动力装置还包括第五动力装置，所述第五动力装置与所述悬臂连接，以驱动所述悬臂伸缩；和/或

所述动力装置还包括第六动力装置和旋转台，所述旋转台设置在所述基座与所述升降臂之间，所述第六动力装置驱动所述旋转台旋转以带动所述升降臂旋转。

12.根据权利要求11所述的机械手，其特征在于，所述第一动力装置、第三动力装置、第四动力装置、第五动力装置选自液压缸、气缸或电动缸；所述第二动力装置、第六动力装置为电机。

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