CN213054886U - 一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构 - Google Patents
一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构，所述夹取机械手机构用于夹取绷膜环晶圆检查机上的晶圆，其特征在于：夹取机械手机构包括滑行平台、夹取平台和夹取机械手，所述夹取平台底部固定有滑块与滑行平台的第一滑轨进行配合，所述滑行平台前端设有限位装置，所述夹取机械手包括上夹片、下夹片和安装滑座。本实用新型用于绷膜环晶圆检查机上晶圆的夹取和存放机构。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体技术制造领域辅助器械，尤其涉及一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，因此晶圆的生产原材料很容易寻找到，其中在制作晶圆的过程中常需使用到吸附平台对晶圆进行固定，但传统的吸附平台通常采用真空吸附的方式进行固定，该方式在进行吸附的过程中消耗电量大，且易导致晶圆的损坏。
另外，晶圆的尺寸大小也不一样，在针对一些大尺寸晶圆时，比如12 寸晶圆，尤其是Mounted wafer，表面非常薄，无法通过常规的真空吸附来提取和存放晶圆，现在急需一种能针对该产品的夹取机械手机构来实现晶圆检查机的自动化。
实用新型内容
针对上述问题，本实用新型提供了一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构。
为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构，所述夹取机械手机构用于夹取绷膜环晶圆检查机上的晶圆，其特征在于：夹取机械手机构包括滑行平台、夹取平台和夹取机械手，所述夹取平台底部固定有滑块与滑行平台的第一滑轨进行配合，所述滑行平台前端设有限位装置，所述夹取机械手包括上夹片、下夹片和安装滑座，所述安装滑座设有第二滑槽与夹取平台上端面设有的第二滑轨进行配合，所述安装滑座的一侧边设有卡柱，卡柱套设在弹簧的一端，弹簧的另一端固定在滑行平台上，所述安装滑座的另一侧设有“L”型的制动感应片，所述夹取平台上设有与制动感应片配合的制动传感器，所述上夹片下端面通过三根支撑柱固定在安装滑座上，支撑柱贯穿下夹片，下夹片下端面连接固定有气缸，气缸底部固定在安装滑座上。
进一步的，滑块设有第一滑槽与第一滑轨进行配合。
进一步的，滑行平台的侧边设有极限传感器与夹取平台侧边设有的极限感应片进行配合。
进一步的，第一滑轨的首尾两端均设有防出轨卡块。
进一步的，滑行平台上设有电机、传动齿轮和传动带带动夹取平台做往复动作，所述夹取平台下端设有与传动带配合的夹块。
工作时，电机驱动传动齿轮和传动皮带带动夹取平台在滑行平台上滑动，夹取机械手滑行到可以夹取晶圆的地方，气缸向上动作，使上夹片和下夹片夹住绷膜环晶圆的外圈，将晶圆夹取出来，通过其他机构进行下一步动作，夹取平台上设有的安装滑座、弹簧和制动感应片，在夹取机械手顶住障碍物时，安装滑座在夹取平台上向后滑动，制动感应片如果被制动传感器感应到时，机器紧急停止。
由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：
1、本实用新型的结构设计适用于自动晶圆搬送机的晶圆提取和存放，通过驱动伺服电机和同步皮带的联动，带动机械手臂在直线导轨上的滑行，使得机械手臂的动作较为平稳。
2、本实用新型设有机械手行程传感器和伺服电机为国标组件，使用较为稳定，使得传动精度较高。
3、本实用新型设有的行程传感器和限位块，能保证机械手的行程，防止超出行程造成的损失。
4、通过弹簧、制动感应片和制动传感器起到防护作用。
附图说明
构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
图1为本实用新型一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构的立体结构示意图；
图2为本实用新型一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构的俯视结构示意图；
图3为本实用新型一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构的夹取机械手结构示意图；
图4为本实用新型一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构的局部结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
实施例
参考图1、图2、图3和图4，一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构，夹取机械手机构用于夹取绷膜环晶圆检查机上的晶圆，夹取机械手机构包括滑行平台1、夹取平台2和夹取机械手3，夹取平台2底部固定有滑块4，滑块4设有第一滑槽18与滑行平台的第一滑轨5进行配合，滑行平台1前端设有限位装置6，夹取机械手包括上夹片7、下夹片8和安装滑座9，安装滑座9设有第二滑槽10与夹取平台上端面设有的第二滑轨11进行配合，安装滑座9的一侧边设有卡柱12，卡柱12套设在弹簧13的一端，弹簧13 的另一端固定在滑行平台1上，安装滑座9的另一侧设有“L”型的制动感应片14，夹取平台2上设有与制动感应片配合的制动传感器15，上夹片7 下端面通过三根支撑柱16固定在安装滑座9上，支撑柱16贯穿下夹片8，下夹片8下端面连接固定有气缸17，气缸17底部固定在安装滑座上。
滑行平台1的侧边设有极限传感器19与夹取平台侧边设有的极限感应片20进行配合。
第一滑轨5的首尾两端均设有防出轨卡块21。
滑行平台1上设有电机22、传动齿轮23和传动带24带动夹取平台2 做往复动作，夹取平台2下端设有与传动带配合的夹块25。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构，所述夹取机械手机构用于夹取绷膜环晶圆检查机上的晶圆，其特征在于：夹取机械手机构包括滑行平台(1)、夹取平台(2)和夹取机械手(3)，所述夹取平台(2)底部固定有滑块(4)与滑行平台的第一滑轨(5)进行配合，所述滑行平台(1)前端设有限位装置(6)，所述夹取机械手包括上夹片(7)、下夹片(8)和安装滑座(9)，所述安装滑座(9)设有第二滑槽(10)与夹取平台上端面设有的第二滑轨(11)进行配合，所述安装滑座(9)的一侧边设有卡柱(12)，卡柱(12)套设在弹簧(13)的一端，弹簧(13)的另一端固定在滑行平台(1)上，所述安装滑座(9)的另一侧设有“L”型的制动感应片(14)，所述夹取平台(2)上设有与制动感应片配合的制动传感器(15)，所述上夹片(7)下端面通过三根支撑柱(16)固定在安装滑座(9)上，支撑柱(16)贯穿下夹片(8)，下夹片(8)下端面连接固定有气缸(17)，气缸(17)底部固定在安装滑座上。
2.根据权利要求1所述的一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构，其特征在于：所述滑块(4)设有第一滑槽(18)与第一滑轨(5)进行配合。
3.根据权利要求1所述的一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构，其特征在于：所述滑行平台(1)的侧边设有极限传感器(19)与夹取平台侧边设有的极限感应片(20)进行配合。
4.根据权利要求1所述的一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构，其特征在于：第一滑轨(5)的首尾两端均设有防出轨卡块(21)。
5.根据权利要求1所述的一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构，其特征在于：所述滑行平台(1)上设有电机(22)、传动齿轮(23)和传动带(24)带动夹取平台(2)做往复动作，所述夹取平台(2)下端设有与传动带配合的夹块(25)。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202021688477.0U CN213054886U (zh) | 2020-08-14 | 2020-08-14 | 一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202021688477.0U CN213054886U (zh) | 2020-08-14 | 2020-08-14 | 一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构 |
Publications (1)
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| CN213054886U true CN213054886U (zh) | 2021-04-27 |
Family
ID=75582442
Family Applications (1)
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| CN202021688477.0U Active CN213054886U (zh) | 2020-08-14 | 2020-08-14 | 一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN213054886U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114029919A (zh) * | 2021-11-15 | 2022-02-11 | 北京华能新锐控制技术有限公司 | 基于双目视觉的吊轨式巡检机器人 |
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2020
- 2020-08-14 CN CN202021688477.0U patent/CN213054886U/zh active Active
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| CN114029919A (zh) * | 2021-11-15 | 2022-02-11 | 北京华能新锐控制技术有限公司 | 基于双目视觉的吊轨式巡检机器人 |
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