CN212953003U - 晶圆焊线机自动上下料设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体加工制造领域，尤其是一种晶圆焊线机自动上下料设备，针对现有晶圆焊线机上下料设备功能单一，结构复杂，不便于自动上下料，降低了工作效率的问题，现提出如下方案，其包括图像显示器，所述图像显示器的底部设有图像处理单元，图像处理单元的一侧设有配电箱，图像处理单元的一侧设有上下料装置，上下料装置的一侧设有移栽转台，移栽转台的一侧设有搬运机构，搬运机构的底部安装有支架，上下料装置包括第一电机、滚珠丝杠和第一直线导轨，第一电机固定安装在第一直线导轨的顶部。本实用新型结构合理，操作方便，该晶圆焊线机均采用自动上下料，效率高、人工成本低，良品较高。

Description

晶圆焊线机自动上下料设备

技术领域

本实用新型涉及半导体加工制造技术领域，尤其涉及一种晶圆焊线机自动上下料设备。

背景技术

晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底，由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆，衬底材料有硅、锗、GaAs、InP、GaN等，由于硅最为常用，如果没有特别指明晶体材料，通常指硅晶圆，焊线机包括金线机、铝线机、超声波焊线机，一般金线机器多用ASM铜线焊接方面目前市场最多的就是KS的CONNX机器效率非常高，而铝线市面上最吃香的非OE的机器莫属；

然而现有的晶圆焊线机均采用人工进行上下料，效率低、人工成本高，而且晶圆非常易碎，人手上料容易造成不良品的发生。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在晶圆焊线机上下料设备功能单一，结构复杂，不便于自动上下料，降低了工作效率的缺点，而提出的晶圆焊线机自动上下料设备。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

晶圆焊线机自动上下料设备，包括图像显示器，所述图像显示器的底部设有图像处理单元，图像处理单元的一侧设有配电箱，图像处理单元的一侧设有上下料装置，上下料装置的一侧设有移栽转台，移栽转台的一侧设有取料机构6，取料机构的一侧设有搬运机构，搬运机构的底部安装有支架，上下料装置包括第一电机、滚珠丝杠和第一直线导轨，第一电机固定安装在第一直线导轨的顶部，第一电机的输出轴固定连接在滚珠丝杠上，滚珠丝杠上固定连接有放置板，放置板上放置有晶圆，所述图像处理单元包括相机、镜头和光源。

优选的，所述支架上固定安装有架杆，相机固定安装在架杆上，镜头安装在相机上，光源安装在镜头上。

优选的，所述搬运机构包括第二电机、第二直线导轨、同步带和真空取料盘。

优选的，所述支架上固定连接有安装架，第二直线导轨安装在安装架上，真空取料盘安装有第二直线导轨上，同步带转动安装在安装架上，第二电机与同步带连接。

优选的，所述移栽转台包括加热棒、齿轮、第三电机和电气滑环。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

本方案将装有晶圆的弹夹放入放置板后，由升降装置配合真空吸取晶圆后放到焊接平台进行焊接，采用了图像处理单元，对晶圆的位置进行捕捉判断，实现产品的柔性加工过程，这种布局设计非常合理而且机构紧凑，使空间利用最大话，人员操作方便，并通过控制软件程序实现互锁、互动，利用本发明设计完全实现了全工艺的封闭式加工，全自动补偿的柔性生产，可满足无人化生产条件；

本实用新型结构合理，操作方便，该晶圆焊线机均采用自动上下料，效率高、人工成本低，良品较高。

附图说明

图1为本实用新型提出的立体结构示意图；

图2为本实用新型提出的上下料装置的立体图；

图3为本实用新型提出的搬运机构的立体图；

图4为本实用新型提出的图像处理单元的立体图；

图5为本实用新型提出的移栽转台的立体图。

图中：1、图像显示器；2、配电箱；3、图像处理单元；4、上下料装置；5、移栽转台；6、取料机构；7、搬运机构；8、第一电机；9、滚珠丝杠；10、第一直线导轨；11、第二电机；12、第二直线导轨；13、同步带；14、真空取料盘；15、相机；16、镜头；17、光源；18、加热棒；19、齿轮；20、第三电机；21、电气滑环。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

除非别作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型专利说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。

参照图1-5，晶圆焊线机自动上下料设备，包括图像显示器1，图像显示器1的底部设有图像处理单元3，图像处理单元3的一侧设有配电箱2，图像处理单元3的一侧设有上下料装置4，上下料装置4的一侧设有移栽转台5，移栽转台5的一侧设有取料机构6，取料机构6的一侧设有搬运机构7，搬运机构7的底部安装有支架，上下料装置4包括第一电机8、滚珠丝杠9和第一直线导轨10，第一电机8固定安装在第一直线导轨10的顶部，第一电机8的输出轴固定连接在滚珠丝杠9上，滚珠丝杠9上固定连接有放置板，放置板上放置有晶圆，图像处理单元3包括相机15、镜头16和光源17。

本实施例中，支架上固定安装有架杆，相机15固定安装在架杆上，镜头16安装在相机15上，光源17安装在镜头16上。

本实施例中，搬运机构7包括第二电机11、第二直线导轨12、同步带13和真空取料盘14。

本实施例中，支架上固定连接有安装架，第二直线导轨12安装在安装架上，真空取料盘14安装有第二直线导轨12上，同步带13转动安装在安装架上，第二电机11与同步带13连接。

本实施例中，移栽转台5包括加热棒18、齿轮19、第三电机20和电气滑环21。

本实施例中，工作人员对各部件进行检查，确保无误后才可进行使用，将装有晶圆的弹夹放入放置板后，由升降装置配合真空吸取晶圆后放到焊接平台进行焊接，采用了图像处理单元3，对晶圆的位置进行捕捉判断，并转化坐标数据，配合高精度的搬运机构，进行数据化的补偿加工，实现产品的柔性加工过程，这种布局设计非常合理而且机构紧凑，使空间利用最大话，人员操作方便，上述零部件之间均设计传感器到位检测判断，每个运动部件均自动反馈动作形态，并通过控制软件程序实现互锁、互动，弥补了现有生产中人工上下料的效率低下，而且晶圆非常易碎，人手上料容易造成不良品的发生，利用本发明设计完全实现了全工艺的封闭式加工，全自动补偿的柔性生产，可满足无人化生产条件，本实用新型结构合理，操作方便，该晶圆焊线机均采用自动上下料，效率高、人工成本低，良品较高。

本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。

Claims (5)

1.晶圆焊线机自动上下料设备，包括图像显示器(1)，其特征在于，所述图像显示器(1)的底部设有图像处理单元(3)，图像处理单元(3)的一侧设有配电箱(2)，图像处理单元(3)的一侧设有上下料装置(4)，上下料装置(4)的一侧设有移栽转台(5)，移栽转台(5)的一侧设有取料机构(6)，取料机构(6)的一侧设有搬运机构(7)，搬运机构(7)的底部安装有支架，上下料装置(4)包括第一电机(8)、滚珠丝杠(9)和第一直线导轨(10)，第一电机(8)固定安装在第一直线导轨(10)的顶部，第一电机(8)的输出轴固定连接在滚珠丝杠(9)上，滚珠丝杠(9)上固定连接有放置板，放置板上放置有晶圆，所述图像处理单元(3)包括相机(15)、镜头(16)和光源(17)。

2.根据权利要求1所述的晶圆焊线机自动上下料设备，其特征在于，所述支架上固定安装有架杆，相机(15)固定安装在架杆上，镜头(16)安装在相机(15)上，光源(17)安装在镜头(16)上。

3.根据权利要求1所述的晶圆焊线机自动上下料设备，其特征在于，所述搬运机构(7)包括第二电机(11)、第二直线导轨(12)、同步带(13)和真空取料盘(14)。

4.根据权利要求3所述的晶圆焊线机自动上下料设备，其特征在于，所述支架上固定连接有安装架，第二直线导轨(12)安装在安装架上，真空取料盘(14)安装有第二直线导轨(12)上，同步带(13)转动安装在安装架上，第二电机(11)与同步带(13)连接。

5.根据权利要求1所述的晶圆焊线机自动上下料设备，其特征在于，所述移栽转台(5)包括加热棒(18)、齿轮(19)、第三电机(20)和电气滑环(21)。

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