CN212821462U - 一种具有在线监控功能的超声波清洗装备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种具有在线监控功能的超声波清洗装备，至少包括两套清洗设备和一套干燥设备；所述清洗设备包括清洗槽和储液槽，在清洗槽和储液槽之间设置有进液管道和出液管道，在进液管道上设置有进液泵，在出液管道上设置有过滤装置和液体检测装置；所述干燥设备包括干燥腔体和加热腔体，在干燥腔体上设置有湿度传感器。本实用新型可在线监测与跟踪清洗工作液的参数及干燥腔体的湿度数据，提高镀膜工件的清洗和干燥效率。
Description
技术领域
本实用新型具体涉及一种具有在线监控功能的超声波清洗装备，主要用于镀膜前的工件清洗和干燥，属于镀膜清洗技术领域。
背景技术
随着世界各国对环保的重视，环保法令日趋严格，真空镀膜代替高消耗、重污染的电镀、热浸镀等传统镀膜技术是社会经济的发展方向。真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内，采用一定方法加热待镀材料，使之蒸发或升华，并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。真空镀膜不仅环保，还具有良好的薄膜性能和可镀物质的多样性。
镀膜工件在真空镀膜前的清洁程度对镀膜附着力有着重要的影响作用，故真空镀膜前处理工艺与技术的完善具有重要的意义。现有的用于真空镀膜前超声波清洗设备，对清洗和干燥等各槽状态的监管力度不够，设备不能发挥最佳效能。
发明内容
针对现有技术存在的问题，本实用新型提供一种具有在线监控功能的超声波清洗装备，旨在解决对清洗和干燥工序状态监控不足的问题。
本实用新型的技术方案为：一种具有在线监控功能的超声波清洗装备，至少包括两套清洗设备和一套干燥设备；所述清洗设备包括清洗槽和储液槽，在清洗槽和储液槽之间设置有进液管道和出液管道，在进液管道上设置有进液泵，在出液管道上设置有过滤装置和液体检测装置；所述干燥设备包括干燥腔体和加热腔体，在干燥腔体上设置有湿度传感器。
进一步的，所述液体检测装置至少包括数显pH计、数显折光仪、数显电导率测试仪中的一个。
进一步的，所述过滤装置包括不锈钢过滤网和真空负压进液系统。
进一步的，在所述清洗槽内设置有超声波装置。
进一步的，在所述清洗槽和/或储液槽内设置有加热装置。
进一步的，在所述清洗槽上还设置有高液位溢流口，所述高液位溢流口与过滤装置连通。
进一步的，在所述清洗槽内设置有低液位传感器。
进一步的，在所述加热腔体内设置有高温风机，所述高温风机的出风口与干燥腔体连通。
进一步的，在所述干燥腔体上设置有回风出风口，在回风出风口处安装有空气过滤器，所述回风出风口与加热腔体连通。
有益效果：本实用新型的清洗设备在工作过程中工作清洗液一直处于动态循环中，通过安装的数显pH计、数显折光仪和数显电导率测试仪，可在线监测与跟踪清洗工作液的使用状态，有利于方便管理工作清洗液，使工作清洗液的浓度、pH值和电导率处于正常范围内，充分利用清洗液的使用价值，提高镀膜工件的清洗效率；本实用新型在干燥腔体上安装湿度传感器，可在线监测干燥腔体中的湿度，有利于控制工件在干燥腔体中停留的时间和干燥的速度，提高工作效率。
附图说明
图1为本实用新型超声波清洗装备的组成结构示意图。
图2为清洗设备结构示意图。
图3为干燥设备结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本实用新型做详细的说明和解释。
一种具有在线监控功能的真空镀膜前超声波清洗装备，如图1所示，由两套清洗设备1和一套干燥设备2按箭头顺序组成，每套清洗设备1可完成一次清洗工序，每套干燥设备2可完成一次干燥工序。
如图2所示，每套清洗设备包括清洗槽3、储液槽4、加热装置5、过滤装置6、超声波装置7、抽液泵8和传送带等组成。
超声波装置7由超声震板组成，超声震板安装在清洗槽3的底部和四周，浸入清洗液液面以下的工件能够充分接受到超声波的辐射，使工件表面清洗更为彻底，提高工件表面清洗率。
在清洗槽3和储液槽4之间连接有出液管道18，在出液管道18上设置有过滤装置6，过滤装置6与清洗槽底部一侧的出液口17相连接；过滤装置6包括不锈钢过滤网和真空负压进液系统，不锈钢过滤网可除去清洗液中的金属碎屑与固体杂质，真空负压进液系统可迅速拉开油液界面，加速油液分离，提高油液分离效率。
在过滤装置6后侧的出液管道上分别安装数显pH计9、数显折光仪10和数显电导率测试仪11，在线监测与跟踪清洗工作液的使用状态，便于管理工作液，使工作液的浓度和pH值处于正常范围内，充分利用清洗液的使用价值，提高镀膜工件的清洗效率。
在清洗槽3和储液槽4内安装加热装置5，在储液槽4和清洗槽3之间连接有进液管道19，进液管道19上设置有抽液泵8，抽液泵8可将过滤后的清洗液循环至清洗槽3中，与清洗槽和过滤装置构成循环系统，维持清洗槽中的工作液具有最佳的清洗效率。
加热装置5均采用电阻加热的电加热方式，并装有温度控制器，给予清洗液和工件一定的温度，使工件表面的油污更容易清除。
清洗槽3上还安装有低液位传感器15和高液位溢流口16，溢流口16与过滤装置相连，用于将清洗槽中溢出的工作液排至储液槽中，防止清洗液溢出槽外，且保护环境，提高清洗液的利用率。
每套干燥设备包括干燥腔体12和加热腔体20，加热腔体20内设置有高温风机13，采用高温风机13把加热腔体内的热量吹向干燥腔体内的工件，并从回风出风口21回风，形成循环热风，使工件快速干燥。
干燥腔体12上安装湿度传感器14，并在回风出风口21处安装空气过滤器，有效控制腔体内的湿度，有效提高工件的干燥速度。
所有清洗槽和干燥腔体依次排列成一条线，便于工件的清洗/干燥控制及传送。
所有加热装置、过滤装置、超声波装置、抽液泵和风机均可单独控制。
工作时，待镀膜工件依次经过清洗设备清洗和干燥设备烘干，然后即可进入镀膜室开始镀膜。在清洗工序中安装数显pH计、数显折光仪和数显电导率测试仪，在线监测与跟踪清洗工作液的使用状态，有利于方便管理工作液，使工作液的浓度、pH值和电导率处于正常范围内，充分利用清洗液的使用价值，提高镀膜工件的清洗效率。清洗液的浓度偏高，使用性能过剩；浓度过低，使用性能不足，且容易腐败变质。pH降低，则说明清洗液浓度过低或清洗液腐败变质。清洗液的电导率值过高，则说明清洗液中含有大量的无机离子，容易产生电化学腐蚀，影响清洗液的正常使用；再结合干燥设备的湿度传感器数据，通过对这些参数的监控可以及时判断超声波清洗装备的工作状态，提高工件的清洗和干燥效率。
Claims (9)
1.一种具有在线监控功能的超声波清洗装备，其特征在于：至少包括两套清洗设备和一套干燥设备；所述清洗设备包括清洗槽和储液槽，在清洗槽和储液槽之间设置有进液管道和出液管道，在进液管道上设置有进液泵，在出液管道上设置有过滤装置和液体检测装置；所述干燥设备包括干燥腔体和加热腔体，在干燥腔体上设置有湿度传感器。
2.根据权利要求1所述的一种具有在线监控功能的超声波清洗装备，其特征在于：所述液体检测装置至少包括数显pH计、数显折光仪、数显电导率测试仪中的一个。
3.根据权利要求1所述的一种具有在线监控功能的超声波清洗装备，其特征在于：所述过滤装置包括不锈钢过滤网和真空负压进液系统。
4.根据权利要求1所述的一种具有在线监控功能的超声波清洗装备，其特征在于：在所述清洗槽内设置有超声波装置。
5.根据权利要求1所述的一种具有在线监控功能的超声波清洗装备，其特征在于：在所述清洗槽和/或储液槽内设置有加热装置。
6.根据权利要求1所述的一种具有在线监控功能的超声波清洗装备，其特征在于：在所述清洗槽上还设置有高液位溢流口，所述高液位溢流口与过滤装置连通。
7.根据权利要求1所述的一种具有在线监控功能的超声波清洗装备，其特征在于：在所述清洗槽内设置有低液位传感器。
8.根据权利要求1所述的一种具有在线监控功能的超声波清洗装备，其特征在于：在所述加热腔体内设置有高温风机，所述高温风机的出风口与干燥腔体连通。
9.根据权利要求1所述的一种具有在线监控功能的超声波清洗装备，其特征在于：在所述干燥腔体上设置有回风出风口，在回风出风口处安装有空气过滤器，所述回风出风口与加热腔体连通。
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| CN202020081610.XU CN212821462U (zh) | 2020-01-15 | 2020-01-15 | 一种具有在线监控功能的超声波清洗装备 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115463894A (zh) * | 2022-09-02 | 2022-12-13 | 曲靖阳光新能源股份有限公司 | 一种硅片用超声波清洗装置及清洗方法 |
| CN115463894B (zh) * | 2022-09-02 | 2024-06-11 | 曲靖阳光新能源股份有限公司 | 一种硅片用超声波清洗装置及清洗方法 |
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2020
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