CN212713832U - 一种单晶炉快速冷却装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶炉快速冷却装置，包括炉体外壳、旋转盘和密封炉盖，所述炉体外壳的正上方连接有进液管道，且炉体外壳的底部连接有出液管道，所述炉体外壳的正下方设置有支撑底座，且支撑底座的正下方连接有驱动电机，所述旋转盘连接在驱动电机的输出端，且旋转盘的外侧连接有丝杆，所述丝杆的外侧贯穿设置有滑轨，且滑轨的一侧设置有支撑杆，所述支撑杆的一侧连接有输氧连接块，所述密封炉盖设置在炉体外壳的外侧，且炉体外壳的内部安装有坩埚，所述坩埚的内壁安装有电加热器。该单晶炉快速冷却装置，采用丝杆及内螺纹块，通过丝杆带动密封炉盖进行移动，便于将炉体外壳内部的热量导出，缩短坩埚内部材料冷却的时间。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉设备技术领域，具体为一种单晶炉快速冷却装置。
背景技术
单晶炉在生产的过程中，主要将惰性气体导入到单晶炉的内部，并石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，在完成对不同类型材料融化后，需要打开单晶炉对内部的材料进行冷却，方便通过直拉法对材料的外侧进行拉伸操作。
现在单晶炉的冷却装置多采用外置的机械结构，难以充分对单晶炉内部的材料进行冷却操作，导致材料在加工过程中，生产的时间成本增加，并且人工对单晶炉的外侧进行操作时，容易因单晶炉外侧的热量过高，容易烫伤操作人员。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种单晶炉快速冷却装置，以解决上述背景技术中提出的现在单晶炉的冷却装置多采用外置的机械结构，难以充分对单晶炉内部的材料进行冷却操作，并且人工对单晶炉的外侧进行操作时，容易因单晶炉外侧的热量过高，容易烫伤操作人员的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案:一种单晶炉快速冷却装置，包括炉体外壳、旋转盘和密封炉盖，所述炉体外壳的正上方连接有进液管道，且炉体外壳的底部连接有出液管道，所述炉体外壳的正下方设置有支撑底座，且支撑底座的正下方连接有驱动电机，所述旋转盘连接在驱动电机的输出端，且旋转盘的外侧连接有丝杆，所述丝杆的外侧贯穿设置有滑轨，且滑轨的一侧设置有支撑杆，所述支撑杆的一侧连接有输氧连接块，所述密封炉盖设置在炉体外壳的外侧，且炉体外壳的内部安装有坩埚，所述坩埚的内壁安装有电加热器，且坩埚的下方设置有搅拌杆，所述输氧连接块的内部设置有套管，且套管的外侧贯穿设置有进气孔，所述支撑杆的一侧连接有内螺纹块，且内螺纹块的左右两侧连接有辅助滑轮。
优选的，所述炉体外壳与密封炉盖构成卡合结构，且密封炉盖与滑轨通过支撑杆和输氧连接块连接。
优选的，所述进液管道的直径为出液管道直径的一半，且出液管道与炉体外壳焊接为一体式结构，并且炉体外壳为双层中空结构。
优选的，所述输氧连接块与密封炉盖通过内螺纹块与丝杆构成升降结构，且输氧连接块与密封炉盖的外侧均开设有进气孔。
优选的，所述坩埚与炉体外壳之间的距离大于搅拌杆的宽度，且搅拌杆的纵截面为“U”字形结构。
优选的，所述内螺纹块与滑轨通过辅助滑轮连接，且滑轨与辅助滑轮相互贴合。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该单晶炉快速冷却装置，
1、采用丝杆及内螺纹块，通过丝杆带动密封炉盖进行移动，便于将炉体外壳内部的热量导出，缩短坩埚内部材料冷却的时间，并通过内螺纹块对密封炉盖的移动轨迹进行限位，避免人工拿取密封炉盖过程中发生烫伤情况；
2、采用搅拌杆及输氧连接块，通过搅拌杆对坩埚外侧的冷却液体进行搅拌，进而提升冷却液体与坩埚的接触面积，加速液体对热量吸收的速度，并输氧连接块不断将外界的空气导入炉体外壳内部，提升装置的散热效率。
附图说明
图1为本实用新型正视结构示意图；
图2为本实用新型炉体外壳内部结构示意图；
图3为本实用新型密封炉盖俯视结构示意图；
图4为本实用新型炉体外壳俯视结构示意图。
图中：1、炉体外壳；2、进液管道；3、出液管道；4、支撑底座；5、驱动电机；6、旋转盘；7、丝杆；8、滑轨；9、支撑杆；10、输氧连接块；11、密封炉盖；12、坩埚；13、电加热器；14、搅拌杆；15、套管；16、进气孔；17、内螺纹块；18、辅助滑轮。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种单晶炉快速冷却装置，包括炉体外壳1、进液管道2、出液管道3、支撑底座4、驱动电机5、旋转盘6、丝杆7、滑轨8、支撑杆9、输氧连接块10、密封炉盖11、坩埚12、电加热器13、搅拌杆14、套管15、进气孔16、内螺纹块17和辅助滑轮18，炉体外壳1的正上方连接有进液管道2，且炉体外壳1的底部连接有出液管道3，炉体外壳1的正下方设置有支撑底座4，且支撑底座4的正下方连接有驱动电机5，旋转盘6连接在驱动电机5的输出端，且旋转盘6的外侧连接有丝杆7，丝杆7的外侧贯穿设置有滑轨8，且滑轨8的一侧设置有支撑杆9，支撑杆9的一侧连接有输氧连接块10，密封炉盖11设置在炉体外壳1的外侧，且炉体外壳1的内部安装有坩埚12，坩埚12的内壁安装有电加热器13，且坩埚12的下方设置有搅拌杆14，输氧连接块10的内部设置有套管15，且套管15的外侧贯穿设置有进气孔16，支撑杆9的一侧连接有内螺纹块17，且内螺纹块17的左右两侧连接有辅助滑轮18。
炉体外壳1与密封炉盖11构成卡合结构，且密封炉盖11与滑轨8通过支撑杆9和输氧连接块10连接，通过密封炉盖11带动输氧连接块10进行位移，便于输氧连接块10不断将氧气输送到炉体外壳1内部。
进液管道2的直径为出液管道3直径的一半，且出液管道3与炉体外壳1焊接为一体式结构，并且炉体外壳1为双层中空结构，通过进液管道2将液体导入到炉体外壳1内部，并通过炉体外壳1对多余热量疏散出。
输氧连接块10与密封炉盖11通过内螺纹块17与丝杆7构成升降结构，且输氧连接块10与密封炉盖11的外侧均开设有进气孔16，通过丝杆7带动密封炉盖11进行移动，提升冷却装置运行过程中的安全性。
坩埚12与炉体外壳1之间的距离大于搅拌杆14的宽度，且搅拌杆14的纵截面为“U”字形结构，通过搅拌杆14对炉体外壳1内部的液体进行搅拌，加速对坩埚12表面热量吸收的效率。
内螺纹块17与滑轨8通过辅助滑轮18连接，且滑轨8与辅助滑轮18相互贴合，通过辅助滑轮18减少内螺纹块17移动轨迹中的摩擦力，确保炉体外壳1内部材料取出及更换的便捷性。
工作原理：在使用该单晶炉快速冷却装置时，根据图1至图3所示，操作人员打开驱动电机5，通过驱动电机5带动旋转盘6进行转动，通过旋转盘6带动皮带及旋转盘6进行转动，通过旋转盘6带动丝杆7进行转动，通过丝杆7带动内螺纹块17在滑轨8的外侧进行滑动，从而将密封炉盖11及输氧连接块10向上移动，随后将材料导入到坩埚12的内部，随后再将密封炉盖11及输氧连接块10固定在炉体外壳1的顶部，并将输氧管插入到套管15的内部，输氧管也氧气输送到进气孔16的内部，并通过电加热器13为坩埚12内部材料进行加热融化；
根据图1至图4所示，随后当完成对材料的融化后，利用通过旋转盘6带动丝杆7进行反向转动，从而将密封炉盖11及输氧连接块10向上移动，通过进液管道2将液体导入到炉体外壳1的内部，通过冷却液体对坩埚12的表面进行降温处理，并通过驱动电机5带动搅拌杆14进行转动，通过搅拌杆14对液体进行混合搅拌，并通过出液管道3将冷却后的液体不断导出，并通过丝杆7顶部的扇叶对炉体外壳1表面的热量进行疏散，缩短坩埚12的内部材料冷却的时间。
尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种单晶炉快速冷却装置，包括炉体外壳(1)、旋转盘(6)和密封炉盖(11)，其特征在于：所述炉体外壳(1)的正上方连接有进液管道(2)，且炉体外壳(1)的底部连接有出液管道(3)，所述炉体外壳(1)的正下方设置有支撑底座(4)，且支撑底座(4)的正下方连接有驱动电机(5)，所述旋转盘(6)连接在驱动电机(5)的输出端，且旋转盘(6)的外侧连接有丝杆(7)，所述丝杆(7)的外侧贯穿设置有滑轨(8)，且滑轨(8)的一侧设置有支撑杆(9)，所述支撑杆(9)的一侧连接有输氧连接块(10)，所述密封炉盖(11)设置在炉体外壳(1)的外侧，且炉体外壳(1)的内部安装有坩埚(12)，所述坩埚(12)的内壁安装有电加热器(13)，且坩埚(12)的下方设置有搅拌杆(14)，所述输氧连接块(10)的内部设置有套管(15)，且套管(15)的外侧贯穿设置有进气孔(16)，所述支撑杆(9)的一侧连接有内螺纹块(17)，且内螺纹块(17)的左右两侧连接有辅助滑轮(18)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉快速冷却装置，其特征在于：所述炉体外壳(1)与密封炉盖(11)构成卡合结构，且密封炉盖(11)与滑轨(8)通过支撑杆(9)和输氧连接块(10)连接。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉快速冷却装置，其特征在于：所述进液管道(2)的直径为出液管道(3)直径的一半，且出液管道(3)与炉体外壳(1)焊接为一体式结构，并且炉体外壳(1)为双层中空结构。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉快速冷却装置，其特征在于：所述输氧连接块(10)与密封炉盖(11)通过内螺纹块(17)与丝杆(7)构成升降结构，且输氧连接块(10)与密封炉盖(11)的外侧均开设有进气孔(16)。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉快速冷却装置，其特征在于：所述坩埚(12)与炉体外壳(1)之间的距离大于搅拌杆(14)的宽度，且搅拌杆(14)的纵截面为“U”字形结构。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉快速冷却装置，其特征在于：所述内螺纹块(17)与滑轨(8)通过辅助滑轮(18)连接，且滑轨(8)与辅助滑轮(18)相互贴合。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921839866.6U CN212713832U (zh) | 2019-10-30 | 2019-10-30 | 一种单晶炉快速冷却装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201921839866.6U CN212713832U (zh) | 2019-10-30 | 2019-10-30 | 一种单晶炉快速冷却装置 |
Publications (1)
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| CN212713832U true CN212713832U (zh) | 2021-03-16 |
Family
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| CN201921839866.6U Active CN212713832U (zh) | 2019-10-30 | 2019-10-30 | 一种单晶炉快速冷却装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN212713832U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113073380A (zh) * | 2021-03-23 | 2021-07-06 | 浙江晶阳机电股份有限公司 | 一种节能型晶体生长单晶炉设备及其使用方法 |
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2019
- 2019-10-30 CN CN201921839866.6U patent/CN212713832U/zh active Active
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