CN212707458U - 单晶硅棒切割面角度检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了单晶硅棒切割面角度检测装置，包括机架，机架顶部一侧固定安装有直线导轨，直线导轨内部固定安装有丝杠，丝杠套设有滑块，滑块的顶部固定安装有移动夹具，机架顶部在远离移动夹具的一侧固定安装有固定夹具，机架顶部在靠近固定夹具的一侧固定安装有角度测量仪，机架内部一侧固定安装有电机，机架内部在靠近电机顶部一侧固定安装有转轴，电机的输出轴套设有主动齿轮，转轴套设有传动齿轮，丝杠在远离滑块的一侧套设有从动齿轮。该种单晶硅棒切割面角度检测装置，结构简单合理，操作方便，有效解决了现有多数角度测量装置缺少自动装夹装置和自动校正装置的问题，具有广泛推广使用的价值。

Description

单晶硅棒切割面角度检测装置

技术领域

本实用新型涉及角度检测技术领域，具体为单晶硅棒切割面角度检测装置。

背景技术

单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒。这种单晶硅棒需要进行切断，在切割的过程中不可避免的会在切割面形成一定的角度，当角度超过允许范围时，则需要调整切割机器，在这个过程中需要用到晶硅棒切割面角度检测装置。但是现有多数单晶硅棒切割面角度检测装置还有以下不足：1.不能自动自动装夹，需要人工手动装夹，极大的增加了劳动强度，且影响生产效率；2.检测装置缺少自动校正装置，使用一段时间后需要人为检查校正；因此我们对此做出改进，提出单晶硅棒切割面角度检测装置。

发明内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型单晶硅棒切割面角度检测装置，包括机架，所述机架顶部一侧固定安装有直线导轨，所述直线导轨内部固定安装有丝杠，所述丝杠套设有滑块，所述滑块的顶部固定安装有移动夹具，所述机架顶部在远离移动夹具的一侧固定安装有固定夹具，所述机架顶部在靠近固定夹具的一侧固定安装有角度测量仪，所述机架内部一侧固定安装有电机，所述机架内部在靠近电机顶部一侧固定安装有转轴，所述电机的输出轴套设有主动齿轮，所述转轴套设有传动齿轮，所述丝杠在远离滑块的一侧套设有从动齿轮，所述从动齿轮、传动齿轮和主动齿轮相互啮合传动连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述移动夹具和固定夹具均包括固定底座，所述固定底座的顶部固定安装有固定柱，所述固定柱的一侧固定安装有伸缩杆，所述伸缩杆的另一侧固定安装有定位器，所述伸缩杆的活塞杆顶部一侧固定安装有夹头。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述伸缩杆设置有三个活塞杆且均匀布置在同一平面内，所述伸缩杆为电动伸缩杆或气动伸缩杆。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述夹头外侧套设有防护套，所述防护套为橡胶材质，且防护套的表面设有防滑纹理。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述角度测量仪包括安装座，所述安装座的顶部固定安装有立柱，所述立柱顶部一侧固定安装有显示器，所述立柱顶部在远离显示器的一侧固定安装有测量相机。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述直线导轨的顶部固定安装有防尘罩，且所述防尘罩为柔性风琴防尘罩。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述安装座和固定底座内部均设置有通孔，所述通孔内部均贯穿有螺栓，所述安装座通过螺栓固定安装在机架顶部，所述移动夹具的固定底座通过螺栓固定安装在滑块的顶部，所述固定夹具的固定底座通过螺栓固定安装在机架顶部。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述机架在靠近电机的一侧固定安装有散热百叶窗，且所述散热百叶窗设置有若干切斜向下的导风板。

本实用新型的有益效果是：该种单晶硅棒切割面角度检测装置，通过在固定夹具和移动夹具上安装伸缩杆，方便自动装夹单晶硅棒；通过将伸缩杆设置三个活塞杆，具有自动定心装夹的功能，从而方便装夹棒料；通过在夹头外侧套设防护套，避免在装夹时损伤到棒料，且在表面设置防滑纹理使得装夹得更牢固；通过在固定夹具一侧安装角度测量仪，方便测量，且安装显示器，方面读取数据；通过安装防护罩，防止灰尘进入丝杠，影响丝杠正常转动，进而影响移动夹具的移动；通过在使用螺栓连接部件，连接牢靠，且方便拆卸与安装；通过设置散热百叶窗，便于机架内部设备散热；该装置结构简单合理，操作方便，有效解决了现有多数角度测量装置缺少自动装夹装置和自动校正装置的问题，具有广泛推广使用的价值。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型单晶硅棒切割面角度检测装置的立体结构示意图；

图2是本实用新型单晶硅棒切割面角度检测装置的正面剖视结构示意图；

图3是本实用新型单晶硅棒切割面角度检测装置的固定夹具和移动夹具立体结构示意图；

图4是本实用新型单晶硅棒切割面角度检测装置的角度测量仪结构示意图。

图中：1、机架；2、直线导轨；3、转轴；4、移动夹具；5、固定夹具；6、角度测量仪；7、防尘罩；8、电机；9、丝杠；10、滑块；11、从动齿轮；12、安装座；13、立柱；14、显示器；15、测量相机；16、固定底座；17、固定柱；18、伸缩杆；19、夹头；20、定位器；21、散热百叶窗；22、主动齿轮；23、传动齿轮。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例：如图1-4所示，本实用新型单晶硅棒切割面角度检测装置，包括机架1，机架1顶部一侧固定安装有直线导轨2，直线导轨2内部固定安装有丝杠9，丝杠9套设有滑块10，滑块10的顶部固定安装有移动夹具4，机架1顶部在远离移动夹具4的一侧固定安装有固定夹具5，机架1顶部在靠近固定夹具5的一侧固定安装有角度测量仪6，机架1内部一侧固定安装有电机8，机架1内部在靠近电机8顶部一侧固定安装有转轴3，电机8的输出轴套设有主动齿轮23，转轴3套设有传动齿轮22，丝杠9在远离滑块10的一侧套设有从动齿轮11，从动齿轮11、传动齿轮22和主动齿轮23相互啮合传动连接。

其中，移动夹具4和固定夹具5均包括固定底座16，固定底座16的顶部固定安装有固定柱17，固定柱17的一侧固定安装有伸缩杆18，伸缩杆18的另一侧固定安装有定位器20，伸缩杆18的活塞杆顶部一侧固定安装有夹头19，通过在固定夹具5和移动夹具4上安装伸缩杆18，方便自动装夹单晶硅棒。

其中，伸缩杆18设置有三个活塞杆且均匀布置在同一平面内，伸缩杆18为电动伸缩杆或气动伸缩杆，通过将伸缩杆18设置三个活塞杆，具有自动定心装夹的功能，从而方便装夹棒料。

其中，夹头19外侧套设有防护套，防护套为橡胶材质，且防护套的表面设有防滑纹理，通过在夹头19外侧套设防护套，避免在装夹时损伤到棒料，且在表面设置防滑纹理使得装夹得更牢固。

其中，角度测量仪6包括安装座12，安装座12的顶部固定安装有立柱13，立柱13顶部一侧固定安装有显示器14，立柱13顶部在远离显示器14的一侧固定安装有测量相机15，通过在固定夹具5一侧安装角度测量仪6，方便测量，且安装显示器14，方面读取数据。

其中，直线导轨2的顶部固定安装有防尘罩7，且防尘罩7为柔性风琴防尘罩，通过安装防护罩，防止灰尘进入丝杠9，影响丝杠9正常转动，进而影响移动夹具4的移动。

其中，安装座12和固定底座16内部均设置有通孔，通孔内部均贯穿有螺栓，安装座12通过螺栓固定安装在机架1顶部，移动夹具4的固定底座16通过螺栓固定安装在滑块10的顶部，固定夹具5的固定底座16通过螺栓固定安装在机架1顶部，通过在使用螺栓连接部件，连接牢靠，且方便拆卸与安装。

其中，机架1在靠近电机8的一侧固定安装有散热百叶窗21，且散热百叶窗21设置有若干切斜向下的导风板，通过设置散热百叶窗21，便于机架1内部设备散热。

工作原理：该装置工作时，移动夹具4和固定夹具5上的定位器20进行定位，校正夹具位置，启动电机8，调整移动夹具4到合适位置后，再伸长伸缩杆18，将棒料放到移动夹具4和固定夹具5上，所述收缩伸缩杆18夹紧棒料，测量相机将切割面的图像传送到角度测量仪6的处理器中进行判断，并将结果显示在显示器14上。该种单晶硅棒切割面角度检测装置，通过在固定夹具5和移动夹具4上安装伸缩杆18，方便自动装夹单晶硅棒；通过将伸缩杆18设置三个活塞杆，具有自动定心装夹的功能，从而方便装夹棒料；通过在夹头19外侧套设防护套，避免在装夹时损伤到棒料，且在表面设置防滑纹理使得装夹得更牢固；通过在固定夹具5一侧安装角度测量仪6，方便测量，且安装显示器14，方面读取数据；通过安装防护罩，防止灰尘进入丝杠9，影响丝杠9正常转动，进而影响移动夹具4的移动；通过在使用螺栓连接部件，连接牢靠，且方便拆卸与安装；通过设置散热百叶窗21，便于机架1内部设备散热；该装置结构简单合理，操作方便，有效解决了现有多数角度测量装置缺少自动装夹装置和自动校正装置的问题，具有广泛推广使用的价值。

最后应说明的是：在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种单晶硅棒切割面角度检测装置，包括机架(1)，其特征在于，所述机架(1)顶部一侧固定安装有直线导轨(2)，所述直线导轨(2)内部固定安装有丝杠(9)，所述丝杠(9)套设有滑块(10)，所述滑块(10)的顶部固定安装有移动夹具(4)，所述机架(1)顶部在远离移动夹具(4)的一侧固定安装有固定夹具(5)，所述机架(1)顶部在靠近固定夹具(5)的一侧固定安装有角度测量仪(6)，所述机架(1)内部一侧固定安装有电机(8)，所述机架(1)内部在靠近电机(8)顶部一侧固定安装有转轴(3)，所述电机(8)的输出轴套设有主动齿轮(23)，所述转轴(3)套设有传动齿轮(22)，所述丝杠(9)在远离滑块(10)的一侧套设有从动齿轮(11)，所述从动齿轮(11)、传动齿轮(22)和主动齿轮(23)相互啮合传动连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切割面角度检测装置，其特征在于，所述移动夹具(4)和固定夹具(5)均包括固定底座(16)，所述固定底座(16)的顶部固定安装有固定柱(17)，所述固定柱(17)的一侧固定安装有伸缩杆(18)，所述伸缩杆(18)的另一侧固定安装有定位器(20)，所述伸缩杆(18)的活塞杆顶部一侧固定安装有夹头(19)。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒切割面角度检测装置，其特征在于，所述伸缩杆(18)设置有三个活塞杆且均匀布置在同一平面内，所述伸缩杆(18)为电动伸缩杆或气动伸缩杆。

4.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒切割面角度检测装置，其特征在于，所述夹头(19)外侧套设有防护套，所述防护套为橡胶材质，且防护套的表面设有防滑纹理。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切割面角度检测装置，其特征在于，所述角度测量仪(6)包括安装座(12)，所述安装座(12)的顶部固定安装有立柱(13)，所述立柱(13)顶部一侧固定安装有显示器(14)，所述立柱(13)顶部在远离显示器(14)的一侧固定安装有测量相机(15)。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切割面角度检测装置，其特征在于，所述直线导轨(2)的顶部固定安装有防尘罩(7)，且所述防尘罩(7)为柔性风琴防尘罩。

7.根据权利要求5所述的一种单晶硅棒切割面角度检测装置，其特征在于，所述安装座(12)和固定底座(16)内部均设置有通孔，所述通孔内部均贯穿有螺栓，所述安装座(12)通过螺栓固定安装在机架(1)顶部，所述移动夹具(4)的固定底座(16)通过螺栓固定安装在滑块(10)的顶部，所述固定夹具(5)的固定底座(16)通过螺栓固定安装在机架(1)顶部。

8.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切割面角度检测装置，其特征在于，所述机架(1)在靠近电机(8)的一侧固定安装有散热百叶窗(21)，且所述散热百叶窗(21)设置有若干切斜向下的导风板。

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