CN212007333U - 组装后的模板真空和平面度检测治具 - Google Patents

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俞子强
严辉
黄国勇
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Dongyi Semiconductor Technology Jiangsu Co ltd
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Abstract

本实用新型公开了组装后的模板真空和平面度检测治具,平面度检测模板置于检测治具的上方,平面度检测模板的前后两侧均设有长条,平面度检测模板的下表面设有PIN针,检测治具的上表面与PIN针对应的位置设有避位孔,底板的上表面设有橡胶模块固定板,橡胶模块固定板的上表面设有橡胶模块,橡胶模块的上方设有上模板,上模板下表面与上模板真空检测孔对应的位置设有通孔,可以在进行平面度检测时可以避开PIN针的影响,方便对组装后的模板进行平面度测试,还可以针对组装后的模板进行真空度检测的治具,保证组装后的模板品质。

Description

组装后的模板真空和平面度检测治具
技术领域
本实用新型涉及模板检测治具技术领域,具体为组装后的模板真空和平面度检测治具。
背景技术
在工业生产中,为了保证组装后的模板的真空度和平面度,需要对组装后的模板进行真空度和平面度进行检测,但是由于在组装后的模板上会有PIN针,因此在进行平面度检测时,PIN针会影响检测平面度的正常进行,不方便对组装后的模板进行平面度测试,在现有的技术中,没有针对组装后的模板进行真空度检测的治具,导致组装后的模板无法进行真空测试,品质难以管控。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷,提供组装后的模板真空和平面度检测治具,可以在进行平面度检测时可以避开PIN针的影响,方便对组装后的模板进行平面度测试,还可以针对组装后的模板进行真空度检测的治具,保证组装后的模板品质,可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:组装后的模板真空和平面度检测治具,包括检测治具、平面度检测单元和真空度检测单元;
检测治具:内部设有两个腔体,分别为橡胶模块真空检测腔体和上模板真空检测腔体;
平面度检测单元:包括避位孔、长条和平面度检测模板,平面度检测模板置于检测治具的上方,平面度检测模板的前后两侧均设有长条,平面度检测模板的下表面设有PIN针,检测治具的上表面与PIN针对应的位置设有避位孔;
真空度检测单元:包括底板、橡胶模块固定板、橡胶模块和上模板,底板置于检测治具的上方,底板上与橡胶模块真空检测腔体对应的位置设有橡胶模块检测孔,底板的上表面设有上模板真空检测孔,上模板真空检测孔连通上模板真空检测腔体,底板的上表面设有橡胶模块固定板,橡胶模块固定板的上表面设有橡胶模块,橡胶模块的上方设有上模板,上模板的下表面与上模板真空检测孔对应的位置设有通孔;
在使用时,将平面度检测模板通过定位PIN固定在两根长条之间,然后用螺丝锁紧,然后将平面度检测模板放置在检测治具上面,由于在检测治具上设有避位孔,可以在进行平面度检测时使PIN针置于避位孔内,可以在进行平面度检测时可以避开PIN针的影响,方便对组装后的模板进行平面度测试,在进行真空度检测时,将橡胶模块通过定位PIN固定到橡胶模块固定板上面,然后用螺丝锁紧,然后将橡胶模块固定板放置到底板上面,通过定位PIN固定并用螺丝锁紧,然后将上模板放置到底板上面,通过定位PIN固定位置,然后将真空气管接入橡胶模块真空检测接口,使真空通过橡胶模块真空检测腔体进行吸附检测橡胶模块真空度,然后将真空气管接入上模板真空检测接口,使真空通过上模板真空检测腔体和上模板真空检测孔吸附检测上模板的真空度,从而可以针对组装后的模板进行真空度检测的治具,保证组装后的模板品质。
进一步的,还包括橡胶模块真空检测接口和上模板真空检测接口,橡胶模块真空检测接口和上模板真空检测接口分别置于检测治具的前后侧壁,模块真空检测接口和上模板真空检测接口分别连通橡胶模块真空检测腔体和上模板真空检测腔体,可以用来将真空气管接入橡胶模块真空检测腔体和上模板真空检测腔体。
进一步的,还包括螺栓孔和通孔,通孔为四个,且均置于底板上,螺栓孔为四个,且均置于检测治具上表面与通孔对应的位置,可以用来连接检测治具和底板。
进一步的,还包括第一定位柱和第一定位孔,第一定位柱为四根,且分别置于两根长条下表面的两端,第一定位孔为四个,且置于检测治具上表面与第一定位柱对应的位置,可以用来对平面度检测模板进行定位。
进一步的,还包括第二定位孔和第二定位柱,第二定位柱为两个,且均置于底板的上表面,第二定位孔为两个,且开设在上模板上与第二定位柱对应的位置,可以用来对上模板进行定位。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本组装后的模板真空和平面度检测治具,具有以下好处:
1、设置了平面度检测单元,通过将PIN针置于避位孔内,可以在进行平面度检测时可以避开PIN针的影响,方便对组装后的模板进行平面度测试;
2、还设置了真空度检测单元,通过将真空气管接入橡胶模块真空检测接口,使真空通过橡胶模块真空检测腔体进行吸附检测橡胶模块真空度,然后将真空气管接入上模板真空检测接口,使真空通过上模板真空检测腔体和上模板真空检测孔吸附检测上模板的真空度,从而可以针对组装后的模板进行真空度检测的治具,保证组装后的模板品质。
附图说明
图1为本实用新型平面度检测结构示意图;
图2为本实用新型真空度检测结构示意图。
图中:1检测治具、2平面度检测单元、21避位孔、22长条、23平面度检测模板、3真空度检测单元、31底板、32橡胶模块固定板、33橡胶模块、34上模板、4橡胶模块真空检测接口、5上模板真空检测接口、6上模板真空检测孔、7橡胶模块真空检测腔体、8上模板真空检测腔体、9螺栓孔、10第一定位柱、11第一定位孔、12第二定位孔、13第二定位柱、14通孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2,本实用新型提供一种技术方案:组装后的模板真空和平面度检测治具,包括检测治具1、平面度检测单元2和真空度检测单元3;
检测治具1:内部设有两个腔体,分别为橡胶模块真空检测腔体7和上模板真空检测腔体8;
平面度检测单元2:包括避位孔21、长条22和平面度检测模板23,平面度检测模板23置于检测治具1的上方,平面度检测模板23的前后两侧均设有长条22,平面度检测模板23的下表面设有PIN针,检测治具1的上表面与PIN针对应的位置设有避位孔21,在使用时,将平面度检测模板23通过定位PIN固定在两根长条22之间,然后用螺丝锁紧,然后将平面度检测模板23放置在检测治具1上面,由于在检测治具1上设有避位孔21,可以在进行平面度检测时使PIN针置于避位孔21内,可以在进行平面度检测时可以避开PIN针的影响,方便对组装后的模板进行平面度测试;
真空度检测单元3:包括底板31、橡胶模块固定板32、橡胶模块33和上模板34,底板31置于检测治具1的上方,底板31上与橡胶模块真空检测腔体7对应的位置设有橡胶模块检测孔,底板31的上表面设有上模板真空检测孔6,上模板真空检测孔6连通上模板真空检测腔体8,底板31的上表面设有橡胶模块固定板32,橡胶模块固定板32的上表面设有橡胶模块33,橡胶模块33的上方设有上模板34,上模板34的下表面与上模板真空检测孔6对应的位置设有通孔,在进行真空度检测时,将橡胶模块33通过定位PIN固定到橡胶模块固定板32上面,然后用螺丝锁紧,然后将橡胶模块固定板32放置到底板31上面,通过定位PIN固定并用螺丝锁紧,然后将上模板34放置到底板31上面,通过定位PIN固定位置,然后将真空气管接入橡胶模块真空检测接口4,使真空通过橡胶模块真空检测腔体7进行吸附检测橡胶模块33真空度,然后将真空气管接入上模板真空检测接口5,使真空通过上模板真空检测腔体8和上模板真空检测孔6吸附检测上模板34的真空度,从而可以针对组装后的模板进行真空度检测的治具,保证组装后的模板品质;
其中,还包括橡胶模块真空检测接口4和上模板真空检测接口5,橡胶模块真空检测接口4和上模板真空检测接口5分别置于检测治具1的前后侧壁,模块真空检测接口4和上模板真空检测接口5分别连通橡胶模块真空检测腔体7和上模板真空检测腔体8,可以用来将真空气管接入橡胶模块真空检测腔体7和上模板真空检测腔体8。
其中,还包括螺栓孔9和通孔14,通孔14为四个,且均置于底板31上,螺栓孔9为四个,且均置于检测治具1上表面与通孔14对应的位置,可以用来连接检测治具1和底板31。
其中,还包括第一定位柱10和第一定位孔11,第一定位柱10为四根,且分别置于两根长条22下表面的两端,第一定位孔11为四个,且置于检测治具1上表面与第一定位柱10对应的位置,可以用来对平面度检测模板23进行定位。
其中,还包括第二定位孔12和第二定位柱13,第二定位柱13为两个,且均置于底板31的上表面,第二定位孔12为两个,且开设在上模板34上与第二定位柱13对应的位置,可以用来对上模板34进行定位。
在使用时:将平面度检测模板23通过定位PIN固定在两根长条22之间,然后用螺丝锁紧,然后将平面度检测模板23放置在检测治具1上面,由于在检测治具1上设有避位孔21,可以在进行平面度检测时使PIN针置于避位孔21内,可以在进行平面度检测时可以避开PIN针的影响,方便对组装后的模板进行平面度测试,在进行真空度检测时,将橡胶模块33通过定位PIN固定到橡胶模块固定板32上面,然后用螺丝锁紧,然后将橡胶模块固定板32放置到底板31上面,通过定位PIN固定并用螺丝锁紧,然后将上模板34放置到底板31上面,通过定位PIN固定位置,然后将真空气管接入橡胶模块真空检测接口4,使真空通过橡胶模块真空检测腔体7进行吸附检测橡胶模块33真空度,然后将真空气管接入上模板真空检测接口5,使真空通过上模板真空检测腔体8和上模板真空检测孔6吸附检测上模板34的真空度,从而可以针对组装后的模板进行真空度检测的治具,保证组装后的模板品质。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.组装后的模板真空和平面度检测治具,其特征在于:包括检测治具(1)、平面度检测单元(2)和真空度检测单元(3);
检测治具(1):内部设有两个腔体,分别为橡胶模块真空检测腔体(7)和上模板真空检测腔体(8);
平面度检测单元(2):包括避位孔(21)、长条(22)和平面度检测模板(23),平面度检测模板(23)置于检测治具(1)的上方,平面度检测模板(23)的前后两侧均设有长条(22),平面度检测模板(23)的下表面设有PIN针,检测治具(1)的上表面与PIN针对应的位置设有避位孔(21);
真空度检测单元(3):包括底板(31)、橡胶模块固定板(32)、橡胶模块(33)和上模板(34),底板(31)置于检测治具(1)的上方,底板(31)上与橡胶模块真空检测腔体(7)对应的位置设有橡胶模块检测孔,底板(31)的上表面设有上模板真空检测孔(6),上模板真空检测孔(6)连通上模板真空检测腔体(8),底板(31)的上表面设有橡胶模块固定板(32),橡胶模块固定板(32)的上表面设有橡胶模块(33),橡胶模块(33)的上方设有上模板(34),上模板(34)的下表面与上模板真空检测孔(6)对应的位置设有通孔。
2.根据权利要求1所述的组装后的模板真空和平面度检测治具,其特征在于:还包括橡胶模块真空检测接口(4)和上模板真空检测接口(5),橡胶模块真空检测接口(4)和上模板真空检测接口(5)分别置于检测治具(1)的前后侧壁,模块真空检测接口(4)和上模板真空检测接口(5)分别连通橡胶模块真空检测腔体(7)和上模板真空检测腔体(8)。
3.根据权利要求1所述的组装后的模板真空和平面度检测治具,其特征在于:还包括螺栓孔(9)和通孔(14),通孔(14)为四个,且均置于底板(31)上,螺栓孔(9)为四个,且均置于检测治具(1)上表面与通孔(14)对应的位置。
4.根据权利要求1所述的组装后的模板真空和平面度检测治具,其特征在于:还包括第一定位柱(10)和第一定位孔(11),第一定位柱(10)为四根,且分别置于两根长条(22)下表面的两端,第一定位孔(11)为四个,且置于检测治具(1)上表面与第一定位柱(10)对应的位置。
5.根据权利要求1所述的组装后的模板真空和平面度检测治具,其特征在于:还包括第二定位孔(12)和第二定位柱(13),第二定位柱(13)为两个,且均置于底板(31)的上表面,第二定位孔(12)为两个,且开设在上模板(34)上与第二定位柱(13)对应的位置。
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