CN211929463U - 气浮式吸取装置 - Google Patents

气浮式吸取装置 Download PDF

Info

Publication number
CN211929463U
CN211929463U CN202021043171.XU CN202021043171U CN211929463U CN 211929463 U CN211929463 U CN 211929463U CN 202021043171 U CN202021043171 U CN 202021043171U CN 211929463 U CN211929463 U CN 211929463U
Authority
CN
China
Prior art keywords
air
suction
air passage
suction device
pedestal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN202021043171.XU
Other languages
English (en)
Inventor
郭永聪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanglixin Technology Co ltd
Original Assignee
Shanglixin Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanglixin Technology Co ltd filed Critical Shanglixin Technology Co ltd
Priority to CN202021043171.XU priority Critical patent/CN211929463U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN211929463U publication Critical patent/CN211929463U/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Manipulator (AREA)

Abstract

本实用新型提供一种气浮式吸取装置,包括本体、整流件、吸取台座以及多个吸取件。本体内部形成有第一气道、第二气道以及容置槽,其中第一气道通过容置槽连通于外部;整流件配置于容置槽内,且容置槽的形状对应于整流件;吸取台座连接于本体且具有多个导引部,这些导引部配置于吸取台座的外周缘上,且本体以及整流件穿设于吸取台座;吸取件连接于本体且相对于吸取台座对称配置,这些吸取件形成有吸嘴,且各个吸嘴连通于第二气道。

Description

气浮式吸取装置
技术领域
本实用新型有关于一种气浮式吸取装置,且特别是关于一种在吸取物体时能将物体正位的气浮式吸取装置。
背景技术
在半导体及精密电子产业的过程当中,经常需要使用吸取装置将芯片或电路板等物体移动至指定的位置,依据吸取方式的不同,可大致分为气吸及磁吸两种类别。在气吸种类的吸取装置中,部分装置会直接利用吸嘴吸气产生负压,使得物体附着在吸嘴上后进行移动,也有部分装置通过特殊设计的气流通道,以改变流体流速的方式产生相对负压并吸附物体。然而,上述方法在个别使用时,前者无法确保物体相对于吸取装置的正确位置,从而导致在置放物体时可能会产生位置偏差而需要以人工的方式校准;后者则容易产生吸力不足的现象,且物体在移动过程中,可能会相对于产生负压的端面有相对倾斜的情形,同样会对移动后的定位精准度产生影响。
实用新型内容
基于本实用新型的至少一个实施例,本实用新型提供一种可在吸取过程中对物体进行正位调整的气浮式吸取装置,以期达到节省人工步骤以及提高放置定位精准度的效果。
本实用新型提供一种气浮式吸取装置,包括本体、整流件、吸取台座以及多个吸取件。本体内部形成有第一气道、第二气道以及容置槽,其中第一气道通过容置槽连通于外部;整流件配置于容置槽内,且容置槽的形状对应于整流件;吸取台座连接于本体且具有多个导引部,这些导引部配置于吸取台座的外周缘上,且本体以及整流件穿设于吸取台座;吸取件连接于本体且相对于吸取台座对称配置,这些吸取件形成有吸嘴,且各个吸嘴连通于第二气道。
优选地,气浮式吸取装置还包括滑动机构。滑动机构包括固定部以及滑动部,固定部固设于本体,滑动部滑设于固定部上,且吸取台座通过滑动部以及固定部连接于本体。
优选地,本体还包括进气阀以及抽气阀,其中进气阀连通于第一气道,且抽气阀连通于第二气道。
优选地,整流件包括吸盘部以及气环部。吸盘部呈圆柱状且形成有贯孔,贯孔连通于第一气道且具有第一部分以及第二部分,第一部分以及第二部分分别对应第一内径以及第二内径,其中第一内径小于第二内径。气环部配置于第二部分且形成有主气道以及支气道,主气道连通于第一部分,支气道贯通气环部且连通于主气道。
优选地,贯孔还具有第三部分,第三部分对应第三内径,且第二内径小于第三内径。吸盘部的底部高度由内向外渐增,且气环部的底部向外延伸,使气环部与第三部分的壁面以及气环部的底部与吸盘部的底部之间具有内侧间隙。
优选地,容置槽连通外部的边上形成有倒角。
优选地,吸取台座具有吸附平面,而导引部具有倾斜部以及垂直部,各个倾斜部由内向外的高度递增,各个垂直部连接吸附平面以及各个倾斜部且垂直于吸附平面。
优选地,各个吸嘴与吸附平面的高度差小于各个倾斜部与吸附平面的高度差。
优选地,导引部之间形成有多个缺口,且吸取件配置于这些缺口内。
综上所述,本实用新型实施例提供的气浮式吸取装置可通过整流件将流经第一气道的流体调整为相对负压,使得物体被轻微吸附后通过导引部正位,再通过连通第二气道的吸嘴将物体稳定吸附,可大幅提升放置的定位精准度以及吸取时的稳定度。
为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容,请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图,但是此等说明与所附图式仅用来说明本实用新型,而非对本实用新型的权利要求作任何的限制。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型的气浮式吸取装置的一个实施例的立体示意图;
图2为图1所示的气浮式吸取装置另一个角度的立体示意图;
图3为图1所示的气浮式吸取装置沿着A-A的剖面示意图;
图4为图3中圆形区域的局部放大示意图;
图5为图2所示的气浮式吸取装置沿着B-B的剖面示意图;
图6为图1所示的气浮式吸取装置将物体正位时的示意图;以及
图7为图6所示的气浮式吸取装置将物体正位后吸附的示意图。
附图标记说明
1 气浮式吸取装置
100 本体
110 第一气道
120 第二气道
130 容置槽
140 进气阀
150 抽气阀
160 锁固件
200 整流件
210 吸盘部
212 贯孔
212a 第一部分
212b 第二部分
212c 第三部分
214 内侧间隙
220 气环部
222 主气道
224 支气道
300 吸取台座
310 导引部
312 倾斜部
314 垂直部
320 吸附平面
330 缺口
400 吸取件
410 吸嘴
500 滑动机构
510 固定部
520 滑动部
2 物体
A-A、B-B 剖面
D1 第一内径
D2 第二内径
D3 第三内径
H1、H2 高度差
R 倒角
具体实施方式
有关本实用新型的前述及其它技术内容、特点与功效,在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中,将可清楚地呈现。值得一提的是,以下实施例所提到的方向用语,例如:上、下、左、右、前或后等,仅是参考附加图式的方向。因此,使用的方向用语是用以说明,而非对本实用新型加以限制。此外,在下列各个实施例中,相同或相似的组件将采用相同或相似的标号。
请参考图1及图2,图1为本实用新型的气浮式吸取装置的一个实施例的立体示意图,图2为图1所示的气浮式吸取装置另一个角度的立体示意图。本实施例的气浮式吸取装置1包括本体100、整流件200、吸取台座300以及多个吸取件400,其中整流件200配置于本体100内;吸取台座300连接于本体100且具有多个导引部310,导引部310配置于吸取台座300的外周缘上,且本体100以及整流件200穿设于吸取台座300;吸取件400连接于本体100且相对于吸取台座300对称配置,且这些吸取件400上分别形成有吸嘴410。
详细而言,本实施例的气浮式吸取装置1适于吸取物体,其中本体100还包括进气阀140以及抽气阀150,可在吸取物体的过程中产生负压流场从而产生吸力。除此之外,气浮式吸取装置1还包括滑动机构500,滑动机构500包括固定部510以及滑动部520,其中固定部510固设于本体100,滑动部520滑设于固定部510上,且吸取台座300通过滑动部520以及固定部510连接于本体100,可让吸取台座300在吸取物体的过程中具有相对于本体100垂直移动的自由度。另一方面,吸取台座300具有吸附平面320,且在导引部310之间形成有多个缺口320,而吸取件400配置于这些缺口320内,通过这样的配置,当吸嘴410产生负压时,气浮式吸取装置1可以对称且平衡地吸取及移动物体,且无需额外占据庞大的体积。
请参考图3,图3为图1所示的气浮式吸取装置沿着A-A的剖面示意图。具体而言,本体100的内部形成有第一气道110、第二气道120以及容置槽130,其中进气阀140连通于第一气道110,且第一气道110通过容置槽130连通于外部,而抽气阀150以及各个吸嘴410连通于第二气道120。借此,当进气阀140朝第一气道110内部进气,或抽气阀150将第二气道120的气体向外抽出时,均可对吸附平面320下方的流场产生负压,从而获致吸取物体的功效。除此之外,如图3所示,吸取台座300通过锁固件160固设于滑动部520,在本实施例中,固定部510例如是滑轨,而滑动部520例如是滑块,且滑动部520可相对于固定部510在垂直方向上自由地滑动。因此,当气浮式吸取装置1将物体运送至目标位置时,吸取台座300可直接与目标位置的结构接触并相对于本体100缩入,同时被吸取的物体也会因此相对突出并与欲放置的目标槽位相互吻合,借此可以避免吸取台座300因碰撞目标平台而受损,并有利于物体的放置精确度。
另一方面,整流件200配置于容置槽130内,且容置槽130的形状对应于整流件200,借以调整从第一气道110注入至容置槽130的气流方向。具体而言,整流件200包括吸盘部210以及气环部220,其中吸盘部210呈圆柱状且形成有贯孔212,贯孔212连通于第一气道110,气环部220配置于吸盘部210内部,用以将进气阀140抽入第一气道110的气体从整流件200的下方排出,从而在吸附平面320下方的空间形成负压环境以吸取物体。
请参考图4,图4为图3中圆形区域的局部放大示意图。更进一步而言,贯孔212具有第一部分212a、第二部分212b以及第三部分212c,第一部分212a、第二部分212b以及第三部分212c分别对应第一内径D1、第二内径D2以及第三内径D3,其中第一内径D1小于第二内径D2,且第二内径D2小于第三内径D3。此外,气环部220配置于第二部分212b且形成有主气道222以及支气道224,其中主气道222连通于第一部分212a,支气道224贯通气环部220且连通于主气道222。如图4所示,气环部220的外径设计为与第二部分212b大致紧配,然而吸盘部210的底部并非水平,而是具有由内向外渐增的高度。除此之外,由于第二内径D2小于第三内径D3,且气环部220的底部向外延伸,使气环部220与第三部分212c的壁面以及气环部220的底部与吸盘部210的底部之间具有内部间隙214。同时,容置槽130连通外部的边上形成有倒角R。通过这样的配置,当进气阀140将气体抽入第一气道110时,气体会从第一气道110进入贯孔212,并依序沿着第一部分212a、气环部220与第二部分212b之间的间隙以及内部间隙214排出本体100。借此,吸盘部210以及气环部220的下方形成相对流速较高的流场,根据伯努利定理,此处流场的气压从而相对较低,因此可形成负压空间并对物体产生吸力。而倒角R所形成的空隙能在将整流件200置入本体100时更加顺畅,也提升日后取出时的便利性。
请参考图5,图5为图2所示的气浮式吸取装置沿着B-B的剖面示意图。如图所示,导引部310分别具有倾斜部312以及垂直部314,各个倾斜部312由内向外的高度递增,而各个垂直部314连接于吸附平面320以及各个倾斜部312且垂直于吸附平面320。详细而言,本实施例的导引部310用以将物体正位,其中各个吸嘴410与吸附平面320之间具有高度差H1,倾斜部312与吸附平面320之间具有高度差H2,且各个吸嘴410与吸附平面320的高度差H1小于倾斜部312与吸附平面之间的高度差H2。因此,当物体接近吸附平面320时,会先接触到倾斜部312并沿着倾斜部312由外向内递减的高度移动至吸取台座300的中央处,再沿着垂直部314的垂直面水平地向上移动,最后才抵接到吸嘴410。通过这样的配置,当气浮式吸取装置1通过抽气阀150将第二气道120的气体抽出时,受到吸引的物体会先通过倾斜部312以及垂直部314正位后再抵接吸嘴410,故能在吸取的过程中正位物体,减少人力再度校准的工时。
请参考图6及图7,图6为图1所示的气浮式吸取装置将物体正位时的示意图,图7为图6所示的气浮式吸取装置将物体正位后吸附的示意图。如图6所示,当使用者欲使用气浮式吸取装置1吸取并移动物体2时,可先启动进气阀140将气体吸入第一气道110,此时气体会进入贯孔212的第一部分212a,并通过主气道222以及支气道224,经由气环部220与第三部分212c之间的内部间隙214从吸盘部210以及气环部220的下方排出,从而在吸附平面320的下方形成负压环境。而物体2受到吸引上升后,会依序接触到倾斜部312以及垂直部314,进而成为几近水平的状态并继续上升。此时,如图7所示,使用者可接着启动气浮式吸取装置1的抽气阀150,将第二气道120内的气体抽出,此时吸取件400的吸嘴410处会产生更大的负压,并将物体2牢牢吸住。通过上述的配置及步骤,气浮式吸取装置1可在吸取物体的过程中,先通过第一气道110以及进气阀140产生较小的吸力,使物体2接触导引部310移动至吸取台座300的中央处并进行正位,之后再通过第二气道120以及抽气阀150产生较大的吸力,牢固地吸住物体2,以避免因吸力不足导致物体2从气浮式吸取装置1上掉落的情形。
以上所述仅为本实用新型的实施例,其并非用以局限本实用新型的专利范围。

Claims (9)

1.一种气浮式吸取装置,其特征在于,包括:
本体,内部形成有第一气道、第二气道以及容置槽,其中所述第一气道通过所述容置槽连通于外部;
整流件,配置于所述容置槽内,且所述容置槽的形状对应于所述整流件;
吸取台座,连接于所述本体且具有多个导引部,所述多个导引部配置于所述吸取台座的外周缘上,且所述本体以及所述整流件穿设于所述吸取台座;以及
多个吸取件,连接于所述本体且相对于所述吸取台座对称配置,所述多个吸取件形成有吸嘴,且各个所述吸嘴连通于所述第二气道。
2.根据权利要求1所述的气浮式吸取装置,其特征在于,还包括滑动机构,所述滑动机构包括固定部以及滑动部,所述固定部固设于所述本体,所述滑动部滑设于所述固定部上,且所述吸取台座通过所述滑动部以及所述固定部连接于所述本体。
3.根据权利要求1所述的气浮式吸取装置,其特征在于,所述本体还包括进气阀以及抽气阀,所述进气阀连通于所述第一气道,且所述抽气阀连通于所述第二气道。
4.根据权利要求1所述的气浮式吸取装置,其特征在于,所述整流件包括吸盘部以及气环部,所述吸盘部呈圆柱状且形成有贯孔,所述贯孔连通于所述第一气道且具有第一部分以及第二部分,所述第一部分以及所述第二部分分别对应第一内径以及第二内径,其中所述第一内径小于所述第二内径,所述气环部配置于所述第二部分且形成有主气道以及支气道,所述主气道连通于所述第一部分,所述支气道贯通所述气环部且连通于所述主气道。
5.根据权利要求4所述的气浮式吸取装置,其特征在于,所述贯孔还具有第三部分,所述第三部分对应第三内径,所述第二内径小于所述第三内径,所述吸盘部的底部高度由内向外渐增,且所述气环部的底部向外延伸,使所述气环部与所述第三部分的壁面以及所述气环部的底部与所述吸盘部的底部之间具有内侧间隙。
6.根据权利要求1所述的气浮式吸取装置,其特征在于,所述容置槽连通外部的边上形成有倒角。
7.根据权利要求1所述的气浮式吸取装置,其特征在于,所述吸取台座具有吸附平面,所述多个导引部具有倾斜部以及垂直部,各个所述倾斜部由内向外的高度递增,各个所述垂直部连接所述吸附平面以及各个所述倾斜部且垂直于所述吸附平面。
8.根据权利要求7所述的气浮式吸取装置,其特征在于,各个所述吸嘴与所述吸附平面的高度差小于各个所述倾斜部与所述吸附平面的高度差。
9.根据权利要求1所述的气浮式吸取装置,其特征在于,所述多个导引部之间形成有多个缺口,且所述多个吸取件配置于所述多个缺口内。
CN202021043171.XU 2020-06-09 2020-06-09 气浮式吸取装置 Expired - Fee Related CN211929463U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202021043171.XU CN211929463U (zh) 2020-06-09 2020-06-09 气浮式吸取装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202021043171.XU CN211929463U (zh) 2020-06-09 2020-06-09 气浮式吸取装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN211929463U true CN211929463U (zh) 2020-11-13

Family

ID=73321297

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202021043171.XU Expired - Fee Related CN211929463U (zh) 2020-06-09 2020-06-09 气浮式吸取装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN211929463U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN211929463U (zh) 气浮式吸取装置
CN107336529B (zh) 打标装置
CN212424649U (zh) 吸取式移动系统
TWM598834U (zh) 氣浮式吸取裝置
KR100757025B1 (ko) 워크 반송 장치
CN205703112U (zh) 自动动态调整光学组装机传感器支架吸附载具
TW202112511A (zh) 選擇器及包括其的手部
JP3122590B2 (ja) 吸着パッド
CN217822715U (zh) 一种精准安装晶片的固晶机吸嘴
JPH08143147A (ja) 薄板状ワークの吸着装置
CN217626278U (zh) 吸嘴机构
TWM599069U (zh) 吸取式移動系統
JPH0572386U (ja) Ic搬送装置
CN209095061U (zh) 一种真空吸附夹具
CN115480452A (zh) 一种吸盘组件、曝光装置及光刻系统
CN218052669U (zh) 一种复合型的定位吸附平台
JPS63216355A (ja) ホルダ
CN220496682U (zh) 一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装
CN214279940U (zh) 气浮式吸取装置
CN117542777B (zh) 高速高精度搬运装置
CN215588829U (zh) 真空吸附平台
CN218158145U (zh) 测试设备
CN213403670U (zh) 柔性电路板转移夹具
CN220128663U (zh) 组装装置
CN217742149U (zh) 一种pcb板贴片机的吸嘴结构

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20201113