CN220496682U - 一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，涉及晶圆加工技术领域，包括机架，所述机架的内侧安装有工作台，所述工作台的顶端安装有Y轴滑台组件，所述Y轴滑台组件的顶端滑动连接有放置架，所述放置架的端部安装有定位机构。本实用新型通过设置定位机构、微型抽气泵，使弹簧带动移动杆向L形管外部径向移动，从而将L形管的开口处堵住且内部呈封闭结构，而微型抽气泵运行通过输气管将L形管内部的气体抽出，使L形管内部为负气压，在负气压与正气压的作用下吸盘吸住晶圆，从而对晶圆的位置进行限位，避免放置架带动晶圆移动的过程中出现晃动的情况，导致晶圆偏离喷涂中心位置处，达到提高对晶圆喷涂的效果。

Description

一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体是一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装。

背景技术

晶圆芯片中高速逻辑元器件晶圆表层镀有一层low-k膜，使用low-k电介质作为ILD，可以有效地降低互连线组件的分布电容，从而可使芯片总体性能提升；

通过激光在切割道中快速制造出激光凹槽，将相邻的两片晶粒间的low-k膜提前剪开，然后以标准速度对晶粒切割，使用激光加工即可消除碎屑、分层和其他切割质量问题。

在low-k镀膜前对晶圆进行涂胶喷涂可有利于提高low-k镀膜与晶圆的接合强度，以提高low-k晶圆在行业中的运用，现有的涂胶喷涂工装，是将晶圆放置在放置架上，通过电动滑台将其运输至涂胶区域，喷涂枪对晶圆进行喷涂，但在电动滑台带动晶圆移动的过程中，会出现晃动的情况，导致晶圆偏离喷涂中心位置处，造成喷涂的效果降低的情况。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决晶圆偏离喷涂中心位置处，造成喷涂的效果降低的问题，提供一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，包括机架，所述机架的端部安装有X轴滑台组件，所述X轴滑台组件的端部通过安装架滑动连接有喷涂枪，所述喷涂枪用于对晶圆进行涂胶喷涂，所述机架的内侧安装有工作台，所述工作台的顶端安装有Y轴滑台组件，所述Y轴滑台组件的顶端滑动连接有放置架，所述Y轴滑台组件用于带动所述放置架进行径向移动，所述放置架的端部安装有定位机构，所述定位机构用于对晶圆进行限位；

所述定位机构包括吸盘、L形管、弹簧、移动组件、卡合组件；

所述吸盘安装于所述放置架的内部，所述吸盘用于吸住晶圆的端面对其进行限位；

拉伸状态的所述弹簧用于带动所述移动组件向所述L形管外部径向移动，收缩状态的所述弹簧用于带动所述移动组件向所述L形管内部径向移动；

锁止状态的所述卡合组件用于对所述L形管开口进行封闭，解锁状态的所述卡合组件用于解除对所述L形管开口的封闭；

所述放置架的另一端端部安装有微型抽气泵，所述微型抽气泵用于对所述吸盘提供吸力。

作为本实用新型再进一步的方案：所述移动组件包括移动杆和隔板；

所述移动杆径向滑动于所述L形管内部，所述隔板滑动连接于所述L形管内壁，且所述隔板与所述移动杆端部固定连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述卡合组件包括插孔、限位环、插杆；

所述插孔开设于所述隔板内部，所述限位环成形于所述L形管开口处端部，所述插杆固定连接于所述限位环的端面，且所述插孔与所述插杆相卡合，卡合状态的所述插孔与所述插杆用于对所述隔板的移动进行限位，且所述L形管内部呈封闭结构。

作为本实用新型再进一步的方案：所述移动杆的直径小于所述限位环的内壁直径，所述隔板与所述限位环的内侧端面相接触。

作为本实用新型再进一步的方案：所述L形管安装于所述放置架的外部且向其内部延伸，所述工作台的顶端固定连接有支架，所述弹簧与所述支架的端部固定连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述放置架的顶端开设有供晶圆放置的圆形槽，所述圆形槽的中心位置处开设有与所述吸盘相连通的通孔，且所述吸盘通过连接管与所述L形管固定连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述微型抽气泵的输出端固定连接有输气管，所述输气管的输出端与所述L形管的输入端相连。

作为本实用新型再进一步的方案：插杆的外壁设置有密封件，所述密封件用于提高所述L形管内部的密封性。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

通过设置定位机构、微型抽气泵，使弹簧带动移动杆向L形管外部径向移动，从而将L形管的开口处堵住且内部呈封闭结构，而微型抽气泵运行通过输气管将L形管内部的气体抽出，使L形管内部为负气压，在负气压与正气压的作用下吸盘吸住晶圆，从而对晶圆的位置进行限位，避免放置架带动晶圆移动的过程中出现晃动的情况，导致晶圆偏离喷涂中心位置处，达到提高对晶圆喷涂的效果。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的定位机构结构示意图；

图3为本实用新型的L形管剖视结构示意图。

图中：1、机架；2、工作台；3、X轴滑台组件；4、Y轴滑台组件；5、喷涂枪；6、放置架；7、圆形槽；8、定位机构；801、吸盘；802、L形管；803、移动杆；804、弹簧；805、隔板；806、插孔；807、限位环；808、插杆；9、支架；10、微型抽气泵；11、密封件。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1～3，本实用新型实施例中，一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，包括机架1，机架1的端部安装有X轴滑台组件3，X轴滑台组件3的端部通过安装架滑动连接有喷涂枪5，喷涂枪5用于对晶圆进行涂胶喷涂，机架1的内侧安装有工作台2，工作台2的顶端安装有Y轴滑台组件4，Y轴滑台组件4的顶端滑动连接有放置架6，Y轴滑台组件4用于带动放置架6进行径向移动，放置架6的端部安装有定位机构8，定位机构8用于对晶圆进行限位；

定位机构8包括吸盘801、L形管802、弹簧804、移动组件、卡合组件；

吸盘801安装于放置架6的内部，吸盘801用于吸住晶圆的端面对其进行限位；

拉伸状态的弹簧804用于带动移动组件向L形管802外部径向移动，收缩状态的弹簧804用于带动移动组件向L形管802内部径向移动；

锁止状态的卡合组件用于对L形管802开口进行封闭，解锁状态的卡合组件用于解除对L形管802开口的封闭；

放置架6的另一端端部安装有微型抽气泵10，微型抽气泵10用于对吸盘801提供吸力；

移动组件包括移动杆803和隔板805；

移动杆803径向滑动于L形管802内部，隔板805滑动连接于L形管802内壁，且隔板805与移动杆803端部固定连接；

卡合组件包括插孔806、限位环807、插杆808；

插孔806开设于隔板805内部，限位环807成形于L形管802开口处端部，插杆808固定连接于限位环807的端面，且插孔806与插杆808相卡合，卡合状态的插孔806与插杆808用于对隔板805的移动进行限位，且L形管802内部呈封闭结构；

放置架6的顶端开设有供晶圆放置的圆形槽7，圆形槽7的中心位置处开设有与吸盘801相连通的通孔，且吸盘801通过连接管与L形管802固定连接。

在本实施例中：将晶圆放置在圆形槽7内，通过Y轴滑台组件4运行带动放置架6径向移动，此时弹簧804被拉伸，弹簧804带动移动杆803向L形管802外部径向移动，使隔板805逐渐向限位环807靠近，且插孔806与插杆808相卡合，卡合状态的插孔806与插杆808用对隔板805的移动进行限位，从而将L形管802的开口处堵住，L形管802内部呈封闭结构；

此时微型抽气泵10运行，微型抽气泵10通过输气管将L形管802内部的气体抽出，使L形管802内部为负气压，在负气压与正气压的作用下吸盘801吸住晶圆，从而对晶圆的位置进行限位，避免放置架6带动晶圆移动的过程中出现晃动的情况，导致晶圆偏离喷涂中心位置处，将晶圆平稳运送至喷涂区域，X轴滑台组件3带动喷涂枪5移动，喷涂枪5对晶圆进行涂胶喷涂，从而提高对晶圆喷涂的效果；

当晶圆喷涂完成被送回时，此时弹簧804被收缩，弹簧804带动移动杆803向L形管802内部径向移动，使隔板805逐渐远离限位环807，且插孔806与插杆808分离，从而将L形管802的开口处呈开放状态，使L形管802内的气压和外界的气压相同，不具有气压差，吸盘801解除对晶圆的吸住，从而达到在晶圆被送回的过程中即解除对晶圆限位的效果。

请着重参阅图3，移动杆803的直径小于限位环807的内壁直径，隔板805与限位环807的内侧端面相接触。

在本实施例中：通过弹簧804带动移动杆803向L形管802外部径向移动，使隔板805逐渐向限位环807靠近，且插孔806与插杆808相卡合，卡合状态的插孔806与插杆808用对隔板805的移动进行限位，从而将L形管802的开口处堵住，L形管802内部呈封闭结构。

请着重参阅图1，L形管802安装于放置架6的外部且向其内部延伸，工作台2的顶端固定连接有支架9，弹簧804与支架9的端部固定连接。

在本实施例中：通过Y轴滑台组件4运行带动放置架6径向移动，使放置架6带动弹簧804被拉伸，弹簧804带动移动杆803在L形管802内部径向移动。

请着重参阅图2，微型抽气泵10的输出端固定连接有输气管，输气管的输出端与L形管802的输入端相连。

在本实施例中：通过微型抽气泵10运行，微型抽气泵10通过输气管将L形管802内部的气体抽出，使L形管802内部为负气压，从而在负气压与正气压的作用下吸盘801吸住晶圆。

请着重参阅图3，插杆808的外壁设置有密封件11，密封件11用于提高L形管802内部的密封性。

在本实施例中：当插孔806与插杆808相卡合，密封件11处于插孔806与插杆808卡合的位置，使插孔806与插杆808卡合的更牢固，从而提高L形管802内部的密封性。

以上所述的，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，包括机架（1），所述机架（1）的端部安装有X轴滑台组件（3），所述X轴滑台组件（3）的端部通过安装架滑动连接有喷涂枪（5），所述喷涂枪（5）用于对晶圆进行涂胶喷涂，所述机架（1）的内侧安装有工作台（2），所述工作台（2）的顶端安装有Y轴滑台组件（4），所述Y轴滑台组件（4）的顶端滑动连接有放置架（6），所述Y轴滑台组件（4）用于带动所述放置架（6）进行径向移动，其特征在于，所述放置架（6）的端部安装有定位机构（8），所述定位机构（8）用于对晶圆进行限位；

所述定位机构（8）包括吸盘（801）、L形管（802）、弹簧（804）、移动组件、卡合组件；

所述吸盘（801）安装于所述放置架（6）的内部，所述吸盘（801）用于吸住晶圆的端面对其进行限位；

拉伸状态的所述弹簧（804）用于带动所述移动组件向所述L形管（802）外部径向移动，收缩状态的所述弹簧（804）用于带动所述移动组件向所述L形管（802）内部径向移动；

锁止状态的所述卡合组件用于对所述L形管（802）开口进行封闭，解锁状态的所述卡合组件用于解除对所述L形管（802）开口的封闭；

所述放置架（6）的另一端端部安装有微型抽气泵（10），所述微型抽气泵（10）用于对所述吸盘（801）提供吸力。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，其特征在于，所述移动组件包括移动杆（803）和隔板（805）；

所述移动杆（803）径向滑动于所述L形管（802）内部，所述隔板（805）滑动连接于所述L形管（802）内壁，且所述隔板（805）与所述移动杆（803）端部固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，其特征在于，所述卡合组件包括插孔（806）、限位环（807）、插杆（808）；

所述插孔（806）开设于所述隔板（805）内部，所述限位环（807）成形于所述L形管（802）开口处端部，所述插杆（808）固定连接于所述限位环（807）的端面，且所述插孔（806）与所述插杆（808）相卡合，卡合状态的所述插孔（806）与所述插杆（808）用于对所述隔板（805）的移动进行限位，且所述L形管（802）内部呈封闭结构。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，其特征在于，所述移动杆（803）的直径小于所述限位环（807）的内壁直径，所述隔板（805）与所述限位环（807）的内侧端面相接触。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，其特征在于，所述L形管（802）安装于所述放置架（6）的外部且向其内部延伸，所述工作台（2）的顶端固定连接有支架（9），所述弹簧（804）与所述支架（9）的端部固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，其特征在于，所述放置架（6）的顶端开设有供晶圆放置的圆形槽（7），所述圆形槽（7）的中心位置处开设有与所述吸盘（801）相连通的通孔，且所述吸盘（801）通过连接管与所述L形管（802）固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，其特征在于，所述微型抽气泵（10）的输出端固定连接有输气管，所述输气管的输出端与所述L形管（802）的输入端相连。

8.根据权利要求3所述的一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，其特征在于，所述插杆（808）的外壁设置有密封件（11），所述密封件（11）用于提高所述L形管（802）内部的密封性。