CN113410174B - 吸附机构及吸附系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种吸附机构及吸附系统。本发明中，吸附机构包括：吸盘，吸盘内开设有第一气道和第二气道，且吸盘的底部开设有与第一气道相通的进气孔；吸盘内还设有与第二气道相通且贯穿吸盘的顶部的走气通道；交接装置，交接装置设置在吸盘中；交接装置具有支撑杆，且支撑杆用于在第一气道内通入气体时被气体顶出吸盘的顶部；以及；单向控制阀，设置在吸盘内，连接第一气道和第二气道；其中单向控制阀用于在第一气道内通入气体时关闭，还用于在抽出第一气道内气体时打开。与现有技术相比，使得吸附机构结构简单轻巧、整体尺寸小、且在转动中无线缆干扰，可实现大角度旋转。

Description

吸附机构及吸附系统

技术领域

本发明涉及集成电路装备制造领域，特别涉及吸附机构及吸附系统。

背景技术

在半导体制造工艺设备中，工件台的吸附装置都是需要大角度旋转的，要求工件台的吸盘可以和硅片传输系统完成硅片的交接。常用的硅片交接机构可放置于工件台外部和工件台内部。对于目前放置于工作台外部的的交接机构，虽然可以实现硅片和运动台的交接，但不能随工件台进行大角度旋转；放在工件台内部的交接机构，虽然可以实现硅片和运动台的交接，以及可以随工件台进行大角度旋转，但其尺寸过大，结构也过于复杂。如在美国专利US6390767B1中，提出一种该领域的硅片交接机构，该交接方案主要由固定在框架上的三组接片臂组成，每个接片臂由步进电机驱动上片手完成三个位置的转动，从而可以完成和工件台的硅片交接流程。该交接机构可以完成硅片的交接，但结构较为复杂，也不能实现大角度旋转，且交接用到了电机，控制复杂，还会受到线缆的干扰。

发明内容

本发明的目的在于提供一种吸附机构及吸附系统，使得吸附机构结构简单轻巧、整体尺寸小、且在转动中无线缆干扰，可实现大角度旋转。

为解决上述技术问题，本发明的实施方式提供了一种吸附机构，包括：

吸盘，所述吸盘内开设有第一气道和第二气道，且所述吸盘的底部开设有与所述第一气道相通的进气孔；所述吸盘内还设有与所述第二气道相通且贯穿所述吸盘的顶部的走气通道；

交接装置，所述交接装置设置在所述吸盘中；所述交接装置具有支撑杆，且所述支撑杆用于在所述第一气道内通入气体时被所述气体顶出所述吸盘的顶部；以及；

单向控制阀，设置在所述吸盘内，连接所述第一气道和所述第二气道；其中所述单向控制阀用于在所述第一气道内通入气体时关闭，还用于在抽出所述第一气道内气体时打开。

在一实施例中，所述第一气道径向延伸。

在一实施例中，所述进气孔与所述吸盘同轴设置。

在一实施例中，至少一个所述第一气道具有延伸至所述吸盘侧壁上的第一开口端，所述第一开口端处设置有第一堵头。

在一实施例中，所述第二气道径向延伸。

在一实施例中，所述第二气道具有延伸至所述吸盘侧壁上的第二开口端，所述第二开口端处设置有第二堵头，所述第二堵头上开设有节流孔。

在一实施例中，所述第二气道与多条所述走气通道相连通，且所述多条所述走气通道沿所述第二气道的延伸方向顺次排列。

在一实施例中，一条所述第二气道上的多条所述走气通道贯穿所述吸盘的顶部形成一个吸附区；所述第二气道为多条，多条所述第二气道对应的多个所述吸附区在所述吸盘上均匀分布。

在一实施例中，多个所述吸附区沿所述吸盘周向以相同角度间隔开。

在一实施例中，所述第二气道具有多条，一个所述单向控制阀对应多条所述第二气道中的至少部分。

在一实施例中，所述第一气道与所述第二气道数量相同，且一一对应，相对应的所述第一气道和所述第二气道的延伸方向一致。

在一实施例中，所述交接装置具有多个，且各所述交接装置沿所述吸盘的周向以相同角度间隔开。

在一实施例中，所述交接装置嵌入在所述吸盘中，且至少一个所述第一气道直接或间接地通向所述支撑杆的底面。

在一实施例中，所述交接装置还包括具有内腔的外壳，且所述外壳的顶部不高于所述吸盘的顶部；

所述外壳包括：壳体、设置在所述壳体的顶部的压盖、设置在所述壳体的底部的限位堵头，且所述壳体围绕所述压盖和所述限位堵头形成所述内腔；

所述壳体的侧壁上开设有对接连通所述第一气道和所述内腔的通孔；所述压盖上开设有开口，所述支撑杆与所述壳体的内壁可滑动地密封连接，且所述支撑杆可活动地贯穿所述压盖的开口或收缩进入所述内腔内；

所述限位堵头具有凸出至所述内腔中的凸出部，所述凸出部用于支撑所述支撑杆的下底面；且所述凸出部的顶面高于所述通孔的内壁的下部分

在一实施例中，所述支撑杆具有与所述壳体的内壁可滑动地密封连接的杆体部，以及由所述杆体部向上凸出的顶头，所述顶头可活动地贯穿所述压盖的开口；

所述交接装置还包括：设置在所述外壳内的弹性件，所述弹性件部分嵌入在所述杆体部中，且所述弹性件的两端分别与所述压盖和所述杆体部相抵，其中所述弹性件提供推动所述杆体部朝向所述内腔内滑动的弹力。

在一实施例中，所述单向控制阀上开设有阀体进气口和阀体出气口，所述阀体进气口与所述第二气道相连通，所述阀体出气口与所述第一气道相连通；且所述单向控制阀具有可活动的设置在所述阀体进气口和所述阀体出气口之间的密封件，且所述密封件可操作地打开或封闭所述阀体进气口。

本发明的实施方式还提供了一种吸附系统，包括：

底座，所述底座内具有通气气路；

如上所述的吸附机构，且所述吸附机构的所述进气孔与所述通气气路相对对接；其中所述吸附机构与所述底座连接。

在一实施例中，所述吸附机构与所述底座转动连接，所述底座上固定有定子，以及与所述定子相配合的动子，所述动子与所述吸附机构相固定。

在一实施例中，所述动子与所述定子同轴设置，且所述通气气路具有贯穿所述底座的顶部的对接孔，所述对接孔与所述动子、所述定子同轴设置，且所述对接孔与所述进气孔相对接。

本发明实施方式相对于现有技术而言，由于交接装置直接设置在吸盘中，且通过气体推动实现交接装置承接产品，结构简单精巧，也无线缆连接干扰。同时，单向控制阀连接第一气道和第二气道，通过单向控制阀的关闭，实现交接装置的支撑杆顶出吸盘承接产品时，贯穿所述吸盘的顶部的走气通道不对产品作用，而在单向控制阀开启时交接装置的支撑杆进入吸盘中不对产品作用，走起通道中可形成负压让产品吸附固定在吸盘的顶部，使得产品可稳定的被吸盘带动运动。从而该吸附机构即实现产品的交接工作又可实现带动产品运动，且该结构简单轻巧、整体尺寸小。另外该吸附机构中无线缆干扰，吸盘可大角度旋转不会被缠绕。进一步的，第一气道和第二气道通过单向控制阀可实现相通和断开，即通过相同的进气孔连接外部设备可实现第一气道和第二气道中气体的交互，使得吸附机构在被驱动转动时无需顾虑第一气道和第二气道中需要通过不同的进气口与外部设备连通，让吸附机构的使用装配更为简单，进一步实现吸附机构可被带动360°无限制旋转，满足生产需求。

附图说明

一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。

图1是根据本发明第一实施例中吸附机构的结构示意图；

图2是根据本发明第一实施例中吸附机构安装在底座上的剖视图；

图3是根据本发明第一实施例中吸盘的剖视图；

图4是根据本发明第一实施例中交接装置的结构示意图；

图5是根据本发明第一实施例中单向控制阀的结构示意图；

图6是根据本发明第二实施例中吸附系统的结构示意图；

图7是根据本发明第二实施例中底座的剖视图；

其中，100、吸附机构；1、吸盘；10、进气孔；11、吸附区；2、交接装置；21、支撑杆；211、杆体部；212、顶头；22、外壳；20、内腔；220、通孔；221、壳体；222、压盖；223、限位堵头；2231、凸出部；23、弹性件；24、杆体密封圈；3、单向控制阀；31、阀本体；310、阀体进气口；32、密封件；33、限位螺钉；330、阀体出气口；34、弹簧；4、第一气道；40、第一开口端；41、第一堵头；5、第二气道；50、第二开口端；51、第二堵头；510、节流孔；6、走气通道；7、容纳腔；200、吸附系统；8、底座；81、通气气路；82、密封圈；810、对接孔；91、定子；92、动子。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的各实施方式进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本发明各实施方式中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施方式的种种变化和修改，也可以实现本申请所要求保护的技术方案。

在下文的描述中，出于说明各种公开的实施例的目的阐述了某些具体细节以提供对各种公开实施例的透彻理解。但是，相关领域技术人员将认识到可在无这些具体细节中的一个或多个细节的情况来实践实施例。在其它情形下，与本申请相关联的熟知的装置、结构和技术可能并未详细地示出或描述从而避免不必要地混淆实施例的描述。

除非语境有其它需要，在整个说明书和权利要求中，词语“包括”和其变型，诸如“包含”和“具有”应被理解为开放的、包含的含义，即应解释为“包括，但不限于”。

以下将结合附图对本发明的各实施例进行详细说明，以便更清楚理解本发明的目的、特点和优点。应理解的是，附图所示的实施例并不是对本发明范围的限制，而只是为了说明本发明技术方案的实质精神。

在整个说明书中对“一个实施例”或“一实施例”的提及表示结合实施例所描述的特定特点、结构或特征包括于至少一个实施例中。因此，在整个说明书的各个位置“在一个实施例中”或“在一实施例”中的出现无需全都指相同实施例。另外，特定特点、结构或特征可在一个或多个实施例中以任何方式组合。

如该说明书和所附权利要求中所用的单数形式“一”和“所述”包括复数指代物，除非文中清楚地另外规定。应当指出的是术语“或”通常以其包括“和/或”的含义使用，除非文中清楚地另外规定。

在以下描述中，为了清楚展示本发明的结构及工作方式，将借助诸多方向性词语进行描述，但是应当将“前”、“后”、“左”、“右”、“外”、“内”、“向外”、“向内”、“上”、“下”等词语理解为方便用语，而不应当理解为限定性词语。

下文参照附图描述本发明的实施例。如图1和图2所示，吸附机构100包括：吸盘1、交接装置2和单向控制阀3。吸盘1内开设有第一气道4和第二气道5，且吸盘1的底部开设有与第一气道4相通的进气孔10，吸盘1内还设有与第二气道5相通且贯穿吸盘1的顶部的走气通道6。单向控制阀3设置在吸盘1内，连接第一气道4和第二气道5。单向控制阀3用于在第一气道4内通入气体时关闭，还用于在抽出第一气道4内气体时打开。交接装置2设置在吸盘1中，交接装置2具有支撑杆21，且支撑杆21用于在第一气道4内通入气体时被气体顶出吸盘1的顶部。

单向控制阀3的两端分别连接第一气道4和第二气道5，且能够控制第二气道5中的气体。具体的说，如图2所示，箭头A为通气时，气体从第一气道4进入交接装置2的方向，箭头B为通气时关闭单向控制阀3，气体从第一气道4走向单向控制阀3的方向；箭头C为抽气时打开单向控制阀3，气体在第二气道5中运行的方向。如图2所示，气体通过进气孔10进入到第一气道4中，气体通入第一气道4时气体将交接装置2的支撑杆21顶出吸盘1的顶部，让支撑杆21可承接产品。同时单向控制阀3关闭让气体无法进入到第二气道5中，与第二气道5相连的走气通道6中也无气体排出，走气通道6将不会对产品造成干扰。而在通过进气孔10抽气时，第一气道4的气体被抽出，支撑杆21无气体的推力，支撑杆21复位至吸盘1中，让产品下降至吸盘1上。且单向控制阀3被打开，此时第二气道5和走气通道6内的气体也被抽出，走气通道6在吸盘1顶部的开口处形成负压，可让在吸盘1上的产品被吸附在吸盘1上，产品可被吸盘1稳定固定。产品可为硅片。

如图2中，吸附机构100可旋转安装在底座8上，通过底座8中的通气气路81与进气孔10对接相通，向吸盘1内供气或抽气。吸附机构100也可用于其他底座上。

通过上述内容不难发现，由于交接装置2直接设置在吸盘1中，且通过气体推动实现交接装置2承接产品，结构简单精巧，也无线缆连接干扰。同时，单向控制阀3连接第一气道4和第二气道5，当向吸盘1内供气时，单向控制阀3关闭，实现交接装置2的支撑杆21顶出吸盘1承接产品，且贯穿吸盘1的顶部的走气通道6不对产品作用，而当向吸盘1内抽气时，单向控制阀3开启，交接装置2的支撑杆21进入吸盘1中不对产品作用，走气通道6中可形成负压让产品被吸附固定在吸盘1的顶部，使得产品可稳定的被吸盘1带动运动。从而该吸附机构100即实现产品的交接工作又可实现产品的固定工作，且该结构简单轻巧、整体尺寸小。另外该吸附机构100中无线缆干扰，吸盘1可大角度旋转不会被缠绕。进一步的，第一气道4和第二气道5通过单向控制阀可实现相通和断开，即通过共用的进气孔10连接外部设备可实现第一气道4和第二气道5中气体的交互，使得吸附机构100在被驱动转动时无需顾虑第一气道4和第二气道5中需要通过不同的进气口与外部设备连通，让吸附机构100的使用装配更为简单，进一步实现吸附机构100可被带动360°无限制旋转，满足生产需求。

进一步的，如图2和图3所示，第一气道4径向延伸。且第一气道4可以为1个或多个，第一气道4中可部分径向延伸，也可全部径向延伸。可以理解的，第一气道4也可向其他方向延伸，如第一气道4为一条直线形，但所在直线或其延伸方向不经过吸盘1的中心。另一实施例中，第一气道4包括主通道、与主通道相连通的旁支通道，旁支通道的延伸方向与主通道不同。因此，第一气道4可为如图2所示的经过吸盘1的中心直线形的通道，也可为不经过吸盘1中心的直线通道，或者为有多个分支的通道，或者弯曲等不同造型的通道，在此不再详述。

进一步的，如图2和图3所示，进气孔10与吸盘1同轴设置。当然，在其他实施例中，进气孔10与吸盘1也可不同轴设置。

另外，如图2和图3所示，至少一个第一气道4具有延伸至吸盘1侧壁上的第一开口端40，第一开口端40处设置有第一堵头41。可理解的，具有第一开口端40的第一气道4不局限于图示的第一气道4中。需要说明的是，本实施例中的第一开口端40的作用仅为了使加工方便，可以理解的，在其他实施例中也可以没有第一开口端40。

进一步的，如图2和图3所示，第二气道5径向延伸。且第二气道5可以为1个或多个，第二气道5中可部分径向延伸，也可全部径向延伸。可以理解的，第二气道5也可向其他方向延伸，如第二气道5为一条直线形，但所在直线或其延伸方向不经过吸盘1的中心。另一实施例中，第二气道5包括主通道、与通道相连通的旁支通道，旁支通道的延伸方向与主通道不同。因此，第二气道5可为如图所示的直线形的通道，也可为有多个分支的通道，或者弯曲等不同造型的通道，在此不再详述。

进一步的，如图2和图3所示，第二气道5成直线形，多条走气通道6连通在第二气道5中，且多条走气通道6沿第二气道5的延伸方向顺次排列。在其他实施例中，第二气道5也可不为直线形，第二气道5的延伸方向与图示中不同。

进一步的，如图1、图2和图3所示，一条第二气道5上的多条走气通道6贯穿吸盘1的顶部形成一个吸附区11，即一个吸附区11由多个走气通道6的开口排布构成，第二气道5为多条，多条第二气道5对应的多个吸附区11在吸盘1上均匀分布。可以理解的，吸附区11也可不均匀分布。可如图1和图3所示一个吸附区11中的各走气通道6的开口在一条直线上。在其他实施例中，一个吸附区11中的各走气通道6的开口可按照其他形状布局，形成的吸附区11为圆形、环形、三角形等。

优选的，多个吸附区11沿吸盘1周向以相同角度间隔开。如图1所示，第二气道5为3条，且均径向延伸，走气通道6与其所在的第二气道5竖直设置向上延伸，形成3个吸附区11，相邻的两个吸附区11之间的夹角为120°。可理解的，在其他实施例中第二气道5也可为1条、2条或4条，从而基于第二气道5的数量不同吸附区11的数量也相应的改变。可理解的，在其他实施例中，第二气道5也可不是径向延伸。

另外，如图2和图3所示，第二气道5具有延伸至吸盘1侧壁上的第二开口端50，第二开口端50处设置有第二堵头51，第二堵头51上开设有节流孔510。由于设置有节流孔510，让吸附区11与大气连通，在需要吸盘1放开产品时，停止抽气，吸盘1外的大气通过节流孔510可瞬间通向吸附区11，快速的打破吸附区11上的真空环境，让产品可快速不被吸附区11吸附，提高交接速度。其中，节流孔510直径优选0.5mm。

如图1、图2和图3所示，第二气道5具有3条，单向控制阀3也有3个，一个单向控制阀3对应一条第二气道5。可理解的，第二气道5可不止三条或少于三条，一个单向控制阀3可对应多条第二气道5。如第二气道5有3条时，单向控制阀3可设置1个，此时1个单向控制阀3同时连接三条第二气道5。单向控制阀3也可以是2个，此时3条第二气道5有两条被一个单向控制阀3连接。也就是说，在第二气道5具有多条时，一个单向控制阀3对应多条第二气道5中的几条。也可以是，一条第一气道4和一条第二气道5通过多个单向控制阀3连接。

如图2和图3所示，第一气道4与第二气道5数量相同，且一一对应，相对应的第一气道4和第二气道5的延伸方向一致。在本实施例中，相对应的第一气道4和第二气道5均径向延伸在一条直线上。可理解的，在其他实施例中，相对应的第一气道4和第二气道5延伸方向可一致向其他方向延伸，但不是径向延伸。另外，相对应的第一气道4和第二气道5也可是延伸方向不一致。

如图1所示，交接装置2具有多个，且各交接装置2沿吸盘1的周向以相同角度间隔开。可理解的，交接装置2也可为1个，此时为了稳定支撑产品，可将交接装置2设置在吸盘1中间区域。

具体的说，如图1和图3所示，本实施例中，设置三条第一气道4，一条第一气道4对应设置一个交接装置2。在其他实施例中，也可以是，至少一条第一气道4对应设置多个交接装置2。

进一步的，如图2、图3和图4所示，交接装置2嵌入在吸盘1中，吸盘1上开设有放置交接装置2的容纳腔7中，容纳腔7与第一气道4连通。交接装置2还包括具有内腔20的外壳22，且外壳22的顶部不高于吸盘1的顶部。外壳22包括：壳体221、设置在壳体221的顶部的压盖222、设置在壳体221的底部的限位堵头223，且壳体221围绕压盖222和限位堵头223形成内腔20。壳体221的侧壁上开设有连通第一气道4和内腔20的通孔220。压盖222上开设有开口，支撑杆21与壳体221的内壁可滑动地密封连接，且支撑杆21可活动地贯穿压盖222的开口或收回且整体进入内腔20内。限位堵头223具有凸出至内腔20中的凸出部2231，凸出部2231用于支撑支撑杆21的底面，且凸出部2231的顶面高于通孔220的内壁的下部分。气体通过第一气道4进入到内腔20中且推动支撑杆21向上运动，让支撑杆21高于吸盘1的顶面。抽气时，内腔20对支撑杆21产生负压，支撑杆21下滑进入到内腔20，凸出部2231对支撑杆21进行限位，且支撑杆21的底面与限位堵头223之间一直具有气体进入的空间，可在需求时让气体从支撑杆21的底部推动支撑杆21上滑。如图中，外壳22的左侧和右侧均具有通孔220，气体从外壳22右侧的通孔220进入到内腔20中。外壳22的左侧上的通孔220与第一开口端40相对设置且连通，通过堵头堵住第一开口端40，支撑杆21与壳体221的内壁可滑动地密封连接，从而可实现支撑杆21和限位堵头223之间的腔室的密封。

如图2和图4所示，支撑杆21具有与壳体221的内壁可滑动地密封连接的杆体部211，以及由杆体部211向上凸出的顶头212，顶头212可活动地贯穿压盖222的开口。交接装置2还包括：设置在外壳22内的弹性件23，弹性件23部分嵌入在杆体部211中，且弹性件23的上下两端分别与压盖222和杆体部211相抵，其中弹性件23提供推动杆体部211朝向内腔20内滑动的弹力，该弹性件23可为弹簧或弹片等。在第一气道4内不通入气体时弹性件23可推动支撑杆21向下滑动，直至杆体部211的底端与凸出部2231相抵持，此时顶头212收回进入至内腔20中，不会对产品造成干扰。通过弹性件23的设置，可在不对第一气道4内充入气体时，让支撑杆21自动复位至初始位，即支撑杆21进入吸盘1内，从而在吸盘1吸附产品时，支撑杆21不会对产品造成干扰。

可理解的，在内腔20内可无弹性件23。在第一气道4内的气体撤走后，可手动推动、抽气状态或在支撑杆21本身的重力下，让支撑杆21向下运动至内腔20中。

如图3和图4所示，为了让支撑杆21与外壳22的内壁之间更好的密封，可在支撑杆21与外壳22之间设置杆体密封圈24。

在其他实施例中，交接装置2也可为其他结构，如交接装置2没有外壳22，支撑杆21直接与容纳腔7滑动连接，容纳腔7连通至第一气道4，让第一气道4内的气体可通向支撑杆21的底面。

另外，为了稳定的接住产品，在向第一气道4通入气体，使支撑杆21上升至各支撑杆21的顶部共面。

进一步的，如图3和图4所示，至少一个第一气道4直接或间接地通向支撑杆21的底面。在第一气道4直接通向支撑杆21的底面时，第一气道4可直接延伸至容纳腔7中，支撑杆21在滑至吸盘1内后可部分位于第一气道4中，即第一气道4直接在支撑杆21的底面。第一气道4间接的通向支撑杆21的底面时，第一气道4未直接通至支撑杆21的底面，第一气道4连接至容纳腔7的侧边，与容纳腔7相通；或者第一气道4内的气体通过中间介质推动支撑杆21，中间介质可为杆体或管道等。

另外，如图2和图5所示，单向控制阀3上开设有阀体进气口310和阀体出气口330，阀体进气口310与第二气道5相连通，阀体出气口330与第一气道4相连通；且单向控制阀3具有可活动的设置在阀体进气口310和阀体出气口330之间的密封件32，且密封件32可操作地打开或封闭阀体进气口310。在向吸盘1内充入气体，气体在第一气道4内沿箭头B方向从阀体出气口330进入，推动密封件32密封阀体进气口310，让单向控制阀3始终关闭，从而吸附区11不会有负压或正压产生。在抽气时，在图2中沿箭头C的方向(即图5中箭头D的方向)气体从阀体进气口310推动密封件32朝向阀体出气口330方向运动，阀体进气口310打开，此时单向控制阀3打开，吸附区11内形成负压可吸附产品。

进一步的，如图2和图5所示，单向控制阀3包括阀本体31、限位螺钉33和弹簧34，阀本体31的右端开设有阀体进气口310，限位螺钉33插入在阀本体31的左端，限位螺钉33上开设有阀体出气口330，即阀体进气口310位于阀体出气口330和走气通道6之间。密封件32和弹簧34设置在阀本体31中，位于阀体进气口310和阀体出气口330之间。弹簧34的一端与限位螺钉33抵持，另一端与密封件32连接，弹簧34具有推动密封件32朝向阀体进气口310运动的推力，且在无外力作用时密封件32与阀本体31开设有阀体进气口310的一侧相抵持，密封件32密封阀体进气口310。在向吸盘1内充入气体，气体在第一气道4内沿箭头B方向从阀体出气口330进入到阀本体31内，气体推动密封件32，密封件32堵住阀体进气口310，气体无法从阀体进气口310进入至第二气道5中，从而吸附区11不会对产品作用。在抽气时，在图2中沿箭头C的方向(即图5中箭头D的方向)气体从阀体进气口310推动密封件32朝向限位螺钉33运动，阀体进气口310打开，气体进入至阀本体31中从阀体出气口330排出流向至进气孔10，此时单向控制阀3打开，吸附区11内形成负压可吸附产品。在停止抽气后，弹簧34可推动密封件32复位，单向控制阀3维持初始关闭状态，此时气体不能通过单向控制阀3。

可理解的，单向控制阀3也可为其他结构，同样通过气体的流动实现单向控制阀3的打开。在其他实施例中单向控制阀3可以为电子阀。

本发明的第二实施方式涉及一种吸附系统200。如图6和图7所示，吸附系统200包括：底座8和第一实施例中的吸附机构100，底座8内具有通气气路81，且吸附机构100的进气孔10与通气气路81相对对接，其中吸附机构100与底座8连接。通气气路81在底座8中可以为一条也可为多条。

如图2和图7所示，吸附机构100与底座8转动连接，底座8上固定有定子91，以及与定子91相配合的动子92，动子92与吸附机构100相固定。

进一步的，如图2和图7所示，动子92与定子91同轴设置，且通气气路81具有贯穿底座8的顶部的对接孔810，对接孔810与动子92、定子91同轴设置，且对接孔810与进气孔10相对接。具体的说，底座8的上表面具有环绕对接孔810设置的密封圈82，吸盘1的底面与密封圈82相抵持且可转动连接，进气孔10位于对接孔810的上方，密封圈82圈住进气孔10和对接孔810之间的区域，气体从对接孔810中排出后可进入到进气孔10中或从进气孔10中抽出后进入到对接孔810中。从而通过一个对接孔810与一个进气孔10对接，可实现吸盘1对产品的交接工作或吸附工作，且动子92与定子91配合驱动吸盘1相对于底座8可做360°无限制旋转，让吸盘1与底座8的配合结构简单，吸附系统200的结构更为精简。在其他实施例中，进气孔10也可有多个，多个进气孔10与一个对接孔810对接。

进一步的，如图2和图7所示，对接孔810直接与进气孔10对接，进气孔10与对接孔810、动子92、定子91同轴设置；在其他实施例中，进气孔10也可不同轴设置，可通过设置与动子92、定子91同轴的环形槽或其他形式，来连通进气孔10和对接孔810。不难发现，本实施方式为与第一实施方式相对应的系统实施例，本实施方式可与第一实施方式互相配合实施。第一实施方式中提到的相关技术细节在本实施方式中依然有效，为了减少重复，这里不再赘述。相应地，本实施方式中提到的相关技术细节也可应用在第一实施方式中。

本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本发明的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本发明的精神和范围。

Claims (19)

1.一种吸附机构，其特征在于，包括：

吸盘，所述吸盘内开设有第一气道和第二气道，且所述吸盘的底部开设有与所述第一气道相通的进气孔；所述吸盘内还设有与所述第二气道相通且贯穿所述吸盘的顶部的走气通道；

交接装置，所述交接装置设置在所述吸盘中；所述交接装置具有支撑杆，且所述支撑杆

用于在所述第一气道内通入气体时被所述气体顶出所述吸盘的顶部；以及；

单向控制阀，设置在所述吸盘内，连接所述第一气道和所述第二气道；其中所述单向控制阀用于在所述第一气道内通入气体时关闭，还用于在抽出所述第一气道内气体时打开。

2.根据权利要求1所述的吸附机构，其特征在于，所述第一气道径向延伸。

3.根据权利要求2所述的吸附机构，其特征在于，所述进气孔与所述吸盘同轴设置。

4.根据权利要求1或2所述的吸附机构，其特征在于，至少一个所述第一气道具有延伸至所述吸盘侧壁上的第一开口端，所述第一开口端处设置有第一堵头。

5.根据权利要求1所述的吸附机构，其特征在于，所述第二气道径向延伸。

6.根据权利要求1或5所述的吸附机构，其特征在于，所述第二气道具有延伸至所述吸盘侧壁上的第二开口端，所述第二开口端处设置有第二堵头，所述第二堵头上开设有节流孔。

7.根据权利要求1或5所述的吸附机构，其特征在于，所述第二气道与多条所述走气通道相连通，且所述多条所述走气通道沿所述第二气道的延伸方向顺次排列。

8.根据权利要求1所述的吸附机构，其特征在于，一条所述第二气道上的多条所述走气通道贯穿所述吸盘的顶部形成一个吸附区；所述第二气道为多条，多条所述第二气道对应的多个所述吸附区在所述吸盘上均匀分布。

9.根据权利要求8所述的吸附机构，其特征在于，多个所述吸附区沿所述吸盘周向以相同角度间隔开。

10.根据权利要求1所述的吸附机构，其特征在于，所述第二气道具有多条，一个所述单向控制阀对应多条所述第二气道中的至少部分。

11.根据权利要求1所述的吸附机构，其特征在于，所述第一气道与所述第二气道数量相同，且一一对应，相对应的所述第一气道和所述第二气道的延伸方向一致。

12.根据权利要求1所述的吸附机构，其特征在于，所述交接装置具有多个，且各所述交接装置沿所述吸盘的周向以相同角度间隔开。

13.根据权利要求1所述的吸附机构，其特征在于，所述交接装置嵌入在所述吸盘中，且至少一个所述第一气道直接或间接地通向所述支撑杆的底面。

14.根据权利要求13所述的吸附机构，其特征在于，所述交接装置还包括具有内腔的外壳，且所述外壳的顶部不高于所述吸盘的顶部；

所述外壳包括：壳体、设置在所述壳体的顶部的压盖、设置在所述壳体的底部的限位堵头，且所述壳体围绕所述压盖和所述限位堵头形成所述内腔；

所述壳体的侧壁上开设有对接连通所述第一气道和所述内腔的通孔；所述压盖上开设有开口，所述支撑杆与所述壳体的内壁可滑动地密封连接，且所述支撑杆可活动地贯穿所述压盖的开口或收缩进入所述内腔内；

所述限位堵头具有凸出至所述内腔中的凸出部，所述凸出部用于支撑所述支撑杆的下底面；且所述凸出部的顶面高于所述通孔的内壁的下部分。

15.根据权利要求14所述的吸附机构，其特征在于，所述支撑杆具有与所述壳体的内壁可滑动地密封连接的杆体部，以及由所述杆体部向上凸出的顶头，所述顶头可活动地贯穿所述压盖的开口；

所述交接装置还包括：设置在所述外壳内的弹性件，所述弹性件部分嵌入在所述杆体部中，且所述弹性件的两端分别与所述压盖和所述杆体部相抵，其中所述弹性件提供推动所述杆体部朝向所述内腔内滑动的弹力。

16.根据权利要求1所述的吸附机构，其特征在于，所述单向控制阀上开设有阀体进气口和阀体出气口，所述阀体进气口与所述第二气道相连通，所述阀体出气口与所述第一气道相连通；且所述单向控制阀具有可活动的设置在所述阀体进气口和所述阀体出气口之间的密封件，且所述密封件可操作地打开或封闭所述阀体进气口。

17.一种吸附系统，其特征在于，包括：

底座，所述底座内具有通气气路；

如权利要求1-16中任意一项所述的吸附机构，且所述吸附机构的所述进气孔与所述通气气路相对对接；其中所述吸附机构与所述底座连接。

18.根据权利要求17所述的吸附系统，其特征在于，所述吸附机构与所述底座转动连接，所述底座上固定有定子，以及与所述定子相配合的动子，所述动子与所述吸附机构相固定。

19.根据权利要求18所述的吸附系统，其特征在于，所述动子与所述定子同轴设置，且所述通气气路具有贯穿所述底座的顶部的对接孔，所述对接孔与所述动子、所述定子同轴设置，且所述对接孔与所述进气孔相对接。