CN211907397U - 一种用于单晶硅片的清洗沥干装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于单晶硅片的清洗沥干装置，包括清洗箱，所述清洗箱内部底端两侧分别开设有沥干槽和超声波清洗槽。本实用新型在进行清洗和沥干时先把硅片放置到清洗框内部，再通过控制面板启动移动机构带动电动伸缩杆、清洗框移动到超声波清洗槽上端，再通过控制面板启动电动伸缩杆并带动清洗框往下移动，且使清洗框与超声波清洗槽内部接触进行超声波清洗，当清洗完成后在通过电动伸缩杆带动清洗框上移动并与超声波清洗槽内部分离，再通过控制面板启动移动机构把清洗框移动到沥干槽上端，再启动电动伸缩杆使清洗框移动到沥干槽内部，再通过控制面板同时启动电动风机对放置在清洗框内部的硅片进行沥干即可。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅片技术领域，具体为一种用于单晶硅片的清洗沥干装置。
背景技术
单晶硅片，硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件、太阳能电池等，用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成；
传统的一种用于单晶硅片的清洗沥干装置存在以下不足；
目前，单晶硅片在生产时需要使用到很多的步骤，而在对单晶硅片进行清洗沥干时都是分开操作的缺少防护性。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于单晶硅片的清洗沥干装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于单晶硅片的清洗沥干装置，包括清洗箱，所述清洗箱内部底端两侧分别开设有沥干槽和超声波清洗槽，所述清洗箱内部上端中部之间固定设置有导杆，所述导杆左侧固定设置有移动机构，所述移动机构底端固定设置有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆底端固定设置有清洗框，所述沥干槽内部两侧均开设有凹槽，所述凹槽内部上端与下端均固定设置有安装架，所述安装架在远离凹槽的一侧之间均固定设置有电动风机，所述清洗箱外部右侧上端固定设置有控制面板，所述控制面板通过导线分别与移动机构、电动伸缩杆和电动风机电性连接。
优选的，所述清洗箱外部左侧中上端开设有通槽且通槽内部固定设置有挡板。
优选的，所述清洗箱底端左侧在位于沥干槽的相对位置固定设置有接收盒，所述接收盒顶端四周与清洗箱之间固定设置有连接轴板。
优选的，所述清洗箱底端右侧在位于沥干槽的相对位置固定设置有放水头，所述清洗箱外部右侧中部固定设置有进水头。
优选的，所述清洗箱顶端固定设置有盖板，所述电动风机与凹槽之间均存在间隙。
优选的，所述清洗框外部均开设有若干圆孔，所述清洗框呈橡胶材质制成。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型在进行清洗和沥干时先把硅片放置到清洗框内部，再通过控制面板启动移动机构带动电动伸缩杆、清洗框移动到超声波清洗槽上端，再通过控制面板启动电动伸缩杆并带动清洗框往下移动，且使清洗框与超声波清洗槽内部接触进行超声波清洗，当清洗完成后在通过电动伸缩杆带动清洗框上移动并与超声波清洗槽内部分离，再通过控制面板启动移动机构把清洗框移动到沥干槽上端，再启动电动伸缩杆使清洗框移动到沥干槽内部，再通过控制面板同时启动电动风机对放置在清洗框内部的硅片进行沥干即可，这样的结构操作起来更加的快捷；
2、本实用新型同时在通过清洗框进行清洗和沥干后，通过移动机构把清洗框移动到清洗箱内部左侧位于挡板的相对位置，再把挡板打开从而使清洗框与电动伸缩杆底端分离，再对清洗框内部的硅片进行更换依次循环，且在进行清洗与沥干的过程都是在清洗箱内部操作完成，这样在清洗沥干时便于增加硅片的防护性。
附图说明
图1为本实用新型一种用于单晶硅片的清洗沥干装置整体结构示意图；
图2为本实用新型一种用于单晶硅片的清洗沥干装置中的图1中A处放大的结构图；
图3为本实用新型一种用于单晶硅片的清洗沥干装置中的图1中B处放大的结构图。
图中：1、导杆；2、移动机构；3、清洗箱；4、电动伸缩杆；5、挡板；6、清洗框；7、电动风机；8、接收盒；9、沥干槽；10、超声波清洗槽；11、进水头；12、控制面板；13、凹槽；14、安装架；15、连接轴板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种用于单晶硅片的清洗沥干装置，包括清洗箱3，清洗箱3内部底端两侧分别开设有沥干槽9和超声波清洗槽10，清洗箱3内部上端中部之间固定安装有导杆1，导杆1左侧固定安装有移动机构2，移动机构2底端固定安装有电动伸缩杆4，电动伸缩杆4底端固定安装有清洗框6，沥干槽9内部两侧均开设有凹槽13，凹槽13内部上端与下端均固定安装有安装架14，安装架14在远离凹槽13的一侧之间均固定安装有电动风机7，清洗箱3外部右侧上端固定安装有控制面板12，控制面板12通过导线分别与移动机构2、电动伸缩杆4和电动风机7电性连接。
清洗箱3外部左侧中上端开设有通槽且通槽内部固定安装有挡板5，这样在通过清洗框6进行清洗和沥干后，通过移动机构2把清洗框6移动到清洗箱3内部左侧位于挡板5的相对位置，再把挡板5打开从而使清洗框6与电动伸缩杆4底端分离，再对清洗框6内部的硅片进行更换依次循环，且在进行清洗与沥干的过程都是在清洗箱3内部操作完成；清洗箱3底端左侧在位于沥干槽9的相对位置固定安装有接收盒8，接收盒8顶端四周与清洗箱3之间固定安装有连接轴板15，这样便于通过接收盒8对沥干槽9内部的液体水进行收集便于进行集中的清理；清洗箱3底端右侧在位于沥干槽9的相对位置固定安装有放水头，清洗箱3外部右侧中部固定安装有进水头11，这样便于通过放水头和进水头11的配合使用对超声波清洗槽10内部的水量进行灵活的控制；清洗箱3顶端固定安装有盖板，电动风机7与凹槽13之间均存在间隙，这样便于通过盖板对清洗箱3内部进行清理和维修；清洗框6外部均开设有若干圆孔，清洗框6呈橡胶材质制成，这样便于通过圆孔对清洗框6内部进行的水份进行过滤。
工作原理：本实用新型在进行清洗和沥干时先把硅片放置到清洗框6内部，再通过控制面板12启动移动机构2带动电动伸缩杆4、清洗框6移动到超声波清洗槽10上端，再通过控制面板12启动电动伸缩杆4并带动清洗框6往下移动，且使清洗框6与超声波清洗槽10内部接触进行超声波清洗，当清洗完成后在通过电动伸缩杆4带动清洗框6上移动并与超声波清洗槽10内部分离，再通过控制面板12启动移动机构2把清洗框6移动到沥干槽9上端，再启动电动伸缩杆4使清洗框6移动到沥干槽9内部，再通过控制面板12同时启动电动风机7对放置在清洗框6内部的硅片进行沥干即可，这样的结构操作起来更加的快捷，同时在通过清洗框6进行清洗和沥干后，通过移动机构2把清洗框6移动到清洗箱3内部左侧位于挡板5的相对位置，再把挡板5打开从而使清洗框6与电动伸缩杆4底端分离，再对清洗框6内部的硅片进行更换依次循环，且在进行清洗与沥干的过程都是在清洗箱3内部操作完成，这样在清洗沥干时便于增加硅片的防护性。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种用于单晶硅片的清洗沥干装置，包括清洗箱（3），其特征在于：所述清洗箱（3）内部底端两侧分别开设有沥干槽（9）和超声波清洗槽（10），所述清洗箱（3）内部上端中部之间固定设置有导杆（1），所述导杆（1）左侧固定设置有移动机构（2），所述移动机构（2）底端固定设置有电动伸缩杆（4），所述电动伸缩杆（4）底端固定设置有清洗框（6），所述沥干槽（9）内部两侧均开设有凹槽（13），所述凹槽（13）内部上端与下端均固定设置有安装架（14），所述安装架（14）在远离凹槽（13）的一侧之间均固定设置有电动风机（7），所述清洗箱（3）外部右侧上端固定设置有控制面板（12），所述控制面板（12）通过导线分别与移动机构（2）、电动伸缩杆（4）和电动风机（7）电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片的清洗沥干装置，其特征在于：所述清洗箱（3）外部左侧中上端开设有通槽且通槽内部固定设置有挡板（5）。
3.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片的清洗沥干装置，其特征在于：所述清洗箱（3）底端左侧在位于沥干槽（9）的相对位置固定设置有接收盒（8），所述接收盒（8）顶端四周与清洗箱（3）之间固定设置有连接轴板（15）。
4.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片的清洗沥干装置，其特征在于：所述清洗箱（3）底端右侧在位于沥干槽（9）的相对位置固定设置有放水头，所述清洗箱（3）外部右侧中部固定设置有进水头（11）。
5.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片的清洗沥干装置，其特征在于：所述清洗箱（3）顶端固定设置有盖板，所述电动风机（7）与凹槽（13）之间均存在间隙。
6.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片的清洗沥干装置，其特征在于：所述清洗框（6）外部均开设有若干圆孔，所述清洗框（6）呈橡胶材质制成。
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| CN202021018504.3U CN211907397U (zh) | 2020-06-05 | 2020-06-05 | 一种用于单晶硅片的清洗沥干装置 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112871863A (zh) * | 2021-01-14 | 2021-06-01 | 上海晶石陶瓷有限公司 | 一种节能型耐腐蚀陶瓷轴套加工用超声波清洗机 |
| CN112971172A (zh) * | 2020-12-24 | 2021-06-18 | 东台捷尔银杏科技有限公司 | 一种银杏果快速清洗沥干装置 |
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2020
- 2020-06-05 CN CN202021018504.3U patent/CN211907397U/zh not_active Expired - Fee Related
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| CN112871863A (zh) * | 2021-01-14 | 2021-06-01 | 上海晶石陶瓷有限公司 | 一种节能型耐腐蚀陶瓷轴套加工用超声波清洗机 |
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