CN215466595U - 一种amoled金属掩膜板智能清洗设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备，涉及金属掩膜板清洗技术领域，包括固定架、攀爬架和机体，所述机体内部顶端的一端安装有超声水槽，且机体顶端的两侧设置有横向电动滑轨，且横向滑块的顶端竖向安装有固定架，所述固定架内部的两侧竖向设置有竖向电动滑轨，所述竖向滑块一侧的固定架内部横向安装有固定板，且固定板的下方设置有夹持板，所述机体远离超声水槽的一端设置有攀爬架，所述机体一侧的底端安装有底板，且底板顶端靠近攀爬架的一端竖向安装有电控箱。本实用新型通过设置过滤器和超声水槽，实现纯水清洗，避免使用化学药液进行表面清洁动作，保证环保水准，提高设备使用环保节能性。

Description

一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备

技术领域

本实用新型涉及金属掩膜板清洗技术领域，具体为一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备。

背景技术

掩膜板是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版接，其使用十分广泛，尤其在AMOELD制程中，在蒸镀设备使用上不可缺少的重要金属掩膜板，而当此金属掩模板表面不干净时，在蒸镀过程中会使得产品良率下降，故金属掩膜板表面洁净度更是为重要，但现有金属掩膜板智能清洗设备仍有一定的缺陷。

经过检索，中国专利授权公告号CN109382365A，公告日2019年02月26日，公开了一种用于金属掩膜板的清洗系统，文中提出“车间内地面上放置有一排若干个清洗槽，清洗槽后端装有脱水槽，车间内位于清洗槽上方装有两根纵向梁，两根纵向梁上装有机械手，清洗系统还包括用于装载金属掩膜板的吊具，机械手可以将吊具进行升降或平移；所述清洗槽包括鼓泡清洗槽、酒精清洗槽”，其清洗较为干净，但其使用酒精等化学药液进行表面清洁动作，不易达到环保水准，鉴于此，针对上述问题，深入研究，遂有本案产生。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备，以解决上述背景技术中提出的不易达到环保水准的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备，包括固定架、攀爬架和机体，还包括保证对工件夹持稳定性的微调机构和提高设备环保性的清洗机构；

所述机体内部顶端的一端安装有超声水槽，且机体顶端的两侧设置有横向电动滑轨，所述横向电动滑轨的顶端滑动连接有横向滑块，且横向滑块的顶端竖向安装有固定架，所述固定架内部的两侧竖向设置有竖向电动滑轨，且竖向电动滑轨的表面滑动连接有竖向滑块，所述竖向滑块一侧的固定架内部横向安装有固定板，且固定板的下方设置有夹持板，所述夹持板一端一侧的上端和下端设置有固定块，且固定块一端的中间位置处转动连接有阻尼转动压杆，所述微调机构设置在固定板内部上端的中间位置处；

所述机体远离超声水槽的一端设置有攀爬架，且攀爬架底端的两端等间距安装有万向轮，所述机体一侧的底端安装有底板，且底板顶端靠近攀爬架的一端竖向安装有电控箱，所述电控箱一端的上端设置有PLC控制器，且清洗机构设置在电控箱另一端的底板顶端。

优选的，所述清洗机构包括水箱，所述水箱竖向安装在电控箱另一端的底板顶端，且水箱一侧的底板顶端竖向安装有过滤器，所述过滤器的一端通过导管与水箱内部的一端连通，且水箱下方的底板顶端两端安装有水泵，所述水泵的输出端通过导管与超声水槽内部一端连通，且水泵的输入端通过导管与过滤器一端连通，所述超声水槽内部的两侧等间距安装有加热棒，且超声水槽内部一端上端的中间位置处安装有光电液位感应器。

优选的，所述竖向滑块和横向滑块的形状均为倒C型，且竖向滑块和横向滑块关于机体的竖向中轴线对称分布。

优选的，所述夹持板一端的顶端和底端横向安装有限位槽，且限位槽的形状为U型。

优选的，所述夹持板一端远离固定块一侧的中间位置处安装有阻挡块，且阻挡块的形状为工字型。

优选的，所述微调机构包括伺服电机、预留槽、连接杆、活动板、齿条、转杆、从动齿轮、辅助齿轮、链条和主动齿轮，所述伺服电机安装在固定板内部上端的中间位置处，且伺服电机的输出端通过转轴安装有主动齿轮，所述夹持板靠近超声水槽一端上端的中间位置处转动连接有转杆，且转杆表面的两端分别安装有辅助齿轮和从动齿轮，所述从动齿轮和伺服电机之间设置有相啮合的链条，所述夹持板内部中间位置处的上端和下端横向开设有预留槽，且固定块一端安装有贯穿预留槽的连接杆，所述连接杆的一端竖向安装有活动板，且活动板顶端横向安装有与辅助齿轮相啮合的齿条。

优选的，所述预留槽两端分别与活动板和固定块的一端之间呈焊接一体化结构，且连接杆与预留槽的内部之间构成滑动结构。

与相关技术相比较，本实用新型提供的一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备具有如下有益效果：

1、本实用新型提供有过滤器、水箱和超声水槽，利用水泵工作，将水箱内部的水吸出，同时设置过滤器将水中的杂质进行过滤吸附，避免杂质影响工件表面的洁净度，从而将纯水通过导管输送至超声水槽内部，且设置光电液位感应器实时检测超声水槽内部的液位高度，避免液位过高，导致清洗时水位的溢出，影响车间卫生的同时，也易造成水资源的浪费，之后启动加热棒对超声水槽内部的进行加热，保证最佳的清洗温度，提高清洗效果，从而实现纯水清洗，避免使用化学药液进行表面清洁动作，保证环保水准，提高设备使用环保节能性，从而解决了环保性较差的问题；

2、本实用新型提供有微调机构、固定块和阻尼转动压杆，利用伺服电机工作带动主动齿轮转动，使得链条开始转动，从而使得转杆转动带动辅助齿轮的转动，进而使得活动板移动带动连接杆在预留槽内部滑动，带动固定块往工件方向移动，当移动至合适位置后，再转动阻尼转动压杆，使得阻尼转动压杆一端往工件方向移动，进而对工件进一步限位固定，实现对工件的微调固定，保证工件夹持的稳定性，避免因夹持不稳定而影响清洗效率，严重时导致自动化工作时工件的脱落，造成生产经济损失，从而解决了不便微调夹持工件的问题。

附图说明

图1为本实用新型的三维剖面结构示意图；

图2为本实用新型的正视剖面结构示意图；

图3为本实用新型的俯视剖面结构示意图；

图4为本实用新型的超声水槽处俯视剖面结构示意图；

图5为本实用新型图的夹持板处侧视结构示意图；

图6为本实用新型图的夹持板处后视结构示意图。

图中：1、固定架；2、竖向滑块；3、竖向电动滑轨；4、夹持板；5、横向滑块；6、横向电动滑轨；7、攀爬架；8、机体；9、万向轮；10、底板；11、电控箱；12、过滤器；13、水箱；14、PLC控制器；15、超声水槽；16、限位槽；17、固定板；18、微调机构；1801、伺服电机；1802、预留槽；1803、连接杆；1804、活动板；1805、齿条；1806、转杆；1807、从动齿轮；1808、辅助齿轮；1809、链条；1810、主动齿轮；19、水泵；20、加热棒；21、光电液位感应器；22、固定块；23、阻尼转动压杆；24、阻挡块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1：请参阅图1－6，一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备，包括固定架1、攀爬架7和机体8，还包括保证对工件夹持稳定性的微调机构18和提高设备环保性的清洗机构；

机体8内部顶端的一端安装有超声水槽15，且机体8顶端的两侧设置有横向电动滑轨6，该横向电动滑轨6的型号可为HK85B，横向电动滑轨6的顶端滑动连接有横向滑块5，且横向滑块5的顶端竖向安装有固定架1，固定架1内部的两侧竖向设置有竖向电动滑轨3，该竖向电动滑轨3的型号可为AMB60－S47，且竖向电动滑轨3的表面滑动连接有竖向滑块2，竖向滑块2一侧的固定架1内部横向安装有固定板17，且固定板17的下方设置有夹持板4，夹持板4一端一侧的上端和下端设置有固定块22，且固定块22一端的中间位置处转动连接有阻尼转动压杆23，微调机构18设置在固定板17内部上端的中间位置处；

机体8远离超声水槽15的一端设置有攀爬架7，且攀爬架7底端的两端等间距安装有万向轮9，机体8一侧的底端安装有底板10，且底板10顶端靠近攀爬架7的一端竖向安装有电控箱11，电控箱11一端的上端设置有PLC控制器14，该PLC控制器14的型号可为FX3SA－10MT－CM，且清洗机构设置在电控箱11另一端的底板10顶端；

请参阅图1－6，一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备还包括清洗机构，清洗机构包括水箱13，水箱13竖向安装在电控箱11另一端的底板10顶端，且水箱13一侧的底板10顶端竖向安装有过滤器12，过滤器12的一端通过导管与水箱13内部的一端连通，且水箱13下方的底板10顶端两端安装有水泵19，该水泵19的型号可为25ZW8－15，水泵19的输出端通过导管与超声水槽15内部一端连通，且水泵19的输入端通过导管与过滤器12一端连通，超声水槽15内部的两侧等间距安装有加热棒20，该加热棒20的型号可为PT100，且超声水槽15内部一端上端的中间位置处安装有光电液位感应器21，该光电液位感应器21的型号可为THC5－16；

竖向滑块2和横向滑块5的形状均为倒C型，且竖向滑块2和横向滑块5关于机体8的竖向中轴线对称分布；

夹持板4一端的顶端和底端横向安装有限位槽16，且限位槽16的形状为U型；

夹持板4一端远离固定块22一侧的中间位置处安装有阻挡块24，且阻挡块24的形状为工字型；

具体地，如图1、图2、图3和图4所示，通过启动水泵19，将水箱13内部的水吸出，同时设置过滤器12将水中的杂质进行过滤吸附，从而将纯水通过导管输送至超声水槽15内部，且设置光电液位感应器21实时检测超声水槽15内部的液位高度，避免液位过高，之后启动加热棒20对超声水槽15内部的进行加热，保证最佳的清洗温度，提高清洗效果，从而实现纯水清洗，保证环保水准，且利用倒C型的竖向滑块2和横向滑块5，保证夹持板4竖向横向移动的稳定性，同时设置U型的限位槽16和工字型的阻挡块24，便于对工件的夹持，便于清洗作业的顺利进行。

实施例2：微调机构18包括伺服电机1801、预留槽1802、连接杆1803、活动板1804、齿条1805、转杆1806、从动齿轮1807、辅助齿轮1808、链条1809和主动齿轮1810，伺服电机1801安装在固定板17内部上端的中间位置处，该伺服电机1801的型号可为F－3420－1，且伺服电机1801的输出端通过转轴安装有主动齿轮1810，夹持板4靠近超声水槽15一端上端的中间位置处转动连接有转杆1806，且转杆1806表面的两端分别安装有辅助齿轮1808和从动齿轮1807，从动齿轮1807和伺服电机1801之间设置有相啮合的链条1809，夹持板4内部中间位置处的上端和下端横向开设有预留槽1802，且固定块22一端安装有贯穿预留槽1802的连接杆1803，连接杆1803的一端竖向安装有活动板1804，且活动板1804顶端横向安装有与辅助齿轮1808相啮合的齿条1805；

预留槽1802两端分别与活动板1804和固定块22的一端之间呈焊接一体化结构，且连接杆1803与预留槽1802的内部之间构成滑动结构；

具体地，如图1、图2和图3所示，通过伺服电机1801工作带动主动齿轮1810转动，使得链条1809开始转动，从而使得转杆1806转动带动辅助齿轮1808的转动，进而使得活动板1804移动带动连接杆1803在预留槽1802内部滑动，带动固定块22往工件方向移动，当移动至合适位置后，再转动阻尼转动压杆23，使得阻尼转动压杆23一端往工件方向移动，进而对工件进一步限位固定，实现对工件的微调固定，保证工件夹持的稳定性。

PLC控制器14的输出端通过导线与伺服电机1801、水泵19和加热棒20的输入端电连接，且PLC控制器14的输出端与光电液位感应器21的输入端电性连接。

工作原理：使用本装置时，首先将本设备安装固定好，并通过万向轮9使得攀爬架7移动至机体8一端并进行限位固定，便于工作人员走上攀爬架7并进行相应的操作或维护，之后外接电源，将工件置于夹持板4一端，并利用U型的限位槽16对工件进行初步限位固定，同时使得工件一端卡入阻挡块24内部，提高固定效果；

第一创新点实施步骤：

第一步：之后启动伺服电机1801带动主动齿轮1810转动，利用主动齿轮1810和链条1809的啮合，使得链条1809开始转动；

第二步：再利用相互啮合带动从动齿轮1807转动，从而使得转杆1806转动带动辅助齿轮1808的转动，同时利用辅助齿轮1808与齿条1805之间的啮合关系，使得活动板1804移动带动连接杆1803在预留槽1802内部滑动，从而使得固定块22往工件方向移动；

第三步：当移动至合适位置后，再转动阻尼转动压杆23，使得阻尼转动压杆23一端往工件方向移动，进而对工件进一步限位固定，保证工件夹持的稳定性。

再启动竖向电动滑轨3，使得竖向滑块2在竖向电动滑轨3表面往上滑动，从而使得固定板17上升带动夹持板4上升，当夹持板4底端高于超声水槽15顶端高度后，再启动横向电动滑轨6，使得横向滑块5在其表面滑动带动固定架1移动，直至夹持板4移动至超声水槽15正上方，之后启动竖向电动滑轨3，使得夹持板4带动工件完全进入超声水槽15内部；

第二创新点实施步骤：

第一步：启动水泵19，将水箱13内部的水吸出，同时设置过滤器12将水中的杂质进行过滤吸附，从而将纯水通过导管输送至超声水槽15内部；

第二步：且设置光电液位感应器21实时检测超声水槽15内部的液位高度，当水位超过超声水槽15自身预定值后，超声水槽15将此信号传递给PLC控制器14，由PLC控制器14控制水泵19停止工作，避免液位过高；

第三步：再启动加热棒20对超声水槽15内部的进行加热，保证最佳的清洗温度，提高清洗效果，从而实现纯水清洗，保证环保水准。

当清洗完成后，再反向重复上述操作，将清洗后的工件取出并放下，之后进行下一工件的清洗作业，实现自动化清洗，提高清洗效率。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备，包括固定架(1)、攀爬架(7)和机体(8)，其特征在于：还包括保证对工件夹持稳定性的微调机构(18)和提高设备环保性的清洗机构；

所述机体(8)内部顶端的一端安装有超声水槽(15)，且机体(8)顶端的两侧设置有横向电动滑轨(6)，所述横向电动滑轨(6)的顶端滑动连接有横向滑块(5)，且横向滑块(5)的顶端竖向安装有固定架(1)，所述固定架(1)内部的两侧竖向设置有竖向电动滑轨(3)，且竖向电动滑轨(3)的表面滑动连接有竖向滑块(2)，所述竖向滑块(2)一侧的固定架(1)内部横向安装有固定板(17)，且固定板(17)的下方设置有夹持板(4)，所述夹持板(4)一端一侧的上端和下端设置有固定块(22)，且固定块(22)一端的中间位置处转动连接有阻尼转动压杆(23)，所述微调机构(18)设置在固定板(17)内部上端的中间位置处；

所述机体(8)远离超声水槽(15)的一端设置有攀爬架(7)，且攀爬架(7)底端的两端等间距安装有万向轮(9)，所述机体(8)一侧的底端安装有底板(10)，且底板(10)顶端靠近攀爬架(7)的一端竖向安装有电控箱(11)，所述电控箱(11)一端的上端设置有PLC控制器(14)，且清洗机构设置在电控箱(11)另一端的底板(10)顶端。

2.根据权利要求1所述的一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备，其特征在于：所述清洗机构包括水箱(13)，所述水箱(13)竖向安装在电控箱(11)另一端的底板(10)顶端，且水箱(13)一侧的底板(10)顶端竖向安装有过滤器(12)，所述过滤器(12)的一端通过导管与水箱(13)内部的一端连通，且水箱(13)下方的底板(10)顶端两端安装有水泵(19)，所述水泵(19)的输出端通过导管与超声水槽(15)内部一端连通，且水泵(19)的输入端通过导管与过滤器(12)一端连通，所述超声水槽(15)内部的两侧等间距安装有加热棒(20)，且超声水槽(15)内部一端上端的中间位置处安装有光电液位感应器(21)。

3.根据权利要求1所述的一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备，其特征在于：所述竖向滑块(2)和横向滑块(5)的形状均为倒C型，且竖向滑块(2)和横向滑块(5)关于机体(8)的竖向中轴线对称分布。

4.根据权利要求1所述的一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备，其特征在于：所述夹持板(4)一端的顶端和底端横向安装有限位槽(16)，且限位槽(16)的形状为U型。

5.根据权利要求1所述的一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备，其特征在于：所述夹持板(4)一端远离固定块(22)一侧的中间位置处安装有阻挡块(24)，且阻挡块(24)的形状为工字型。

6.根据权利要求1所述的一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备，其特征在于：所述微调机构(18)包括伺服电机(1801)、预留槽(1802)、连接杆(1803)、活动板(1804)、齿条(1805)、转杆(1806)、从动齿轮(1807)、辅助齿轮(1808)、链条(1809)和主动齿轮(1810)，所述伺服电机(1801)安装在固定板(17)内部上端的中间位置处，且伺服电机(1801)的输出端通过转轴安装有主动齿轮(1810)，所述夹持板(4)靠近超声水槽(15)一端上端的中间位置处转动连接有转杆(1806)，且转杆(1806)表面的两端分别安装有辅助齿轮(1808)和从动齿轮(1807)，所述从动齿轮(1807)和伺服电机(1801)之间设置有相啮合的链条(1809)，所述夹持板(4)内部中间位置处的上端和下端横向开设有预留槽(1802)，且固定块(22)一端安装有贯穿预留槽(1802)的连接杆(1803)，所述连接杆(1803)的一端竖向安装有活动板(1804)，且活动板(1804)顶端横向安装有与辅助齿轮(1808)相啮合的齿条(1805)。

7.根据权利要求6所述的一种AMOLED金属掩膜板智能清洗设备，其特征在于：所述预留槽(1802)两端分别与活动板(1804)和固定块(22)的一端之间呈焊接一体化结构，且连接杆(1803)与预留槽(1802)的内部之间构成滑动结构。

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