CN211654777U - 一种提升干燥洁净度的晶圆干燥装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种提升干燥洁净度的晶圆干燥装置，包括：槽体、设置于所述槽体上方的对开挡门、固定于所述挡门上的喷气机构以及与所述槽体连通的抽气机构；所述槽体包括外槽腔体、固定于所述外槽腔体内的夹层挡裙及提篮固定机构，所述外槽腔体的槽壁内嵌装有加热管件；第一喷气组件包括固定于挡门上的喷流外罩及固定于所述喷流外罩内的导流管，所述导流管上连通有若干个喷嘴，所述导流管包裹式固定有薄膜式加热件。根据本实用新型，通过喷气机构可以将氮气全面包裹于晶圆的表面，氮气通过槽体再经过抽气机构，构成完整的氮气流动路径，而且喷气机构与槽体都具有加热件，大大提高干燥装置的干燥效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及干燥装置的技术领域，特别涉及一种提升干燥洁净度的晶圆干燥装置。
背景技术
半导体湿法工艺中通过各种湿法清洗工艺的结合，来对晶圆进行清洗工艺，晶圆在经过各式的湿法工艺后，需要再通过干燥工艺对晶圆进行干燥，由此构成完整的湿法工艺流程。然而在不同的湿法工艺与干燥工艺都需要控制工艺过程的洁净度以及工艺能力，以确保完整的湿法清洗工艺与相关设备的所达到工作需求，由此在担任清洗工艺最后一个环节的干燥工艺中所使用的晶圆干燥装置，很容易就会使晶圆干燥的不透彻或者干燥装置内的洁净度保持不高，而且干燥装置在干燥时经常用异丙醇液体先对晶圆进行浸泡清洗，排放后再向干燥装置内通入加热的氮气，干燥晶圆表面残余的液体，但是加热氮气不控制好流动的路径，容易使氮气不经过晶圆的表面，使得晶圆的表面的水分不会充分干燥完，大大降低了干燥装置对晶圆的干燥效果。
实用新型内容
针对现有技术中存在的不足之处，本实用新型的目的是提供一种提升干燥洁净度的晶圆干燥装置，通过喷气机构可以将氮气全面包裹于晶圆的表面，氮气通过槽体再经过抽气机构，构成完整的氮气流动路径，而且喷气机构与槽体都具有加热件，大大提高干燥装置的干燥效果。为了实现根据本实用新型的上述目的和其他优点，提供了一种提升干燥洁净度的晶圆干燥装置，包括：
槽体、设置于所述槽体上方的对开挡门、固定于所述挡门上的喷气机构以及与所述槽体连通的抽气机构；
所述槽体包括外槽腔体、固定于所述外槽腔体内的夹层挡裙及提篮固定机构，所述提篮固定机构用以固定晶圆提篮及晶圆，所述外槽腔体一相对的侧面上分别开设有通气口，并且外槽腔体与夹层挡裙之间形成一夹层区间，以使氮气从所述夹层挡裙底部进入所述夹层区间至所述通气口流出，所述外槽腔体的槽壁内嵌装有加热管件；
所述喷气机构包括第一喷气组件及与所述第一喷气组件对称设置的第二喷气组件，所述第一喷气组件与第二喷气组件的结构相同，第一喷气组件包括固定于挡门上的喷流外罩及固定于所述喷流外罩内的导流管，所述导流管上连通有若干个喷嘴，所述导流管包裹式固定有薄膜式加热件；
所述抽气机构包括连通于所述槽体一侧的第一抽气组件及与所述第一抽气组件对称设置于所述槽体另一侧的第二抽气组件，所述第一抽气组件与第二抽气组件结构相同。
优选的，所述第二抽气组件包括缓冲件，所述缓冲件连通有通气管道，所述缓冲件包括设有一开口的通气盒及靠近所述开口的通气盒侧面上开设有连接通孔，所述通气盒的开口处固定有第二连接板，所述连接通孔连通有连接筒，所述连接筒固定连接于通气管道。
优选的，喷流外罩包括设有一开口的外罩盒，所述外罩盒上固接有外罩盖板，所述外罩盖板上阵列开设有通气孔。
优选的，导流管上均匀开设有若干连接孔，所述连接孔上连通有喷嘴，所述连接孔的孔径沿导流管两端向中间的方向呈渐进式等比减小。
优选的，外槽腔体包括竖直围栏及间隔固定于所述竖直围栏外周一圈的第一倾斜板与第二倾斜板，所述第一倾斜板与第二倾斜板的中间贯通固接有第一连接板，所述第一连接板上开设有一通口。
优选的，所述通口上连通有排放连接管件，所述竖直围栏与间隔固定于所述竖直围栏外周一圈的第一倾斜板及第二倾斜板形成一具有最低点的容纳腔，以使外槽腔体内的液体自动流至所述排放连接管件中。
优选的，所述竖直围栏沿竖直方向的高度值为第一高度值，所述夹层挡裙沿竖直方向的高度值为第二高度值，所述第二高度值小于所述第一高度值。
优选的，所述夹层区间的宽度值为10-12mm。
优选的，外槽腔体与通气口相邻的一侧面上连通有液体通入件。
优选的，所述提篮固定机构包括第一固定板、与所述第一固定板平行且对称设置的第二固定板以及固定于所述第一固定板与第二固定板上的水平固定板，所述水平固定板上对称且平行固接有晶圆固定座，所述第一固定板与第二固定板上分别固接有两个提篮固定块。
本实用新型与现有技术相比，其有益效果是：
(1)通过在槽体内固定有提篮固定机构，可以稳定的固定提篮以及晶圆，使得晶圆在干燥时不会发生晃动，而且槽体内可以安装两个提篮固定机构，同时对两个装有晶圆的提篮进行干燥，大大提高干燥晶圆的工作效率；
(2)而且槽体由外槽腔体夹与层挡裙形成夹层区间，使得槽体内的氮气从上至下流动，最后通过所述夹层区间流动至外槽腔体上的通气口流出，使得槽体排气效率高，而且外槽腔体由所述竖直围栏与间隔固定于所述竖直围栏外周一圈的第一倾斜板及第二倾斜板形成一具有最低点的容纳腔，使得槽体内的异丙醇液体可以自动流动至槽体的最低处，槽体内的液体有效顺畅的排放；
(3)槽体与喷气机构均装有加热件，以使得氮气从喷气机构喷出时保持干燥所需要的温度，能干燥晶圆表面残余水分，而且槽体保持温度，使得氮气在流动时一直保持温度，大大提高干燥装置的干燥效率。
附图说明
图1为根据本实用新型的提升干燥洁净度的晶圆干燥装置的左视图；
图2为根据本实用新型的提升干燥洁净度的晶圆干燥装置的底部的三维结构示意图；
图3为根据本实用新型的提升干燥洁净度的晶圆干燥装置的提篮固定机构的三维结构示意图；
图4为根据本实用新型的提升干燥洁净度的晶圆干燥装置的第一喷气组件的三维结构示意图；
图5为根据本实用新型的提升干燥洁净度的晶圆干燥装置的导流管的三维结构爆炸示意图；
图6为根据本实用新型的提升干燥洁净度的晶圆干燥装置的喷流外罩的三维结构爆炸示意图；
图7为根据本实用新型的提升干燥洁净度的晶圆干燥装置的第二抽气组件的三维结构示意图。
图中：10.抽气机构；20.第二喷气组件；30.槽体；40.第一喷气组件；50.挡门；11.第一抽气组件；12.第二抽气组件；310.液体通入件；301.外槽腔体；3011.通气口；3012.竖直围栏；3013.第一倾斜板；3014.第二倾斜板；3015.第一连接板；311.排放连接管件；302.夹层挡裙；305.提篮固定机构；3051.第一固定板；3052.第二固定板； 3053.水平固定板；3054.提篮固定块；312.通口；411.喷流外罩；412. 导流管；413.喷嘴；4111.外罩盖板；4112.通气孔；4113.外罩盒； 4114.固定柱；4121.连接孔；121.通气管道；123.提缓冲件；1231. 通气盒；1232.第二连接板；1233.连接筒；1234.连接通孔。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
参照图1-4，一种提升干燥洁净度的晶圆干燥装置30，包括：槽体30、设置于所述槽体30上方的对开挡门50、固定于所述挡门50 上的喷气机构以及与所述槽体30连通的抽气机构10，所述喷气机构向槽体30中喷入氮气，氮气经过槽体30后，通过抽气机构10将槽体30内的氮气抽离，通过抽气机构10与所述喷气机构结合使得槽体 30内的氮气形成顺畅的氮气流，所述槽体30包括外槽腔体301、固定于所述外槽腔体301内的夹层挡裙302及提篮固定机构305，提篮固定机构305固定提篮及晶圆，使得晶圆在干燥的过程中不会发生晃动，所述外槽腔体301一相对的侧面上分别开设有通气口3011，并且外槽腔体301与夹层挡裙302之间形成一夹层区间，以使氮气从所述夹层挡裙302底部进入所述夹层区间至所述通气口3011流出，所述槽体30为一开口的腔体，当晶圆在槽体内干燥时，槽体30的上方会向槽体30内喷入氮气流，所述氮气流在槽体30内由上至下流动，所述氮气流会经过所述夹层区间流动至所述通气口3011处，从槽体 30内流出，所述外槽腔体301的槽壁内嵌装有加热管件，以保持槽体30内的氮气温度，而且使得槽体30内的温度能够快速升温，所述喷气机构包括第一喷气组件40及与所述第一喷气组件40对称设置的第二喷气组件20，所述第一喷气组件40与第二喷气组件20的结构相同，槽体30上方设置有两个对开的挡门50，而两个对开的挡门50 上分别固定有第一喷气组件40与第二喷气组件20，通过第一喷气组件40与第二喷气组件20向槽体30内喷入氮气能使晶圆更全面性的被氮气包裹，第一喷气组件40包括固定于挡门50上的喷流外罩411 及固定于所述喷流外罩411内的导流管412，所述导流管412上连通有若干个喷嘴413，氮气首先通入导流管412中，氮气依次流向每个喷嘴413中，每个喷嘴413将氮气喷出，所喷出的氮气再通过喷流外罩411喷向槽体30内，使得氮气喷向槽体30面更加广，槽体30内的晶圆能全面性覆盖到氮气，所述导流管412包裹式固定有薄膜式加热件，以使得导流管412喷出的氮气保持正常工作温度，避免氮气在传送的过程中温度降低，达不到干燥时所需要的温度，所述抽气机构 10包括连通于所述槽体30一侧的第一抽气组件11及与所述第一抽气组件11对称设置于所述槽体30另一侧的第二抽气组件12，所述第一抽气组件11与第二抽气组件12结构相同，当槽体30内喷入氮气时，此时第一抽气组件11与第二抽气组件12同时工作将槽体30 内的氮气抽离，使得槽体30内氮气形成流畅的气流。
参照图7，所述第二抽气组件12包括缓冲件123，所述缓冲件 123连通有通气管道121，所述缓冲件123包括设有一开口的通气盒 1231及靠近所述开口的通气盒1231侧面上开设有连接通孔1234，所述通气盒1231的开口处固定有第二连接板1232，所述连接通孔1234 连通有连接筒1233，所述连接筒1233固定连接于通气管道121，氮气通过缓冲件123时，首先经过通气盒1231，所述通气盒1231对氮气的流动起到缓冲的作用，最后氮气通过几字形通气管道121抽离。
参照图6，喷流外罩411包括设有一开口的外罩盒4113，所述外罩盒4113上固接有外罩盖板4111，所述外罩盖板4111上阵列开设有通气孔4112，导流管412上均匀开设有若干连接孔4121，所述连接孔4121上连通有喷嘴413，所述连接孔4121的孔径沿导流管412 两端向中间的方向呈渐进式等比减小，导流管412内通入氮气依次通过连接孔4121，通过连接孔4121的氮气流向喷嘴413内，喷嘴413 将氮气喷向外罩盖板4111上，而外罩盖板4111上阵列开设有通气孔 4112，使得氮气更大面积喷向槽体30内，避免喷嘴413将氮气定向喷向槽体30内。
参照图2，外槽腔体301包括竖直围栏3012及间隔固定于所述竖直围栏3012外周一圈的第一倾斜板3013与第二倾斜板3014，所述第一倾斜板3013与第二倾斜板3014的中间贯通固接有第一连接板 3015，所述第一连接板3015上开设有一通口312，所述通口312上连通有排放连接管件311，通口312设于外槽腔体301底部的中间位置，使排放异丙醇液体时，能使晶圆表面的异丙醇液体自动留下，不会粘附于晶圆的表面，所述竖直围栏3012与间隔固定于所述竖直围栏3012外周一圈的第一倾斜板3013及第二倾斜板3014形成一具有最低点的容纳腔，以使外槽腔体301内的液体自动流至所述排放连接管件311中，以使外槽腔体301内的液体自动流至所述排放连接管件 311中，当槽体30中晶圆干燥时，会向槽体30内添加异丙醇液体，来带走晶圆表面残留的水分，因此外槽腔体30由所述竖直围栏3012 与间隔固定于所述竖直围栏3012外周一圈的第一倾斜板3013及第二倾斜板3014形成一具有最低点的容纳腔，可以使得异丙醇液体在槽体30内顺畅的排出，不会有残留。
进一步的，所述竖直围栏3012沿竖直方向的高度值为第一高度值，所述夹层挡裙302沿竖直方向的高度值为第二高度值，所述第二高度值小于所述第一高度值，只有当所述第二高度值小于所述第一高度值，槽体30内氮气流能够从夹层挡裙302的底部流入到所述夹层区间内，进而再通过通气口3011流出。
进一步的，所述夹层区间的宽度值为10-12mm，使得槽体30在排放液体的同时不因所述夹层区间的宽度值过窄，造成液体在夹层区产生液体表面张力的粘滞效应，使液体排放可以有效顺畅的排放。
参照图2，外槽腔体301与通气口3011相邻的一侧面上连通有液体通入件310，以使可以向槽体30内灌入异丙醇液体，而且异丙醇液体在向槽体30中灌入时，能在均匀的包裹于晶圆的表面。
参照图3，所述提篮固定机构305包括第一固定板3051、与所述第一固定板3051平行且对称设置的第二固定板3052以及固定于所述第一固定板3051与第二固定板3052上的水平固定板3053，所述水平固定板3053上对称且平行固接有晶圆固定座，所述第一固定板3051与第二固定板3052上分别固接有两个提篮固定块3054，外槽腔体301内可以同时固定安装有两个提篮固定机构305，同时对两个提篮中晶圆进行工作，大大提高晶圆阿干燥的工作效率，而且当提篮放置于槽体30内时，提篮的先固定于提篮固定块3054上，然后提篮中的晶圆固定于所述晶圆固定座上，使得晶圆在干燥时不会发生晃动。
工作原理：首先将装有晶圆的提篮放置于槽体30内的提篮固定机构305上，使得提篮的底部固定于提篮固定机构305的提篮固定块 3054上，而晶圆则固定于晶圆固定座上，这样使得晶圆在干燥时不会发生晃动，当对槽体30中的晶圆干燥时，首先通过液体通入件310 向槽体30内灌入异丙醇液体，而外槽腔体301由所述竖直围栏3012 与间隔固定于所述竖直围栏3012外周一圈的第一倾斜板3013及第二倾斜板3014形成一具有最低点的容纳腔，以使槽体30内的异丙醇液体自动流至排放连接管件311中，而且所述夹层区间的宽度值为10-12mm，使得槽体30在排放液体的同时不因所述夹层区间的宽度值过窄，造成液体在夹层区产生液体表面张力的粘滞效应，使液体排放可以有效顺畅的排放，对开门挡50合闭于槽体30上方，以使得第一喷气组件40与第二喷气组件20槽体30内腔上方，第一喷气组件 40与第二喷气组件20中的导流管412通入氮气，并且氮气依次流向导流管412上的连接孔4121，而且连接孔4121上固接有喷嘴413，以使氮气通过喷嘴413喷出，而喷嘴413外套有喷流外罩411，喷嘴 413喷出的氮气通过喷流外罩411上的外罩盖板4111向槽体30内扩散喷入，以使槽体30内的晶圆表面能全面性包裹氮气，氮气从槽体 30上方向槽体30内喷入，使得氮气在槽体30内由上至下流动，槽体30中的外槽腔体301与夹层挡裙302之间形成的夹层区间，氮气通过夹层挡裙302的底部流入所述夹层区间中，然后经过外槽腔体 301上开设的通气口3011流出，接着氮气喷入槽体30内时，第一抽气组件11与第二抽气组件12开始同时工作，将对槽体30内的氮气进行抽离，使得槽体30内的氮气形成流动的气流，第一抽气组件11 与第二抽气组件12在抽离氮气时，首先将氮气抽离至通气盒1231，以使通气盒1231成为氮气抽离时的缓冲区，方便调整氮气流动的路径，第一喷气组件40与第二喷气组件20向槽体30内喷入氮气时，因导流管412包裹式固定有薄膜式加热件，使得喷入氮气保持干燥温度，能够气化晶圆表面粘附的异丙醇液体。
这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本实用新型的说明的。对本实用新型的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。
尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。
Claims (10)
1.一种提升干燥洁净度的晶圆干燥装置，其特征在于，包括：
槽体(30)、设置于所述槽体(30)上方的对开挡门(50)、固定于所述挡门(50)上的喷气机构以及与所述槽体(30)连通的抽气机构(10)；
所述槽体(30)包括外槽腔体(301)、固定于所述外槽腔体(301)内的夹层挡裙(302)及提篮固定机构(305)，所述提篮固定机构(305)用以固定晶圆提篮及晶圆，所述外槽腔体(301)一相对的侧面上分别开设有通气口(3011)，并且外槽腔体(301)与夹层挡裙(302)之间形成一夹层区间，以使氮气从所述夹层挡裙(302)底部进入所述夹层区间至所述通气口(3011)流出，所述外槽腔体(301)的槽壁内嵌装有加热管件；
所述喷气机构包括第一喷气组件(40)及与所述第一喷气组件(40)对称设置的第二喷气组件(20)，所述第一喷气组件(40)与第二喷气组件(20)的结构相同，第一喷气组件(40)包括固定于挡门(50)上的喷流外罩(411)及固定于所述喷流外罩(411)内的导流管(412)，所述导流管(412)上连通有若干个喷嘴(413)，所述导流管(412)包裹式固定有薄膜式加热件；
所述抽气机构(10)包括连通于所述槽体(30)一侧的第一抽气组件(11)及与所述第一抽气组件(11)对称设置于所述槽体(30)另一侧的第二抽气组件(12)，所述第一抽气组件(11)与第二抽气组件(12)结构相同。
2.如权利要求1所述的一种提升干燥洁净度的晶圆干燥装置，其特征在于，所述第二抽气组件(12)包括缓冲件(123)，所述缓冲件(123)连通有通气管道(121)，所述缓冲件(123)包括设有一开口的通气盒(1231)及靠近所述开口的通气盒(1231)侧面上开设有连接通孔(1234)，所述通气盒(1231)的开口处固定有第二连接板(1232)，所述连接通孔(1234)连通有连接筒(1233)，所述连接筒(1233)固定连接于通气管道(121)。
3.如权利要求1所述的一种提升干燥洁净度的晶圆干燥装置，其特征在于，喷流外罩(411)包括设有一开口的外罩盒(4113)，所述外罩盒(4113)上固接有外罩盖板(4111)，所述外罩盖板(4111)上阵列开设有通气孔(4112)。
4.如权利要求1所述的一种提升干燥洁净度的晶圆干燥装置，其特征在于，导流管(412)上均匀开设有若干连接孔(4121)，所述连接孔(4121)上连通有喷嘴(413)，所述连接孔(4121)的孔径沿导流管(412)两端向中间的方向呈渐进式等比减小。
5.如权利要求1所述的一种提升干燥洁净度的晶圆干燥装置，其特征在于，外槽腔体(301)包括竖直围栏(3012)及间隔固定于所述竖直围栏(3012)外周一圈的第一倾斜板(3013)与第二倾斜板(3014)，所述第一倾斜板(3013)与第二倾斜板(3014)的中间贯通固接有第一连接板(3015)，所述第一连接板(3015)上开设有一通口(312)。
6.如权利要求5所述的一种提升干燥洁净度的晶圆干燥装置，其特征在于，所述通口(312)上连通有排放连接管件(311)，所述竖直围栏(3012)与间隔固定于所述竖直围栏(3012)外周一圈的第一倾斜板(3013)及第二倾斜板(3014)形成一具有最低点的容纳腔，以使外槽腔体(301)内的液体自动流至所述排放连接管件(311)中。
7.如权利要求5所述的一种提升干燥洁净度的晶圆干燥装置，其特征在于，所述竖直围栏(3012)沿竖直方向的高度值为第一高度值，所述夹层挡裙(302)沿竖直方向的高度值为第二高度值，所述第二高度值小于所述第一高度值。
8.如权利要求1所述的一种提升干燥洁净度的晶圆干燥装置，其特征在于，所述夹层区间的宽度值为10-12mm。
9.如权利要求1所述的一种提升干燥洁净度的晶圆干燥装置，其特征在于，外槽腔体(301)与通气口(3011)相邻的一侧面上连通有液体通入件(310)。
10.如权利要求1所述的一种提升干燥洁净度的晶圆干燥装置，其特征在于，所述提篮固定机构(305)包括第一固定板(3051)、与所述第一固定板(3051)平行且对称设置的第二固定板(3052)以及固定于所述第一固定板(3051)与第二固定板(3052)上的水平固定板(3053)，所述水平固定板(3053)上对称且平行固接有晶圆固定座，所述第一固定板(3051)与第二固定板(3052)上分别固接有两个提篮固定块(3054)。
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- 2020-02-27 CN CN202020221218.0U patent/CN211654777U/zh active Active
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |