CN211479992U - 一种用于晶圆干燥槽增强气体对流的槽体 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于晶圆干燥槽增强气体对流的槽体，包括：外槽腔体、固定于所述外槽腔体内的夹层挡裙及提篮固定机构，所述提篮固定机构用以固定晶圆提篮及晶圆；所述外槽腔体一相对的侧面上分别开设有通气口，并且外槽腔体与夹层挡裙之间形成一夹层区间，以使氮气从所述夹层挡裙底部进入所述夹层区间至所述通气口流出；外槽腔体包括竖直围栏及间隔固定于所述竖直围栏外周一圈的第一倾斜板与第二倾斜板，所述第一倾斜板与第二倾斜板的中间贯通固接有连接板。根据本实用新型，结构简单实用，干燥槽内在氮气喷流以及异丙醇的浸灌下，晶圆不会晃动，而且干燥槽内的氮气以及异丙醇可以顺畅的通过。

Description

一种用于晶圆干燥槽增强气体对流的槽体

技术领域

本实用新型涉及槽体的技术领域，特别涉及一种用于晶圆干燥槽增强气体对流的槽体。

背景技术

根据半导体晶圆在生产的过程中需要进行清洗，因此晶圆干燥技术不可或缺，目前根据不同的晶圆产品，而使用不同的晶圆干燥技术。晶圆干燥在湿法清洗工艺为最后收尾的工序，需要确保有效的移除晶圆表面的残余水分以及表面洁净度的控制，对晶圆干燥时，通常将晶圆放入提篮中，然后再将装载有晶圆的提篮放置于干燥槽体中，而且在干燥槽体中通过异丙醇与氮气的气相替换过程中使得异丙醇将晶圆表面的残余水分带离，进而达到对晶圆进行干燥，一般干燥槽体会有异丙醇液体流通不顺畅，以及氮气在干燥槽体内不能够顺畅的从上至下的通气，影响干燥效果，而且干燥槽装置内不能稳定的放置晶圆提篮及固定晶圆，会导致晶圆表面无法完全干燥。

实用新型内容

针对现有技术中存在的不足之处，本实用新型的目的是提供一种用于晶圆干燥槽增强气体对流的槽体，结构简单实用，干燥槽内在氮气喷流以及异丙醇的浸灌下，晶圆不会晃动，而且干燥槽内的氮气以及异丙醇可以顺畅的通过。为了实现根据本实用新型的上述目的和其他优点，提供了一种用于晶圆干燥槽增强气体对流的槽体，包括：

外槽腔体、固定于所述外槽腔体内的夹层挡裙及提篮固定机构，所述提篮固定机构用以固定晶圆提篮及晶圆；

所述外槽腔体一相对的侧面上分别开设有通气口，并且外槽腔体与夹层挡裙之间形成一夹层区间，以使氮气从所述夹层挡裙底部进入所述夹层区间至所述通气口流出；

外槽腔体包括竖直围栏及间隔固定于所述竖直围栏外周一圈的第一倾斜板与第二倾斜板，所述第一倾斜板与第二倾斜板的中间贯通固接有连接板，所述连接板上开设有一通口，所述通口上连通有排放连接管件，所述竖直围栏与间隔固定于所述竖直围栏外周一圈的第一倾斜板及第二倾斜板形成一具有最低点的容纳腔，以使外槽腔体内的液体自动流至所述排放连接管件中。

优选的，所述竖直围栏沿竖直方向的高度值为第一高度值，所述夹层挡裙沿竖直方向的高度值为第二高度值，所述第二高度值小于所述第一高度值。

优选的，所述夹层区间的宽度值为10-12mm。

优选的，外槽腔体一相对的侧面上分别固接有两个定位柱，所述定位柱相配合的定位块，所述定位块固定于的固定板上。

优选的，所述通气口处固定有通口固定板，所述通口固定板上固定有若干固定件，外槽腔体与通气口相邻的一侧面上连通有液体通入件。

优选的，外槽腔体与夹层挡裙一上端部上分别开设有两个卡槽，夹层挡裙一相对的侧面上分别固接有固定条，并且夹层挡裙靠近液体通入件处的底部开设有一让位槽口。

优选的，所述提篮固定机构包括第一固定板、与所述第一固定板平行且对称设置的第二固定板以及固定于所述第一固定板与第二固定板上的水平固定板。

优选的，所述水平固定板上对称且平行固接有晶圆固定座，所述第一固定板与第二固定板上分别固接有两个提篮固定块。

本实用新型与现有技术相比，其有益效果是：通过在槽体内固定有提篮固定机构，可以稳定的固定提篮以及晶圆，使得晶圆在干燥时不会发生晃动，而且槽体内可以安装两个提篮固定机构，同时对两个装有晶圆的提篮进行干燥，大大提高干燥晶圆的工作效率，而且槽体由外槽腔体夹与层挡裙形成夹层区间，使得槽体内的氮气从上至下流动，最后通过所述夹层区间流动至外槽腔体上的通气口流出，使得槽体排气效率高，而且外槽腔体由所述竖直围栏与间隔固定于所述竖直围栏外周一圈的第一倾斜板及第二倾斜板形成一具有最低点的容纳腔，使得槽体内的异丙醇液体可以自动流动至槽体的最低处，槽体内的液体有效顺畅的排放。

附图说明

图1为根据本实用新型的用于晶圆干燥槽增强气体对流的槽体的俯视图；

图2为根据本实用新型的用于晶圆干燥槽增强气体对流的槽体的底部的三维结构示意图；

图3为根据本实用新型的用于晶圆干燥槽增强气体对流的槽体的三维结构爆炸示意图；

图4为根据本实用新型的用于晶圆干燥槽增强气体对流的槽体的提篮固定机构的俯视图；

图5为图1中的A-A方向的示意图。

图中：30.槽体；301.外槽腔体；302.夹层挡裙；303.定位柱；304.固定板；305.提篮固定机构；306.通口固定板；308.定位块；309.卡槽；310.液体通入件；311.排放连接管件；312.通口；3011.通气口；3012.竖直围栏；3013.第一倾斜板；3014.第二倾斜板；3015.连接板；3021.位槽口；3022.固定条；3051.第一固定板；3052.第二固定板；3053.水平固定板；3054.提篮固定块。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

参照图1-3及5，一种用于晶圆干燥槽增强气体对流的槽体30，包括：外槽腔体301、固定于所述外槽腔体301内的夹层挡裙302及提篮固定机构305，当装有晶圆的提篮放置于槽体30中时，所述提篮放置于提篮固定机构305上，提篮固定机构305固定提篮及晶圆，使得晶圆在干燥的过程中不会发生晃动，所述外槽腔体301一相对的侧面上分别开设有通气口3011，并且外槽腔体301与夹层挡裙302之间形成一夹层区间，以使氮气从所述夹层挡裙302底部进入所述夹层区间至所述通气口3011流出，所述槽体30为一开口的腔体，当晶圆在槽体内干燥时，槽体30的上方会向槽体30内喷入氮气流，所述氮气流在槽体30内由上至下流动，所述氮气流会经过所述夹层区间流动至所述通气口3011处，从槽体30内流出。外槽腔体301包括竖直围栏3012及间隔固定于所述竖直围栏3012外周一圈的第一倾斜板3013与第二倾斜板3014，所述第一倾斜板3013与第二倾斜板3014的中间贯通固接有连接板3015，所述连接板3015上开设有一通口312，所述通口312上连通有排放连接管件311，所述竖直围栏3012与间隔固定于所述竖直围栏3012外周一圈的第一倾斜板3013及第二倾斜板3014形成一具有最低点的容纳腔，以使外槽腔体301内的液体自动流至所述排放连接管件311中，当槽体30中晶圆干燥时，会向槽体30内添加异丙醇液体，来对晶圆表面进行清洗，因此外槽腔体30由所述竖直围栏3012与间隔固定于所述竖直围栏3012外周一圈的第一倾斜板3013及第二倾斜板3014形成一具有最低点的容纳腔，可以使得异丙醇液体在槽体30内顺畅的排出。

参照图3，所述竖直围栏3012沿竖直方向的高度值为第一高度值，所述夹层挡裙302沿竖直方向的高度值为第二高度值，所述第二高度值小于所述第一高度值，只有当所述第二高度值小于所述第一高度值，槽体30内氮气流能够从夹层挡裙302的底部流入到所述夹层区间内，进而再通过通气口3011流出。

进一步的，所述夹层区间的宽度值为10-12mm，使得槽体30在排放液体的同时不因所述夹层区间的宽度值过窄，造成液体在夹层区产生液体表面张力的粘滞效应，使液体排放可以有效顺畅的排放。

参照图1，外槽腔体301一相对的侧面上分别固接有两个定位柱303，所述定位柱303相配合的定位块308，所述定位块308固定于的固定板304上，槽体30在使用的过程中，通过将固定板上304固定于设备上，使得槽体30可避免不当因素造成整体槽体30位移时，槽体30仍然回复到初始的位置。

进一步的，所述通气口3011处固定有通口固定板306，所述通口固定板306上固定有若干固定件，所述通口固定板306上用于固定抽气机构，外槽腔体301与通气口3011相邻的一侧面上连通有液体通入件310，通过所述液体通入件310向槽体30内灌入异丙醇液体，对晶圆进行清洗。

参照图3，外槽腔体301与夹层挡裙302一上端部上分别开设有两个卡槽309，所述卡槽309用以放置氮气管，使得氮气管可以在槽体30上进行转动，夹层挡裙302一相对的侧面上分别固接有固定条3022，所述固定条3022固定于外槽腔体301上，使得夹层挡裙302固定于外槽腔体301，并且夹层挡裙302靠近液体通入件310处的底部开设有一让位槽口3021，以使液体通入件310伸入外槽腔体301内。

参照图4，所述提篮固定机构305包括第一固定板3051、与所述第一固定板3051平行且对称设置的第二固定板3052以及固定于所述第一固定板3051与第二固定板3052上的水平固定板3053，所述水平固定板3053上对称且平行固接有晶圆固定座，所述第一固定板3051与第二固定板3052上分别固接有两个提篮固定块3054，外槽腔体301内可以同时固定安装有两个提篮固定机构305，同时对两个提篮中晶圆进行工作，大大提高晶圆阿干燥的工作效率，而且当提篮放置于槽体30内时，提篮的先固定于提篮固定块3054上，然后提篮中的晶圆固定于所述晶圆固定座上，使得晶圆在干燥时不会发生晃动。

工作原理：首先将装有晶圆的提篮放置于槽体30内的提篮固定机构305上，使得提篮的底部固定于提篮固定机构305的提篮固定块3054上，而晶圆则固定于晶圆固定座上，这样使得晶圆在干燥时不会发生晃动，当槽体30内通入氮气时，氮气从槽体30上方向槽体30内喷入，使得氮气在槽体30内由上至下流动，槽体30中的外槽腔体301与夹层挡裙302之间形成的夹层区间，氮气通过夹层挡裙302的底部流入所述夹层区间中，然后经过外槽腔体301上开设的通气口3011流出，当对槽体30中的晶圆干燥时，通过液体通入件310向槽体30内灌入异丙醇液体，对晶圆进行清洗，当晶圆清洗完成后，因外槽腔体301由所述竖直围栏3012与间隔固定于所述竖直围栏3012外周一圈的第一倾斜板3013及第二倾斜板3014形成一具有最低点的容纳腔，以使槽体30内的异丙醇液体自动流至排放连接管件311中，而且所述夹层区间的宽度值为10-12mm，使得槽体30在排放液体的同时不因所述夹层区间的宽度值过窄，造成液体在夹层区产生液体表面张力的粘滞效应，使液体排放可以有效顺畅的排放。

这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本实用新型的说明的。对本实用新型的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。

Claims (8)

1.一种用于晶圆干燥槽增强气体对流的槽体，其特征在于，包括：

外槽腔体(301)、固定于所述外槽腔体(301)内的夹层挡裙(302)及提篮固定机构(305)，所述提篮固定机构(305)用以固定晶圆提篮及晶圆；

所述外槽腔体(301)一相对的侧面上分别开设有通气口(3011)，并且外槽腔体(301)与夹层挡裙(302)之间形成一夹层区间，以使氮气从所述夹层挡裙(302)底部进入所述夹层区间至所述通气口(3011)流出；

外槽腔体(301)包括竖直围栏(3012)及间隔固定于所述竖直围栏(3012)外周一圈的第一倾斜板(3013)与第二倾斜板(3014)，所述第一倾斜板(3013)与第二倾斜板(3014)的中间贯通固接有连接板(3015)，所述连接板(3015)上开设有一通口(312)，所述通口(312)上连通有排放连接管件(311)，所述竖直围栏(3012)与间隔固定于所述竖直围栏(3012)外周一圈的第一倾斜板(3013)及第二倾斜板(3014)形成一具有最低点的容纳腔，以使外槽腔体(301)内的液体自动流至所述排放连接管件(311)中。

2.如权利要求1所述的一种用于晶圆干燥槽增强气体对流的槽体，其特征在于，所述竖直围栏(3012)沿竖直方向的高度值为第一高度值，所述夹层挡裙(302)沿竖直方向的高度值为第二高度值，所述第二高度值小于所述第一高度值。

3.如权利要求1所述的一种用于晶圆干燥槽增强气体对流的槽体，其特征在于，所述夹层区间的宽度值为10-12mm。

4.如权利要求1所述的一种用于晶圆干燥槽增强气体对流的槽体，其特征在于，外槽腔体(301)一相对的侧面上分别固接有两个定位柱(303)，所述定位柱(303)相配合的定位块(308)，所述定位块(308)固定于的固定板上(304)。

5.如权利要求1所述的一种用于晶圆干燥槽增强气体对流的槽体，其特征在于，所述通气口(3011)处固定有通口固定板(306)，所述通口固定板(306)上固定有若干固定件，外槽腔体(301)与通气口(3011)相邻的一侧面上连通有液体通入件(310)。

6.如权利要求1所述的一种用于晶圆干燥槽增强气体对流的槽体，其特征在于，外槽腔体(301)与夹层挡裙(302)一上端部上分别开设有两个卡槽(309)，夹层挡裙(302)一相对的侧面上分别固接有固定条(3022)，并且夹层挡裙(302)靠近液体通入件(310)处的底部开设有一让位槽口(3021)。

7.如权利要求1所述的一种用于晶圆干燥槽增强气体对流的槽体，其特征在于，所述提篮固定机构(305)包括第一固定板(3051)、与所述第一固定板(3051)平行且对称设置的第二固定板(3052)以及固定于所述第一固定板(3051)与第二固定板(3052)上的水平固定板(3053)。

8.如权利要求7所述的一种用于晶圆干燥槽增强气体对流的槽体，其特征在于，所述水平固定板(3053)上对称且平行固接有晶圆固定座，所述第一固定板(3051)与第二固定板(3052)上分别固接有两个提篮固定块(3054)。

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