CN210704803U - 一种半导体芯片测试用机械手 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体生产测试领域的一种半导体芯片测试用机械手，包括上部固定座，所述上部固定座直接固定在机械臂上，所述上部固定座设置有若干组，每个上部固定座下面均配合设置有独立的纵向轨道，相邻的纵向轨道之间配合设置有横向轨道，所述横向轨道的下面配合设置有机械手组件，所述机械手组件包括机械手滑动座，配合机械手滑动座设置的机械手控制座，设置在机械手控制座底部的机械抓手，设置在机械抓手底部的吸盘组件；该实用新型以在芯片测试过程中检测芯片与测试底座的位置关系，调节控制好距离并保持平衡，降低测试过程中发生的质量风险和良率损失，提高工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体生产测试领域内的一种半导体芯片测试用机械手。
背景技术
现有技术中，在芯片后段封装后的测试过程中，封装后的颗粒芯片被机械手的吸嘴吸取后放入测试座中，实现与测试机的连接并测试；测试完成后，测试机发送指令使机械手再把芯片吸走；在使用的过程中会产生很多不定的因素，有时候芯片被卡在测试座上，或者气压不够的时候，芯片吸取不起来，导致后期在机械手的抓取的时候带来较大的安全隐患，这种情况下，芯片很难稳定的被吸取住或者芯片直接吸取不住，造成了需要后期重复的去抓取；这样带来了较大的不便；有时候还会在吸取的时候不能保持芯片的平衡，导致吸取歪斜，这样也不利于高效的进行工作。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种半导体芯片测试用机械手，该实用新型以在芯片测试过程中检测芯片与测试底座的位置关系，调节控制好距离并保持平衡，降低测试过程中发生的质量风险和良率损失，提高工作效率。
本实用新型的目的是这样实现的：一种半导体芯片测试用机械手，包括上部固定座，所述上部固定座直接固定在机械臂上，其特征在于，所述上部固定座设置有若干组，每个上部固定座下面均配合设置有独立的纵向轨道，相邻的纵向轨道之间配合设置有横向轨道，所述横向轨道的下面配合设置有机械手组件，所述机械手组件包括机械手滑动座，配合机械手滑动座设置的机械手控制座，设置在机械手控制座底部的机械抓手，设置在机械抓手底部的吸盘组件；所述机械抓手上配合设置有位置传感器。
本实用新型工作时，上部固定座直接固定在机械臂上面，机械手组件可进行横向移动和纵向移动；机械手控制座在机械手滑动座上可以进行上下滑动，底部的机械抓手自动识别芯片并通过传感器控制位置和距离，再通过吸盘组件进行吸附，必要的时候还可以通过机械扎抓手进行抓取，提高工作效率，而且机械抓手成对设置，确保抓取的时候保持平衡。
本实用新型的有益效果在于，该实用新型以在芯片测试过程中检测芯片与测试底座的位置关系，调节控制好距离并保持平衡，降低测试过程中发生的质量风险和良率损失，提高工作效率。
作为本实用新型的进一步改进，为保证机械手控制保持平衡并且能够正常的进行吸附芯片工作；所述机械手控制座包括上侧座，中间固定板；所述上侧座的两侧分别设置有U形轨道，U形轨道纵向设置，U形轨道的内部配合设置有伸出气缸；所述伸出气缸直接与中间固定板连接；每个上侧座上对称设置有两组U形轨道，伸出气缸对称设置有两组。
作为本实用新型的进一步改进，为保证左侧抓手和右侧抓手能够正常的进行抓取工作；所述中间固定板直接与机械抓手连接，所述中间固定板下面设置有机械抓手移动轨道，机械抓手移动轨道横向设置，机械抓手包括左侧抓手和右侧抓手；左侧抓手和右侧抓手之间对称设置。
作为本实用新型的进一步改进，为保证左侧抓手和右侧抓手能够正常的进行抓取吸附的工作；所述左侧抓手和右侧抓手分别包括上连接部、下连接部；所述上连接部和下连接部之间对称设置，左侧抓手和右侧抓手的上连接部间隔一定距离设置，左侧抓手和右侧抓手的下连接部贴合设置。
作为本实用新型的进一步改进，为保证吸盘组件能够稳定的吸附芯片，而且保持平衡；所述吸盘组件包括吸盘和管路，所述吸盘设置在下连接部的底部，所述管路分别设置在左侧抓手和右侧抓手的内部。
附图说明
图1为本实用新型的主视图。
图2为图1中A处主视图。
其中，1上部固定座、2纵向轨道、3横向轨道、4机械手组件、5上侧座、6U形轨道、7中间固定板、8机械抓手移动轨道、9左侧抓手、10右侧抓手、11吸盘、12机械手滑动座、13伸出气缸。
具体实施方式
如图1-2所示，本实用新型的目的是这样实现的：一种半导体芯片测试用机械手，包括上部固定座1，所述上部固定座1直接固定在机械臂上，所述上部固定座1设置有若干组，每个上部固定座1下面均配合设置有独立的纵向轨道2，相邻的纵向轨道2之间配合设置有横向轨道3，所述横向轨道3的下面配合设置有机械手组件4，所述机械手组件4包括机械手滑动座12，配合机械手滑动座12设置的机械手控制座，设置在机械手控制座底部的机械抓手，设置在机械抓手底部的吸盘组件；所述机械抓手上配合设置有位置传感器；所述机械手控制座包括上侧座5，中间固定板7；所述上侧座5的两侧分别设置有U形轨道6，U形轨道6纵向设置，U形轨道6的内部配合设置有伸出气缸13；所述伸出气缸13直接与中间固定板7连接；每个上侧座5上对称设置有两组U形轨道6，伸出气缸13对称设置有两组；所述中间固定板7直接与机械抓手连接，所述中间固定板7下面设置有机械抓手移动轨道8，机械抓手移动轨道8横向设置，机械抓手包括左侧抓手9和右侧抓手10；左侧抓手9和右侧抓手10之间对称设置；所述左侧抓手9和右侧抓手10分别包括上连接部、下连接部；所述上连接部和下连接部之间对称设置，左侧抓手9和右侧抓手10的上连接部间隔一定距离设置，左侧抓手9和右侧抓手10的下连接部贴合设置；所述吸盘组件包括吸盘11和管路，所述吸盘11设置在下连接部的底部，所述管路分别设置在左侧抓手9和右侧抓手10的内部。
本实用新型工作时，上部固定座1直接固定在机械臂上面，机械手组件4可进行横向移动和纵向移动；机械手控制座在通过伸出气缸13来控制机械手滑动座12上的中间固定板7和上侧座5之间的距离，确保其可以进行上下滑动，底部的机械抓手自动识别芯片并通过传感器控制位置和距离，先通过左侧抓手9和右侧抓手10调节距离，再通过吸盘组件的吸盘11进行吸附，必要的时候还可以通过左侧抓手9和右侧抓手10进行抓取，确保抓取的时候保持平衡。
本实用新型并不局限于上述实施例，在本实用新型公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的技术内容，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本实用新型的保护范围内。
Claims (5)
1.一种半导体芯片测试用机械手，包括上部固定座，所述上部固定座直接固定在机械臂上，其特征在于，所述上部固定座设置有若干组，每个上部固定座下面均配合设置有独立的纵向轨道，相邻的纵向轨道之间配合设置有横向轨道，所述横向轨道的下面配合设置有机械手组件，所述机械手组件包括机械手滑动座，配合机械手滑动座设置的机械手控制座，设置在机械手控制座底部的机械抓手，设置在机械抓手底部的吸盘组件；所述机械抓手上配合设置有位置传感器。
2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片测试用机械手，其特征在于：所述机械手控制座包括上侧座，中间固定板；所述上侧座的两侧分别设置有U形轨道，U形轨道纵向设置，U形轨道的内部配合设置有伸出气缸；所述伸出气缸直接与中间固定板连接；每个上侧座上对称设置有两组U形轨道，伸出气缸对称设置有两组。
3.根据权利要求2所述的一种半导体芯片测试用机械手，其特征在于：所述中间固定板直接与机械抓手连接，所述中间固定板下面设置有机械抓手移动轨道，机械抓手移动轨道横向设置，机械抓手包括左侧抓手和右侧抓手；左侧抓手和右侧抓手之间对称设置。
4.根据权利要求3所述的一种半导体芯片测试用机械手，其特征在于：所述左侧抓手和右侧抓手分别包括上连接部、下连接部；所述上连接部和下连接部之间对称设置，左侧抓手和右侧抓手的上连接部间隔一定距离设置，左侧抓手和右侧抓手的下连接部贴合设置。
5.根据权利要求1所述的一种半导体芯片测试用机械手，其特征在于：所述吸盘组件包括吸盘和管路，所述吸盘设置在下连接部的底部，所述管路分别设置在左侧抓手和右侧抓手的内部。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921652676.3U CN210704803U (zh) | 2019-09-30 | 2019-09-30 | 一种半导体芯片测试用机械手 |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN210704803U true CN210704803U (zh) | 2020-06-09 |
Family
ID=70927440
Family Applications (1)
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| CN201921652676.3U Active CN210704803U (zh) | 2019-09-30 | 2019-09-30 | 一种半导体芯片测试用机械手 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN210704803U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022160645A1 (zh) * | 2021-01-26 | 2022-08-04 | 长鑫存储技术有限公司 | 机械臂及其组件、测试系统及方法、存储介质及电子设备 |
| US12007433B2 (en) | 2021-01-26 | 2024-06-11 | Changxin Memory Technologies, Inc. | Mechanical arm and mechanical arm assembly, test system and method, storage medium and electronic device |
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2019
- 2019-09-30 CN CN201921652676.3U patent/CN210704803U/zh active Active
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| WO2022160645A1 (zh) * | 2021-01-26 | 2022-08-04 | 长鑫存储技术有限公司 | 机械臂及其组件、测试系统及方法、存储介质及电子设备 |
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