CN210523183U - 石英晶体载板清洗装置 - Google Patents
石英晶体载板清洗装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN210523183U CN210523183U CN201921450088.1U CN201921450088U CN210523183U CN 210523183 U CN210523183 U CN 210523183U CN 201921450088 U CN201921450088 U CN 201921450088U CN 210523183 U CN210523183 U CN 210523183U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- quartz crystal
- support plate
- cleaning device
- sliding table
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
本实用新型提供了一种石英晶体载板清洗装置,涉及石英晶体谐振器技术领域。石英晶体在加工过程中,需要用到放置石英晶体的载板,需要载板保持洁净,虽然石英晶体的加工在无尘环境进行,但长期使用后的载板难免附着一些杂质,需要对载板清洗。本实用新型包括用于支撑的基座,基座上设有第一清洗池和支架,支架上设有行走机构,行走机构上设有夹持机构,行走机构可在支架上运动,带动夹持机构运动,夹持机构将载板夹持,并将其放入第一清洗池中,完成对载板的自动清洗。
Description
技术领域
涉及石英晶体谐振器技术领域,具体涉及一种石英晶体载板清洗装置。
背景技术
石英晶体谐振器,简称石英晶体或晶振,是利用石英晶体(又称水晶)的压电效应,用来产生高精度振荡频率的一种电子元件,属于被动元件,该元件主要由石英晶片、基座、外壳、银胶、银等成分组成。
目前,石英晶体在加工过程中,需要用到放置石英晶体的载板,需要载板保持洁净,虽然石英晶体的加工在无尘环境进行,但长期使用后的载板难免附着一些杂质,需要对载板清洗,因此,亟需一种石英晶体载板清洗装置。
发明内容
本实用新型的目的是开发一种对放置石英晶体的载板进行自动清洗,结构简单的石英晶体载板清洗装置。
本实用新型通过如下的技术方案实现:
石英晶体载板清洗装置,包括用于支撑的基座,所述基座上设有第一清洗池和支架,所述支架上设有行走机构,所述行走机构上设有夹持机构,所述行走机构可在支架上运动,带动夹持机构运动,夹持机构将载板夹持,并将其放入第一清洗池中清洗。
进一步的,所述第一清洗池内转动设有多个转轴,所述转轴上布满刷毛。
进一步的,所述转轴设于第一清洗池底部,多个转轴在第一清洗池底部程矩阵布置。
进一步的,所述行走机构包括设于支架上的第一滑台,所述第一滑台带动夹持机构沿X向滑动。
进一步的,所述第一滑台上设有第二滑台,所述第二滑台带动夹持机构沿Y向滑动。
进一步的,所述第二滑台上设有竖向布置的第三滑台,所述第三滑台带动夹持机构沿Z向滑动。
进一步的,所述夹持机构设于第三滑台上,所述夹持机构为气动夹爪。
进一步的,所述基座上至少设有一个用以放置载板的放置盒。
进一步的,所述放置盒内设有若干隔板,载板放置于相邻的两隔板间构成的空间内。
进一步的,所述基座上还设有第二清洗池。
本实用新型的有益效果是:
本实用新型通过设置在行走机构上的夹持机构对载板进行自动夹持,并将载板放入清洗池内进行自动清洗,清除载板上的附着物。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型结构图;
图2为图1的侧视图;
图3为行走机构结构图;
图4为放置盒结构图;
附图标记:1、基座;2、第一清洗池;3、第二清洗池;4、出水口;5、进水口;6、放置盒;7、隔板;8、门形架;9、第一滑台;10、第二滑台;11、第三滑台;12、气动夹爪;13、转轴;14、刷毛。
具体实施方式
在下文中,仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样,在不脱离本发明创造的精神或范围的情况下,可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此,附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
在本发明创造中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
下面结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明。
如图1~4所示,本实施例公开了一种石英晶体载板清洗装置,包括作为基础件、用于支撑的基座1,所述基座1上设有第一清洗池2,基座1上还设有支架,支架位于第一清洗池2上部,所述支架上设有行走机构,所述行走机构上设有夹持机构,所述行走机构可在支架上运动,带动夹持机构运动,夹持机构将载板夹持,并将其放入第一清洗池2中清洗。
第一清洗池2底部和侧面上部分别设有出水口4和进水口5,所述第一清洗池2底部转动设有四个竖直布置的转轴13,四个所述转轴13程长方形布置,所述转轴13上布满刷毛14,第一清洗池2底部还设有驱动所述转轴13转动的电机。
支架包括两个平行的门形架8,两个所述门形架8分别设于基座1相对的两侧,两个所述门形架8上设有第一滑台9,所述第一滑台9垂直于门形架8布置,所述第一滑台9在两门形架8之间沿平行于门形架8的方向滑动,所述第一滑台9上设有第二滑台10,所述第二滑台10沿第一滑台9运动,第二滑台10的运动方向垂直于第一滑台9的运动方向,所述第二滑台10上设有竖向布置的第三滑台11,所述第三滑台11在第二滑台10上竖直滑动,所述第一滑台9、第二滑台10和第三滑台11皆为直线滑台,其中第一滑台9和第二滑台10为卧式,第三滑台11为立式。
夹持机构设于第三滑台11的活动部底端,所述夹持机构为气动夹爪12,所述气动夹爪12的活塞上包覆一层橡胶层,设置橡胶层提高对载板的摩擦力,并且橡胶层具有一定的弹性,放置气动夹爪12将载板夹坏。
基座1上还设有第二清洗池3,所述第二清洗池3设于第一清洗池2旁,第二清洗池3的底部和侧面上部也分别设有出水口4和进水口5。
基座1上还设有两个放置盒6,所述放置盒6用以放置载板,两个所述放置盒6分别设于第一清洗池2和第二清洗池3旁,所述放置盒6顶面和靠近清洗池的侧面皆为开口结构,所述放置盒6内等间距设有若干竖直布置的隔板7,所述隔板7的长度小于载板的长度,载板放置于相邻的两个隔板7之间,载板的顶部由隔板7顶部伸出一部分,便于被夹持机构夹持。
第一清洗池2旁的放置盒6内放置待清洗的载板,第二清洗池3旁的放置盒6内放置清洗后的载板,行走机构可带动夹持机构在支架上进行X,Y,Z三向移动,夹持机构将载板夹持放置入第一清洗池2内,使载板处于转轴13之间,第一清洗池2内放满用以对载板清洗的液体,第一清洗池2内的转轴13转动,对载板进行刷洗,清理载板表面的附着物,清洗完后夹持机构将载板放入第二清洗池3内,载板在第二清洗池3内进行第二次清洗,清洗后夹持机构将载板放入第二清洗池3旁的放置盒6内,完成对载板的清洗,可使第一清洗池2和第二清洗池3内的液体循环,使清洗池内的清洗液保持洁净。
上述实施例只是本实用新型的较佳实施例,并不是对本实用新型技术方案的限制,只要是不经过创造性劳动即可在上述实施例的基础上实现的技术方案,均应视为落入本实用新型专利的权利保护范围内。
Claims (10)
1.石英晶体载板清洗装置,其特征在于,包括:
基座;
第一清洗池,其设于基座上;
支架,其设于基座上;
行走机构,其设于支架上;
夹持机构,其设于行走机构上;
其中,行走机构带动夹持机构移动,夹持机构将载板夹持并放入第一清洗池内清洗。
2.根据权利要求1所述的石英晶体载板清洗装置,其特征在于,所述第一清洗池内转动设有多个转轴,所述转轴上布满刷毛。
3.根据权利要求2所述的石英晶体载板清洗装置,其特征在于,所述转轴设于第一清洗池底部,多个转轴在第一清洗池底部程矩阵布置。
4.根据权利要求1所述的石英晶体载板清洗装置,其特征在于,所述行走机构包括设于支架上的第一滑台,所述第一滑台带动夹持机构沿X向滑动。
5.根据权利要求4所述的石英晶体载板清洗装置,其特征在于,所述第一滑台上设有第二滑台,所述第二滑台带动夹持机构沿Y向滑动。
6.根据权利要求5所述的石英晶体载板清洗装置,其特征在于,所述第二滑台上设有竖向布置的第三滑台,所述第三滑台带动夹持机构沿Z向滑动。
7.根据权利要求6所述的石英晶体载板清洗装置,其特征在于,所述夹持机构设于第三滑台上,所述夹持机构为气动夹爪。
8.根据权利要求1所述的石英晶体载板清洗装置,其特征在于,所述基座上至少设有一个用以放置载板的放置盒。
9.根据权利要求8所述的石英晶体载板清洗装置,其特征在于,所述放置盒内设有若干隔板,载板放置于相邻的两隔板间构成的空间内。
10.根据权利要求1所述的石英晶体载板清洗装置,其特征在于,所述基座上还设有第二清洗池。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201921450088.1U CN210523183U (zh) | 2019-09-02 | 2019-09-02 | 石英晶体载板清洗装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201921450088.1U CN210523183U (zh) | 2019-09-02 | 2019-09-02 | 石英晶体载板清洗装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN210523183U true CN210523183U (zh) | 2020-05-15 |
Family
ID=70603972
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201921450088.1U Active CN210523183U (zh) | 2019-09-02 | 2019-09-02 | 石英晶体载板清洗装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN210523183U (zh) |
-
2019
- 2019-09-02 CN CN201921450088.1U patent/CN210523183U/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5593505A (en) | Method for cleaning semiconductor wafers with sonic energy and passing through a gas-liquid-interface | |
JP3131149B2 (ja) | 流液式スクラバ洗浄方法及び装置 | |
CN1950158A (zh) | 被清洗物的清洗方法及其装置 | |
JP2013071033A (ja) | ノズル洗浄装置および該ノズル洗浄装置を備えた塗布装置 | |
CN210523183U (zh) | 石英晶体载板清洗装置 | |
JP4295878B2 (ja) | 円板形ワークの洗浄装置 | |
JPH11192461A (ja) | 流液式ワークカセット洗浄装置 | |
CN107283259B (zh) | 一种用于光学镜头抛光机的自动上下料设备的上下料方法 | |
JPH1190359A (ja) | オーバーフロー式スクラブ洗浄方法及び装置 | |
CN115301610B (zh) | 一种芯片全方位清洗拣选机及清洗方法 | |
CN114613696A (zh) | 一种自动化程度高的磷化铟清洗装置 | |
CN213495288U (zh) | 一种铝板清洗装置 | |
CN114951113A (zh) | 光纤段用清洗设备 | |
CN207641303U (zh) | 可改善处理均度的膜组件清洗装置 | |
CN219820982U (zh) | 一种丝网清洗装置 | |
JPS63145620A (ja) | ブラインド洗浄装置 | |
JPH05177106A (ja) | ろ過板を使用したク−ラント液ろ過装置 | |
US2628460A (en) | Chip removing method and apparatus | |
JP2996270B2 (ja) | 除塵装置 | |
KR100856081B1 (ko) | 세정장치 | |
SE8101512L (sv) | Anordning for rengoring av foremal genom borstning i nervaro av losningsmedel | |
CN220216033U (zh) | 一种光学镜片清洗机构 | |
CN219425200U (zh) | 一种蓝宝石衬底片自动刷洗装置 | |
CN220879750U (zh) | 一种高效清洗装置 | |
JPH10440A (ja) | ガラス板洗浄装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |