CN210505203U - 用于mocvd设备的吊装治具及吊装系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及的一种用于MOCVD设备的吊装治具及吊装系统，所述吊装治具包括：下横梁；吊臂，所述吊臂一端与所述下横梁连接而另一端可与设备加热基板固定连接；与所述下横梁固定连接的吊环，所述吊环与所述吊臂相背设置。通过上述设置，可解决目前MOCVD设备中的加热基板需要人工搬运以进行维护的问题。

Description

用于MOCVD设备的吊装治具及吊装系统

技术领域

本发明涉及气相沉积领域，尤其涉及一种用于MOCVD设备的吊装治具及吊装系统。

背景技术

目前，在MOCVD设备使用与维护领域，一般采用人力搬运MOCVD设备中的加热基板。

随着单体设备产能的不断提升，MOCVD设备中的机台等硬件集成度越来越高，其结构尺寸和重量也逐步变大，人工搬运加热基板需要多人配合，搬运极不方便，且由于人为力量不均衡，机台设备由于受力不均易导致磕碰损坏或形变。

因此，需要设计一种机械结构取缔人工操作，以方便设备维护与使用。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于MOCVD设备的吊装治具及吊装系统，以解决目前MOCVD设备中的加热基板需要人工搬运以进行维护的问题。

为了实现上述发明目的之一，本发明一实施方式提供一种用于MOCVD设备的吊装治具，包括：下横梁；吊臂，所述吊臂一端与所述下横梁连接而另一端可与设备加热基板固定连接；与所述下横梁固定连接的吊环，所述吊环与所述吊臂相背设置。

作为本发明一实施方式的进一步改进，所述吊臂沿着所述下横梁的中心对称分布，且所述吊环设于所述下横梁的中心位置。

作为本发明一实施方式的进一步改进，所述吊装治具还包括与所述吊环连接的上横梁，所述上横梁上设有用于与设备上盖固定连接的固定臂，且所述固定臂与所述吊环相背设置。

作为本发明一实施方式的进一步改进，所述上横梁上设有两端安装于上横梁相对侧壁中心位置处的卡销，所述卡销与所述吊环相互销连接且所述吊环位于所述卡销的中点位置；所述固定臂沿着所述上横梁的中心对称分布且顶端可与所述设备上盖固定连接。

作为本发明一实施方式的进一步改进，所述吊臂包括相互连接的臂杆及锁座，所述臂杆连接于所述下横梁，所述锁座可与所述设备加热基板固定连接。

作为本发明一实施方式的进一步改进，所述下横梁包括两端安装于下横梁相对侧壁上的吊臂链接梁，所述臂杆的顶端穿挂于所述吊臂链接梁。

作为本发明一实施方式的进一步改进，所述锁座表面形成与所述设备加热基板侧壁弧度契合的弧面。

作为本发明一实施方式的进一步改进，所述下横梁上还设有防震橡胶弹垫。

作为本发明一实施方式的进一步改进，所述下横梁、所述吊臂及所述吊环的可承载重量均不小于所述设备加热基板重量的120％。

本发明一实施方式还提供一种用于MOCVD设备的吊装系统，包括设备加热基板、吊装治具及设备上盖，所述吊装治具为如上任意一项所述的吊装治具。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：在吊装治具中设置起支撑作用的下横梁、与下横梁连接的吊臂以及吊环，吊臂用于连接MOCVD设备中加热基板，吊环用于与MOCVD设备的上盖连接，从而可通过上盖上的马达机构将加热基板以机械方式吊装搬运，以代替人工搬运，方便省力。

附图说明

图1是本发明实施例中吊装治具的结构示意图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施方式及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施方式仅是本申请一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本申请中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本申请保护的范围。

下面详细描述本发明的实施方式，实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

为方便说明，本文使用表示空间相对位置的术语来进行描述，例如“上”、“下”、“内”、“外”等，用来描述附图中所示的一个单元或者特征相对于另一个单元或特征的关系。空间相对位置的术语可以包括设备在使用或工作中除了图中所示方位以外的不同方位。例如，如果将图中的装置翻转，则被描述为位于其他单元或特征“下方”或“上方”的单元将位于其他单元或特征“下方”或“上方”。因此，示例性术语“下方”可以囊括下方和上方这两种空间方位。

设备可以以其他方式被定向(旋转90度或其他朝向)，并相应地解释本文使用的与空间相关的描述语。如在本发明中，为方便描述，在设备正常使用时，朝向地面的方向为向下，背离地面的方向为朝上；平行于地面的方向为水平方向，而垂直于地面的方向为竖直方向。

如图1所示，本发明一实施例提供了一种用于MOCVD设备的吊装治具，包括：下横梁1；吊臂12，所述吊臂12一端与所述下横梁1连接而另一端可与设备加热基板5固定连接；与所述下横梁1固定连接的吊环2，所述吊环2与所述吊臂12相背设置。

具体的，吊装治具的下端可与MOCVD设备中的加热基板5连接，而上端可与MOCVD设备的上盖连接，以实现吊装MOCVD设备中加热基板5的功能。

吊装治具的结构具体包括起支撑作用的下横梁1、与下横梁1连接的吊臂 12及吊环2，且吊臂12与吊环2分别设在下横梁1相背的两面。为方便使用，吊环2设置于下横梁1的上表面，吊臂12设置于下横梁1的下表面；吊环2 用于与设备上盖7连接，以连接至上盖上的马达机构；吊臂12用于与设备加热基板5连接，以最终通过马达机构将设备加热基板5吊装并搬运。如此，通过具体的机械结构，将设备加热基板5以机械形式搬运，可节省人力、操作方便快捷。

进一步的，所述吊臂12沿着所述下横梁1的中心对称分布，且所述吊环2 设于所述下横梁1的中心位置。

具体的，吊臂12的数量不限，为了使得力学平衡效果最好，可将吊臂12 数量设置成4个，且所有吊臂12沿着下横梁1的中心对称分布；同时，将吊环 2设置在下横梁1的中心位置；由此，在吊装治具将圆盘形的设备加热基板5 吊起时，设备加热基板5各处受力均衡而不会出现变形等现象，吊装治具受力均衡，吊装过程中也可整体保持稳定而不会晃动导致设备加热基板5磕损。

进一步的，所述吊装治具还包括与所述吊环2连接的上横梁3，所述上横梁3上设有用于与设备上盖7固定连接的固定臂31，且所述固定臂31与所述吊环2相背设置。

进一步的，所述上横梁3上设有两端安装于上横梁3相对侧壁中心位置处的卡销32，所述卡销32与所述吊环2相互销连接且所述吊环2位于所述卡销 32的中点位置；所述固定臂31沿着所述上横梁3的中心对称分布且顶端可与所述设备上盖7固定连接。

具体的，为了与设备上盖7连接方便，使得受力均衡，吊装治具还设有上横梁3，上横梁3与吊环2连接；且上横梁3上设有固定臂31，固定臂31与吊环2相背连接，用于与设备上盖7连接，从而连接至马达机构。其中，固定臂 31的数量也不限，为达到最佳力学效果与连接方便，可将固定臂31的数量设置成4个，且所有固定臂31沿着上横梁3的中心对称分布，使得吊装过程中整体力学平衡，吊装最为稳定。

其中，上横梁3靠近吊环2的一面还设有卡销32，上横梁3相对的两侧壁中心位置处开设卡销32安装孔，卡销32两端安装于这两个卡销32安装孔内；同时，卡销32穿过吊环2，吊环2位于卡销32的中心位置处，即吊环2穿挂于卡销32的中心位置处，且卡销32的两端安装于上横梁3的两侧壁。

由此，通过设置上横梁3及上横梁3上对称的固定臂31，吊装治具可方便地与设备上盖7进行连接；同时，将吊环2与上横梁3通过销连接方式连接固定，吊环2位于上横梁3的中心位置处，使得吊装后吊装治具整体受力均衡、力学稳定效果最佳。

进一步的，所述吊臂12包括相互连接的臂杆121及锁座122，所述臂杆121 连接于所述下横梁1，所述锁座122可与所述设备加热基板5固定连接。

进一步的，所述下横梁1包括两端安装于下横梁1相对侧壁上的吊臂链接梁14，所述臂杆121的顶端穿挂于所述吊臂链接梁14。

进一步的，所述锁座122表面形成与所述设备加热基板5侧壁弧度契合的弧面。

具体的，吊臂12包括臂杆121及锁座122两部分结构，臂杆121与锁座 122相互连接。

锁座122用于与设备加热基板5连接，为了抓取牢靠，锁座122的表面可设为弧面，且弧面的弧度与圆盘状设备加热基板5的外侧壁弧度相同，如此，当锁座122与设备加热基板5的外侧壁连接后，两者牢靠固定而不会错位晃动，抓取连接效果最佳。

臂杆121则用于与下横梁1连接以承接受力；下横梁1靠近臂杆121的一面还设有吊臂链接梁14，与上横梁3中卡销32的连接方式类型，吊臂链接梁 14的两端安装于下横梁1两侧壁的安装孔上；壁杆上则设有相应的穿挂孔，吊臂链接梁14穿挂壁杆后再两端与下横梁1两侧壁连接固定。

同样的，为力学稳定效果最佳，吊臂12的数量可设置成4个，吊臂链接梁 14则设置为2个，即两个吊臂12可设置于一个吊臂链接梁14的两端；同时，两个吊臂链接梁14可关于下横梁1的中心对称分布，使得最终4个吊臂12受力均衡，吊装治具整体力学平衡效果最佳。

进一步的，所述下横梁1上还设有防震橡胶弹垫15。

具体的，下横梁1的下表面还设有防震橡胶弹垫15，可防止吊装治具接触碰及下方设备反应腔的接触面，从而划伤磕损反应腔。

进一步的，所述下横梁1、所述吊臂12及所述吊环2的可承载重量均不小于所述设备加热基板5重量的120％。

具体的，为使得吊装结构整体受力稳定牢固，可将吊装结构中各部件的承载受力限定在一定范围，以足够牢靠防止吊装脱落失败。其中，下横梁1、吊臂12及吊环2等部件各自的可承载重量不得小于设备加热基板5重量的120％；同样，上横梁3、固定臂31、卡销32以及用于连接的各类螺丝的可承载重量也可限制为不得小于设备加热基板5重量的120％；由此，吊装结构各部分或整体承载能力最为牢固，吊装操作最为可靠。

本发明一实施例还提供一种用于MOCVD设备的吊装系统，包括设备加热基板5、吊装治具及设备上盖7，所述吊装治具为权利要求1至9中任意一项所述的吊装治具。

具体的，用于MOCVD设备的吊装系统包括上述吊装治具、MOCVD设备的设备加热基板5以及设备上盖7。其中，设备加热基板5与设备上盖7可均为圆盘形状。吊装治具中，吊臂12中的锁座122开设有螺丝孔，设备加热基板5 的侧壁也开设有螺丝孔，锁座122与设备加热基板5侧壁通过螺丝固定连接，以将吊装治具与设备加热基板5牢固固定。上横梁3上的固定臂31端部为螺丝口，设备上盖7上设有匹配的螺丝孔，固定臂31与设备上盖7通过螺丝固定连接，实现吊装治具与设备上盖7固定牢固固定。

吊装治具的固定臂31与设备上盖7连接固定完毕后，设备上盖7的马达机构可带动设备上盖7下降至设备加热基板5的安装位置，然后将吊装治具的锁座122与设备加热基板5固定连接，由此，整体吊装系统安装完毕。最后，通过设备上盖7的马达机构带动整体吊装系统，将设备加热基板5平稳牢固地吊装并搬运至设备外部，从而进一步进行维护工作。

可选的，吊装治具的尺寸和形状可依据设备的具体尺寸和具体形状进行调整，以达到最佳吊装效果。

如图1所示，本发明实施例中，用于MOCVD设备的吊装治具包括上横梁3、下横梁1以及吊环2，上横梁3与下横梁1通过吊环2连接固定；上横梁3上设有4个固定臂31，下横梁1上设有4个吊臂12，吊臂12包括臂杆121及锁座122；固定臂31用于与设备上盖7连接固定，4个锁座122或4个吊臂12 用于与设备加热基板5连接固定。

吊环2设于上横梁3与下横梁1的中心位置，4个固定臂31沿着上横梁3 的中心对称分布，4个吊臂12沿着下横梁1的中心对称分布；且所有结构的可承载重量不小于设备加热基板5重量的120％。

设备上盖7上设有马达机构，吊装治具与设备上盖7、设备加热基板5两者固定连接形成吊装系统后，马达机构可将整个吊装系统牢固且平稳地吊装并搬运，从而代替以往的人工搬运，使得设备加热基板5的定期维护更加方便且不会导致多次搬运带来的磕损。

应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本发明的可行性实施方式的具体说明，并非用以限制本发明的保护范围，凡未脱离本发明技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，包括：

下横梁；

吊臂，所述吊臂一端与所述下横梁连接而另一端可与设备加热基板固定连接；

与所述下横梁固定连接的吊环，所述吊环与所述吊臂相背设置。

2.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，所述吊臂沿着所述下横梁的中心对称分布，且所述吊环设于所述下横梁的中心位置。

3.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，所述吊装治具还包括与所述吊环连接的上横梁，所述上横梁上设有用于与设备上盖固定连接的固定臂，且所述固定臂与所述吊环相背设置。

4.根据权利要求3所述的用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，

所述上横梁上设有两端安装于上横梁相对侧壁中心位置处的卡销，所述卡销与所述吊环相互销连接且所述吊环位于所述卡销的中点位置；

所述固定臂沿着所述上横梁的中心对称分布且顶端可与所述设备上盖固定连接。

5.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，所述吊臂包括相互连接的臂杆及锁座，所述臂杆连接于所述下横梁，所述锁座可与所述设备加热基板固定连接。

6.根据权利要求5所述的用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，所述下横梁包括两端安装于下横梁相对侧壁上的吊臂链接梁，所述臂杆的顶端穿挂于所述吊臂链接梁。

7.根据权利要求5所述的用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，所述锁座表面形成与所述设备加热基板侧壁弧度契合的弧面。

8.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，所述下横梁上还设有防震橡胶弹垫。

9.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，所述下横梁、所述吊臂及所述吊环的可承载重量均不小于所述设备加热基板重量的120％。

10.一种用于MOCVD设备的吊装系统，包括设备加热基板、吊装治具及设备上盖，其特征在于，所述吊装治具为权利要求1至9中任意一项所述的吊装治具。

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