CN219885521U - 辅助水泵卸载装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种辅助水泵卸载装置，涉及半导体技术领域。所述辅助水泵卸载装置包括：第一吊具组件和第二吊具组件。所述第一吊具组件包括支撑底座与第一连接杆，所述第一连接杆与所述支撑底座固定连接。所述第二吊具组件包括第二连接杆、吊杆以及搬运组件，所述吊杆一端与所述第二连接杆固定连接，所述吊杆另一端与所述搬运组件连接。所述第一吊具组件与所述第二吊具组件通过所述第一连接杆与所述第二连接杆连接，所述支撑底座与容置水泵的半导体制作设备的壳体固定连接，以便通过所述搬运组件对水泵进行卸载作业。

Description

辅助水泵卸载装置

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种辅助水泵卸载装置。

背景技术

水泵为众多半导体制作设备(比如，薄膜制作设备)提供真空，用以辅助并提高半导体制作设备在高真空状态下的制冷保障，水泵由水泵主体、钢盲板、冷凝板等组成，且自身重量较大。

在现有技术中，无论是对水泵进行更换、保养还是维修，都需要将水泵抬出后再进行操作，由于水泵质量较大，且水泵在半导体制作设备中所处的安装环境比较狭窄，以至于在狭窄的操作空间内需要至少四名操作人员将水泵抬出，待维修保养完成后，再将水泵归位。上述的操作方式非常不方便，且对于操作人员而言存在不小的安全隐患。而目前市面上存在的吊具普遍体积偏大、整体不够便携、安装过程麻烦且存在需要电源供给的问题，另外水泵及半导体制作设备所在的环境无法为吊具提供用于固定的墙壁。为此，如何设计一个体积小、无电源、便安装、便携带且可减少参与操作人员的吊具，成为本领域技术人员急需解决的问题。

实用新型内容

为了至少克服现有技术中的上述不足，本申请的目的在于提供一种辅助水泵卸载装置。

第一方面，本申请实施例提供一种辅助水泵卸载装置，所述辅助水泵卸载装置包括：第一吊具组件、第二吊具组件。

所述第一吊具组件包括支撑底座与第一连接杆，所述第一连接杆与所述支撑底座固定连接，其中，所述第一连接杆与所述支撑底座相互垂直。

所述第二吊具组件包括第二连接杆、吊杆以及搬运组件，所述吊杆一端与所述第二连接杆固定连接，所述吊杆另一端与所述搬运组件连接，所述搬运组件用于对待装卸的水泵进行搬运，其中，所述吊杆与所述第二连接杆相互垂直。

所述第一吊具组件与所述第二吊具组件通过所述第一连接杆与所述第二连接杆连接，所述支撑底座与容置水泵的半导体制作设备的壳体固定连接，以使所述吊杆以及所述搬运组件位于在所述待装卸的水泵的上方，以便通过所述搬运组件对水泵进行卸载作业。

在一种可能的实现方式中，所述支撑底座包括相互垂直的第一支撑底座与第二支撑底座，所述第一支撑底座的一端与所述第二支撑底座的一端连接固定，所述第一连接杆一端与所述第一支撑底座和所第二支撑底座的连接处固定连接，其中，所述第一连接杆的延伸方向和所述第一支撑底座与所述第二支撑底座形成的支撑面垂直。

在一种可能的实现方式中，所述第一支撑底座和所述第二支撑底座为凹槽结构。

所述第一支撑底座远离所述第一连接杆的一端设置有第一锁定结构，所述第二支撑底座远离所述第一连接杆的一端设置有第二锁定结构，所述第一锁定结构设置在所述第一支撑底座中凹槽结构的相对两侧侧壁上，所述第二锁定结构设置在所述第二支撑底座中凹槽结构的相对两侧侧壁上。

所述辅助水泵卸载装置还包括第一固定件。

所述第一支撑底座通过所述第一固定件与所述第一锁定结构的配合实现与半导体制作设备的壳体固定，所述第二支撑底座通过所述固定件与所述锁定结构的配合实现与半导体制作设备的壳体固定。

在一种可能的实现方式中，所述第一连接杆远离所述支撑底座的一端设置有多个第一配合孔，所述第二连接杆远离所述吊杆的一端设置有多个与所述第一配合孔对应的第二配合孔。

所述辅助水泵卸载装置还包括第二固定件，所述第二固定件通过锁定对位重合的所述第一配合孔与所述第二配合孔将所述第一吊具组件与所述第二吊具组件固定。

在一种可能的实现方式中，多个所述第一配合孔在所述第一连接杆上沿所述第一连接杆的延伸方向排布，多个所述第二配合孔在所述第二连接杆上沿所述第二连接杆的延伸方向排布。

在一种可能的实现方式中，所述吊杆包括相对设置的第一侧壁、第二侧壁、以及连接在第一侧壁与所述第二侧壁之间的底壁，所述第一侧壁与所述第二侧壁设置在所述底壁的同一侧。

所述吊杆在靠近所述搬运组件的一端设置有多个调节孔，多个所述调节孔贯穿所述第一侧壁与所述第二侧壁。

所述第二连接杆与所诉底壁连接固定；

所述辅助水泵卸载装置还包括第三固定件，所述搬运组件设置在所述第一侧壁与所述第二侧壁之间，通过所述第三固定件与所述调节孔的配合实现与所述吊杆连接。

多个所述调节孔用于调整所述搬运组件与所述吊杆的相对位置，多个所述调节孔的排列方向与所述吊杆的延伸方向相同。

在一种可能的实现方式中，所述第一吊具组件包括第一肋板、第二肋板以及第三肋板。

所述第一肋板设置在所述第一连接杆与所述第一支撑底座之间，所述第一肋板用于加固所述第一连接杆与所述第一支撑底座的连接。

所述第二肋板设置在所述第一连接杆与所述第二支撑底座之间，所述第二肋板用于加固所述第一连接杆与所述第二支撑底座之间的连接。

所述第三肋板设置在所述第一支撑底座与所述第二支撑底座之间，所述第三肋板用于加固所述第一支撑底座与所述第二支撑底座之间的连接。

在一种可能的实现方式中，所述第二吊具组件还包括加固杆。

所述加固杆的一端与所述第二连接杆连接，所述加固杆的另一端与所述底壁连接，且设置在第一侧壁与第二侧壁之间，所述加固杆用于加固所述第二连接杆与所述吊杆的连接。

在一种可能的实现方式中，所述第一连接杆与所述第二连接杆均为空心圆管，所述第一连接杆的空心半径大于所述第二连接杆的外半径。

在一种可能的实现方式中，所述搬运组件包括环链葫芦。

基于上述任意一个方面，本申请实施例提供的辅助水泵卸载装置，有益效果在于通过将所述辅助水泵卸载装置设计为两个部分，且各个部分的质量都比较轻；将所述第一吊具与所述第二吊具通过孔轴配合的形式固定在一起；将所述辅助水泵卸载装置与容置水泵的设备进行安装固定；利用省力的环链葫芦通过手摇的方式对水泵卸载或安装，相对于现有技术而言，上述方案使本申请提供的辅助水泵卸载装置携带方便、安装简单、无需提供用于安装的墙壁或地面以及无需电源供给，使针对水泵的相关操作更加高效快捷，且保证了操作人员的安全。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要调用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它相关的附图。

图1为本申请提供的辅助水泵卸载装置的结构示意图之一；

图2为图1中第一吊具组件的结构示意图；

图3为辅助水泵卸载装置与半导体制造设备的连接位置关系示意图；

图4为第一连接杆与第二连接杆的连接位置关系示意图；

图5为环链葫芦与吊杆的连接关系示意图；

图6为本申请提供的辅助水泵卸载装置的结构示意图之二。

图标：10-辅助水泵卸载装置、110-第一吊具组件、111-支撑底座、1111-第一支撑底座、1111A-第一锁定结构、1111B-第一锁定孔、1112-第二支撑底座、1112A-第二锁定结构、1112B-第二锁定孔、112-第一连接杆、1121-第一配合孔、113-第一肋板、114-第二肋板、115-第三肋板、120-第二吊具组件、121-第二连接杆、1211-第二配合孔、122-吊杆、1221-第一侧壁、1222-第二侧壁、1223-底壁、1224-调节孔、123-搬运组件、124-加固杆、130-第一固定件、140-第二固定件、150-第三固定件、20-半导体制造设备。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例中的不同特征之间可以相互结合。

本申请提供一种辅助水泵卸载装置10，请参照图1，该辅助水泵卸载装置10包括：第一吊具组件110和第二吊具组件120。

第一吊具组件110包括支撑底座111与第一连接杆112，第一连接杆112与支撑底座111固定连接，其中，第一连接杆112与支撑底座111相互垂直。

第二吊具组件120包括第二连接杆121、吊杆122以及搬运组件123，吊杆122一端与第二连接杆121固定连接，吊杆122另一端与搬运组件123连接，搬运组件123用于对待装卸的水泵进行搬运，其中，吊杆122与第二连接杆121相互垂直。

第一吊具组件110与第二吊具组件120通过第一连接杆112与第二连接杆121进行连接，支撑底座111与容置水泵的半导体制作设备的壳体固定连接，以使吊杆122以及搬运组件123位于在待装卸的水泵的上方，以便通过搬运组件123对水泵进行卸载作业。

上述结构中，本申请提供的辅助水泵卸载装置10由第一吊具组件110和第二吊具组件120两部分组成，两个部分在完成水泵拆卸作业后可分离，以便于携带。第一吊具组件110的支撑底座111与容置水泵的半导体制作设备的壳体进行固定，避免了在半导体制造设备所处的环境无法为辅助水泵卸载装置10提供固定支撑的问题，对水泵实施卸载的搬运组件123可以无需电源供给。本申请提供的辅助水泵卸载装置10相对于现有技术而言，其优点在于便携、易安装、体积小、无需供电以及可减少参与操作的人员。

进一步地，请参照图2，支撑底座111包括相互垂直的第一支撑底座1111与第二支撑底座1112，第一支撑底座1111的一端与第二支撑底座1112的一端连接固定，第一连接杆112一端固定连接在第一支撑底座1111和所第二支撑底座1112的连接处，其中，第一连接杆112的延伸方向和第一支撑底座1111与第二支撑底座1112形成的支撑面垂直。上述结构中，第一支撑底座1111与第二支撑底座1112之间采用焊接的方式进行连接，第一连接杆112与支撑底座111之间采用焊接的方式进行连接。

进一步地，第一支撑底座1111和第二支撑底座1112均为凹槽结构，该凹槽具有的三个侧壁相互垂直，采用这样的凹槽结构是为了减轻辅助水泵卸载装置10的质量，以便于安装和携带。

为了与容置水泵的半导体制造设备固定，第一支撑底座1111远离第一连接杆112的一端设置有第一锁定结构1111A，第一锁定结构1111A设置在第一支撑底座1111凹槽的相对两侧的侧壁上，第二支撑底座1112远离第一连接杆112的一端设置有第二锁定结构1112A，第二锁定结构1112A设置在第二支撑底座1112凹槽的相对两侧的侧壁上。

辅助水泵卸载装置10还可以包括第一固定件130，本申请提供的辅助水泵卸载装置10固定在半导体制作设备20的外壳顶部，请参考图3，半导体制造设备20外壳顶部的结构包括相互垂直第一固定杆与第二固定杆，第一固定杆与第二固定杆均为矩形杆。在支撑底座111与半导体制造设备20顶部配合时，第一支撑底座1111与第一固定杆配合，第二支撑底座1112与第二固定杆配合，第一锁定结构1111A对其所在的两侧壁进行了延伸，同样的，第二锁定结构1112A对其所在的两侧壁进行了延伸，且在第一锁定结构1111A上设置有第一锁定孔1111B，在第二锁定结构1112A设置有第二锁定孔1112B，第一支撑底座1111与所述第一固定杆配合时，第一固定件130与第一锁定孔1111B配合，将第一固定杆限制在第一支撑底座1111内，第二支撑底座1112与所述第二固定杆配合时，第一固定件130与第二锁定孔1112B配合，将第二固定杆限制在第二支撑底座1112内，辅助水泵卸载装置10通过上述连接方式与容置水泵的半导体制作设备20进行固定。

进一步地，请参照图4，第一连接杆112远离支撑底座111的一端设置有多个第一配合孔1121，第二连接杆121远离吊杆122的一端设置多个与第一配合孔1121对应的第二配合孔1211。

辅助水泵卸载装置10还包括第二固定件140，第二固定件140通过重合好的第一配合孔1121与第二配合孔1211将第一吊具组件110与第二吊具组件120固定，且多个第一配合孔1121与多个第二配合孔1211之间包括多重配合方式，这些配合方式在一定范围内可调节辅助水泵卸载装置10的高度以适应的不同的工作环境。

进一步地，多个第一配合孔1121在第一连接杆112上沿第一连接杆112的延伸方向排布，多个第二配合孔1211在第二连接杆121上沿第二连接杆121的延伸方向排布。

进一步地，吊杆122包括相对设置的第一侧壁1221、第二侧壁1222、以及连接在第一侧壁1221与第二侧壁1222之间的底壁1223，第一侧壁1221与第二侧壁1222设置在底壁1223的同一侧。

吊杆122在靠近搬运组件123的一端设置有多个调节孔1224，多个调节孔1224贯穿第一侧壁1221与第二侧壁1222，优选的，调节孔1224的数量为3。

在本实施例中，第二连接杆121与底壁1223通过焊接的方式连接固定。

辅助水泵卸载装置10还包括第三固定件150，请参考图5，搬运组件123设置在第一侧壁1221与第二侧壁1222之间，通过第三固定件150与调节孔1224的配合实现搬运组件123与吊杆122连接；

多个调节孔1224用于调整搬运组件123与吊杆122的相对位置，多个调节孔1224的排列方向与吊杆122的延伸方向相同。

进一步地，请参照图6，为了加强各个部件之间的连接，第一吊具组件110包括第一肋板113、第二肋板114以及第三肋板115。第一肋板113设置在第一连接杆112与第一支撑底座1111之间，第一肋板113用于加固第一连接杆112与第一支撑底座1111的连接。第二肋板114设置在第一连接杆112与第二支撑底座1112之间，第二肋板114用于加固第一连接杆112与第二支撑底座1112之间的连接。第三肋板115设置在第一支撑底座1111与第二支撑底座1112之间，第三肋板115用于加固第一支撑底座1111与第二支撑底座1112之间的连接。

进一步地，第二吊具组件120还包括加固杆124，加固杆124的一端与第二连接杆121连接，加固杆124的另一端与底壁1223连接，且设置在第一侧壁1221与第二侧壁1222之间，加固杆124用于加固第二连接杆121与吊杆122的连接，使第二吊具组件120的结构更加稳定。

进一步地，搬运组件123包括环链葫芦。

本申请提供的辅助水泵卸载装置10对水泵进行卸载的过程如下所述，首先将第一吊具组件110与半导体制造设备固定，其次将第二吊具组件120与通过第二连接杆121与第一连接杆112连接在一起，第二固定件140与配合好的第一配合孔1121与第二配合孔1211进行配合使第一连接杆112与第二连接杆121固定在一起，且第一连接杆112与第二连接杆121通过第二固定件140不会发生相对转动，最后选择位置合适的调节孔1224，将环链葫芦通过第三固定件150与调节孔1224的配合与吊杆122连接。辅助水泵卸载装置10固定后，将环链葫芦的链条往下放，并与水泵固定好且确保不会脱落后，操作人员通过环链葫芦对水泵进行升降控制，且在升降过程中需要操作人员控制水泵的运动轨迹，通过上述操作，即实现了对水泵的卸载或安装。

综上所述，本申请提供一种辅助水泵卸载装置，该辅助水泵卸载装置包括：第一吊具组件、第二吊具组件。第一吊具组件包括支撑底座与第一连接杆，第一连接杆与支撑底座固定连接，其中，第一连接杆与支撑底座相互垂直。第二吊具组件包括第二连接杆、吊杆以及搬运组件，吊杆的一端与第二连接杆固定连接，吊杆的另一端与搬运组件连接，搬运组件用于对待装卸的水泵进行搬运，其中，吊杆与第二连接杆相互垂直。第一吊具组件与第二吊具组件通过第一连接杆与第二连接杆进行连接，支撑底座与容置水泵的半导体制作设备的壳体固定连接，以使吊杆以及搬运组件位于待装卸的水泵上方，一边通过搬运组件对水泵进行卸载作业。本申请提供的辅助水泵卸载装置在于，该装置由第一吊具组件与第二吊具组件组成，便于安装与携带，辅助水泵卸载装置与半导体制作设备的壳体固定连接，避免了半导体制作设备所在的环境无法提供用于固定的地面或墙面的问题，用于装卸水泵的搬运组件无需电源供给，避免了半导体制作设备所在的环境无法提供电源的问题。通过本申请提供的辅助水泵卸载装置，使针对水泵的相关工作变得高效快捷，且减少了参与工作的操作人员，并保证了工作人员的人身安全。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种辅助水泵卸载装置，其特征在于，所述辅助水泵卸载装置包括：第一吊具组件和第二吊具组件；

所述第一吊具组件包括支撑底座与第一连接杆，所述第一连接杆与所述支撑底座固定连接，其中，所述第一连接杆与所述支撑底座相互垂直；

所述第二吊具组件包括第二连接杆、吊杆以及搬运组件，所述吊杆一端与所述第二连接杆固定连接，所述吊杆另一端与所述搬运组件连接，所述搬运组件用于对待装卸的水泵进行搬运，其中，所述吊杆与所述第二连接杆相互垂直；

所述第一吊具组件与所述第二吊具组件通过所述第一连接杆与所述第二连接杆连接，所述支撑底座与容置水泵的半导体制作设备的壳体固定连接，以使所述吊杆以及所述搬运组件在所述待装卸的水泵的上方，以便通过所述搬运组件对水泵进行卸载作业。

2.根据权利要求1所述的辅助水泵卸载装置，其特征在于，所述支撑底座包括相互垂直的第一支撑底座与第二支撑底座，所述第一支撑底座的一端与所述第二支撑底座的一端连接固定，所述第一连接杆一端固定连接在所述第一支撑和所第二支撑的连接处，其中，所述第一连接杆的延伸方向和所述第一支撑底座与所述第二支撑底座形成的支撑面垂直。

3.根据权利要求2所述的辅助水泵卸载装置，其特征在于，所述第一支撑底座和所述第二支撑底座为凹槽结构；

所述第一支撑底座远离所述第一连接杆的一端设置有第一锁定结构，所述第二支撑底座远离所述第一连接杆的一端设置有第二锁定结构，所述第一锁定结构设置在所述第一支撑底座中凹槽结构的相对两侧侧壁上，所述第二锁定结构设置在所述第二支撑底座中凹槽结构的相对两侧侧壁上；

所述辅助水泵卸载装置还包括第一固定件；

所述第一支撑底座通过所述第一固定件与所述第一锁定结构的配合实现与半导体制作设备的壳体固定，所述第二支撑底座通过所述第一固定件与所述第二锁定结构的配合实现与半导体制作设备的壳体固定。

4.根据权利要求3所述的辅助水泵卸载装置，其特征在于，所述第一连接杆远离所述支撑底座的一端设置有多个第一配合孔，所述第二连接杆远离所述吊杆的一端设置有多个与所述第一配合孔对应的第二配合孔；

所述辅助水泵卸载装置还包括第二固定件，所述第二固定件通过锁定重合的所述第一配合孔与所述第二配合孔将所述第一吊具组件与所述第二吊具组件固定。

5.根据权利要求4所述的辅助水泵卸载装置，其特征在于，多个所述第一配合孔在所述第一连接杆上沿所述第一连接杆的延伸方向排布，多个所述第二配合孔在所述第二连接杆上沿所述第二连接杆的延伸方向排布。

6.根据权利要求5所述的辅助水泵卸载装置，其特征在于，所述吊杆包括相对设置的第一侧壁、第二侧壁、以及连接在第一侧壁与所述第二侧壁之间的底壁，所述第一侧壁与所述第二侧壁设置在所述底壁的同一侧；

所述吊杆在靠近所述搬运组件的一端设置有多个调节孔，多个所述调节孔贯穿所述第一侧壁与所述第二侧壁；

所述第二连接杆与所诉底壁连接固定；

所述辅助水泵卸载装置还包括第三固定件，所述搬运组件设置在所述第一侧壁与所述第二侧壁之间，通过所述第三固定件与所述调节孔的配合实现与所述吊杆连接；

多个所述调节孔用于调整所述搬运组件与所述吊杆的相对位置，多个所述调节孔的排列方向与所述吊杆的延伸方向相同。

7.根据权利要求6所述的辅助水泵卸载装置，其特征在于，所述第一吊具组件包括第一肋板、第二肋板以及第三肋板；

所述第一肋板设置在所述第一连接杆与所述第一支撑底座之间，所述第一肋板用于加固所述第一连接杆与所述第一支撑底座的连接；

所述第二肋板设置在所述第一连接杆与所述第二支撑底座之间，所述第二肋板用于加固所述第一连接杆与所述第二支撑底座之间的连接；

所述第三肋板设置在所述第一支撑底座与所述第二支撑底座之间，所述第三肋板用于加固所述第一支撑底座与所述第二支撑底座之间的连接。

8.根据权利要求7所述的辅助水泵卸载装置，其特征在于，所述第二吊具组件还包括加固杆；

所述加固杆的一端与所述第二连接杆连接，所述加固杆的另一端与所述底壁连接，且设置在第一侧壁与第二侧壁之间，所述加固杆用于加固所述第二连接杆与所述吊杆的连接。

9.根据权利要求8所述的辅助水泵卸载装置，其特征在于，所述第一连接杆与所述第二连接杆均为空心圆管，所述第一连接杆的空心半径大于所述第二连接杆的外半径。

10.根据权利要求9所述的辅助水泵卸载装置，其特征在于，所述搬运组件包括环链葫芦。