CN210497481U - 一种腔体清洁装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种腔体清洁装置，用于清洁连接有真空分子泵的腔体，真空分子泵通过一真空阀门与腔体连接，包括：一清洁夹具，设置于腔体的真空阀门内，用于覆盖真空阀门与连接真空分子泵的管道口；一连接件，固定于真空阀门的外接端口；一吸尘器，与连接件连接。本实用新型技术方案的有益效果在于：通过在真空阀门内设置清洁夹具，以防在对腔体进行清洁作业时颗粒掉入真空分子泵内而导致真空分子泵故障，进一步延长真空分子泵的使用寿命；并且，该装置可以有效地提高清洁的效果，以防因颗粒残留在腔体内而导致晶圆缺陷，进一步提高产品的良率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种腔体清洁装置。
背景技术
在半导体的制造过程中，尤其是在等离子体刻蚀工艺中，腔体(chamber)内常会产生大量的颗粒(particle)，若颗粒掉落到晶圆上势必会导致晶圆损伤，进一步地影响晶圆的良率。半导体设备在长时间使用后会带来部件消耗，因此，需要重新对腔体进行清洁。
现有的清洁方式是先使用刮刀将颗粒清除，然后使用吸尘器将颗粒吸出，最后再使用蘸取异丙醇(IPA)的无尘布对腔体的死角以及细小颗粒进行清洁，待腔体清除干净后，打开真空分子泵(turbo pump)上的真空阀门(VAT)，将真空阀门的托盘取出，然后进行对VAT进行清洁作业。将以上全部作业都完成后，还需要对腔体进行核实，方可进行腔体恢复作业。
如图1所示，由于腔体2内的空间有限，工作人员在清洁的过程中无法触及静电吸盘3(ESC)下方和真空阀门4(VAT)之间的位置，使腔体里存在清洁死角，且每次使用化学品清洁腔体时，颗粒可能与化学品之间产生吸附力而依附在腔体的死角，无法清理干净。待清洁作业结束后，伴随腔体内温度恢复，残留的颗粒物可能导致静电吸盘3无法吸附晶圆。并且，由于在清洁腔体时真空阀门4处于关闭状态，因此，真空阀门4的托盘会存在大量处理不到的颗粒，当进行VAT清洁作业时，在取出VAT的托盘时，存在颗粒掉入真空分子泵5的风险，若处理不当，轻则引起真空分子泵故障，重则影响真空分子泵的使用寿命。
发明内容
针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种腔体清洁装置。
具体技术方案如下：
本实用新型包括一种腔体清洁装置，用于清洁连接有真空分子泵的腔体，所述真空分子泵通过一真空阀门与所述腔体连接，包括：
一清洁夹具，设置于所述腔体的真空阀门内，用于覆盖所述真空阀门与连接所述真空分子泵的管道口；
一连接件，固定于所述真空阀门的外接端口；
一吸尘器，与所述连接件连接。
优选的，所述清洁夹具为圆盘形夹具。
优选的，所述清洁夹具包括一铁质内芯，所述铁质内芯外包裹橡胶层。
优选的，所述连接件包括一固定板，所述固定板通过复数个螺钉固定于所述真空阀门的外接端口。
优选的，所述连接件还包括一吸尘腔，所述吸尘腔包括广口端与窄口端；
所述吸尘腔的广口端与所述固定板连接；
所述吸尘腔的窄口端与所述吸尘器连接。
优选的，所述吸尘器的广口端的尺寸与所述真空阀门的外接端口的尺寸适配。
优选的，所述清洁夹具的尺寸与所述真空阀门的尺寸适配。
优选的，所述清洁夹具的直径为25cm。
优选的，所述吸尘腔的广口端的宽度为27cm，高度为15cm；
所述吸尘腔的窄口端的直径为8.5cm。
优选的，所述连接件的材质为PVC塑胶。
本实用新型技术方案的有益效果在于：通过在真空阀门内设置清洁夹具，以防在对腔体进行清洁作业时颗粒掉入真空分子泵内而导致真空分子泵故障，进一步延长真空分子泵的使用寿命；并且，该装置可以有效地提高清洁的效果，以防因颗粒残留在腔体内而导致晶圆缺陷，进一步提高产品的良率。
附图说明
图1为本实用新型实施例中腔体的结构示意图；
图2为本实用新型实施例中腔体清洁装置的结构示意图；
图3为本实用新型实施例中连接件的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。
本实用新型包括一种腔体清洁装置，用于清洁连接有真空分子泵5的腔体，真空分子泵通过一真空阀门与腔体2连接，如图1与图2所示，包括：
一清洁夹具11，设置于腔体2的真空阀门4内，用于覆盖真空阀门4与连接真空分子泵5的管道口；
一连接件12，固定于真空阀门4的外接端口；
一吸尘器13，与连接件12连接。
具体地，通过上述技术方案，清洁夹具11的形状为圆盘形，其尺寸与真空阀门4的托盘适配，以使清洁夹具11能够将真空阀门4连接真空分子泵5的管道口全部覆盖，本实施例中清洁夹具11的直径为25cm。清洁夹具11包括一铁质内芯，以使清洁夹具11依靠自身重量固定于真空阀门4内，避免吸尘器13启动后产生的负压使清洁夹具11移动；铁质内芯的外包裹橡胶层，以防铁质内芯在腔体内磕碰，对腔体内的部件造成磨损。
具体地，在对腔体2进行清洁作业之前，首先将清洁夹具11放置于真空阀门4的托盘上，以防止清洁的过程中颗粒物掉落在真空阀门4的托盘上，进一步地，通过连接件12将真空阀门4与吸尘器13相连，连接件12的一端连接吸尘器13且连接件12的另一端连接真空阀门4的外接端口40，以使连接件12的另一端朝向真空阀门4的内部，当颗粒掉落在放置于真空阀门4内部的清洁夹具11的表面时，启动吸尘器13及时吸走清洁夹具11表面的颗粒，以达到清洁腔体2内颗粒的目的。本实施例中的吸尘器13采用功率为1800W的吸尘器。
进一步地，在对腔体2(chamber)进行清洁作业后，将真空阀门4取出时，真空阀门4的托盘上不会残留颗粒，避免了颗粒掉入真空分子泵5而导致真空分子泵故障的风险，进一步地，延长了真空分子泵的寿命。
在一种较优的实施例中，如图3所示，连接件12包括一固定板120，固定板120通过复数个螺钉固定于真空阀门4的外接端口40；
连接件12还包括一吸尘腔121，吸尘腔121包括广口端(未在附图中标明)与窄口端121a；
吸尘腔121的广口端与固定板120连接；
吸尘腔121的窄口端121a与吸尘器13连接。
具体地，连接件12的材质为PCV塑胶，其主要成分为聚氯乙烯，具有阻燃(阻燃值为40以上)、耐化学药品性高(耐浓盐酸、浓度为90％的硫酸、浓度为60％的硝酸和浓度20％的氢氧化钠)、机械强度及电绝缘性良好的优点，进一步地，采用PVC塑胶可使连接件12的使用寿命更长；并且使用PCV塑胶材料的成本也较低，材质较轻，便于运输和安装。
具体地，在腔体2正常运行的过程中，外接端口40上设有一盖板，盖板用于密封以维持真空阀门4内的真空。固定板120的尺寸根据盖板的尺寸而制定，以使固定板120与外接端口40适配，由于本实施例中的真空阀门4的外接端口40为矩形，因此，固定板120的形状也为矩形，固定板120的四个角上均设有螺孔，可通过四个螺钉将固定板120固定于真空阀门4的外接端口40。
具体地，吸尘腔121的广口端为矩形，广口端的宽度为27cm，其高度为15cm；吸尘腔121的窄口端121a为圆形，窄口端的直径为8.5cm。为吸尘腔121的广口端与固定板120连接，以使吸尘腔121通过固定板120固定于真空阀门4的外接端口40上。吸尘器121的广口端的尺寸应与真空阀门4的外接端口40的尺寸相同，以使真空阀门4内的颗粒能够通过吸尘腔121进入吸尘器13。吸尘器13可通过管道连接吸尘腔121的窄口端121a，管道的内径应与窄口端121a的直径适配。
进一步地，通过上述技术方案，在对腔体2进行清洁时，吸尘器13可及时将腔体2内的颗粒吸走，在完成对腔体2的清洁作业后，再将真空阀门4的托盘取出。由于清洁夹具11上的颗粒已被吸尘器带走，此时，真空阀门4的托盘上不会残留颗粒，因此避免了在取出托盘的过程中颗粒掉入真空分子泵5的风险。
本实用新型技术方案的有益效果在于：通过在真空阀门内设置清洁夹具，以防在对腔体进行清洁作业时颗粒掉入真空分子泵内而导致真空分子泵故障，进一步延长真空分子泵的使用寿命；并且，该装置可以有效地提高清洁的效果，以防因颗粒残留在腔体内而导致晶圆缺陷，进一步提高产品的良率。
以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。
Claims (10)
1.一种腔体清洁装置，用于清洁连接有真空分子泵的腔体，所述真空分子泵通过一真空阀门与所述腔体连接，其特征在于，包括：
一清洁夹具，设置于所述腔体的真空阀门内，用于覆盖所述真空阀门与连接所述真空分子泵的管道口；
一连接件，固定于所述真空阀门的外接端口；
一吸尘器，与所述连接件连接。
2.根据权利要求1所述的腔体清洁装置，其特征在于，所述清洁夹具为圆盘形夹具。
3.根据权利要求1所述的腔体清洁装置，其特征在于，所述清洁夹具包括一铁质内芯，所述铁质内芯外包裹橡胶层。
4.根据权利要求1所述的腔体清洁装置，其特征在于，所述连接件包括一固定板，所述固定板通过复数个螺钉固定于所述真空阀门的外接端口。
5.根据权利要求4所述的腔体清洁装置，其特征在于，所述连接件还包括一吸尘腔，所述吸尘腔包括广口端与窄口端；
所述吸尘腔的广口端与所述固定板连接；
所述吸尘腔的窄口端与所述吸尘器连接。
6.根据权利要求4所述的腔体清洁装置，其特征在于，所述吸尘器的广口端的尺寸与所述真空阀门的外接端口的尺寸适配。
7.根据权利要求1所述的腔体清洁装置，其特征在于，所述清洁夹具的尺寸与所述真空阀门的尺寸适配。
8.根据权利要求1所述的腔体清洁装置，其特征在于，所述清洁夹具的直径为25cm。
9.根据权利要求5所述的腔体清洁装置，其特征在于，所述吸尘腔的广口端的宽度为27cm，高度为15cm；
所述吸尘腔的窄口端的直径为8.5cm。
10.根据权利要求1所述的腔体清洁装置，其特征在于，所述连接件的材质为PVC塑胶。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN112830248A (zh) * | 2021-02-05 | 2021-05-25 | 深圳市赛立鸿塑胶五金有限公司 | 一种应用于led灯箱加工的吸盘夹具 |
| CN116469827A (zh) * | 2023-04-28 | 2023-07-21 | 东莞平晶微电子科技有限公司 | 一种用于toll封装加工用晶圆基片晶体缺陷的检测装置 |
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