KR20130070194A - 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치는, 주행레일을 따라 이송하는 차륜을 감싸도록 형성되는 커버; 상기 차륜에서 발생된 분진을 집진하는 집진부; 및 상기 커버와 집진부를 연결하는 흡입유로;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 차륜을 감싸는 커버 및 집진부에 의해 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜과 주행레일 간의 마찰에 의해 발생하는 분진을 집진하는 효과가 있다.

Description

오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치{Wheels dust collector of overhead hoist transport}
본 발명은 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 차륜에서 발생하는 분진을 집진하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치에 관한 것이다.
일반적으로 LCD 등을 생산하는 반도체공정에서 패널 및 자재를 효율적으로 반송시키기 위한 용도로 오버헤드 호이스트 이송장치(OHT:Overhead Hoist Transfer)가 사용되고 있다.
이러한 오버헤드 호이스트 이송장치는 반도체 자동 반송장비 중 가장 제작 및 구동 난이도가 높으며 고부가가치 장비로 반도체 공장 천장에 고정돼 있는 주행레일을 따라 공정간 반송을 담당한다.
또한, 오버헤드 호이스트 이송장치는 클린룸에 설치되며, 이러한 클린룸은 주로 반도체, 전자기기, 정밀기계공업 등 첨단산업의 제품생산설비에서 부유 미립자가 제조중인 제품에 부착되지 않도록 함으로써 제품의 불량을 방지하고, 제품의 정밀화, 미소화, 고품질화 및 고 신뢰성을 확보하기 위한 것으로, 공장 전체 또는 중요한 작업이 이루어지는 부분에 대해서 청정한 환경을 유지하도록 설비된다.
그러나, 종래의 오버헤드 호이스트 이송장치는 우레탄 등으로 형성된 차륜이 주행레일을 따라 고속 이동하며 마찰에 의한 분진(particle)이 발생하는 문제점이 있었다.
구체적으로, 전동기 등과 같은 구동원에 의해 회전 주행하는 차륜이 매우 빠른 속도로 회전하게 되므로 주행 동작 중에는 많은 분진이 발생하고, 이와 같이 발생된 분진은 빠른 차륜의 회전에 의해 비산된다.
즉, 차륜에서 발생하는 분진이 클린룸 내에서 부유하며 제조중인 반도체 등에 부착되어 제품 불량이 발생하여 제품 수율에 좋지 않은 영향을 미치게 된다.
따라서, 차륜에서 발생하는 분집을 집진하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치의 개발이 요구되고 있는 실정이다.
본 발명은 전술한 종래의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜과 주행레일 간의 마찰에 의해 발생하는 분진을 집진하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치를 제공하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치는, 주행레일을 따라 이송하는 차륜을 감싸도록 형성되는 커버; 상기 차륜에서 발생된 분진을 집진하는 집진부; 및 상기 커버와 집진부를 연결하는 흡입유로;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 커버에는 주행레일과 접촉하지 않도록 돌출되는 개구부가 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 개구부는 주행레일 방향으로 내부 단면적이 작아지도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 커버에는 흡입유로와 연결되는 흡입구가 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 커버에는 차륜의 양측을 감싸는 흡입 가이드가 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 흡입가이드는 호형으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 흡입가이드는 차륜의 주행방향과 반대되는 방향에 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 집진부는, 모터, 상기 모터의 구동원으로 회전하며 흡입력을 발생시키는 팬 및 필터로 구성된 팬필터유닛(FFU: FAN FILTER UNIT)으로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 커버의 양측에는 걸림편이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 커버는 하부가 개구된 직육면체 형상으로 상부가 반원형으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치에 따르면, 차륜을 감싸는 커버 및 집진부에 의해 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜과 주행레일 간의 마찰에 의해 발생하는 분진을 집진하는 효과가 있다.
즉, 차륜에서 발생하는 분진이 집진되기 때문에 클린룸을 청정한 상태로 유지하여 클린룸 내에서 제조중인 반도체 등의 제품 불량을 억제하여 제품 수율이 향상된다.
도 1은 본 발명에 따른 오버헤드 호이스트 이송장치를 도시한 사시도이다.
도 2 내지 도 3은 도 1의 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치를 도시한 사시도이다.
도 4는 도 2의 단면도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 오버헤드 호이스트 이송장치를 도시한 사시도이고, 도 2 내지 도 3은 도 1의 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치를 도시한 사시도이며, 도 4는 도 2의 단면도이다.
먼저, 도 1에 도시한 바와 같이, LCD 등을 생산하는 반도체공정에서 패널 및 자재를 효율적으로 반송시키기 위한 용도로 클린룸의 천장에 설치된 주행레일(R)을 따라 이동하는 오버헤드 호이스트 이송장치(A)(OHT:Overhead Hoist Transfer)는 공지된 기술이므로 상세한 설명은 생략하고 동작만 간단히 설명한다.
상기 오버헤드 호이스트 이송장치(A)는 전동기 등과 같은 구동원에 의해 회전 주행하는 우레탄 소재의 차륜(W)이 주행레일(R)을 따라 이동하게 된다.
이때, 상기 차륜(W)은 매우 빠른 속도로 회전하게 되므로 주행 동작 중에는 많은 분진이 발생하고, 이와 같이 발생된 분진은 차륜(W)의 빠른 회전에 의해 비산된다.
이에 따라, 상기 차륜(W)에서 발생하는 분진을 집진하는 위해 본 발명의 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치(100)가 개시되었다.
도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치(100)는, 주행레일(W)을 따라 이송하는 차륜(W)을 감싸도록 형성되는 커버(110)와, 상기 차륜(W)에서 발생된 분진을 집진하는 집진부(120) 및 상기 커버(110)와 집진부(120)를 연결하는 흡입유로(130)로 구성된다.
또한, 상기 커버(110)는 하부가 개구된 직육면체 형상으로 상부가 반원형으로 형성된다. 즉, 상기 커버(110)는 차륜(W)의 중심축을 기준으로 반원형의 상부가 상기 차륜(W)의 상부를 감싸는 형상이다.
그리고, 상기 커버(110)에는 주행레일(R)과 접촉하지 않도록 돌출되는 개구부(111)가 형성되며, 상기 개구부(111)는 주행레일(R) 방향으로 내부 단면적이 작아지도록 형성되어 흡입효율이 향상된다.
즉, 상기 개구부(111)는 주행레일(R)과 차륜(W)의 접촉부위에서 발생하는 분진을 집중적으로 흡입하는 구조를 갖는다.
한편, 상기 커버(110)에는 흡입유로(130)와 연결되는 흡입구(112)가 형성되어 상기 집진부(120)의 흡입력을 커버(110) 내측으로 작용하게 된다. 즉, 상기 진집부(120)의 흡입력이 흡입구(112), 커버(110) 내부 및 개구부(111)를 통해 작용하게 되는 것이다.
또한, 상기 커버(110)에는 차륜(W)의 양측 일부를 감싸는 흡입 가이드(113)가 형성되며, 상기 흡입가이드(113)는 호형으로 형성된다.
즉, 상기 흡입가이드(113)에 의해 상기 커버(110)의 벽면과 차륜(W)의 벽면 사이로 비산될 수 있는 분진을 상기 흡입구(112) 방향으로 집중시키게 된다.
이에 따라, 상기 개구부(111)를 통해 흡입된 분진은 상기 흡입가이드(113)를 거쳐 흡입구(112)로 배출되는 구조를 갖는다.
그리고, 상기 흡입가이드(113)는 차륜(W)의 주행방향과 반대되는 방향의 상기 커버(110)에 형성되어 상기 차륜(W)의 주행중 발생하는 분진을 효율적으로 흡입하게 된다. 이는 상기 차륜(W)의 회전에 의해 발생된 분진은 차륜(W)의 주행방향과 반대되는 방향, 차륜의 우측(도 4 기준)으로 비산되기 때문이다. 물론, 상기 흡입구(112)의 형성위치 또한 상기 흡입가이드(113)와 동일하다.
더욱이, 상기 흡입가이드(113)에는 상기 흡입구(112)에 대응되는 부위가 관통 형성된다.
그리고, 상기 흡입가이드(113)는 상기 커버(110)와 일체형으로 형성되거나 별도의 단품으로 상기 커버(110)에 부착된다.
한편, 상기 집진부(120)는 모터, 상기 모터의 구동원으로 회전하며 흡입력을 발생시키는 팬 및 필터로 구성된 팬필터유닛(FFU: FAN FILTER UNIT)으로 구성된다. 즉, 흡입력을 발생시키는 팬필터유닛에 의해 분진은 필터에 의해 여과되며 여과된 공기만 상기 집진부(120)의 외부로 배출한다.
이러한 팬필터유닛은 공지된 기술이므로 구성 및 동작에 관한 상세한 설명은 생략한다.
또한, 상기 커버(110)의 양측에는 걸림편(114)이 형성되어 오버헤드 호이스트 이송장치(A)의 구동부에 안착된다. 이때 상기 걸림편(114)과 구동부는 기계적인 결합수단(리벳, 볼트 너트 등)에 의해 견고하게 체결되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 상기 차륜(W)을 감싸는 커버(110) 및 집진부(120)에 의해 오버헤드 호이스트 이송장치(A)의 차륜(W)과 주행레일(R) 간의 마찰에 의해 발생하는 분진을 집진하게 된다.
특히, 상기 차륜(W)에서 발생하는 분진이 집진되기 때문에 클린룸을 청정한 상태로 유지하여 클린룸 내에서 제조중인 반도체 등의 제품 불량을 억제하여 제품 수율이 향상된다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 전술한 실시 예에 한정되지 않고 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 이때, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 고려해야 할 것이다.
예를 들어, 전술한 설명에서는 차륜 집진장치(100)를 오버헤드 호이스트 이송장치(A)에 적용한 상태로 설명하였지만, 이를 특별히 한정하는 것은 아니며 차륜과 레일 이송부위에서의 발생되는 분진을 집진할 수 있는 다양한 장치에 적용할 수 있음을 밝혀둔다.
A - 오버헤드 호이스트 이송장치 R - 주행레일
W - 차륜 100 - 차륜 집진장치
110 - 커버 120 - 집진부
130 - 흡입유로

Claims (10)

  1. 주행레일을 따라 이송하는 차륜을 감싸도록 형성되는 커버;
    상기 차륜에서 발생된 분진을 집진하는 집진부; 및
    상기 커버와 집진부를 연결하는 흡입유로;를 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 커버에는 주행레일과 접촉하지 않도록 돌출되는 개구부가 형성되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 개구부는 주행레일 방향으로 내부 단면적이 작아지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 커버에는 흡입유로와 연결되는 흡입구가 형성되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 커버에는 차륜의 양측을 감싸는 흡입 가이드가 형성되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 흡입가이드는 호형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 흡입가이드는 차륜의 주행방향과 반대되는 방향에 형성되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 집진부는,
    모터, 상기 모터의 구동원으로 회전하며 흡입력을 발생시키는 팬 및 필터로 구성된 팬필터유닛(FFU: FAN FILTER UNIT)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 커버의 양측에는 걸림편이 형성되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 커버는 하부가 개구된 직육면체 형상으로 상부가 반원형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치.
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