CN210171151U - 具有高温脱附的单转轮改良系统 - Google Patents

Abstract

一种具有高温脱附的单转轮改良系统，主要通过一焚烧装置、一吸附转轮、一第一加热装置、一第二加热装置、一外气进气管路及一烟囱的组合设计，且通过该外气进气管路的另一端与该第二加热装置连接，以让外气进气管路的一端能供新鲜空气或是外气来进入，并通过该外气进气管路来输送到该第二加热装置，再通过该第二加热装置来进行加温，以让进入该吸附转轮的高温脱附区的高温热气的温度能达到一定温度(例如300℃)，而具有高温脱附的效能。

Description

具有高温脱附的单转轮改良系统

技术领域

本实用新型涉及一种具有高温脱附的单转轮改良系统，尤其涉及一种能增加有机废气处理效能，且节省能耗，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的厂房的废气处理。

背景技术

目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体(VOC)，因此，在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备，以避免挥发性有机气体(VOC)直接排入空气中而造成空气污染。

而目前在厂区安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备大多采用吸附转轮方式来吸附挥发性有机气体(VOC)，但在使用一段时间后，常有高沸点物质不易脱附而残留于吸附转轮上，直接影响了吸附转轮的吸附效能，因此，目前处理方式都是委托外面专业厂商来定期进行洗涤吸附转轮，以确保吸附转轮的运作效率和气流流畅度。

但上述的定期进行洗涤吸附转轮时，都需要使用大量的清水来进行清洗，也因此产生大量含有挥发性有机气体(VOC)的废水，而此时含有挥发性有机气体(VOC)的废水中的化学需氧量(COD)非常高，无法直接由厂内废水处理系统处理后放流，须委托专业合格废弃物清运公司来进行处理才行。

因此，本申请人有鉴于上述缺陷，期望能提出一种具有高温脱附的效能的具有高温脱附的单转轮改良系统，令使用者可轻易操作组装，是潜心研思、设计组制，以提供使用者便利性，为本申请人所欲研发的创作动机。

实用新型内容

本实用新型的主要目的，在于提供一种具有高温脱附的单转轮改良系统，主要通过一焚烧装置、一吸附转轮、一第一加热装置、一第二加热装置、一外气进气管路及一烟囱的组合设计，且通过该外气进气管路的另一端与该第二加热装置连接，以让外气进气管路的一端能供新鲜空气或是外气来进入，并通过该外气进气管路来输送到该第二加热装置，再通过该第二加热装置来进行加温，以让进入该吸附转轮的高温脱附区的高温热气的温度能达到一定温度(例如300℃)，而具有高温脱附的效能，进而增加整体的实用性。

本实用新型的另一目的，在于提供一种具有高温脱附的单转轮改良系统，且通过该吸附转轮增设一高温脱附区，以用来进行在线运转(ONLINE)时，能将所残留的高沸点有机物(VOC)脱出，让该吸附转轮能恢复其吸附能力，而增加挥发性有机废气的处理效能，并达到减少污染物排放的效果，进而增加整体的使用性。

为达上述目的，本实用新型第一种实施结构为一种具有高温脱附的单转轮改良系统，包括：一焚烧装置、一吸附转轮、一第一加热装置、一第二加热装置、一外气进气管路及一烟囱，该吸附转轮设有吸附区、冷却区、脱附区及高温脱附区，该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一第一热气输送管路、一第二热气输送管路、一脱附浓缩气体管路及一高温脱附浓缩气体管路，该废气进气管路的一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧，该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接，该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接，该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接，该第一热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接，该第二热气输送管路的一端与该吸附转轮的高温脱附区的另一侧连接，该脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接，该脱附浓缩气体管路的另一端与该焚烧装置连接，该高温脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的高温脱附区的一侧连接，该高温脱附浓缩气体管路的另一端与该脱附浓缩气体管路连接；该冷却气输送管路的另一端与该第一加热装置连接，该第一热气输送管路的另一端与该第一加热装置连接；该第二热气输送管路的另一端与该第二加热装置连接；该外气进气管路的另一端与该第二加热装置连接；以及该净气排放管路的另一端与该烟囱连接。

本实用新型第二种实施结构为一种具有高温脱附的单转轮改良系统，包括：一焚烧装置、一吸附转轮、一第一加热装置、一第二加热装置、一外气进气管路及一烟囱，该吸附转轮设有吸附区、冷却区、脱附区及高温脱附区，该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一第一热气输送管路、一第二热气输送管路、一脱附浓缩气体管路及一高温脱附浓缩气体管路，该废气进气管路的一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧，该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接，该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接，该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接，该第一热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接，该第二热气输送管路的一端与该吸附转轮的高温脱附区的一侧连接，该脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接，该脱附浓缩气体管路的另一端与该焚烧装置连接，该高温脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的高温脱附区的另一侧连接，该高温脱附浓缩气体管路的另一端与该脱附浓缩气体管路连接；该冷却气输送管路的另一端与该第一加热装置连接，该第一热气输送管路的另一端与该第一加热装置连接；该第二热气输送管路的另一端与该第二加热装置连接；该外气进气管路的另一端与该第二加热装置连接；以及该净气排放管路的另一端与该烟囱连接。

为了能够更进一步了解本实用新型的特征、特点和技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，但所附附图仅提供参考与说明用，非用以限制本实用新型。

附图说明

图1为本实用新型第一种实施结构的主要系统结构示意图；

图2为本实用新型第一种实施结构的另一系统结构示意图；

图3为本实用新型第二种实施结构的主要系统结构示意图；

图4为本实用新型第二种实施结构的另一系统结构示意图。

【附图标记说明】

A、一侧

B、另一侧

100、焚烧装置

101、入口

102、出口

110、吸附转轮

1101、吸附区

1102、冷却区

1103、脱附区

1104、高温脱附区

111、废气进气管路

112、净气排放管路

1121、风机

113、冷却气进气管路

114、冷却气输送管路

115、第一热气输送管路

116、脱附浓缩气体管路

1161、风机

117、第二热气输送管路

118、高温脱附浓缩气体管路

120、第一加热装置

130、第二加热装置

140、烟囱

150、废气连通管路

151、废气连通控制阀门

160、外气进气管路

200、焚烧装置

201、入口

202、出口

210、吸附转轮

2101、吸附区

2102、冷却区

2103、脱附区

2104、高温脱附区

211、废气进气管路

212、净气排放管路

2121、风机

213、冷却气进气管路

214、冷却气输送管路

215、第一热气输送管路

216、脱附浓缩气体管路

2161、风机

217、第二热气输送管路

218、高温脱附浓缩气体管路

220、第一加热装置

230、第二加热装置

240、烟囱

250、净气连通管路

251、净气连通控制阀门

260、外气进气管路

具体实施方式

请参阅图1至图4，为本实用新型实施例的示意图。而本实用新型的具有高温脱附的单转轮改良系统的最佳实施方式运用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的厂房的废气处理，通过本实用新型的设计，以用来进行在线运转(ON LINE)时，能将所残留的高沸点有机废气(VOC)脱出，让该吸附转轮能恢复其吸附能力，而增加挥发性有机废气的处理效能，并达到减少污染物排放的效果。

而本实用新型第一种实施结构的具有高温脱附的单转轮改良系统，主要通过一焚烧装置100、一吸附转轮110、一第一加热装置120、一第二加热装置130、一外气进气管路160及一烟囱140的组合设计(如图1及图2所示)，其中该焚烧装置100为直燃式焚烧炉(TO)(图未示)、触媒炉(图未示)或蓄热式焚烧炉(RTO)的其中之一，而本实用新型第一种实施结构的图示以蓄热式焚烧炉(RTO)为例，且下面说明的焚烧装置100是为蓄热式焚烧炉(RTO)，但本实用新型不以蓄热式焚烧炉(RTO)为限，也可以是直燃式焚烧炉(TO)(图未示)或触媒炉(图未示)。

而本实用新型第一种实施结构的吸附转轮110设有吸附区1101、冷却区1102、脱附区1103及高温脱附区1104，其中该吸附转轮110为沸石浓缩转轮或是其他材质的浓缩转轮，且一废气进气管路111的一端连接至该吸附转轮110的吸附区1101的一侧A(如图1及图2所示)，以使该吸附转轮110的吸附区1101能吸附该废气进气管路111内的有机物，而该吸附转轮110的吸附区1101的另一侧B与该一净气排放管路112的一端连接，且该净气排放管路112的另一端与一烟囱140连接，让废气经该吸附转轮110的吸附区1101进行吸附有机物后再由该净气排放管路112来输送到烟囱140进行排放，其中该净气排放管路112设有一风机1121(如图2所示)，以能增加气体的流速来流向该烟囱140。

另外该吸附转轮110的冷却区1102的一侧A连接一冷却气进气管路113，以供气体进入该吸附转轮110的冷却区1102来进行冷却使用，而该吸附转轮110的冷却区1102的另一侧B连接一冷却气输送管路114，该冷却气输送管路114的另一端与该第一加热装置120连接(如图1及图2所示)，其中该第一加热装置120为加热器、管道加热器或热交换器的其中之一，该加热器(图未示)为电热丝、电热管或电热片的其中之一，该管道加热器(图未示)为采用气体燃料或液体燃料的其中之一。而该一第一热气输送管路115的一端与该吸附转轮110的脱附区1103的另一侧B连接，且该第一热气输送管路115的另一端与该第一加热装置120连接，以能将通过该第一加热装置120进行加热或热交换的高温热气通过该第一热气输送管路115来输送到该吸附转轮110的脱附区1103来进行脱附使用。

而上述该吸附转轮110的冷却区1102设有两种实施方式，其中第一种实施方式为该吸附转轮110的冷却区1102的一侧A所连接的冷却气进气管路113是供新鲜空气或外气进入(如图1所示)，通过该新鲜空气或外气来提供该吸附转轮110的冷却区1102降温用。另外第二种实施方式该废气进气管路111设有一废气连通管路150，而该废气连通管路150的另一端与该冷却气进气管路113连接(如图2所示)，以能通过该废气连通管路150来将该废气进气管路111内的废气输送到该吸附转轮110的冷却区1102以进行降温使用，另外该废气连通管路150设有一废气连通控制阀门151(如图2所示)，以控制该废气连通管路150的风量。

另外该一脱附浓缩气体管路116的一端与该吸附转轮110的脱附区1103的一侧A连接(如图1及图2所示)，而该脱附浓缩气体管路116的另一端与该焚烧装置100连接，而当该焚烧装置100为蓄热式焚烧炉(RTO)时，该蓄热式焚烧炉(RTO)设有入口101及出口102，而该入口101与该脱附浓缩气体管路116连接，以能将经过高温所脱附下来的脱附浓缩气体通过该脱附浓缩气体管路116来输送到该蓄热式焚烧炉(RTO)的入口101，让脱附浓缩气体能进入该蓄热式焚烧炉(RTO)内进行高温裂解，以能减少挥发性有机化合物，另外该蓄热式焚烧炉(RTO)的出口102则连接至该烟囱140，以将经过高温裂解有机物后的干净气体能由该烟囱140来排出，另外该脱附浓缩气体管路116设有一风机1161(如图2所示)，以能将脱附浓缩气体来输送进入该蓄热式焚烧炉(RTO)的入口101内，让脱附浓缩气体能进行高温裂解。

而本实用新型第一种实施结构中主要在于该吸附转轮110除了设有吸附区1101、冷却区1102及脱附区1103外，还设有高温脱附区1104(如图1及图2所示)，以用来在线运转(ON LINE)时，能将所残留的高沸点有机物(VOC)脱出，让该吸附转轮110能恢复其吸附能力，使该吸附转轮110能具有四个区域。而该吸附转轮110的高温脱附区1104的另一侧B与一第二热气输送管路117的一端连接，且该第二热气输送管路117的另一端与该第二加热装置130连接(如图1及图2所示)，其中该第二加热装置130为加热器、管道加热器或热交换器的其中之一，该加热器(图未示)为电热丝、电热管或电热片的其中之一，该管道加热器(图未示)为采用气体燃料或液体燃料的其中之一。另外该外气进气管路160的另一端与该第二加热装置130连接，以让外气进气管路160的一端能供新鲜空气或是外气来进入(如图1及图2所示)，并通过该外气进气管路160来输送到该第二加热装置130，再通过该第二加热装置130来进行加温，以让进入该吸附转轮110的高温脱附区1104的高温热气的温度能达到一定温度(例如300℃)，且将经过加温后的高温热气输送到该第二热气输送管路117内，使该第二热气输送管路117能将高温热气再输送到该吸附转轮110的高温脱附区1104，以供进行高温脱附使用。

此外，该吸附转轮110的高温脱附区1104的一侧A连接一高温脱附浓缩气体管路118，而该高温脱附浓缩气体管路118的另一端与该脱附浓缩气体管路116连接(如图1及图2所示)，以将经过该吸附转轮110的高温脱附区1104所脱附下来的高温脱附浓缩气体能通过该高温脱附浓缩气体管路118来输送到该脱附浓缩气体管路116内，再通过该脱附浓缩气体管路116输送到该蓄热式焚烧炉(RTO)的入口101，让高温脱附浓缩气体能与该脱附浓缩气体管路116内的脱附浓缩气体一起进入该蓄热式焚烧炉(RTO)内进行高温裂解。

而本实用新型第二种实施结构的具有高温脱附的单转轮改良系统，主要通过一焚烧装置200、一吸附转轮210、一第一加热装置220、一第二加热装置230、一外气进气管路260及一烟囱240的组合设计(如图3及图4所示)。而本实用新型第二种实施结构与本实用新型第一种实施结构的差异在于该吸附转轮200的一侧A与另一侧B所连接的管路及装置有部分是呈相反方向。而下列将进一步说明本实用新型第二种实施结构的内容。

其中该上述的焚烧装置200为直燃式焚烧炉(TO)(图未示)、触媒炉(图未示)或蓄热式焚烧炉(RTO)的其中之一，而本实用新型的图示以蓄热式焚烧炉(RTO)为例，且下面说明的焚烧装置200是为蓄热式焚烧炉(RTO)，但本实用新型第二种实施结构不以蓄热式焚烧炉(RTO)为限，也可以是直燃式焚烧炉(TO)(图未示)或触媒炉(图未示)。

而本实用新型第二种实施结构的吸附转轮210设有吸附区2101、冷却区2102、脱附区2103及高温脱附区2104，其中该吸附转轮210为沸石浓缩转轮或是其他材质的浓缩转轮，且一废气进气管路211的一端连接至该吸附转轮210的吸附区2101的一侧A(如图3及图4所示)，以使该吸附转轮210的吸附区2101能吸附该废气进气管路211内的有机物，而该吸附转轮210的吸附区2101的另一侧B与该一净气排放管路212的一端连接，且该净气排放管路212的另一端与一烟囱240连接，让废气经该吸附转轮210的吸附区2101进行吸附有机物后再由该净气排放管路212来输送到烟囱240进行排放，其中该净气排放管路212设有一风机2121(如图4所示)，以能增加气体的流速来流向该烟囱240。

另外该吸附转轮210的冷却区2102的另一侧B连接一冷却气进气管路213，以供气体进入该吸附转轮210的冷却区2102来进行冷却使用，而该吸附转轮210的冷却区2102的一侧A连接一冷却气输送管路214，该冷却气输送管路214的另一端与该第一加热装置220连接(如图3及图4所示)，其中该第一加热装置220为加热器、管道加热器或热交换器的其中之一，该加热器(图未示)为电热丝、电热管或电热片的其中之一，该管道加热器(图未示)为采用气体燃料或液体燃料的其中之一。而该一第一热气输送管路215的一端与该吸附转轮210的脱附区2103的一侧A连接(如图3及图4所示)，且该第一热气输送管路215的另一端与该第一加热装置220连接，以能将通过该第一加热装置220进行加热或热交换的高温热气通过该第一热气输送管路215来输送到该吸附转轮210的脱附区2103来进行脱附使用。

而上述该吸附转轮210的冷却区2102设有两种实施方式，其中第一种实施方式为该吸附转轮210的冷却区2102的另一侧B所连接的冷却气进气管路213是供新鲜空气或外气进入(如图3所示)，通过该新鲜空气或外气来提供该吸附转轮210的冷却区2102降温用。另外第二种实施方式该净气排放管路212设有一净气连通管路250，而该净气连通管路250的另一端与该冷却气进气管路213连接(如图4所示)，以能通过该净气连通管路250来将该净气排放管路212内经过该吸附转轮210的吸附区2101所吸附过后的气体输送到该吸附转轮210的冷却区2102以进行降温使用，另外该净气连通管路250设有一净气连通控制阀门251(如图4所示)，以控制该净气连通管路250的风量。

另外该一脱附浓缩气体管路216的一端与该吸附转轮210的脱附区2103的另一侧B连接(如图3及图4所示)，而该脱附浓缩气体管路216的另一端与该焚烧装置200连接，而当该焚烧装置200为蓄热式焚烧炉(RTO)时，该蓄热式焚烧炉(RTO)设有入口201及出口202，而该入口201与该脱附浓缩气体管路216连接，以能将经过高温所脱附下来的脱附浓缩气体，通过该脱附浓缩气体管路216来输送到该蓄热式焚烧炉(RTO)的入口201，让脱附浓缩气体能进入该蓄热式焚烧炉(RTO)内进行高温裂解，以能减少挥发性有机化合物，另外该蓄热式焚烧炉(RTO)的出口202则连接至该烟囱240，以将经过高温裂解有机物后的干净气体能由该烟囱240来排出，另外该脱附浓缩气体管路216设有一风机2161(如图4所示)，以能将脱附浓缩气体来推拉进入该蓄热式焚烧炉(RTO)的入口201内，让脱附浓缩气体能进行高温裂解。

而本实用新型第二种实施结构中主要在于该吸附转轮210除了设有吸附区2101、冷却区2102及脱附区2103外，还设有高温脱附区2104(如图3及图4所示)，以用来在线运转(ONLINE)时，能将所残留的高沸点有机物(VOC)脱出，让该吸附转轮210能恢复其吸附能力，使该吸附转轮210能具有四个区域。而该吸附转轮210的高温脱附区2104的一侧A与一第二热气输送管路217的一端连接，且该第二热气输送管路2]7的另一端与该第二加热装置230连接(如图3及图4所示)，其中该第二加热装置230为加热器、管道加热器或热交换器的其中之一，该加热器(图未示)为电热丝、电热管或电热片的其中之一，该管道加热器(图未示)为采用气体燃料或液体燃料的其中之一。另外该外气进气管路260的另一端与该第二加热装置230连接，以让外气进气管路260的一端能供新鲜空气或是外气来进入(如图3及图4所示)，并通过该外气进气管路260来输送到该第二加热装置230，再通过该第二加热装置230来进行加温，以让进入该吸附转轮210的高温脱附区2104的高温热气的温度能达到一定温度(例如300℃)，且将经过加温后的高温热气输送到该第二热气输送管路217内，使该第二热气输送管路217能将高温热气再输送到该吸附转轮210的高温脱附区2104，以供进行高温脱附使用。

此外，该吸附转轮210的高温脱附区2104的另一侧B连接一高温脱附浓缩气体管路218，而该高温脱附浓缩气体管路218的另一端与该脱附浓缩气体管路216连接(如图3及图4所示)，以将经过该吸附转轮210的高温脱附区2104所脱附下来的高温脱附浓缩气体能通过该高温脱附浓缩气体管路218来输送到该脱附浓缩气体管路216内，再通过该脱附浓缩气体管路216来输送到该蓄热式焚烧炉(RTO)的入口201，让高温脱附浓缩气体能与该脱附浓缩气体管路216内的脱附浓缩气体一起进入该蓄热式焚烧炉(RTO)内进行高温裂解。

通过以上详细说明，可使本领域技术人员明了本实用新型的确可达成前述目的，已符合专利法的规定，故提出专利申请。

但以上所述，仅为本实用新型的优选实施例而已，应当不能以此限定本实用新型实施的范围；所以，凡依本实用新型申请专利保护范围及实用新型说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆应仍属于本实用新型专利保护范围内。

Claims (9)

1.一种具有高温脱附的单转轮改良系统，其特征在于：包括：

一焚烧装置；

一吸附转轮，该吸附转轮设有吸附区、冷却区、脱附区及高温脱附区，该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一第一热气输送管路、一第二热气输送管路、一脱附浓缩气体管路及一高温脱附浓缩气体管路，该废气进气管路的一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧，该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接，该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接，该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接，该第一热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接，该第二热气输送管路的一端与该吸附转轮的高温脱附区的另一侧连接，该脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接，该脱附浓缩气体管路的另一端与该焚烧装置连接，该高温脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的高温脱附区的一侧连接，该高温脱附浓缩气体管路的另一端与该脱附浓缩气体管路连接；

一第一加热装置，该冷却气输送管路的另一端与该第一加热装置连接，该第一热气输送管路的另一端与该第一加热装置连接；

一第二加热装置，该第二热气输送管路的另一端与该第二加热装置连接；

一外气进气管路，该外气进气管路的另一端与该第二加热装置连接；以及

一烟囱，该净气排放管路的另一端与该烟囱连接。

2.如权利要求1所述的具有高温脱附的单转轮改良系统，其特征在于：该焚烧装置进一步为直燃式焚烧炉(TO)、触媒炉或蓄热式焚烧炉(RTO)的其中之一。

3.如权利要求2所述的具有高温脱附的单转轮改良系统，其特征在于：该蓄热式焚烧炉(RTO)设有入口及出口，该入口与该脱附浓缩气体管路连接，该出口则连接至该烟囱。

4.如权利要求1所述的具有高温脱附的单转轮改良系统，其特征在于：该第一加热装置及第二加热装置进一步为加热器、管道加热器或热交换器的其中之一，该加热器采用电热丝、电热管或电热片的其中之一，该管道加热器采用气体燃料或液体燃料的其中之一。

5.如权利要求1所述的具有高温脱附的单转轮改良系统，其特征在于：该外气进气管路进一步为供新鲜空气或是外气来进入。

6.如权利要求1所述的具有高温脱附的单转轮改良系统，其特征在于：该废气进气管路进一步设有一废气连通管路，该废气连通管路与该冷却气进气管路连接，该废气连通管路进一步设有一废气连通控制阀门，以控制该废气连通管路的风量。

7.如权利要求1所述的具有高温脱附的单转轮改良系统，其特征在于：该净气排放管路进一步设有一净气连通管路，该净气连通管路与该冷却气进气管路连接，该净气连通管路进一步设有一净气连通控制阀门，以控制该净气连通管路的风量。

8.如权利要求1所述的具有高温脱附的单转轮改良系统，其特征在于：该脱附浓缩气体管路进一步设有一风机。

9.如权利要求1所述的具有高温脱附的单转轮改良系统，其特征在于：该净气排放管路进一步设有一风机。

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