CN212657734U - 具双转轮的挥发性有机废气处理改良系统 - Google Patents
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Abstract
一种具双转轮的挥发性有机废气处理改良系统，主要通过一直燃式焚烧炉(TO)、一第一热交换器、一第二热交换器、一第三热交换器、一第一吸附转轮、一第二吸附转轮及一烟囱的组合设计，且通过该第一热交换器、第二热交换器及第三热交换器设于该直燃式焚烧炉(TO)的炉膛内，以能利用该直燃式焚烧炉(TO)的炉头所产生的高温来进行热交换，让该第二热交换器及该第三热交换器能分别提供高温热气给该第一吸附转轮的脱附区及该第二吸附转轮的脱附区使用，使具有高温脱附的效能，让整体的处理效能由以往的95％提升至97％以上。
Description
技术领域
本实用新型有关于一种具双转轮的挥发性有机废气处理改良系统，尤指一种能增进有机废气处理效能，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的厂房的废气处理。
背景技术
目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体(VOC)，因此，在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备，以避免挥发性有机气体(VOC)直接排入空气中而造成空气污染。
但是近年来，对空气污染非常重视，也因此在烟囱的排放标准上订定了有挥发性有机气体排放大气质量标准，为大气质量改善目标。
因此，本实用新型人有鉴于上述缺失，期能提出一种具有增进有机废气处理效能的具双转轮的挥发性有机废气处理改良系统，令用户可轻易操作组装，乃潜心研思、设计组制，以提供使用者便利性，为本实用新型人所欲研发的实用新型动机。
实用新型内容
本实用新型的主要目的，在于提供一种具双转轮的挥发性有机废气处理改良系统，主要通过一直燃式焚烧炉(TO)、一第一热交换器、一第二热交换器、一第三热交换器、一第一吸附转轮、一第二吸附转轮及一烟囱的组合设计，且通过该第一热交换器、第二热交换器及第三热交换器设于该直燃式焚烧炉(TO)的炉膛内，以能利用该直燃式焚烧炉(TO)的炉头所产生的高温来进行热交换，让该第二热交换器及该第三热交换器能分别提供高温热气给该第一吸附转轮的脱附区及该第二吸附转轮的脱附区使用，使具有高温脱附的效能，让整体的处理效能由以往的95％提升至97％以上，进而增加整体的实用性。
本实用新型的另一目的，在于提供一种具双转轮的挥发性有机废气处理改良系统，且通过该直燃式焚烧炉(TO)设有入口及出口，其中该入口设于该炉头处，而该入口与该第一热交换器的第一冷侧管路的另一端连接，另该出口则设于该炉膛处，该出口连接至该烟囱，因此，使该有机废气能由该入口来进入该炉头内进行燃烧，再让经过燃烧后的气体能穿过该炉膛并由该出口来排出至烟囱处进行排放，以具有节省能源的效能，进而增加整体的使用性。
为了能够更进一步了解本实用新型的特征、特点和技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，所附图式仅提供参考与说明用，非用以限制本实用新型。
附图说明
图1为本实用新型的实施架构的主要系统架构示意图。
图2为本实用新型的实施架构具有废气连通管路与第一净气连通管路的系统架构示意图。
图3为本实用新型的实施架构具有风的系统架构示意图。
附图标记说明：
10、直燃式焚烧炉(TO) 101、炉头
102、炉膛 11、入口
12、出口 20、第一热交换器
21、第一冷侧管路 22、第一热侧管路
23、第一冷侧输送管路 30、第二热交换器
31、第二冷侧管路 32、第二热侧管路
40、第三热交换器 41、第三冷侧管路
42、第三热侧管路 60、第一吸附转轮
601、吸附区 602、冷却区
603、脱附区 61、废气进气管路
611、废气连通管路 6111、废气连通控制阀门
62、第一净气排放管路 621、第一净气连通管路
6211、第一净气连通控制阀门 63、第一冷却气进气管路
64、第一冷却气输送管路 65、第一热气输送管路
66、第一脱附浓缩气体管路 661、风机
70、第二吸附转轮 701、吸附区
702、冷却区 703、脱附区
71、第二净气排放管路 711、风机
72、第二冷却气进气管路 73、第二冷却气输送管路
74、第二热气输送管路 75、第二脱附浓缩气体管路
751、风机 80、烟囱
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型作进一步的详细说明。
请参阅图1至图3，为本实用新型实施例的示意图。而本实用新型的具双转轮的挥发性有机废气处理改良系统的最佳实施方式运用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的厂房的废气处理，并通过本实用新型的设计，让双转轮具有高温脱附的效能，让整体的处理效能由以往的95％提升至97％以上。
而本实用新型的实施架构的具双转轮的挥发性有机废气处理改良系统，主要通过一直燃式焚烧炉(TO)10、一第一热交换器20、一第二热交换器30、一第三热交换器40、一第一吸附转轮60、一第二吸附转轮70及一烟囱80(如图1至图3所示)的组合设计，其中该第一热交换器20设有第一冷侧管路21及第一热侧管路22，该第二热交换器30设有第二冷侧管路31及第二热侧管路32，该第三热交换器40设有第三冷侧管路41及第三热侧管路42。另该直燃式焚烧炉(TO)10设有一炉头101及一炉膛102，该炉头101与该炉膛102相通，且该第一热交换器20、第二热交换器30及第三热交换器40分别设于该直燃式焚烧炉(TO)10的炉膛102内，而该直燃式焚烧炉(TO)10设有入口11及出口12，且该入口11设于该炉头101处，并该入口11与该第一热交换器20的第一冷侧管路21的另一端连接(如图1至图3所示)，再者，该出口12则设于该炉膛102处，而该出口12连接至该烟囱80，因此，使该有机废气能由该入口11来进入该炉头101内进行燃烧，再让经过燃烧后的气体能穿过该炉膛102并由该出口12来排出至烟囱80处进行排放，以具有节省能源的效能。
而上述的直燃式焚烧炉(TO)10的炉头101能将经过焚烧的高温气体先输送到该第三热交换器40的第三热侧管路42的一侧以进行热交换，再由该第三热交换器40的第三热侧管路42的另一侧来将经过焚烧的高温气体再输送到该第二热交换器30的第二热侧管路32的一侧以进行热交换，后再由该第二热交换器30的第二热侧管路32的另一侧来将经过焚烧的高温气体再输送到该第一热交换器20的第一热侧管路22的一侧以进行热交换，最后由该第一热交换器20的第一热侧管路22的另一侧来输送到该炉膛102的出口12(如图1至图3所示)，再由该炉膛102的出口12来输送到烟囱80，以通过该烟囱80来进行排放。
另本实用新型的第一吸附转轮60设有吸附区601、冷却区602及脱附区603，该第一吸附转轮60连接有一废气进气管路61、一第一净气排放管路62、一第一冷却气进气管路63、一第一冷却气输送管路64、一第一热气输送管路65及一第一脱附浓缩气体管路66(如图1至图3所示)，而该第二吸附转轮70设有吸附区701、冷却区702及脱附区703，该第二吸附转轮70连接有一第二净气排放管路71、一第二冷却气进气管路72、一第二冷却气输送管路73、一第二热气输送管路74及一第二脱附浓缩气体管路75。其中该第一吸附转轮60与该第二吸附转轮70分别为沸石浓缩转轮或是其他材质的浓缩转轮。
其中该废气进气管路61的一端连接至该第一吸附转轮60的吸附区601的一侧，使该废气进气管路61能将有机废气输送到该第一吸附转轮60的吸附区601的一侧，而该第一净气排放管路62的一端与该第一吸附转轮60的吸附区601的另一侧连接，且该第一净气排放管路62的一端连接至该第二吸附转轮70的吸附区701的一侧，以让该有机废气能经该第一吸附转轮60的吸附区601进行吸附有机物后再由该第一净气排放管路62来输送到该第二吸附转轮70的吸附区701内。另该第二吸附转轮70的吸附区701的另一侧连接该设第二净气排放管路71，以通过该第二净气排放管路71的另一端来与该烟囱80连接，且该第二净气排放管路71设有一风机711(如图3所示)，使能通过该风机711来将该第二净气排管路71内的经过吸附后的气体推拉到该烟囱80内以进行排放。
另该第一吸附转轮60的冷却区602的一侧连接该第一冷却气进气管路63，以供气体进入该第一吸附转轮60的冷却区602来进行冷却使用，而该第一吸附转轮60的冷却区602的另一侧连接该第一冷却气输送管路64的一端，该第一冷却气输送管路64的另一端则与该第三热交换器40的第三冷侧管路41的一端连接，以将进入该第一吸附转轮60的冷却区602后的气体输送到该第三热交换器40内进行热交换(如图1至图3所示)，再者，该第一热气输送管路65的一端与该第一吸附转轮60的脱附区603的另一侧连接，且该第一热气输送管路65的另一端与该第三热交换器40的第三冷侧管路41的另一端连接，以能将通过该第三热交换器40进行热交换的高温热气通过该第一热气输送管路65来输送到该第一吸附转轮60的脱附区603来进行脱附使用。
而上述该第一吸附转轮60的冷却区602设有两种实施方式，其中第一种实施方式为该第一吸附转轮60的冷却区602的一侧所连接的第一冷却气进气管路63乃是供新鲜空气或外气进入(如图1所示)，通过该新鲜空气或外气来提供该第一吸附转轮60的冷却区602降温用。另第二种实施方式该废气进气管路61设有一废气连通管路611(如图2及图3所示)，而该废气连通管路611的另一端与该第一冷却气进气管路63连接，以能通过该废气连通管路611来将该废气进气管路61内的废气输送到该第一吸附转轮60的冷却区602以进行降温使用，另该废气连通管路611设有一废气连通控制阀门6111，以控制该废气连通管路611的风量。
另该第二吸附转轮70的冷却区702的一侧连接该第二冷却气进气管路72，以供气体进入该第二吸附转轮70的冷却区702来进行冷却使用，而该第二吸附转轮70的冷却区702的另一侧连接该第二冷却气输送管路73的一端，该第二冷却气输送管路73的另一端则与该第二热交换器30的第二冷侧管路31的一端连接，以将进入该第二吸附转轮70的冷却区702后的气体输送到该第二热交换器30内进行热交换(如图1至图3所示)，再者，该第二热气输送管路74的一端与该第二吸附转轮70的脱附区703的另一侧连接，且该第二热气输送管路74的另一端与该第二热交换器30的第二冷侧管路31的另一端连接，以能将通过该第二热交换器30进行热交换的高温热气通过该第二热气输送管路74来输送到该第二吸附转轮70的脱附区703来进行脱附使用。
而上述该第二吸附转轮70的冷却区702设有两种实施方式，其中第一种实施方式为该第二吸附转轮70的冷却区702的一侧所连接的第二冷却气进气管路72乃是供新鲜空气或外气进入(如图1所示)，通过该新鲜空气或外气来提供该第二吸附转轮70的冷却区702降温用。另第二种实施方式该第一净气排放管路62设有一第一净气连通管路621(如图2及图3所示)，而该第一净气连通管路621的另一端与该第二冷却气进气管路72连接，以能通过该第一净气连通管路621来将该第一净气排放管路62内的气体输送到该第二吸附转轮70的冷却区702以进行降温使用，另该第一净气连通管路621设有一第一净气连通控制阀门6211，以控制该第一净气连通管路621的风量。
另该第一脱附浓缩气体管路66的一端与该第一吸附转轮60的脱附区603的一侧连接，而该第一脱附浓缩气体管路66的另一端与该第一热交换器20的第一冷侧管路21的一端连接，且该第一热交换器20的第一冷侧管路21的另一端与该直燃式焚烧炉(TO)10的入口11连接，其中该第一热交换器20的第一冷侧管路21的另一端设有一第一冷侧输送管路23(如图1至图3所示)，该第一冷侧输送管路23的一端与该第一热交换器20的第一冷侧管路21的另一端连接，而该第一冷侧输送管路23的另一端与该直燃式焚烧炉(TO)10的入口11连接，以能将经过高温所脱附下来的脱附浓缩气体能通过该第一脱附浓缩气体管路66来输送到该第一热交换器20的第一冷侧管路21内，并通过该第一热交换器20的第一冷侧管路21来输送到该直燃式焚烧炉(TO)10的入口11内的炉头101进行高温裂解，以能减少挥发性有机化合物。另该第一脱附浓缩气体管路66设有一风机661(如图3所示)，以能将脱附浓缩气体来推拉进入该第一热交换器20的第一冷侧管路21内。
另该第二脱附浓缩气体管路75的一端与该第二吸附转轮70的脱附区703的一侧连接，该第二脱附浓缩气体管路75的另一端与该废气进气管路61相连接(如图1至图3所示)，使该浓缩气体能再通过该废气进气管路61来进入该第一吸附转轮60的吸附区601内，以进行再次吸附。另该第二脱附浓缩气体管路75设有一风机751(如图3所示)，以能将脱附浓缩气体来推拉进入该废气进气管路61内。使通过第二吸附转轮70的脱附区703所产生的脱附气体能进入该第一吸附转轮60的吸附区601循环利用，以使有机废气的处理效率能提升。
以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种具双转轮的挥发性有机废气处理改良系统，其特征在于，包括：
一直燃式焚烧炉(TO)，该直燃式焚烧炉(TO)设有一炉头及一炉膛，该炉头与该炉膛相通；
一第一热交换器，该第一热交换器设于该直燃式焚烧炉(TO)的炉膛内，该第一热交换器设有第一冷侧管路及第一热侧管路；
一第二热交换器，该第二热交换器设于该直燃式焚烧炉(TO)的炉膛内，该第二热交换器设有第二冷侧管路及第二热侧管路；
一第三热交换器，该第三热交换器设于该直燃式焚烧炉(TO)的炉膛内，该第三热交换器设有第三冷侧管路及第三热侧管路；
一第一吸附转轮，该第一吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区，该第一吸附转轮连接有一废气进气管路、一第一净气排放管路、一第一冷却气进气管路、一第一冷却气输送管路、一第一热气输送管路及一第一脱附浓缩气体管路，该废气进气管路的一端连接至该第一吸附转轮的吸附区的一侧，该第一净气排放管路的一端与该第一吸附转轮的吸附区的另一侧连接，该第一冷却气进气管路的一端与该第一吸附转轮的冷却区的一侧连接，该第一冷却气输送管路的一端与该第一吸附转轮的冷却区的另一侧连接，该第一冷却气输送管路的另一端与该第三热交换器的第三冷侧管路的一端连接，该第一热气输送管路的一端与该第一吸附转轮的脱附区的另一侧连接，该第一热气输送管路的另一端与该第三热交换器的第三冷侧管路的另一端连接，该第一脱附浓缩气体管路的一端与该第一吸附转轮的脱附区的一侧连接，该第一脱附浓缩气体管路的另一端与该第一热交换器的第一冷侧管路的一端连接；
一第二吸附转轮，该第二吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区，该第二吸附转轮连接有一第二净气排放管路、一第二冷却气进气管路、一第二冷却气输送管路、一第二热气输送管路及一第二脱附浓缩气体管路，该第一净气排放管路的一端连接至该第二吸附转轮的吸附区的一侧，该第二净气排放管路的一端与该第二吸附转轮的吸附区的另一侧连接，该第二冷却气进气管路的一端与该第二吸附转轮的冷却区的一侧连接，该第二冷却气输送管路的一端与该第二吸附转轮的冷却区的另一侧连接，该第二冷却气输送管路的另一端与该第二热交换器的第二冷侧管路的一端连接，该第二热气输送管路的一端与该第二吸附转轮的脱附区的另一侧连接，该第二热气输送管路的另一端与该第二热交换器的第二冷侧管路的另一端连接，该第二脱附浓缩气体管路的一端与该第二吸附转轮的脱附区的一侧连接，该第二脱附浓缩气体管路的另一端与该废气进气管路相连接；以及
一烟囱，该第二净气排放管路的另一端与该烟囱连接。
2.如权利要求1所述的具双转轮的挥发性有机废气处理改良系统，其特征在于，其中该直燃式焚烧炉(TO)设有入口及出口，该入口设于该炉头处，该入口与该第一热交换器的第一冷侧管路的另一端连接，该出口则设于该炉膛处，该出口连接至该烟囱。
3.如权利要求1所述的具双转轮的挥发性有机废气处理改良系统，其特征在于，其中该第一冷却气进气管路进一步为供新鲜空气或是外气来进入。
4.如权利要求1所述的具双转轮的挥发性有机废气处理改良系统，其特征在于，其中该第二冷却气进气管路进一步为供新鲜空气或是外气来进入。
5.如权利要求1所述的具双转轮的挥发性有机废气处理改良系统，其特征在于，其中该废气进气管路进一步设有一废气连通管路，该废气连通管路与该第一冷却气进气管路连接，该废气连通管路进一步设有一废气连通控制阀门，以控制该废气连通管路的风量。
6.如权利要求1所述的具双转轮的挥发性有机废气处理改良系统，其特征在于，其中该第一净气排放管路进一步设有一第一净气连通管路，该第一净气连通管路与该第二冷却气进气管路连接，该第一净气连通管路进一步设有一第一净气连通控制阀门，以控制该第一净气连通管路的风量。
7.如权利要求1所述的具双转轮的挥发性有机废气处理改良系统，其特征在于，其中该第一脱附浓缩气体管路进一步设有一风机。
8.如权利要求1所述的具双转轮的挥发性有机废气处理改良系统，其特征在于，其中该第二脱附浓缩气体管路进一步设有一风机。
9.如权利要求1所述的具双转轮的挥发性有机废气处理改良系统，其特征在于，其中该第二净气排放管路进一步设有一风机。
10.如权利要求2所述的具双转轮的挥发性有机废气处理改良系统，其特征在于，其中该第一热交换器的第一冷侧管路的另一端进一步设有一第一冷侧输送管路，该第一冷侧输送管路的一端与该第一热交换器的第一冷侧管路的另一端连接，而该第一冷侧输送管路的另一端与该直燃式焚烧炉(TO)的入口连接。
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| TWM599377U (zh) | 2020-08-01 |
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| GR01 | Patent grant |