TWI738080B - 具高溫脫附之控制系統及其方法 - Google Patents

Abstract

本發明為一種具高溫脫附之控制系統及其方法，主要係當透過該濃度偵測儀器進行偵測所排放濃度之數值，且超過預設值時，則透過該可程式控制器發出信號給第二溫度控制系統之第二溫度控制器，讓該第二溫度控制器能啟動該第二加熱裝置進行升溫加熱，並將經由該第一熱氣輸送管路所輸送的高溫熱氣能透過與該第一熱氣輸送管路所連接的一第一熱氣旁通管路來輸送到該第二加熱裝置內再加熱，再經由該第二熱氣輸送管路來將加熱後之高溫熱氣輸送至該吸附轉輪之高溫脫附區進行高溫脫附，藉以使所偵測的排放濃度之數值能達到預設值內，而具有自動調控溫度之效能，以增加揮發性有機廢氣的處理效率，並達到減少污染物排放之效果。

Description

具高溫脫附之控制系統及其方法

本發明係有關於一種具高溫脫附之控制系統及其方法，尤指一種而具有自動調控溫度之效能，以增加揮發性有機廢氣的處理效率，並達到減少污染物排放之效果，而適用於半導體產業、光電產業或化學相關產業之廠房的廢氣處理。

目前在半導體產業或光電產業的製造生產過程中都會產生具有揮發性有機氣體(VOC)，因此，在各廠區都會安裝處理揮發性有機氣體(VOC)的處理設備，以避免揮發性有機氣體(VOC)直接排入空氣中而造成空氣污染。

而，目前在廠區安裝處理揮發性有機氣體(VOC)的處理設備大多採用吸附轉輪方式來吸附揮發性有機氣體(VOC)，但在使用一段時間後，常有高沸點物質不易脫附而殘留於吸附轉輪上，直接影響了吸附轉輪的吸附效能，因此，目前處理方式都是委托外面專業廠商來定期進行洗滌吸附轉輪，以確保吸附轉輪的運作效率和氣流流暢度。

另外，在處理揮發性有機氣體(VOC)的處理設備中進入吸附轉輪的脫附溫度大多是先設定好，一方面是確保進入吸附轉輪的脫附溫度能達到脫附之效能，另一方面則是保護吸附轉輪的運轉功能，但是，在吸附轉輪的長期運轉下，必須要長期監控脫附溫度，當溫度太高時需要降低 溫度，當溫度太低時需要提升溫度，否則容易造成脫附效能降低，使得由該煙囪所排放之濃度上升，進而達不到原來所設定的處理效率。

因此，本發明人有鑑於上述缺失，期能提出一種具有自動調控溫度之效能的具高溫脫附之控制系統及其方法，令使用者可輕易操作組裝，乃潛心研思、設計組製，以提供使用者便利性，為本發明人所欲研發之發明動機者。

本發明之主要目的，在於提供一種具高溫脫附之控制系統及其方法，主要係當透過該濃度偵測儀器進行偵測所排放濃度之數值，且超過預設值時，則透過該可程式控制器發出信號給第二溫度控制系統之第二溫度控制器，讓該第二溫度控制器能啟動該第二加熱裝置進行升溫加熱，並將經由該第一熱氣輸送管路所輸送的高溫熱氣能透過與該第一熱氣輸送管路所連接的一第一熱氣旁通管路來輸送到該第二加熱裝置內再加熱，再經由該第二熱氣輸送管路來將加熱後之高溫熱氣輸送至該吸附轉輪之高溫脫附區進行高溫脫附，藉以使所偵測的排放濃度之數值能達到預設值內，而具有自動調控溫度之效能，以增加揮發性有機廢氣的處理效率，並達到減少污染物排放之效果，進而增加整體之實用性。

本發明之另一目的，在於提供一種具高溫脫附之控制系統及其方法，透過該濃度偵測儀器設有一第一偵測管線及一第二偵測管線，而該第一偵測管線及第二偵測管線係具有二種的實施方式，其中第一種實施方式乃是該第一偵測管線係與該廢氣進氣管路連接，而該第二偵測管線係與該煙囪連接，以能偵測該廢氣進氣管路內的有關碳氫化合物之濃度的數 值，以及經過處理後要從煙囪所排放的碳氫化合物之濃度的數值。另外第二種實施方式乃是該第一偵測管線係與該廢氣進氣管路連接，該第二偵測管線係與該淨氣排放管路連接，以能偵測該廢氣進氣管路內的有關碳氫化合物之濃度的數值，以及經過該吸附轉輪之吸附區吸附後所經過該淨氣排放管路內的碳氫化合物之濃度的數值。藉以，將未經過處理的碳氫化合物之濃度的數值與該經過處理後的碳氫化合物之濃度的數值進行判斷，以作為啟動該第二加熱裝置進行升溫加熱之依據，讓經由該第一熱氣輸送管路所連接的第一熱氣旁通管路輸送過來的高溫熱氣能進行升溫加熱，再送入該吸附轉輪之高溫脫附區進行高溫脫附，且透過將進入高溫脫附區的高溫熱氣能再提升到一定溫度(例如300℃)，使該吸附轉輪能擁有更高溫度之熱氣的輸入，讓整體的處理效能由以往的95%提昇至97%以上，進而增加整體之使用性。

本發明之再一目的，在於提供一種具高溫脫附之控制系統及其方法，透過該脫附濃縮氣體管路係設有一脫附濃縮控制閥門，及該第一熱氣旁通管路係設有一第一熱氣旁通控制閥門，以能形成比例風門，讓該脫附濃縮控制閥門及該第一熱氣旁通控制閥門能調控進出的風量，使當經過處理後的碳氫化合物之濃度的數值達到預設值時，就調整該脫附濃縮控制閥門的出風量大一些，且該第一熱氣旁通控制閥門的出風量則少一點，讓經由該第一熱氣旁通控制閥門來進入該第二加熱裝置的高溫熱氣能減少，反之，當經過處理後的碳氫化合物之濃度的數值未達到預設值時，就調整該脫附濃縮控制閥門的出風量小一些，且該第一熱氣旁通控制閥門的出風量則多一點，讓經由該第一熱氣旁通控制閥門來進入該第二加熱裝置 的高溫熱氣能增多，藉此，具有自動調控風量之效能，以達到高溫脫附之效果，進而增加整體之操作性。

為了能夠更進一步瞭解本發明之特徵、特點和技術內容，請參閱以下有關本發明之詳細說明與附圖，惟所附圖式僅提供參考與說明用，非用以限制本發明。

A‧‧‧一側

B‧‧‧另一側

10‧‧‧焚燒裝置

101‧‧‧蓄熱式焚燒爐

11‧‧‧入口

12‧‧‧出口

20‧‧‧吸附轉輪

201‧‧‧吸附區

202‧‧‧冷卻區

203‧‧‧脫附區

204‧‧‧高溫脫附區

21‧‧‧廢氣進氣管路

211‧‧‧廢氣連通管路

2111‧‧‧廢氣連通控制閥門

22‧‧‧淨氣排放管路

221‧‧‧風機

23‧‧‧冷卻氣進氣管路

24‧‧‧冷卻氣輸送管路

25‧‧‧第一熱氣輸送管路

26‧‧‧第二熱氣輸送管路

27‧‧‧脫附濃縮氣體管路

271‧‧‧風機

272‧‧‧脫附濃縮控制閥門

28‧‧‧高溫脫附濃縮氣體管路

29‧‧‧第一熱氣旁通管路

291‧‧‧第一熱氣旁通控制閥門

30‧‧‧第一加熱裝置

40‧‧‧第二加熱裝置

50‧‧‧第一溫度控制系統

51‧‧‧第一溫度計

52‧‧‧第一溫度控制器

60‧‧‧第二溫度控制系統

61‧‧‧第二溫度計

62‧‧‧第二溫度控制器

70‧‧‧可程式控制器

80‧‧‧濃度偵測儀器

81‧‧‧第一偵測管線

82‧‧‧第二偵測管線

90‧‧‧煙囪

S100‧‧‧輸入待吸附之氣體

S110‧‧‧輸入用來冷卻之氣體

S120‧‧‧輸送高溫熱氣進行脫附

S130‧‧‧偵測所排放濃度之數值

S140‧‧‧啟動第二加熱裝置升溫

S150‧‧‧進入高溫脫附區再脫附

第1圖係為本發明之實施方式的主要步驟流程圖。

第2圖係為本發明之第一種實施架構的系統架構示意圖。

第3圖係為本發明之第一種實施架構的另一系統架構示意圖。

第4圖係為本發明之第二種實施架構的系統架構示意圖。。

第5圖係為本發明之第二種實施架構的另一系統架構示意圖。

請參閱第1~5圖，係為本發明實施例之示意圖，而本發明之具高溫脫附之控制系統及其方法的最佳實施方式係運用於半導體產業、光電產業或化學相關產業之廠房的廢氣處理，透過本發明之設計，以使所偵測的排放濃度之數值能達到預設值內，而具有自動調控溫度之效能，以增加揮發性有機廢氣的處理效率，並達到減少污染物排放之效果。

而本發明之具高溫脫附之控制系統，主要係透過一焚燒裝置10、一吸附轉輪20、一第一加熱裝置30、一第二加熱裝置40、一第二溫度控制系統60、一可程式控制器70、一濃度偵測儀器80及一煙囪90之組合設計(如第2圖至第5圖所示)，其中該焚燒裝置10係 為直燃式焚燒爐(TO)(圖未示)、觸媒爐(圖未示)或蓄熱式焚燒爐(RTO)101之其中任一，而本發明的實施架構之圖示係以蓄熱式焚燒爐(RTO)101為例，且下面說明的焚燒裝置10乃是為蓄熱式焚燒爐(RTO)101，但本發明的焚燒裝置10不以蓄熱式焚燒爐(RTO)101為限，也可以是直燃式焚燒爐(TO)(圖未示)或是觸媒爐(圖未示)。

而本發明的吸附轉輪20係設有吸附區201、冷卻區202、脫附區203及高溫脫附區204(如第2圖至第5圖所示)，其中該吸附轉輪20係為沸石濃縮轉輪或是其他材質之濃縮轉輪，且該吸附轉輪20係連接有一廢氣進氣管路21、一淨氣排放管路22、一冷卻氣進氣管路23、一冷卻氣輸送管路24、一第一熱氣輸送管路25、一第二熱氣輸送管路26、一脫附濃縮氣體管路27及一高溫脫附濃縮氣體管路28(如第2圖至第5圖所示)，該廢氣進氣管路21的一端係連接至該吸附轉輪20之吸附區201的一側A，以使該吸附轉輪20之吸附區201能吸附該廢氣進氣管路21內的有機物，而該吸附轉輪20之吸附區201的另一側B係與該淨氣排放管路22的一端連接，且該淨氣排放管路22的另一端係與一煙囪90連接，讓廢氣經該吸附轉輪20之吸附區201進行吸附有機物後再由該淨氣排放管路22來輸送到煙囪90進行排放，其中該淨氣排放管路22係設有一風機221，以能增加氣體之流速來流向該煙囪90(如第3圖及第5圖所示)。

另該吸附轉輪20之冷卻區202的一側A係與該冷卻氣進氣管路23連接，以供氣體進入該吸附轉輪20之冷卻區202來進行冷卻使用，而該吸附轉輪20之冷卻區202的另一側B係與該冷卻氣輸 送管路24連接，該冷卻氣輸送管路24的另一端係與該第一加熱裝置30連接，其中該第一加熱裝置30係為加熱器、管道加熱器或熱交換器之其中任一，該加熱器(圖未示)係為電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一，該管道加熱器(圖未示)係為採用氣體燃料或液體燃料之其中任一。而該第一熱氣輸送管路25的一端係與該吸附轉輪20之脫附區203的另一側B連接，且該第一熱氣輸送管路25的另一端係與該第一加熱裝置30連接，以能將經由該第一加熱裝置30進行加熱或熱交換的高溫熱氣透過該第一熱氣輸送管路25來輸送到該吸附轉輪20之脫附區203來進行脫附使用。

而上述該吸附轉輪20之冷卻區202係設有兩種實施方式，其中第一種實施方式為該吸附轉輪20之冷卻區202的一側A所連接的冷卻氣進氣管路23乃是供新鮮空氣或外氣進入(如第2圖及第4圖所示)，透過該新鮮空氣或外氣來提供該吸附轉輪20之冷卻區202降溫用。另第二種實施方式係該廢氣進氣管路21係設有一廢氣連通管路211(如第3圖及第5圖所示)，而該廢氣連通管路211的另一端係與該冷卻氣進氣管路23連接，以能透過該廢氣連通管路211來將該廢氣進氣管路21內的廢氣輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202以進行降溫使用，另該廢氣連通管路211係設有一廢氣連通控制閥門2111，以控制該廢氣連通管路211的風量。

另該脫附濃縮氣體管路27的一端係與該吸附轉輪20之脫附區203的一側A連接，而該脫附濃縮氣體管路27的另一端係與該焚燒裝置10連接(如第2圖至第5圖所示)，而當該焚燒裝置10為蓄 熱式焚燒爐(RTO)101時，該蓄熱式焚燒爐(RTO)101係設有入口11及出口12，而該入口11係與該脫附濃縮氣體管路27連接，以能將經過高溫所脫附下來的脫附濃縮氣體透過該脫附濃縮氣體管路27來輸送到該蓄熱式焚燒爐(RTO)101之入口11，讓脫附濃縮氣體能進入該蓄熱式焚燒爐(RTO)101內進行高溫裂解，以能減少揮發性有機化合物，另該蓄熱式焚燒爐(RTO)101之出口12則連接至該煙囪90，以將經過高溫裂解有機物後的乾淨氣體能由該煙囪90來排出，而該脫附濃縮氣體管路27係設有一風機271(如第3圖及第5圖所示)，以能將脫附濃縮氣體來推拉進入該蓄熱式焚燒爐(RTO)101之入口11內，讓脫附濃縮氣體能進行高溫裂解。

而該吸附轉輪20之高溫脫附區204的另一側B係與一第二熱氣輸送管路26的一端連接，且該第二熱氣輸送管路26的另一端係與該第二加熱裝置40連接，其中該第二加熱裝置40係為加熱器、管道加熱器或熱交換器之其中任一，該加熱器(圖未示)係為電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一，該管道加熱器(圖未示)係為採用氣體燃料或液體燃料之其中任一。而該第二加熱裝置40與該第一熱氣輸送管路25之間係設有一第一熱氣旁通管路29，該第一熱氣旁通管路29的一端係與該第一熱氣輸送管路25連接，該第一熱氣旁通管路29的另一端係與該第二加熱裝置40連接(如第2圖至第5圖所示)，使將經由該第一熱氣輸送管路25所輸送的高溫熱氣能透過與該第一熱氣輸送管路25所連接的第一熱氣旁通管路29來輸送到該第二加熱裝置40內再加熱，以讓所輸送的高溫熱氣之溫度能達到一定溫度(例如300℃)，再經由該第二熱氣輸 送管路26來將加熱後之高溫熱氣輸送至該吸附轉輪20之高溫脫附區204進行高溫脫附。

另該吸附轉輪20之高溫脫附區204的一側A係連接該高溫脫附濃縮氣體管路28，而該高溫脫附濃縮氣體管路28的另一端係與該脫附濃縮氣體管路27連接(如第2圖至第5圖所示)，以將經過該吸附轉輪20之高溫脫附區204所脫附下來的高溫脫附濃縮氣體能透過該高溫脫附濃縮氣體管路28來輸送到該脫附濃縮氣體管路27內，再透過該脫附濃縮氣體管路27輸送到該蓄熱式焚燒爐(RTO)101之入口11，讓高溫脫附濃縮氣體能與該脫附濃縮氣體管路27內的脫附濃縮氣體一起進入該蓄熱式焚燒爐(RTO)101內進行高溫裂解。

再者，本發明係分別設有該第一溫度控制系統50及該第二溫度控制系統60，而該第一溫度控制系統50係與該第一加熱裝置30進行連結，該第二溫度控制系統60係與該第二加熱裝置40進行連結(如第2圖至第5圖所示)，其中該第一溫度控制系統50係設有一第一溫度計51及一第一溫度控制器52，而該第一溫度控制器52係與該可程式控制器70電性連接，且該第一溫度控制器52係與該第一加熱裝置30相互傳遞信號，另該第一溫度計51之一端係與該第一熱氣輸送管路25連接，以能偵測該第一熱氣輸送管路25之高溫熱氣的溫度，而該第一溫度計51之另一端係與該第一溫度控制器52電性連接，以將所偵測該第一熱氣輸送管路25之高溫熱氣的溫度回傳給該第一溫度控制器52，以使該第一溫度控制器52能根據所收到溫度之數值來調控該第一加熱裝置30進行升溫或是降溫。

而該第二溫度控制系統60係設有一第二溫度計61及一第二溫度控制器62，而該第二溫度控制器62係與該可程式控制器70電性連接，且該第二溫度控制器62係與該第二加熱裝置40相互傳遞信號(如第2圖至第5圖所示)，另該第二溫度計61之一端係與該第二熱氣輸送管路26連接，以能偵測該第二熱氣輸送管路26經過加熱後的高溫熱氣之溫度，而該第二溫度計61之另一端係與該第二溫度控制器62電性連接，以將所偵測該第二熱氣輸送管路26經過加熱後的高溫熱氣之溫度回傳給該第二溫度控制器62，以使該第二溫度控制器62能根據所收到溫度之數值來調控該第二加熱裝置40進行升溫或是降溫。

另該可程式控制器70係與該濃度偵測儀器80電性連接，該濃度偵測儀器80係具有偵測碳氫化合物之濃度的效能，且該濃度偵測儀器80設有一第一偵測管線81及一第二偵測管線82(如第2圖至第5圖所示)，而該第一偵測管線81及第二偵測管線82係具有二種的實施方式，其中第一種實施方式乃是該第一偵測管線81係與該廢氣進氣管路21連接，而該第二偵測管線82係與該煙囪90連接(如第4圖及第5圖所示)，以能偵測該廢氣進氣管路21內的有關碳氫化合物之濃度的數值，以及經過處理後要從煙囪90所排放的碳氫化合物之濃度的數值。另外第二種實施方式乃是該第一偵測管線81係與該廢氣進氣管路21連接，該第二偵測管線82係與該淨氣排放管路22連接(如第2圖及第3圖所示)，以能偵測該廢氣進氣管路21內的有關碳氫化合物之濃度的數值，以及經過該吸附轉輪20之吸附區201吸附後所經過該淨氣排放管路22內的碳氫化合物之濃度的數值。

而該濃度偵測儀器80係將該第一偵測管線81所偵測到碳氫化合物之濃度的數值及該第二偵測管線82所偵測到碳氫化合物之濃度的數值來傳輸到該可程式控制器70，其中該第一偵測管線81與該第二偵測管線82所分別偵測到碳氫化合物之濃度的數值可以在該濃度偵測儀器80中來進行判斷，也可以傳輸到該可程式控制器70中來進行判斷，以判斷該第二偵測管線82之效率與該第一偵測管線81之效率是否符合預設值，當效率符合預設值時，則維持由該第一加熱裝置30來輸送高溫熱氣進入該吸附轉輪20之脫附區203的現行運作，當效率不符合預設值時，則透過該可程式控制器70來傳遞一啟動信號給該第二加熱裝置40，讓該第二加熱裝置40進行升溫加熱，讓經由該第一熱氣輸送管路25所連接的第一熱氣旁通管路29輸送過來的高溫熱氣能進行升溫加熱，再送入該吸附轉輪20之高溫脫附區204進行高溫脫附，且透過將進入高溫脫附區204的高溫熱氣能再提升到一定溫度(例如300℃)，使該吸附轉輪20能擁有更高溫度之熱氣的輸入，讓整體的處理效能達到所設定與預設值之範圍內。

另該脫附濃縮氣體管路27係設有一脫附濃縮控制閥門272，及該第一熱氣旁通管路29係設有一第一熱氣旁通控制閥門291(如第3圖及第5圖所示)，以能形成比例風門，讓該脫附濃縮控制閥門272及該第一熱氣旁通控制閥門291能調控進出的風量，使當經過處理後的碳氫化合物之濃度的數值達到預設值時，就調整該脫附濃縮控制閥門272的出風量大一些，且該第一熱氣旁通控制閥門291的出風量則少一點，讓經由該第一熱氣旁通控制閥門291來進入該第二加熱裝置4 0的高溫熱氣能減少，反之，當經過處理後的碳氫化合物之濃度的數值未達到預設值時，就調整該脫附濃縮控制閥門272的出風量小一些，且該第一熱氣旁通控制閥門291的出風量則多一點，讓經由該第一熱氣旁通控制閥門291來進入該第二加熱裝置40的高溫熱氣能增多，藉此，具有自動調控風量之效能，以達到高溫脫附之效果。

而本發明之具高溫脫附之控制方法，係包括有一焚燒裝置10、一吸附轉輪20、一第一加熱裝置30、一第二加熱裝置40、一第二溫度控制系統60、一可程式控制器70、一濃度偵測儀器80及一煙囪90，該吸附轉輪20係設有吸附區201、冷卻區202、脫附區203及高溫脫附區204，該吸附轉輪20係連接有一廢氣進氣管路21、一淨氣排放管路22、一冷卻氣進氣管路23、一冷卻氣輸送管路24、一第一熱氣輸送管路25、一第二熱氣輸送管路26、一脫附濃縮氣體管路27及一高溫脫附濃縮氣體管路28(如第2圖至第5圖所示)，該第二溫度控制系統60係設有一第二溫度計61及一第二溫度控制器62。其中該焚燒裝置10係為直燃式焚燒爐(TO)(圖未示)、觸媒爐(圖未示)或蓄熱式焚燒爐(RTO)101之其中任一，而本發明的實施架構之圖示係以蓄熱式焚燒爐(RTO)101為例，且下面說明的焚燒裝置10乃是為蓄熱式焚燒爐(RTO)101，但本發明的焚燒裝置10不以蓄熱式焚燒爐(RTO)101為限，也可以是直燃式焚燒爐(TO)(圖未示)或觸媒爐(圖未示)。

而該具高溫脫附之控制方法的主要步驟(如第1圖所示)係包括：步驟S100輸入待吸附之氣體：該吸附轉輪20之吸附區201的一側係由該廢氣進氣管路21來輸入待吸附之氣體，而該吸附轉輪20 之吸附區201的另一側則透過該淨氣排放管路22來輸送經過吸附後之氣體至該煙囪90。而完成上述步驟S100後即進行下一步驟S110。

其中上述之步驟S100中由該廢氣進氣管路21來輸入待吸附之氣體，而該待吸附之氣體可以為揮發性有機化合物(VOC)、二氧化碳(CO2)、氮氣(N2)、水氣或氧氣(O2)之其中任一或複數組合之一，也可以是其他上述未表述之氣體。另本發明的吸附轉輪20係設有吸附區201、冷卻區202、脫附區203及高溫脫附區204(如第2圖至第5圖所示)，其中該吸附轉輪20係為沸石濃縮轉輪或是其他材質之濃縮轉輪，而該淨氣排放管路22係設有一風機221，以能增加氣體之流速來流向該煙囪90。

另，下一步進行的步驟S110輸入用來冷卻之氣體：該吸附轉輪20之冷卻區202的一側係由該冷卻氣進氣管路23來輸入用來冷卻之氣體，而該吸附轉輪20之冷卻區202的另一側則透過該冷卻氣輸送管路24將經過該吸附轉輪20之冷卻區202的氣體輸送到該第一加熱裝置30內。而完成上述步驟S110後即進行下一步驟S120。

其中上述之步驟S110中該第一加熱裝置30係為加熱器、管道加熱器或熱交換器之其中任一，該加熱器(圖未示)係為電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一，該管道加熱器(圖未示)係為採用氣體燃料或液體燃料之其中任一。另上述該吸附轉輪20之冷卻區202係設有兩種實施方式，其中第一種實施方式為該吸附轉輪20之冷卻區202的一側A所連接的冷卻氣進氣管路23乃是供新鮮空氣或外氣進入(如第2圖及第4圖所示)，透過該新鮮空氣或外氣來提供該吸附轉輪20之冷卻區 202降溫用。另第二種實施方式係該廢氣進氣管路21係設有一廢氣連通管路211(如第3圖及第5圖所示)，而該廢氣連通管路211的另一端係與該冷卻氣進氣管路23連接，以能透過該廢氣連通管路211來將該廢氣進氣管路21內的廢氣輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202以進行降溫使用，另該廢氣連通管路211係設有一廢氣連通控制閥門2111，以控制該廢氣連通管路211的風量。

另，下一步進行的步驟S120輸送高溫熱氣進行脫附：該吸附轉輪20之脫附區203的另一側係由該第一熱氣輸送管路25來輸送該第一加熱裝置30內所產生的高溫熱氣以進行脫附，再由該吸附轉輪20之脫附區203的一側所連接的脫附濃縮氣體管路27來將脫附濃縮氣體輸送到該焚燒裝置10內進行燃燒，並將燃燒後之氣體經由該煙囪90來排放。而完成上述步驟S120後即進行下一步驟S130。

其中上述之步驟S120中該第一熱氣輸送管路25的一端係與該吸附轉輪20之脫附區203的另一側B連接，且該第一熱氣輸送管路25的另一端係與該第一加熱裝置30連接，以能將經由該第一加熱裝置30進行加熱或熱交換的高溫熱氣透過該第一熱氣輸送管路25來輸送到該吸附轉輪20之脫附區203來進行脫附使用。另該脫附濃縮氣體管路27的一端係與該吸附轉輪20之脫附區203的一側A連接，而該脫附濃縮氣體管路27的另一端係與該焚燒裝置10連接(如第2圖至第5圖所示)，而當該焚燒裝置10為蓄熱式焚燒爐(RTO)101時，該蓄熱式焚燒爐(RTO)101係設有入口11及出口12，而該入口11係與該脫附濃縮氣體管路27連接，以能將經過高溫所脫附下來的脫附濃縮氣體 透過該脫附濃縮氣體管路27來輸送到該蓄熱式焚燒爐(RTO)101之入口11，讓脫附濃縮氣體能進入該蓄熱式焚燒爐(RTO)101內進行高溫裂解，以能減少揮發性有機化合物，另該蓄熱式焚燒爐(RTO)101之出口12則連接至該煙囪90，以將經過高溫裂解有機物後的乾淨氣體能由該煙囪90來排出，而該脫附濃縮氣體管路27係設有一風機271(如第3圖及第5圖所示)，以能將脫附濃縮氣體來推拉進入該蓄熱式焚燒爐(RTO)101之入口11內，讓脫附濃縮氣體能進行高溫裂解。

另，下一步進行的步驟S130偵測所排放濃度之數值：當透過該濃度偵測儀器80進行偵測所排放濃度之數值，且超過預設值時，則透過該可程式控制器70發出信號給第二溫度控制系統60之第二溫度控制器62。而完成上述步驟S130後即進行下一步驟S140。

其中上述之步驟S130中該可程式控制器70係與該濃度偵測儀器80電性連接，該濃度偵測儀器80係具有偵測碳氫化合物之濃度的效能，且該濃度偵測儀器80設有一第一偵測管線81及一第二偵測管線82(如第2圖至第5圖所示)，而該第一偵測管線81及第二偵測管線82係具有二種的實施方式，其中第一種實施方式乃是該第一偵測管線81係與該廢氣進氣管路21連接，而該第二偵測管線82係與該煙囪90連接(如第4圖及第5圖所示)，以能偵測該廢氣進氣管路21內的有關碳氫化合物之濃度的數值，以及經過處理後要從煙囪90所排放的碳氫化合物之濃度的數值。另外第二種實施方式乃是該第一偵測管線81係與該廢氣進氣管路21連接，該第二偵測管線82係與該淨氣排放管路22連接(如第2圖及第3圖所示)，以能偵測該廢氣進氣管路21內的 有關碳氫化合物之濃度的數值，以及經過該吸附轉輪20之吸附區201吸附後所經過該淨氣排放管路22內的碳氫化合物之濃度的數值。

另本發明係分別設有該第一溫度控制系統50及該第二溫度控制系統60，而該第一溫度控制系統50係與該第一加熱裝置30進行連結，該第二溫度控制系統60係與該第二加熱裝置40進行連結(如第2圖至第5圖所示)，其中該第一溫度控制系統50係設有一第一溫度計51及一第一溫度控制器52，而該第一溫度控制器52係與該可程式控制器70電性連接，且該第一溫度控制器52係與該第一加熱裝置30相互傳遞信號，另該第一溫度計51之一端係與該第一熱氣輸送管路25連接，以能偵測該第一熱氣輸送管路25之高溫熱氣的溫度，而該第一溫度計51之另一端係與該第一溫度控制器52電性連接，以將所偵測該第一熱氣輸送管路25之高溫熱氣的溫度回傳給該第一溫度控制器52，以使該第一溫度控制器52能根據所收到溫度之數值來調控該第一加熱裝置30進行升溫或是降溫。另該第二溫度控制系統60係設有一第二溫度計61及一第二溫度控制器62，而該第二溫度控制器62係與該可程式控制器70電性連接，且該第二溫度控制器62係與該第二加熱裝置40相互傳遞信號(如第2圖至第5圖所示)，另該第二溫度計61之一端係與該第二熱氣輸送管路26連接，以能偵測該第二熱氣輸送管路26經過加熱後的高溫熱氣之溫度，而該第二溫度計61之另一端係與該第二溫度控制器62電性連接，以將所偵測該第二熱氣輸送管路26經過加熱後的高溫熱氣之溫度回傳給該第二溫度控制器62，以使該第二溫度控制器62能根據所收到溫度之數值來調控該第二加熱裝置40進行升溫或是降溫。

另，下一步進行的步驟S140啟動第二加熱裝置升溫：讓該第二溫度控制器62能啟動該第二加熱裝置40進行升溫加熱，並將經由該第一熱氣輸送管路25所輸送的高溫熱氣能透過與該第一熱氣輸送管路25所連接的一第一熱氣旁通管路29來輸送到該第二加熱裝置40內再加熱。而完成上述步驟S140後即進行下一步驟S150。

其中上述之步驟S140中該濃度偵測儀器80係將該第一偵測管線81所偵測到碳氫化合物之濃度的數值及該第二偵測管線82所偵測到碳氫化合物之濃度的數值來傳輸到該可程式控制器70，其中該第一偵測管線81與該第二偵測管線82所分別偵測到碳氫化合物之濃度的數值可以在該濃度偵測儀器80中來進行判斷，也可以傳輸到該可程式控制器70中來進行判斷，以判斷該第二偵測管線82之效率與該第一偵測管線81之效率是否符合預設值，當效率符合預設值時，則維持由該第一加熱裝置30來輸送高溫熱氣進入該吸附轉輪20之脫附區203的現行運作，當效率不符合預設值時，則透過該可程式控制器70來傳遞一啟動信號給該第二加熱裝置40，讓該第二加熱裝置40進行升溫加熱，讓經由該第一熱氣輸送管路25所連接的第一熱氣旁通管路29輸送過來的高溫熱氣能進行升溫加熱，再送入該吸附轉輪20之高溫脫附區204進行高溫脫附，且透過將進入高溫脫附區204的高溫熱氣能再提升到一定溫度(例如300℃)，使該吸附轉輪20能擁有更高溫度之熱氣的輸入，讓整體的處理效能達到所設定與預設值之範圍內。

另，下一步進行的步驟S150進入高溫脫附區再脫附：該吸附轉輪20之高溫脫附區204的另一側則由該第二熱氣輸送管路26 來輸送由該第二加熱裝置40內所再加熱的高溫熱氣，並透過該吸附轉輪20之高溫脫附區204的一側所連接的該高溫脫附濃縮氣體管路28來輸送經過高溫脫附後之高溫脫附濃縮氣體至該脫附濃縮氣體管路27內。

其中上述之步驟S150中該第二加熱裝置40係為加熱器、管道加熱器或熱交換器之其中任一，該加熱器(圖未示)係為電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一，該管道加熱器(圖未示)係為採用氣體燃料或液體燃料之其中任一。另該脫附濃縮氣體管路27係設有一脫附濃縮控制閥門272，及該第一熱氣旁通管路29係設有一第一熱氣旁通控制閥門291(如第3圖及第5圖所示)，以能形成比例風門，讓該脫附濃縮控制閥門272及該第一熱氣旁通控制閥門291能調控進出的風量，使當經過處理後的碳氫化合物之濃度的數值達到預設值時，就調整該脫附濃縮控制閥門272的出風量大一些，且該第一熱氣旁通控制閥門291的出風量則少一點，讓經由該第一熱氣旁通控制閥門291來進入該第二加熱裝置40的高溫熱氣能減少，反之，當經過處理後的碳氫化合物之濃度的數值未達到預設值時，就調整該脫附濃縮控制閥門272的出風量小一些，且該第一熱氣旁通控制閥門291的出風量則多一點，讓經由該第一熱氣旁通控制閥門291來進入該第二加熱裝置40的高溫熱氣能增多，藉此，具有自動調控風量之效能，以達到高溫脫附之效果。

由以上詳細說明，可使熟知本項技藝者明瞭本發明的確可達成前述目的，實已符合專利法之規定，爰提出發明專利申請。

惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍；故，凡依本發明申請專利範圍及發明說明書內容 所作之簡單的等效變化與修飾，皆應仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。

S100‧‧‧輸入待吸附之氣體

S110‧‧‧輸入用來冷卻之氣體

S120‧‧‧輸送高溫熱氣進行脫附

S130‧‧‧偵測所排放濃度之數值

S140‧‧‧啟動第二加熱裝置升溫

S150‧‧‧進入高溫脫附區再脫附

Claims (30)

1. 一種具高溫脫附之控制系統，係包括：一焚燒裝置；一吸附轉輪，該吸附轉輪係設有吸附區、冷卻區、脫附區及高溫脫附區，該吸附轉輪係連接有一廢氣進氣管路、一淨氣排放管路、一冷卻氣進氣管路、一冷卻氣輸送管路、一第一熱氣輸送管路、一第二熱氣輸送管路、一脫附濃縮氣體管路及一高溫脫附濃縮氣體管路，該廢氣進氣管路的一端係連接至該吸附轉輪之吸附區的一側，該淨氣排放管路的一端係與該吸附轉輪之吸附區的另一側連接，該冷卻氣進氣管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區之一側連接，該冷卻氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區的另一側連接，該第一熱氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之脫附區的另一側連接，該第二熱氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之高溫脫附區的另一側連接，該脫附濃縮氣體管路的一端係與該吸附轉輪之脫附區的一側連接，該脫附濃縮氣體管路的另一端係與該焚燒裝置連接，該高溫脫附濃縮氣體管路的一端係與該吸附轉輪之高溫脫附區的一側連接，該高溫脫附濃縮氣體管路的另一端係與該脫附濃縮氣體管路連接；一第一加熱裝置，該冷卻氣輸送管路的另一端係與該第一加熱裝置連接，該第一熱氣輸送管路的另一端係與該第一加熱裝置連接；一第二加熱裝置，該第一熱氣輸送管路係設有一第一熱氣旁通管路，該第一熱氣旁通管路的另一端係與該第二加熱裝置連接，該第二熱氣輸送管路的另一端係與該第二加熱裝置連接； 一第二溫度控制系統，該第二溫度控制系統係與該第二加熱裝置進行連結，該第二溫度控制系統係設有一第二溫度計及一第二溫度控制器，該第二溫度計之一端係與該第二熱氣輸送管路連接，該第二溫度計之另一端係與該第二溫度控制器電性連接；一可程式控制器，該可程式控制器係與該第二溫度控制系統之第二溫度控制器電性連接；一濃度偵測儀器，該濃度偵測儀器係與該可程式控制器電性連接；以及一煙囪，該淨氣排放管路的另一端係與該煙囪連接。
2. 如申請專利範圍第1項所述之具高溫脫附之控制系統，其中該濃度偵測儀器係進一步設有一第一偵測管線及一第二偵測管線，該第一偵測管線係與該廢氣進氣管路連接，該第二偵測管線係與該煙囪連接。
3. 如申請專利範圍第1項所述之具高溫脫附之控制系統，其中該濃度偵測儀器係進一步設有一第一偵測管線及一第二偵測管線，該第一偵測管線係與該廢氣進氣管路連接，該第二偵測管線係與該淨氣排放管路連接。
4. 如申請專利範圍第1項所述之具高溫脫附之控制系統，其中該脫附濃縮氣體管路係進一步設有一脫附濃縮控制閥門，以控制該脫附濃縮氣體管路的風量。
5. 如申請專利範圍第1項所述之具高溫脫附之控制系統，其中該第一熱氣旁通管路係進一步設有一第一熱氣旁通控制閥門，以控制該第一熱氣旁通管路的風量。
6. 如申請專利範圍第1項所述之具高溫脫附之控制系統，其中該第一加熱裝置係進一步與一第一溫度控制系統連結，該第一溫度控制系統係設有 一第一溫度計及一第一溫度控制器，該第一溫度計之一端係與該第一熱氣輸送管路連接，該第一溫度計之另一端係與該第一溫度控制器電性連接。
7. 如申請專利範圍第6項所述之具高溫脫附之控制系統，其中該第一溫度控制器係進一步與該可程式控制器電性連接。
8. 如申請專利範圍第6項所述之具高溫脫附之控制系統，其中該第一溫度控制系統之第一溫度控制器係進一步與該第一加熱裝置相互傳遞信號。
9. 如申請專利範圍第1項所述之具高溫脫附之控制系統，其中該第二溫度控制系統之第二溫度控制器係進一步與該第二加熱裝置相互傳遞信號。
10. 如申請專利範圍第1項所述之具高溫脫附之控制系統，其中該焚燒裝置係進一步為直燃式焚燒爐(TO)、觸媒爐或蓄熱式焚燒爐(RTO)之其中任一。
11. 如申請專利範圍第1項所述之具高溫脫附之控制系統，其中該蓄熱式焚燒爐(RTO)係設有入口及出口，該入口係與該脫附濃縮氣體管路連接，該出口則連接至該煙囪。
12. 如申請專利範圍第1項所述之具高溫脫附之控制系統，其中該第一加熱裝置與該第二加熱裝置係進一步為加熱器、管道加熱器或熱交換器之其中任一，該加熱器係採用電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一，該管道加熱器係採用氣體燃料或液體燃料之其中任一。
13. 如申請專利範圍第1項所述之具高溫脫附之控制系統，其中該廢氣進氣管路係進一步設有一廢氣連通管路，該廢氣連通管路係與該冷卻氣進氣管路連接，該廢氣連通管路係進一步設有一廢氣連通控制閥門，以 控制該廢氣連通管路的風量。
14. 如申請專利範圍第1項所述之具高溫脫附之控制系統，其中該脫附濃縮氣體管路係進一步設有一風機。
15. 如申請專利範圍第1項所述之具高溫脫附之控制系統，其中該淨氣排放管路係進一步設有一風機。
16. 一種具高溫脫附之控制方法，係設有一焚燒裝置、一吸附轉輪、一第一加熱裝置、一第二加熱裝置、一第二溫度控制系統、一可程式控制器、一濃度偵測儀器及一煙囪，該吸附轉輪係設有吸附區、冷卻區、脫附區及高溫脫附區，該吸附轉輪係連接有一廢氣進氣管路、一淨氣排放管路、一冷卻氣進氣管路、一冷卻氣輸送管路、一第一熱氣輸送管路、一第二熱氣輸送管路、一脫附濃縮氣體管路及一高溫脫附濃縮氣體管路，該第二溫度控制系統係設有一第二溫度計及一第二溫度控制器，該控制方法的主要步驟係包括：輸入待吸附之氣體：該吸附轉輪之吸附區的一側係由該廢氣進氣管路來輸入待吸附之氣體，而該吸附轉輪之吸附區的另一側則透過該淨氣排放管路來輸送經過吸附後之氣體至該煙囪；輸入用來冷卻之氣體：該吸附轉輪之冷卻區的一側係由該冷卻氣進氣管路來輸入用來冷卻之氣體，而該吸附轉輪之冷卻區的另一側則透過該冷卻氣輸送管路將經過該吸附轉輪之冷卻區的氣體輸送到該第一加熱裝置內；輸送高溫熱氣進行脫附：該吸附轉輪之脫附區的另一側係由該第一熱氣輸送管路來輸送該第一加熱裝置內所產生的高溫熱氣以進行脫附，再由 該吸附轉輪之脫附區的一側所連接的脫附濃縮氣體管路來將脫附濃縮氣體輸送到該焚燒裝置內進行燃燒，並將燃燒後之氣體經由該煙囪來排放；偵測所排放濃度之數值：當透過該濃度偵測儀器進行偵測所排放濃度之數值，且超過預設值時，則透過該可程式控制器發出信號給第二溫度控制系統之第二溫度控制器；啟動第二加熱裝置升溫：讓該第二溫度控制器能啟動該第二加熱裝置進行升溫加熱，並將經由該第一熱氣輸送管路所輸送的高溫熱氣能透過與該第一熱氣輸送管路所連接的一第一熱氣旁通管路來輸送到該第二加熱裝置內再加熱；以及進入高溫脫附區再脫附：該吸附轉輪之高溫脫附區的另一側則由該第二熱氣輸送管路來輸送由該第二加熱裝置內所再加熱的高溫熱氣，並透過該吸附轉輪之高溫脫附區的一側所連接的該高溫脫附濃縮氣體管路來輸送經過高溫脫附後之高溫脫附濃縮氣體至該脫附濃縮氣體管路內。
17. 如申請專利範圍第16項所述之具高溫脫附之控制方法，其中該濃度偵測儀器係進一步設有一第一偵測管線及一第二偵測管線，該第一偵測管線係與該廢氣進氣管路連接，該第二偵測管線係與該煙囪連接。
18. 如申請專利範圍第16項所述之具高溫脫附之控制方法，其中該濃度偵測儀器係進一步設有一第一偵測管線及一第二偵測管線，該第一偵測管線係與該廢氣進氣管路連接，該第二偵測管線係與該淨氣排放管路連接。
19. 如申請專利範圍第16項所述之具高溫脫附之控制方法，其中該脫 附濃縮氣體管路係進一步設有一脫附濃縮控制閥門，以控制該脫附濃縮氣體管路的風量。
20. 如申請專利範圍第16項所述之具高溫脫附之控制方法，其中該第一熱氣旁通管路係進一步設有一第一熱氣旁通控制閥門，以控制該第一熱氣旁通管路的風量。
21. 如申請專利範圍第16項所述之具高溫脫附之控制方法，其中該第一加熱裝置係進一步與一第一溫度控制系統連結，該第一溫度控制系統係設有一第一溫度計及一第一溫度控制器，該第一溫度計之一端係與該第一熱氣輸送管路連接，該第一溫度計之另一端係與該第一溫度控制器電性連接。
22. 如申請專利範圍第21項所述之具高溫脫附之控制方法，其中該第一溫度控制器係進一步與該可程式控制器電性連接。
23. 如申請專利範圍第21項所述之具高溫脫附之控制方法，其中該第一溫度控制系統之第一溫度控制器係進一步與該第一加熱裝置相互傳遞信號。
24. 如申請專利範圍第16項所述之具高溫脫附之控制方法，其中該第二溫度控制系統之第二溫度控制器係進一步與該第二加熱裝置相互傳遞信號。
25. 如申請專利範圍第16項所述之具高溫脫附之控制方法，其中該焚燒裝置係進一步為直燃式焚燒爐(TO)、觸媒爐或蓄熱式焚燒爐(RTO)之其中任一。
26. 如申請專利範圍第16項所述之具高溫脫附之控制方法，其中該蓄 熱式焚燒爐(RTO)係設有入口及出口，該入口係與該脫附濃縮氣體管路連接，該出口則連接至該煙囪。
27. 如申請專利範圍第16項所述之具高溫脫附之控制方法，其中該第一加熱裝置與該第二加熱裝置係進一步為加熱器、管道加熱器或熱交換器之其中任一，該加熱器係採用電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一，該管道加熱器係採用氣體燃料或液體燃料之其中任一。
28. 如申請專利範圍第16項所述之具高溫脫附之控制方法，其中該廢氣進氣管路係進一步設有一廢氣連通管路，該廢氣連通管路係與該冷卻氣進氣管路連接，該廢氣連通管路係進一步設有一廢氣連通控制閥門，以控制該廢氣連通管路的風量。
29. 如申請專利範圍第16項所述之具高溫脫附之控制方法，其中該脫附濃縮氣體管路係進一步設有一風機。
30. 如申請專利範圍第16項所述之具高溫脫附之控制方法，其中該淨氣排放管路係進一步設有一風機。

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