TWM598381U - 廢氣高效濃縮焚燒處理系統 - Google Patents

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TWM598381U
TWM598381U TW109204176U TW109204176U TWM598381U TW M598381 U TWM598381 U TW M598381U TW 109204176 U TW109204176 U TW 109204176U TW 109204176 U TW109204176 U TW 109204176U TW M598381 U TWM598381 U TW M598381U
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鄭石治
扶亞民
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華懋科技股份有限公司
大陸商上海華懋環保節能設備有限公司
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Abstract

本創作為一種廢氣高效濃縮焚燒處理系統，主要係透過一焚燒裝置、一第一吸附轉輪、一第二吸附轉輪、一第一廢氣連通管路、一第一加熱裝置、一第二加熱裝置及一煙囪之組合設計，且透過該第二吸附轉輪之脫附區之一側所連接的第二脫附濃縮氣體管路來連接至該第一吸附轉輪之冷卻區的一側，以將經由該第二吸附轉輪之脫附區所脫附後之氣體能輸送到該第一吸附轉輪之冷卻區內，以及透過該第一廢氣連通管路之一端係與該廢氣進氣管路連接，該第一廢氣連通管路之另一端係與該第二吸附轉輪之冷卻區之一側連接，使該第一廢氣連通管路能將部份的廢氣來分流輸送到第二吸附轉輪之冷卻區內，藉此，增加揮發性有機廢氣的處理效能，並達到減少污染物排放之效果。

Description

廢氣高效濃縮焚燒處理系統
本創作係有關於一種廢氣高效濃縮焚燒處理系統，尤指一種能增加揮發性有機廢氣的處理效能，並達到減少污染物排放之效果，而適用於半導體產業、光電產業或化學相關產業之廠房的廢氣處理。
目前在半導體產業或光電產業的製造生產過程中都會產生具有揮發性有機氣體(VOC)，因此，在各廠區都會安裝處理揮發性有機氣體(VOC)的處理設備，以避免揮發性有機氣體(VOC)直接排入空氣中而造成空氣污染。
但是近年來，對空氣汙染非常重視，也因此在VOC固定污染源的排放上均有管制標準或法規，更常見的是，且有些地方的標準或企業內部的內規標準或環評承諾更嚴格。
因此，本創作人有鑑於上述缺失，期能提出一種具有減少污染物排放之效果的廢氣高效濃縮焚燒處理系統，令使用者可輕易操作組裝，乃潛心研思、設計組製，以提供使用者便利性，為本創作人所欲研發之創作動機者。
本創作之主要目的，在於提供一種廢氣高效濃縮焚燒處理系 統，主要係透過一焚燒裝置、一第一吸附轉輪、一第二吸附轉輪、一第一廢氣連通管路、一第一加熱裝置、一第二加熱裝置及一煙囪之組合設計，且透過該第二吸附轉輪之脫附區之一側所連接的第二脫附濃縮氣體管路來連接至該第一吸附轉輪之冷卻區的一側，以將經由該第二吸附轉輪之脫附區所脫附後之氣體能輸送到該第一吸附轉輪之冷卻區內，以及透過該第一廢氣連通管路之一端係與該廢氣進氣管路連接，該第一廢氣連通管路之另一端係與該第二吸附轉輪之冷卻區之一側連接，使該第一廢氣連通管路能將部份的廢氣來分流輸送到第二吸附轉輪之冷卻區內，藉此，增加揮發性有機廢氣的處理效能，並達到減少污染物排放之效果，進而增加整體之實用性者。
本創作之另一目的，在於提供一種廢氣高效濃縮焚燒處理系統，透過該第一淨氣排放管路係設有一第一淨氣連通管路，該第一淨氣連通管路的一端係與該第一淨氣排放管路連接，該第一淨氣連通管路的另一端係與該第二脫附濃縮氣體管路連接，使由該第一淨氣排放管路所排出的部份淨氣能輸送到該第二脫附濃縮氣體管路內，讓部份淨氣能與該第二脫附濃縮氣體管路內的脫附濃縮氣體進行混合以降低要進入該第一吸附轉輪之冷卻區時的溫度，進而增加整體之使用性。
本創作之另一目的，在於提供一種廢氣高效濃縮焚燒處理系統，透過該第二淨氣排放管路係設有一第二淨氣連通管路，該第二淨氣連通管路的一端係與該第二淨氣排放管路連接，該第二淨氣連通管路的另一端係與該第二脫附濃縮氣體管路連接，使由該第二淨氣排放管路所排出的部份淨氣能輸送到該第二脫附濃縮氣體管路內，讓部份淨氣能與該第二脫 附濃縮氣體管路內的脫附濃縮氣體進行混合以降低要進入該第一吸附轉輪之冷卻區時的溫度，進而增加整體之操作性。
為了能夠更進一步瞭解本創作之特徵、特點和技術內容，請參閱以下有關本創作之詳細說明與附圖，惟所附圖式僅提供參考與說明用，非用以限制本創作。
10:焚燒裝置
11:入口
12:出口
20:第一吸附轉輪
201:吸附區
202:冷卻區
203:脫附區
21:廢氣進氣管路
22:第一淨氣排放管路
23:第一冷卻氣輸送管路
24:第一熱氣輸送管路
25:第一脫附濃縮氣體管路
251:風機
26:第一冷卻氣進氣管路
30:第二吸附轉輪
301:吸附區
302:冷卻區
303:脫附區
31:第二淨氣排放管路
311:風機
32:第二冷卻氣輸送管路
33:第二熱氣輸送管路
34:第二脫附濃縮氣體管路
341:風機
40:第一加熱裝置
50:第二加熱裝置
60:煙囪
100:第一廢氣連通管路
110:風機
200:第二廢氣連通管路
210:第二廢氣連通控制閥門
300:第一淨氣連通管路
310:風機
400:第一淨氣連通管路
410:風機
第1圖係為本創作主要實施的系統架構示意圖。
第2圖係為本創作主要實施中含有風機的系統架構示意圖。
第3圖係為本創作第一種實施態樣的系統架構示意圖。
第4圖係為本創作第二種實施態樣的系統架構示意圖。
第5圖係為本創作第三種實施態樣的系統架構示意圖。
第6圖係為本創作第四種實施態樣的系統架構示意圖。
請參閱第1圖至第6圖，係為本創作實施例之示意圖。而本創作之廢氣高效濃縮焚燒處理系統的最佳實施方式係運用於半導體產業、光電產業或化學相關產業之廠房的廢氣處理，透過本創作之組合設計來增加揮發性有機廢氣的處理效能，並達到減少污染物排放之效果。
而本創作之廢氣高效濃縮焚燒處理系統，主要係透過一焚燒裝置10、一第一吸附轉輪20、一第二吸附轉輪30、一第一廢氣連通管路100、一第一加熱裝置40、一第二加熱裝置50及一煙囪60之組合設計(如第1圖及第2圖所示)，其中該焚燒裝置10係為直燃式焚 燒爐(TO)、觸媒爐或蓄熱式焚燒爐(RTO)之其中任一，而該焚燒裝置10係設有入口11及出口12，該入口11係用來讓經過脫附後之脫附濃縮氣體能進入該焚燒裝置10內，另該出口12係用來讓經過燃燒後之氣體能輸出，且該出口12係連接至該煙囪60，使燃燒後之氣體能經由該煙囪60來排出。
且本創作之第一吸附轉輪20係設有吸附區201、冷卻區202及脫附區203(如第1圖及第2圖所示)，該第一吸附轉輪20係連接有一廢氣進氣管路21、一第一淨氣排放管路22、一第一冷卻氣輸送管路23、一第一熱氣輸送管路24及一第一脫附濃縮氣體管路25，而該第二吸附轉輪30係設有吸附區301、冷卻區302及脫附區303(如第1圖及第2圖所示)，該第二吸附轉輪30係連接有一第二淨氣排放管路31、一第二冷卻氣輸送管路32、一第二熱氣輸送管路33及一第二脫附濃縮氣體管路34。其中該第一吸附轉輪20與該第二吸附轉輪30係分別為沸石濃縮轉輪或是其他材質之濃縮轉輪。
另該廢氣進氣管路21的一端係連接至該第一吸附轉輪20之吸附區201的一側，使該廢氣進氣管路21能將有機廢氣輸送到該第一吸附轉輪20之吸附區201的一側，而該第一淨氣排放管路22的一端係與該第一吸附轉輪20之吸附區201的另一側連接(如第1圖及第2圖所示)，且該第一淨氣排放管路22的一端係連接至該第二吸附轉輪30之吸附區301的一側，以讓該有機廢氣能經該第一吸附轉輪20之吸附區201進行吸附有機物後再由該第一淨氣排放管路22來輸送到該第二吸附轉輪30之吸附區301內(如第1圖及第2圖所示)。另該 第二吸附轉輪30之吸附區301的另一側係連接該第二淨氣排放管路31，以透過該第二淨氣排放管路31的另一端來與該煙囪60連接，且該第二淨氣排放管路31係設有一風機311(如第2圖所示)，使能透過該風機311來將該第二淨氣排管路31內的經過吸附後之氣體推拉到該煙囪60內以進行排放。
而該第一吸附轉輪20之冷卻區202的另一側係連接該第一冷卻氣輸送管路23的一端，該第一冷卻氣輸送管路23的另一端則與該第一加熱裝置40連接(如第1圖及第2圖所示)，以將進入該第一吸附轉輪20之冷卻區202後的氣體輸送到該第一加熱裝置40內進行熱交換，再者，該第一熱氣輸送管路24的一端係與該第一吸附轉輪20之脫附區203的另一側連接，且該第一熱氣輸送管路24的另一端係與該第一加熱裝置40連接(如第1圖及第2圖所示)，以能將經由該第一加熱裝置40進行熱交換的高溫熱氣透過該第一熱氣輸送管路24來輸送到該第一吸附轉輪20之脫附區203來進行脫附使用。其中該第一加熱裝置40係為加熱器、管道加熱器或熱交換器之其中任一，該加熱器係為電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一，該管道加熱器係為採用氣體燃料或液體燃料之其中任一。
另該第二吸附轉輪30之冷卻區302的另一側係連接該第二冷卻氣輸送管路32的一端，該第二冷卻氣輸送管路32的另一端則與該第二加熱裝置50連接(如第1圖及第2圖所示)，以將進入該第二吸附轉輪30之冷卻區302後的氣體輸送到該第二加熱裝置50內進行熱交換，再者，該第二熱氣輸送管路33的一端係與該第二吸附轉輪30 之脫附區303的另一側連接，且該第二熱氣輸送管路33的另一端係與該第二加熱裝置50連接(如第1圖及第2圖所示)，以能將經由該第二加熱裝置50進行熱交換的高溫熱氣透過該第二熱氣輸送管路33來輸送到該第二吸附轉輪30之脫附區303來進行脫附使用。其中該第二加熱裝置50係為加熱器、管道加熱器或熱交換器之其中任一，該加熱器係為電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一，該管道加熱器係為採用氣體燃料或液體燃料之其中任一。
另該第一脫附濃縮氣體管路25的一端係與該第一吸附轉輪20之脫附區203的一側連接，而該第一脫附濃縮氣體管路25的另一端係與該焚燒裝置10之入口11連接(如第1圖及第2圖所示)，以能將經過高溫所脫附下來的脫附濃縮氣體能透過該第一脫附濃縮氣體管路25來輸送到該焚燒裝置10內進行高溫裂解，以能減少揮發性有機化合物。另該第一脫附濃縮氣體管路25係設有一風機251(如第2圖所示)，以能將脫附濃縮氣體來推拉進入該焚燒裝置10內。
另該第二脫附濃縮氣體管路34的一端係與該第二吸附轉輪30之脫附區303的一側連接，該第二脫附濃縮氣體管路34的另一端係連接至該第一吸附轉輪20之冷卻區202的一側(如第1圖及第2圖所示)，以將經由該第二吸附轉輪30之脫附區303所脫附後之氣體能輸送到該第一吸附轉輪20之冷卻區202內。其中該第二脫附濃縮氣體管路34係設有一風機341(如第2圖所示)，以能將脫附濃縮氣體來推拉進入該第一吸附轉輪20之冷卻區202內，使經由第二吸附轉輪30之脫附區303所產生的脫附氣體能用來當該第一吸附轉輪20之冷 卻區202所使用的氣體。
再者，該第一廢氣連通管路100之一端係與該廢氣進氣管路21連接，而該第一廢氣連通管路100之另一端係與該第二吸附轉輪30之冷卻區302之一側連接(如第1圖及第2圖所示)，使該第一廢氣連通管路100能將部份的廢氣來分流輸送到第二吸附轉輪30之冷卻區302內，讓尚未經過第一吸附轉輪20之吸附區201的有機廢氣能用來當第二吸附轉輪30之冷卻區302所使用的氣體。另外，該第一廢氣連通管路100係設有一風機110(如第2圖所示)，透過該風機110以能將該第一廢氣連通管路100內的部份有機廢氣來推拉進入到該第二吸附轉輪30之冷卻區302內。藉此，讓該有機廢氣能分別透過該廢氣進氣管路21來進入該第一吸附轉輪20之吸附區201內，以及透過該第一廢氣連通管路100來輸送到該第二吸附轉輪30之冷卻區302內，使具有增加揮發性有機廢氣的處理效能，並達到減少污染物排放之效果。
本創作之第一種實施態樣(如第3圖所示)與上述之主要實施態樣的架構是一樣的，差異在於該第二脫附濃縮氣體管路34在進入該第一吸附轉輪20之冷卻區202時會與一第一冷卻氣進氣管路26之一端相連接，而該第一冷卻氣進氣管路26之另一端係供新鮮空氣或是外氣來進入，讓新鮮空氣或是外氣能由該第一冷卻氣進氣管路26來進入該第二脫附濃縮氣體管路34內，並與該第二脫附濃縮氣體管路34內的脫附濃縮氣體進行混合，再經由該第二脫附濃縮氣體管路34來進入該第一吸附轉輪20之冷卻區202內，藉此，能使進入該第一吸附轉輪20之冷 卻區202的脫附濃縮氣體之溫度，能因為有新鮮空氣或是外氣的混合而使脫附濃縮氣體之溫度降低，以使能提供給該第一吸附轉輪20之冷卻區202來進行冷卻的使用。
本創作之第二種實施態樣(如第4圖所示)與上述之主要實施態樣的架構是一樣的，差異在於該廢氣進氣管路21係設有一第二廢氣連通管路200，其中該第二廢氣連通管路200的一端係與該廢氣進氣管路21連接，而該第二廢氣連通管路21的另一端係與該第二脫附濃縮氣體管路34連接，讓該有機廢氣除了分流給該第一廢氣連通管路100來輸送到該第二吸附轉輪30之冷卻區302外，也可以透過該第二廢氣連通管路200來分流輸送到該第二脫附濃縮氣體管路34內，並與該第二脫附濃縮氣體管路34內的脫附濃縮氣體進行混合，再經由該第二脫附濃縮氣體管路34來進入該第一吸附轉輪20之冷卻區202內，藉此，能使進入該第一吸附轉輪20之冷卻區202的脫附濃縮氣體之溫度，能因為有機廢氣的混合而使脫附濃縮氣體之溫度降低，以使能提供給該第一吸附轉輪20之冷卻區202來進行冷卻的使用。另外，該第二廢氣連通管路200係設有一第二廢氣連通控制閥門210，透過該第二廢氣連通控制閥門210來控制該第二廢氣連通管路200的風量。
本創作之第三種實施態樣(如第5圖所示)與上述之主要實施態樣的架構是一樣的，差異在於該第一淨氣排放管路22係設有一第一淨氣連通管路300，其中該第一淨氣連通管路300的一端係與該第一淨氣排放管路22連接，而該第一淨氣連通管路300的另一端係與該第二脫附濃縮氣體管路34相連接，讓該第一淨氣排放管22路能分流出部 份的淨氣，並經由該第一淨氣連通管路300來輸送到該第二脫附濃縮氣體管路34內，並與該第二脫附濃縮氣體管路34內的脫附濃縮氣體進行混合，再經由該第二脫附濃縮氣體管路34來進入該第一吸附轉輪20之冷卻區202內，藉此，能使進入該第一吸附轉輪20之冷卻區202的脫附濃縮氣體之溫度，能因為有淨氣的混合而使脫附濃縮氣體之溫度降低，以使能提供給該第一吸附轉輪20之冷卻區202來進行冷卻的使用。另外，該第一淨氣連通管路300係設有一風機310，透過該風機310以能將該第一淨氣連通管路300內的部份淨氣來推拉進入到該第二脫附濃縮氣體管路34內。
本創作之第四種實施態樣(如第6圖所示)與上述之主要實施態樣的架構是一樣的，差異在於該第二淨氣排放管路31係設有一第二淨氣連通管路400，其中該第二淨氣連通管路400的一端係與該第二淨氣排放管路31連接，而該第二淨氣連通管路400的另一端係與該第二脫附濃縮氣體管路34相連接，讓該第二淨氣排放管路31能分流出部份的淨氣，並經由該第二淨氣連通管路400來輸送到該第二脫附濃縮氣體管路34內，並與該第二脫附濃縮氣體管路34內的脫附濃縮氣體進行混合，再經由該第二脫附濃縮氣體管路34來進入該第一吸附轉輪20之冷卻區202內，藉此，能使進入該第一吸附轉輪20之冷卻區202的脫附濃縮氣體之溫度，能因為有淨氣的混合而使脫附濃縮氣體之溫度降低，以使能提供給該第一吸附轉輪20之冷卻區202來進行冷卻的使用。另外，該第二淨氣連通管路400係設有一風機410，透過該風機410以能將該第二淨氣連通管路400內的部份淨氣來推拉進入到該第 二脫附濃縮氣體管路34內。
藉由以上詳細說明，可使熟知本項技藝者明瞭本創作的確可達成前述目的，實已符合專利法之規定，爰提出專利申請。
惟以上所述者，僅為本創作之較佳實施例而已，當不能以此限定本創作實施之範圍；故，凡依本創作申請專利範圍及創作說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆應仍屬本創作專利涵蓋之範圍內。
10:焚燒裝置
11:入口
12:出口
20:第一吸附轉輪
201:吸附區
202:冷卻區
203:脫附區
21:廢氣進氣管路
22:第一淨氣排放管路
23:第一冷卻氣輸送管路
24:第一熱氣輸送管路
25:第一脫附濃縮氣體管路
30:第二吸附轉輪
301:吸附區
302:冷卻區
303:脫附區
31:第二淨氣排放管路
32:第二冷卻氣輸送管路
33:第二熱氣輸送管路
34:第二脫附濃縮氣體管路
40:第一加熱裝置
50:第二加熱裝置
60:煙囪
100:第一廢氣連通管路

Claims (14)

  1. 一種廢氣高效濃縮焚燒處理系統，係包括：
    一焚燒裝置；
    一第一吸附轉輪，該第一吸附轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區，該第一吸附轉輪係連接有一廢氣進氣管路、一第一淨氣排放管路、一第一冷卻氣輸送管路、一第一熱氣輸送管路及一第一脫附濃縮氣體管路，該廢氣進氣管路的一端係連接至該第一吸附轉輪之吸附區的一側，該第一淨氣排放管路的一端係與該第一吸附轉輪之吸附區的另一側連接，該第一冷卻氣輸送管路的一端係與該第一吸附轉輪之冷卻區的另一側連接，該第一熱氣輸送管路的一端係與該第一吸附轉輪之脫附區的另一側連接，該第一脫附濃縮氣體管路的一端係與該第一吸附轉輪之脫附區的一側連接，該第一脫附濃縮氣體管路的另一端係與該焚燒裝置連接；
    一第二吸附轉輪，該第二吸附轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區，該第二吸附轉輪係連接有一第二淨氣排放管路、一第二冷卻氣輸送管路、一第二熱氣輸送管路及一第二脫附濃縮氣體管路，該第一淨氣排放管路的一端係連接至該第二吸附轉輪之吸附區的一側，該第二淨氣排放管路的一端係與該第二吸附轉輪之吸附區的另一側連接，該第二冷卻氣輸送管路的一端係與該第二吸附轉輪之冷卻區的另一側連接，該第二熱氣輸送管路的一端係與該第二吸附轉輪之脫附區的另一側連接，該第二脫附濃縮氣體管路的一端係與該第二吸附轉輪之脫附區的一側連接，該第二脫附濃縮氣體管路的另一端係連接至該第一吸附轉輪之冷卻區的一側；
    一第一廢氣連通管路，該第一廢氣連通管路之一端係與該廢氣進氣管路連接，該第一廢氣連通管路之另一端係與該第二吸附轉輪之冷卻區之一側連接；
    一第一加熱裝置，該第一冷卻氣輸送管路的另一端係與該第一加熱裝置連接，該第一熱氣輸送管路的另一端係與該第一加熱裝置連接；
    一第二加熱裝置，該第二冷卻氣輸送管路的另一端係與該第二加熱裝置連接，該第二熱氣輸送管路的另一端係與該第二加熱裝置連接；以及
    一煙囪，該第二淨氣排放管路的另一端係與該煙囪連接。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之廢氣高效濃縮焚燒處理系統，其中該第一廢氣連通管路係進一步設有一風機。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之廢氣高效濃縮焚燒處理系統，其中該第二脫附濃縮氣體管路係進一步與一第一冷卻氣進氣管路連接，該第一冷卻氣進氣管路之一端係與該第二脫附濃縮氣體管路形成連接，該第一冷卻氣進氣管路之另一端係供新鮮空氣或是外氣來進入。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之廢氣高效濃縮焚燒處理系統，其中該廢氣進氣管路係進一步設有一第二廢氣連通管路，該第二廢氣連通管路的一端係與該廢氣進氣管路連接，該第二廢氣連通管路的另一端係與該第二脫附濃縮氣體管路連接。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之廢氣高效濃縮焚燒處理系統，其中該第二廢氣連通管路係進一步設有一第二廢氣連通控制閥門，以控制該第二廢氣連通管路的風量。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之廢氣高效濃縮焚燒處理系統，其中該第一淨氣排放管路係進一步設有一第一淨氣連通管路，該第一淨氣連通管路的一端係與該第一淨氣排放管路連接，該第一淨氣連通管路的另一端係與該第二脫附濃縮氣體管路連接。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之廢氣高效濃縮焚燒處理系統，其中該第一淨氣連通管路係進一步設有一風機。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之廢氣高效濃縮焚燒處理系統，其中該第二淨氣排放管路係進一步設有一第二淨氣連通管路，該第二淨氣連通管路的一端係與該第二淨氣排放管路連接，該第二淨氣連通管路的另一端係與該第二脫附濃縮氣體管路連接。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之廢氣高效濃縮焚燒處理系統，其中該第二淨氣連通管路係進一步設有一風機。
  10. 如申請專利範圍第1項所述之廢氣高效濃縮焚燒處理系統，其中該焚燒裝置係進一步為直燃式焚燒爐(TO)、觸媒爐或蓄熱式焚燒爐(RTO)之其中任一，該焚燒裝置係設有入口及出口，該入口係與該第一脫附濃縮氣體管路連接，該出口則連接至該煙囪。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之廢氣高效濃縮焚燒處理系統，其中該第一加熱裝置及第二加熱裝置係進一步為加熱器、管道加熱器或熱交換器之其中任一。
  12. 如申請專利範圍第1項所述之廢氣高效濃縮焚燒處理系統，其中該第一脫附濃縮氣體管路係進一步設有一風機。
  13. 如申請專利範圍第1項所述之廢氣高效濃縮焚燒處理系統，其中該第二脫附濃縮氣體管路係進一步設有一風機。
  14. 如申請專利範圍第1項所述之廢氣高效濃縮焚燒處理系統，其中該第二淨氣排放管路係進一步設有一風機。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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TWI773310B (zh) * 2021-05-11 2022-08-01 華懋科技股份有限公司 具熱源之轉輪系統及其方法
TWI826752B (zh) * 2020-12-04 2023-12-21 華懋科技股份有限公司 雙轉輪高濃度有機廢氣處理系統及其方法

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